JPH06168797A - イオン注入装置 - Google Patents
イオン注入装置Info
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- JPH06168797A JPH06168797A JP34352492A JP34352492A JPH06168797A JP H06168797 A JPH06168797 A JP H06168797A JP 34352492 A JP34352492 A JP 34352492A JP 34352492 A JP34352492 A JP 34352492A JP H06168797 A JPH06168797 A JP H06168797A
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ イオン加速管内に所要のイオンビームのみを
純度高く導入すること。 ［構成］ 質量分析孔８ａ’を形成した隔壁Ｗで真空チ
ャンバ−４００を２室に画成して設け、この２室のうち
前記加速管３側の室Ｒ内に静電型偏向器１４を配設し、
質量分析孔８ａ’を通過したイオンビームを静電型偏向
器１４により加速管３の軸心方向に向うように偏向し、
かつ２室のうち加速管３側の室Ｒ内を排気する排気ポン
プＰ’を設けた。
純度高く導入すること。 ［構成］ 質量分析孔８ａ’を形成した隔壁Ｗで真空チ
ャンバ−４００を２室に画成して設け、この２室のうち
前記加速管３側の室Ｒ内に静電型偏向器１４を配設し、
質量分析孔８ａ’を通過したイオンビームを静電型偏向
器１４により加速管３の軸心方向に向うように偏向し、
かつ２室のうち加速管３側の室Ｒ内を排気する排気ポン
プＰ’を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイオン注入装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】図２は従来例のイオン注
入装置の要部を示すものであるが、高電圧ターミナル１
８は図示せずとも、この下方又は側方に配設された、高
電圧発生装置により、高電圧、例えば４００ＫＶが印加
されており、又図示せずともイオン発生源などを内蔵し
ており、これから導出されるイオンを質量分析マグネッ
ト１に配管を介して導くように構成されている。又イオ
ン発生源や、質量分析マグネット１などに電力を供給す
るための電力供給装置も高電圧ターミナル１８の下方又
は側方に配設されている。
入装置の要部を示すものであるが、高電圧ターミナル１
８は図示せずとも、この下方又は側方に配設された、高
電圧発生装置により、高電圧、例えば４００ＫＶが印加
されており、又図示せずともイオン発生源などを内蔵し
ており、これから導出されるイオンを質量分析マグネッ
ト１に配管を介して導くように構成されている。又イオ
ン発生源や、質量分析マグネット１などに電力を供給す
るための電力供給装置も高電圧ターミナル１８の下方又
は側方に配設されている。
【０００３】質量分析マグネット１の磁場発生空間Ａ内
には、真空配管（ウェーブガイド）２が設けられてお
り、この端部には真空チャンバー４が接続されている。
又これに近接して、長方形状の開口を有する質量分析ケ
ース８が配設されており、ここを通るイオンビームは高
電圧ターミナル１８に近接して配設される公知の構造の
加速管３内に導かれ、更に接地電位側の真空チャンバー
４’内に導入されるように構成されている。
には、真空配管（ウェーブガイド）２が設けられてお
り、この端部には真空チャンバー４が接続されている。
又これに近接して、長方形状の開口を有する質量分析ケ
ース８が配設されており、ここを通るイオンビームは高
電圧ターミナル１８に近接して配設される公知の構造の
加速管３内に導かれ、更に接地電位側の真空チャンバー
４’内に導入されるように構成されている。
【０００４】上述の真空配管２の質量分析マグネット１
から突出している部分には、高電圧部偏向電極５が配設
されており、これは上下に配設された一対の電極５ａ、
５ｂからなるが、５ａは真空チャンバー４と同電位とさ
れているが、他方の電極５ｂは真空チャンバー４に取り
つけられた電流導入端子６から導出している電線に接続
されている。又この高電圧部偏向電極５に対向して光軸
Ｌ1 上に直進用ファラデイカップ７が設けられており、
これで受けられる電流を測定するための電流計１１が高
電圧ターミナル１８内に設けられている。また真空チャ
ンバ４内を排気するターボ分子ポンプＰが設けられてい
