JPH0617035Y2 - Turbo molecular pump - Google Patents
Turbo molecular pumpInfo
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- JPH0617035Y2 JPH0617035Y2 JP3178587U JP3178587U JPH0617035Y2 JP H0617035 Y2 JPH0617035 Y2 JP H0617035Y2 JP 3178587 U JP3178587 U JP 3178587U JP 3178587 U JP3178587 U JP 3178587U JP H0617035 Y2 JPH0617035 Y2 JP H0617035Y2
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- Japan
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- magnetic bearing
- rotor
- vacuum side
- pump
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は磁気軸受を用いたターボ分子ポンプに関するも
のである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a turbo molecular pump using a magnetic bearing.
近年ターボ分子ポンプの軸受として非接触支承可能な磁
気軸受の利用がさかんである。これは、ころがり軸受け
であると軸受の潤滑オイルからガス（炭化水素等）が拡
散し、高真空が得られないためと、接触支承が故に高速
回転が困難であり、ひいては排気能力を向上させるに支
障を及ぼすためである。Recently, non-contact bearing magnetic bearings have been widely used as bearings for turbo molecular pumps. This is because gas (hydrocarbons, etc.) diffuses from the lubricating oil of the bearing if it is a rolling bearing, and it is difficult to obtain a high vacuum. This is because it causes trouble.
ところが、磁気軸受はころがり軸受に比べ構造が複雑で
あり、特に能動形磁気軸受は軸受部に電磁コイル、積層
コア、変位センサーを有するため多くのスペースが必要
となり、軸受部近傍にポンプを配置しようとすると、回
転翼が小さくなったり、ネジポンプを用いなければなら
ず、従ってポンプの排気能力が低いという問題があっ
た。However, the structure of magnetic bearings is more complicated than that of rolling bearings, and especially active magnetic bearings require a lot of space because they have an electromagnetic coil, laminated core, and displacement sensor in the bearings. In that case, there is a problem that the rotary blade becomes small and a screw pump must be used, and thus the pumping capability of the pump is low.
又従来のターボ分子ポンプの駆動軸は軸方向に対称形で
ないため、歳差運動、章動運動が生じた場合、これに対
する軸受の制御が困難であった。Further, since the drive shaft of the conventional turbo molecular pump is not symmetrical in the axial direction, it is difficult to control the bearing for precession and nutation when it occurs.
そこで本考案はこのような問題のないターボ分子ポンプ
を提供しようとするものである。Therefore, the present invention is intended to provide a turbo molecular pump that does not have such a problem.
〔問題点を解決するための手段〕 本考案は上記の問題点を解決するためになされたもの
で、高真空側回転翼を有する第１段ポンプロータ及び低
真空側回転翼を有する第２段ポンプロータをそれぞれ駆
動軸の軸方向両端（高真空側と低真空側）に配置し、前
記第１段ポンプロータと第２ポンプロータの軸方向中間
に、磁気軸受部、モータ部を挿入した２段ポンプ式のタ
ーボ分子ポンプとしたものである。この構造によれば排
気能力が向上し、且つ歳差運動、章動運動に対する磁気
軸受の制御が容易となった。[Means for Solving the Problems] The present invention has been made to solve the above problems, and includes a first stage pump rotor having a high vacuum side rotor and a second stage pump rotor having a low vacuum side rotor. The pump rotors are arranged at both axial ends (high vacuum side and low vacuum side) of the drive shaft, and a magnetic bearing portion and a motor portion are inserted between the first stage pump rotor and the second pump rotor in the axial direction. It is a stepped pump type turbo-molecular pump. According to this structure, the exhaust capacity is improved and the control of the magnetic bearing for the precession movement and nutation movement becomes easy.
第１図は本考案の実施例の断面図で、ケーシング１、ブ
ラケット２により、軸９に固定された第１段ロータ１０
０と第２段ロータ１０１を包み込む様に構成されてい
る。FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention, in which a first stage rotor 10 fixed to a shaft 9 by a casing 1 and a bracket 2 is shown.
0 and the second stage rotor 101 are configured to be wrapped.
又、第１段ロータ１００と第２段ロータ１０１と軸９と
で構成された回転体は軸方向に対称形となっている。Further, the rotating body composed of the first-stage rotor 100, the second-stage rotor 101, and the shaft 9 is symmetrical in the axial direction.