る。
から突出している部分には、高電圧部偏向電極５が配設
されており、これは上下に配設された一対の電極５ａ、
５ｂからなるが、５ａは真空チャンバー４と同電位とさ
れているが、他方の電極５ｂは真空チャンバー４に取り
つけられた電流導入端子６から導出している電線に接続
されている。又この高電圧部偏向電極５に対向して光軸
Ｌ1 上に直進用ファラデイカップ７が設けられており、
これで受けられる電流を測定するための電流計１１が高
電圧ターミナル１８内に設けられている。また真空チャ
ンバ４内を排気するターボ分子ポンプＰが設けられてい
る。
【０００５】又接地電位側の真空チャンバー４０内に
は、接地電位側偏向電極１３が設けられており、この下
流側に接地電位側のファラデイカップ１２が図示するよ
うな位置に配設されている。
は、接地電位側偏向電極１３が設けられており、この下
流側に接地電位側のファラデイカップ１２が図示するよ
うな位置に配設されている。
【０００６】従来例のイオン注入装置は以上のように構
成されるのであるが、次にこの作用について説明する。
成されるのであるが、次にこの作用について説明する。
【０００７】図示しないイオン発生源から導出されたイ
オンは、質量分析マグネット１内に導かれ、この真空配
管２内で９０度偏向し、所定のイオンのみ、かつ同一エ
ネルギーのイオンが、この質量により軌道曲率半径が他
とは異なることにより、質量分離され、この９０度偏向
されたイオンビームが、まず直進用ファラデイカップ７
に導入される。これには電流計１１が接続されているの
で、このイオンビームの強度が測定される。次いで、こ
のイオンビームの強度に応じて電流導入端子６に適切な
電圧を印加することにより、光軸Ｌ1 に沿って走行して
いたイオンビームは、質量分析ケーシング８の長方形状
のもしくは短冊状の開口８ａに向かって偏向し、この開
口を通り、加速管３内に導かれる。ここで４００ＫＶ×
イオン価数の加速エネルギーを得て、真空チャンバー４
０内に導かれ、接地電位側ファラデイカップ１２に導入
され、この電流が最大になるように偏向電極５に加えら
れる電圧が調整されるのであるが、このような条件下で
質量分析マグネット１を通過してから、偏向電極５を通
過するまでに、ガス分子１７との衝突により、電荷変化
を起こしていた粒子（コンタミネイション）が大部分取
り除かれる。
オンは、質量分析マグネット１内に導かれ、この真空配
管２内で９０度偏向し、所定のイオンのみ、かつ同一エ
ネルギーのイオンが、この質量により軌道曲率半径が他
とは異なることにより、質量分離され、この９０度偏向
されたイオンビームが、まず直進用ファラデイカップ７
に導入される。これには電流計１１が接続されているの
で、このイオンビームの強度が測定される。次いで、こ
のイオンビームの強度に応じて電流導入端子６に適切な
電圧を印加することにより、光軸Ｌ1 に沿って走行して
いたイオンビームは、質量分析ケーシング８の長方形状
のもしくは短冊状の開口８ａに向かって偏向し、この開
口を通り、加速管３内に導かれる。ここで４００ＫＶ×
イオン価数の加速エネルギーを得て、真空チャンバー４
０内に導かれ、接地電位側ファラデイカップ１２に導入
され、この電流が最大になるように偏向電極５に加えら
れる電圧が調整されるのであるが、このような条件下で
質量分析マグネット１を通過してから、偏向電極５を通
過するまでに、ガス分子１７との衝突により、電荷変化
を起こしていた粒子（コンタミネイション）が大部分取
り除かれる。
【０００８】以上のようにして、コンタミネイション粒
子の除去は高電圧部の偏向電極５により水平線より上方
または下方にビーム軌道を偏向することにより行われ
る。このためにイオンビームの光軸が水平面から一定の
角度で傾き、光軸Ｌ2 に沿って走行することになる。
子の除去は高電圧部の偏向電極５により水平線より上方
または下方にビーム軌道を偏向することにより行われ
る。このためにイオンビームの光軸が水平面から一定の
角度で傾き、光軸Ｌ2 に沿って走行することになる。
【０００９】加速管３を通過し、エンドステイションに
至る間にイオンビームの位置が高くまたは低くなり過ぎ
るために、イオン加速後に再度ビームを偏向して、水平
方向に戻しておく必要がある。このためにイオンチャン
バー４０内に接地偏位側の偏向電極１３が設けられてい
る。
至る間にイオンビームの位置が高くまたは低くなり過ぎ
るために、イオン加速後に再度ビームを偏向して、水平
方向に戻しておく必要がある。このためにイオンチャン
バー４０内に接地偏位側の偏向電極１３が設けられてい
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする問題点】従来のイオン注入装
置は質量分析を行なった後に発生するコンタミネイショ
ン粒子の除去を行なうために高電圧部偏向電極５に電圧
を印加し光軸Ｌ2 上にビーム軌道を偏向する。しかし質
量分析孔８ａはチャンバ４の後端側で固定されているの
で、高電圧部偏向電極５を出た後、加速管３に粒子群が
入射するまで間に再度ガス分子１７と衝突し荷電変換し
た粒子は除去されず、これが新たなコンタミネイション
粒子となってしまう。
置は質量分析を行なった後に発生するコンタミネイショ
ン粒子の除去を行なうために高電圧部偏向電極５に電圧
を印加し光軸Ｌ2 上にビーム軌道を偏向する。しかし質
量分析孔８ａはチャンバ４の後端側で固定されているの
で、高電圧部偏向電極５を出た後、加速管３に粒子群が
入射するまで間に再度ガス分子１７と衝突し荷電変換し
た粒子は除去されず、これが新たなコンタミネイション
粒子となってしまう。
【００１１】また、上記のガス分子１７の一部は質量分
析孔８ａを通過できない粒子で壁面等に衝突したときに
放出されたもので質量分析孔８ａがコンタミネイション
粒子を分離した機器（偏向電極５）の後方に有るので発
生したものである。
析孔８ａを通過できない粒子で壁面等に衝突したときに
放出されたもので質量分析孔８ａがコンタミネイション
粒子を分離した機器（偏向電極５）の後方に有るので発
生したものである。
【００１２】また従来は、ガス分子１７の数つまり圧力
を低くするためにターボ分子ポンプＰで排気をしている
が、真空配管２と真空チャンバ４との間のコンダクタン
スが大きいため新たなガス分子１７が真空チャンバ４内
に流入するので充分な効果が得られなかった。
を低くするためにターボ分子ポンプＰで排気をしている
が、真空配管２と真空チャンバ４との間のコンダクタン
スが大きいため新たなガス分子１７が真空チャンバ４内
に流入するので充分な効果が得られなかった。
【００１３】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、不純
物を確実に除去することのできるイオン注入装置を提供
することを目的とする。
物を確実に除去することのできるイオン注入装置を提供
することを目的とする。
【００１４】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、質量分
析マグネットと、該質量分析マグネットから導出される
イオンビームと、該イオンビームを加速するための加速
管と、前記質量分析マグネット側から走行してくるイオ
ンビームを前記加速管の軸心方向に向うように偏向する
ための静電型偏向器と、該静電型偏向器を収容する真空
チャンバと、該チャンバ内に配設され、前記加速管に前
記イオンビームのうち所要のイオンビームのみを通過さ
せるための質量分析孔形成部材とを備えたイオン注入装
置において、前記質量分析孔形成部材を前記真空チャン
バを２室に画成する隔壁として設け、この２室のうち前
記加速管側の室内に前記静電型偏向器を配設し、前記質
量分析孔形成部材の質量分析孔を通過したイオンビーム
を前記静電型偏向器により前記加速管の軸心方向に向う
ように偏向し、かつ前記２室のうち前記加速管側の室内
を排気する排気ポンプを設けたことを特徴とするイオン
注入装置、によって達成される。
析マグネットと、該質量分析マグネットから導出される
イオンビームと、該イオンビームを加速するための加速
管と、前記質量分析マグネット側から走行してくるイオ
ンビームを前記加速管の軸心方向に向うように偏向する
ための静電型偏向器と、該静電型偏向器を収容する真空
チャンバと、該チャンバ内に配設され、前記加速管に前
記イオンビームのうち所要のイオンビームのみを通過さ
せるための質量分析孔形成部材とを備えたイオン注入装
置において、前記質量分析孔形成部材を前記真空チャン
バを２室に画成する隔壁として設け、この２室のうち前
記加速管側の室内に前記静電型偏向器を配設し、前記質
量分析孔形成部材の質量分析孔を通過したイオンビーム
を前記静電型偏向器により前記加速管の軸心方向に向う
ように偏向し、かつ前記２室のうち前記加速管側の室内
を排気する排気ポンプを設けたことを特徴とするイオン
注入装置、によって達成される。
【００１５】
【作用】質量分析孔形成部材の質量分析孔を通過したイ
オンビームが静電型偏向器によりイオン加速器の軸心に
向うように偏向されるのであるが、この静電型偏向器を