ポンプ内部は、高真空側から第１段ポンプ部３０、スラ
スト磁気軸受部４０、高真空側ラジアル磁気軸受部５
０、モータ部６０、低真空側ラジアル磁気軸受部７０、
スラスト磁気軸受部８０、第２段ポンプ部９０の順に構
成されている。Inside the pump, from the high vacuum side, the first-stage pump section 30 , the thrust magnetic bearing section 40 , the high vacuum side radial magnetic bearing section 5
0 , motor section 60 , low vacuum side radial magnetic bearing section 70 ,
The thrust magnetic bearing portion 80 and the second-stage pump portion 90 are configured in this order.
第１段ポンプ部３０及び第２段ポンプ部９０には多段回
転翼６がそれぞれ第１段ポンプロータ１００、第２段ポ
ンプロータ１０１に固定されており、ケーシング１には
固定された固定翼５がガイドベーンとして作用するよう
に取り付けられている。In the first-stage pump section 30 and the second-stage pump section 90 , multi-stage rotary blades 6 are fixed to the first-stage pump rotor 100 and the second-stage pump rotor 101, respectively, and the fixed blades 5 fixed to the casing 1 are fixed. Are installed to act as guide vanes.
気体は、吸気口１２、第１段ポンプ部３０、ダクト１
１、第２段ポンプ部９０、排気口１３の順に流れる。
又、ケーシング１に軸方向のリブ１０で固定された内部
ハウジング４には高真空側ラジアル磁気軸受固定子１
４、低真空側ラジアル磁気軸受固定子１４、スラスト磁
気軸受コイル１７、モータの固定子１９が固定されてい
る。The gas is the inlet 12, the first-stage pump unit 30 , the duct 1
1, the second-stage pump unit 90 , and the exhaust port 13 flow in this order.
Further, the high vacuum side radial magnetic bearing stator 1 is attached to the inner housing 4 fixed to the casing 1 by the axial ribs 10.
4, a low vacuum side radial magnetic bearing stator 14, a thrust magnetic bearing coil 17, and a motor stator 19 are fixed.
次に高真空側ラジアル磁気軸受部５０（低真空側ラジア
ル磁気軸受部７０も同様）について説明する。Next, the high vacuum side radial magnetic bearing section 50 (the same applies to the low vacuum side radial magnetic bearing section 70 ) will be described.
高真空側ラジアル磁気軸受用変位センサー１５によって
高真空側ラジアル磁気軸受固定子１４と高真空側ラジア
ル磁気軸受回転子１６のラジアル方向相対位置を検出
し、この信号を受けて図示しない磁気軸受制御装置が働
き、高真空側ラジアル磁気軸受電磁コイルに電流を供給
し、高真空側ラジアル磁気軸受固定子１４と高真空側ラ
ジアル磁気軸受回転子１６のラジアル方向相対位置が一
定となる様制御される。The high-vacuum side radial magnetic bearing displacement sensor 15 detects the radial relative positions of the high-vacuum side radial magnetic bearing stator 14 and the high-vacuum side radial magnetic bearing rotor 16, and receives this signal to receive a magnetic bearing control device (not shown). Is supplied to the high-vacuum-side radial magnetic bearing electromagnetic coil to control the radial relative positions of the high-vacuum-side radial magnetic bearing stator 14 and the high-vacuum-side radial magnetic bearing rotor 16 to be constant.
スラスト磁気軸受部４０，８０はスラスト磁気軸受用変
位センサー２１により軸９とブラケット２のスラスト方
向相対位置を検出し、この信号を受けて図示しない磁気
軸受制御装置が働き、スラスト磁気軸受電磁コイル１７
に電流が供給され軸９とブラケット２のスラスト方向相
対位置が一定となる様制御される。The thrust magnetic bearing parts 40 , 80 detect the relative position of the shaft 9 and the bracket 2 in the thrust direction by the thrust magnetic bearing displacement sensor 21, and a magnetic bearing control device (not shown) operates in response to this signal to activate the thrust magnetic bearing electromagnetic coil 17
The electric current is supplied to the shaft 9 and the bracket 2 is controlled so that the relative position in the thrust direction becomes constant.