配設している室は排気ポンプにより排気されているの
で、この静電型偏向器により偏向されることにより、イ
オン加速器内に導かれるイオンビームには中性粒子や不
要なイオンは除去されているのであるが、更に排気ポン
プにより静電型偏向器の電極間及びこの近傍の空間内の
中性粒子や不要なイオンが排気され、イオン加速管内に
はこれらが導入されることなく、従来より大巾に純度の
高い所望のイオンビームが導かれることになる。
オンビームが静電型偏向器によりイオン加速器の軸心に
向うように偏向されるのであるが、この静電型偏向器を
配設している室は排気ポンプにより排気されているの
で、この静電型偏向器により偏向されることにより、イ
オン加速器内に導かれるイオンビームには中性粒子や不
要なイオンは除去されているのであるが、更に排気ポン
プにより静電型偏向器の電極間及びこの近傍の空間内の
中性粒子や不要なイオンが排気され、イオン加速管内に
はこれらが導入されることなく、従来より大巾に純度の
高い所望のイオンビームが導かれることになる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例によるイオン注入装置
について図面を参照して説明する。なお従来例に対応す
る部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は
省略する。
について図面を参照して説明する。なお従来例に対応す
る部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は
省略する。
【００１７】図１において、真空チャンバー４００の左
端壁には、真空配管２の下流側端部が接続されており、
図１には図示せずともこれには質量分析マグネット１が
接続されている。この端部内には、碍子２０を介して第
１の偏向電極５’が真空配管２に対し、固定されてい
る。又真空チャンバー４００のほぼ中間部には第２の偏
向電極１４が配設されており、これは碍子２０を介して
真空チャンバー４００に支持されている電極取付装置３
０に対し固定されており、これに上流側に向かって対向
して質量分析用開口８ａ’を形成させた質量分析用平板
８’が部材ｍを介して真空チャンバー４００に固定され
ている、すなわち平板８’と部材ｍによって隔壁Ｗが形
成され、チャンバー４００内をＲ室とＬ室とに画成して
いる。又、この質量分析用平板８’に形成した一方の小
孔８ｂ’に対向して電極取付装置３０にはファラデイカ
ップ７’が固定されており、これに導入されるイオンビ
ームの電流は導線２４を介し、電流計１１により測定さ
れるように構成されている。なお上述の開口８ａ’は所
要のイオンビームのみを通過させるために充分に小さい
開口面積を有するものである。
端壁には、真空配管２の下流側端部が接続されており、
図１には図示せずともこれには質量分析マグネット１が
接続されている。この端部内には、碍子２０を介して第
１の偏向電極５’が真空配管２に対し、固定されてい
る。又真空チャンバー４００のほぼ中間部には第２の偏
向電極１４が配設されており、これは碍子２０を介して
真空チャンバー４００に支持されている電極取付装置３
０に対し固定されており、これに上流側に向かって対向
して質量分析用開口８ａ’を形成させた質量分析用平板
８’が部材ｍを介して真空チャンバー４００に固定され
ている、すなわち平板８’と部材ｍによって隔壁Ｗが形
成され、チャンバー４００内をＲ室とＬ室とに画成して
いる。又、この質量分析用平板８’に形成した一方の小
孔８ｂ’に対向して電極取付装置３０にはファラデイカ
ップ７’が固定されており、これに導入されるイオンビ
ームの電流は導線２４を介し、電流計１１により測定さ
れるように構成されている。なお上述の開口８ａ’は所
要のイオンビームのみを通過させるために充分に小さい
開口面積を有するものである。
【００１８】真空チャンバー４００の上壁部には、電圧
印加端子６、１６が取り付けられており、これらは直流
電源Ｙに接続され、またこれらはそれぞれ導線２２、２
２’を介して第１の偏向電極５’及び第２の偏向電極１
４に接続されている。
印加端子６、１６が取り付けられており、これらは直流
電源Ｙに接続され、またこれらはそれぞれ導線２２、２
２’を介して第１の偏向電極５’及び第２の偏向電極１
４に接続されている。
【００１９】又第２の偏向電極１４の下流側には対向し
て集束レンズ１９が設けられており、これは真空チャン
バー４００の右端壁にベロー配管２５内に若干突出して
おり、又ベロー配管２５には加速管３が取りつけられて
いる。集束レンズ１９に加速管３を介在させて対向する
ようにファラデイカップ１２’が設けられており、これ
は電流計２６に接続される。また真空チャンバー４００
を排気するためのターボ分子ポンプＰ’がチャンバー４
００に取り付けられている。
て集束レンズ１９が設けられており、これは真空チャン
バー４００の右端壁にベロー配管２５内に若干突出して
おり、又ベロー配管２５には加速管３が取りつけられて
いる。集束レンズ１９に加速管３を介在させて対向する
ようにファラデイカップ１２’が設けられており、これ
は電流計２６に接続される。また真空チャンバー４００
を排気するためのターボ分子ポンプＰ’がチャンバー４
００に取り付けられている。
【００２０】本発明の実施例は、以上のように構成され
るが、次にこの作用について説明する。真空配管２に質
量分析マグネットから、所定のイオンだけが導入され、
今第１の偏向電極５’には電圧が印加されていないの
で、光軸Ｌ3 に沿って直進し、質量分析板８’に形成し
た小孔８ａ’を通り、ファラデイカップ７’に導入され
る。この電流が電流計１１により測定され、今光軸Ｌ3
に沿って走行するイオンビームの強度が測定される。次
いで、このイオンビームのエネルギーに応じて偏向電極
５’に印加される電圧を変えると、光軸Ｌ4 に沿うよう
にイオンビームが水平方向から上方に偏向され、質量分
析板８’の他方の小孔８ｂ’を通り、第２の偏向電極１
４側に導入される。他方、これに電流導入端子１６を介
して印加される電圧を変えることにより、光軸Ｌ5 に沿
うように偏向されるのであるが、これは、光軸Ｌ5 に対
向して設けられたファラデイカップ１２’に導入される
イオンビーム電流を電流計２６をみて観測しながら、第
２の偏向電極１４に加えられる電圧を変えてファラデイ
カップ１２’に導入される電流が最大となるように調整
される。
るが、次にこの作用について説明する。真空配管２に質
量分析マグネットから、所定のイオンだけが導入され、
今第１の偏向電極５’には電圧が印加されていないの
で、光軸Ｌ3 に沿って直進し、質量分析板８’に形成し
た小孔８ａ’を通り、ファラデイカップ７’に導入され
る。この電流が電流計１１により測定され、今光軸Ｌ3
に沿って走行するイオンビームの強度が測定される。次
いで、このイオンビームのエネルギーに応じて偏向電極
５’に印加される電圧を変えると、光軸Ｌ4 に沿うよう
にイオンビームが水平方向から上方に偏向され、質量分
析板８’の他方の小孔８ｂ’を通り、第２の偏向電極１
４側に導入される。他方、これに電流導入端子１６を介
して印加される電圧を変えることにより、光軸Ｌ5 に沿
うように偏向されるのであるが、これは、光軸Ｌ5 に対
向して設けられたファラデイカップ１２’に導入される
イオンビーム電流を電流計２６をみて観測しながら、第
２の偏向電極１４に加えられる電圧を変えてファラデイ
カップ１２’に導入される電流が最大となるように調整
される。
【００２１】又、真空チャンバー４００の室Ｌ内にはガ
ス分子１７が、その真空度に応じた密度で存在している
のであるが、これらとイオンとの衝突により、イオンの
電価数が変化する、すなわちコンタミネイションとなる
が、これらは質量分析板８’の開口８ｂ’を殆ど通るこ
とがないので第２の偏向電極１４により、再び水平方向
に、すなわち光軸１５０に沿うように偏向されたイオン
ビーム内には殆ど存在することがない。すなわちコンタ
ミネイションは分離されて加速管３内に導かれる。しか
もターボ分子ポンプＰ’により室Ｒ内は、開口８ｂ’を
差動排気用オリフィスとして利用し気体分子を排気して
いるので、電極１４ａ、１４ｂ間の圧力は従来の数１０
０分の１〜数１０分の１にすることができ、このような
差動排気状態を行なった雰囲気中で偏向を行なうことで
加速管３に入射するまでの間に再度ガス分子１７と衝突
して荷電変換する粒子の発生確率を数１００分の１〜数
１０分の１にすることができる。
ス分子１７が、その真空度に応じた密度で存在している
のであるが、これらとイオンとの衝突により、イオンの
電価数が変化する、すなわちコンタミネイションとなる
が、これらは質量分析板８’の開口８ｂ’を殆ど通るこ
とがないので第２の偏向電極１４により、再び水平方向
に、すなわち光軸１５０に沿うように偏向されたイオン
ビーム内には殆ど存在することがない。すなわちコンタ
ミネイションは分離されて加速管３内に導かれる。しか
もターボ分子ポンプＰ’により室Ｒ内は、開口８ｂ’を
差動排気用オリフィスとして利用し気体分子を排気して