上述のラジアル磁気軸受、スラスト磁気軸受により、第
１段ポンプロータ１００と第２段ポンプロータ１０１が
取り付けられた軸９が内部ハウジング４に非接触支持さ
れ、モータ部のモータ回転子２０に回転トルクを生じさ
せることにより、第１段ポンプロータ１００、第２段ポ
ンプロータ１０１が同時に回転し、ポンプ機能を発揮す
る。By the radial magnetic bearing and the thrust magnetic bearing described above, the shaft 9 to which the first-stage pump rotor 100 and the second-stage pump rotor 101 are attached is supported in the inner housing 4 in a non-contact manner, and the rotational torque is applied to the motor rotor 20 of the motor section. As a result, the first-stage pump rotor 100 and the second-stage pump rotor 101 rotate simultaneously, and the pump function is exhibited.
以上述べた様な２段ポンプ式のターボ分子ポンプとする
ことにより排気能力が向上し且つ第１段ポンプロータ、
第２段ポンプロータ、駆動軸で構成された回転体が軸方
向にほぼ対称形であるため不平衡が生じにくく、従って
回転体に歳差運動、章動運動に対する磁気軸受の制御が
容易となる。By using the turbo molecular pump of the two-stage pump type as described above, the exhaust capacity is improved and the first-stage pump rotor,
Since the rotating body composed of the second-stage pump rotor and the drive shaft is substantially symmetrical in the axial direction, imbalance is unlikely to occur, and therefore the magnetic bearing can be easily controlled for precession and nutation movement of the rotating body. .
第１図は本考案の実施例の断面図である。 １……ケーシング ２……ブラケット ４……内部ハウジング ５……固定翼 ６……回転翼 ９……軸 １０……リブ １１……ダクト １２……吸気口 １３……排気口 １４……高真空側ラジアル磁気軸受固定子 １４′……低真空側ラジアル磁気軸受固定子 １５……高真空側ラジアル磁気軸受用変位センサー １５′……低真空側ラジアル磁気軸受用変位センサー １６……高真空側ラジアル磁気軸受回転子 １６′……低真空側ラジアル磁気軸受回転子 １７……スラスト磁気軸受コイル １８……スラスト磁気軸受回転子 １９……モータの固定子 ２０……モータの回転子 ２１……スラスト磁気軸受用変位センサー １００……第１段ポンプロータ １０１……第２段ポンプロータ FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the present invention. 1 ... Casing 2 ... Bracket 4 ... Inner housing 5 ... Fixed blade 6 ... Rotating blade 9 ... Shaft 10 ... Rib 11 ... Duct 12 ... Intake port 13 ... Exhaust port 14 ... High vacuum Side radial magnetic bearing stator 14 ′ …… Low vacuum side radial magnetic bearing stator 15 …… High vacuum side radial magnetic bearing displacement sensor 15 ′ …… Low vacuum side radial magnetic bearing displacement sensor 16 …… High vacuum side radial Magnetic bearing rotor 16 ′ …… Low vacuum side radial magnetic bearing rotor 17 …… Thrust magnetic bearing coil 18 …… Thrust magnetic bearing rotor 19 …… Motor stator 20 …… Motor rotor 21 …… Thrust magnetic Displacement sensor for bearing 100 ... 1st stage pump rotor 101 ... 2nd stage pump rotor
Claims (1)
端（高真空側及び低真空側）に配置し、前記２個のポン
プロータの軸方向中間に少なくとも１個の磁気軸受及び
駆動モータを配置したことを特徴とする２段ポンプ式の
ターボ分子ポンプ1. Two pump rotors are arranged at both ends (high vacuum side and low vacuum side) of a drive shaft, respectively, and at least one magnetic bearing and a drive motor are provided in the axial center of the two pump rotors. Two-stage pump type turbo-molecular pump characterized by being arranged
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3178587U JPH0617035Y2 (en) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | Turbo molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3178587U JPH0617035Y2 (en) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | Turbo molecular pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63140196U JPS63140196U (en) | 1988-09-14 |
| JPH0617035Y2 true JPH0617035Y2 (en) | 1994-05-02 |
Family
ID=30837838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3178587U Expired - Lifetime JPH0617035Y2 (en) | 1987-03-06 | 1987-03-06 | Turbo molecular pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617035Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005042709A (en) * | 2003-07-10 | 2005-02-17 | Ebara Corp | Vacuum pump |
-
1987
- 1987-03-06 JP JP3178587U patent/JPH0617035Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63140196U (en) | 1988-09-14 |
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