いるので、電極１４ａ、１４ｂ間の圧力は従来の数１０
０分の１〜数１０分の１にすることができ、このような
差動排気状態を行なった雰囲気中で偏向を行なうことで
加速管３に入射するまでの間に再度ガス分子１７と衝突
して荷電変換する粒子の発生確率を数１００分の１〜数
１０分の１にすることができる。
【００２２】本実施例のイオン注入装置は更に次のよう
な効果も奏するものである。すなわち、第１の偏向電極
５’により、偏向されたイオンビームは真空チャンバー
４００内に設けられた第２の偏向電極１４により、再び
水平方向に偏向されてイオン加速管３内に導入されるた
めに、従来では加速管３から加速されたイオンを水平方
向に偏向するがために図２に示すように接地電位側に偏
向電極１３を設けているが、イオンのエネルギーが大で
あるがために水平方向にするために大きな偏向電圧を必
要とするのみならず、偏向電極の長さを大としなければ
ならないが、本実施例では第２の偏向電極１４は加速管
３より上流側に設けられており、これにより加速される
前に水平方向に戻しているために、装置全体の長さを従
来より大巾に小とすることができ、かつまた加速管３の
下流側に設けられた偏向電極１３が不要であり、これに
印加する電源も不要であるので、装置コストを大巾に小
とすることができる。
な効果も奏するものである。すなわち、第１の偏向電極
５’により、偏向されたイオンビームは真空チャンバー
４００内に設けられた第２の偏向電極１４により、再び
水平方向に偏向されてイオン加速管３内に導入されるた
めに、従来では加速管３から加速されたイオンを水平方
向に偏向するがために図２に示すように接地電位側に偏
向電極１３を設けているが、イオンのエネルギーが大で
あるがために水平方向にするために大きな偏向電圧を必
要とするのみならず、偏向電極の長さを大としなければ
ならないが、本実施例では第２の偏向電極１４は加速管
３より上流側に設けられており、これにより加速される
前に水平方向に戻しているために、装置全体の長さを従
来より大巾に小とすることができ、かつまた加速管３の
下流側に設けられた偏向電極１３が不要であり、これに
印加する電源も不要であるので、装置コストを大巾に小
とすることができる。
【００２３】本発明の実施例は、以上のようであるが、
勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技
術的思想に基いて種々の変形が可能である。
勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技
術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００２４】例えば、以上の実施例では、電流導入端子
６、１６には同一の電源が印加され、かつまた第１、第
２の偏向電極５’、１４は同一の形状を呈するものであ
るが、これらは別個に設け別形状であってもよい。すな
わち第１、第２の偏向電極５’、１４の形状を異にし、
かつこれらに電圧を印加する電流導入端子６、１６に接
続される電源を別個に設けて、それぞれ独立して調節す
るようにしてもよい。又以上の実施例では接地電位側に
設けられたファラデイカップ１２’を用いてイオンビー
ムの調整の指標にしているが、この代わりに光軸１５上
で高電圧ターミナル１８内に高電圧部ファラデイカップ
を設けて、調整用としてもよい。
６、１６には同一の電源が印加され、かつまた第１、第
２の偏向電極５’、１４は同一の形状を呈するものであ
るが、これらは別個に設け別形状であってもよい。すな
わち第１、第２の偏向電極５’、１４の形状を異にし、
かつこれらに電圧を印加する電流導入端子６、１６に接
続される電源を別個に設けて、それぞれ独立して調節す
るようにしてもよい。又以上の実施例では接地電位側に
設けられたファラデイカップ１２’を用いてイオンビー
ムの調整の指標にしているが、この代わりに光軸１５上
で高電圧ターミナル１８内に高電圧部ファラデイカップ
を設けて、調整用としてもよい。
【００２５】また以上の実施例では、質量分析孔形成部
材としての隔壁８’により真空チャンバー４００内を２
室に画成し、この質量分析マグネット側の室Ｌ内には、
第１の偏向電極５’が設けられ質量分析マグネット側か
ら導入されるイオンを質量分析孔８ａ’に向って偏向
し、これを通ったイオンビームは加速管３側の室Ｒ内に
配設される偏向電極１４により加速管３の軸心に沿うよ
うに偏向しているが、上流側の静電型偏向器５’を省略
し、質量分析マグネット側から直接、質量分析孔８ｂに
直進させ、この後１個の静電型偏向器によりイオン加速
器の軸心方向に偏向させるようにした装置にも本発明は
適用可能である。
材としての隔壁８’により真空チャンバー４００内を２
室に画成し、この質量分析マグネット側の室Ｌ内には、
第１の偏向電極５’が設けられ質量分析マグネット側か
ら導入されるイオンを質量分析孔８ａ’に向って偏向
し、これを通ったイオンビームは加速管３側の室Ｒ内に
配設される偏向電極１４により加速管３の軸心に沿うよ
うに偏向しているが、上流側の静電型偏向器５’を省略
し、質量分析マグネット側から直接、質量分析孔８ｂに
直進させ、この後１個の静電型偏向器によりイオン加速
器の軸心方向に偏向させるようにした装置にも本発明は
適用可能である。
【００２６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のイオン注入
装置によれば、不純物を確実に除去してイオン加速管に
導入することができる。
装置によれば、不純物を確実に除去してイオン加速管に
導入することができる。
【図１】本発明のイオン注入装置の断面図である。
【図２】従来例のイオン注入装置の断面図である。
８ａ’ 質量分析用開口 １４ 第２偏向電極 Ｗ 隔壁 Ｐ’ ターボ分子ポンプ
Claims (1)
- 【請求項１】 質量分析マグネットと、該質量分析マグ
ネットから導出されるイオンビームと、該イオンビーム
を加速するための加速管と、前記質量分析マグネット側
から走行してくるイオンビームを前記加速管の軸心方向
に向うように偏向するための静電型偏向器と、該静電型
偏向器を収容する真空チャンバと、該チャンバ内に配設
され、前記加速管に前記イオンビームのうち所要のイオ
ンビームのみを通過させるための質量分析孔形成部材と
を備えたイオン注入装置において、前記質量分析孔形成
部材を前記真空チャンバを２室に画成する隔壁として設
け、この２室のうち前記加速管側の室内に前記静電型偏
向器を配設し、前記質量分析孔形成部材の質量分析孔を
通過したイオンビームを前記静電型偏向器により前記加
速管の軸心方向に向うように偏向し、かつ前記２室のう
ち前記加速管側の室内を排気する排気ポンプを設けたこ
とを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34352492A JP3338099B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34352492A JP3338099B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | イオン注入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06168797A true JPH06168797A (ja) | 1994-06-14 |
| JP3338099B2 JP3338099B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=18362188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34352492A Expired - Lifetime JP3338099B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3338099B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017103247A (ja) * | 2017-03-06 | 2017-06-08 | 株式会社東芝 | レーザイオン源、イオン加速器及び重粒子線治療装置 |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP34352492A patent/JP3338099B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017103247A (ja) * | 2017-03-06 | 2017-06-08 | 株式会社東芝 | レーザイオン源、イオン加速器及び重粒子線治療装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3338099B2 (ja) | 2002-10-28 |
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