JPH0616810B2 - 流体用フィルタ - Google Patents
流体用フィルタInfo
- Publication number
- JPH0616810B2 JPH0616810B2 JP63234389A JP23438988A JPH0616810B2 JP H0616810 B2 JPH0616810 B2 JP H0616810B2 JP 63234389 A JP63234389 A JP 63234389A JP 23438988 A JP23438988 A JP 23438988A JP H0616810 B2 JPH0616810 B2 JP H0616810B2
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- Japan
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- filter element
- filter
- gas
- ceramic
- metal
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Links
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Landscapes
- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はガス等の流体を濾過するフィルタ、特に上記
流体を加熱するフィルタの構造に関するものである。
流体を加熱するフィルタの構造に関するものである。
［従来の技術］ 最近半導体製造装置やバイオテクノロジー等の分野で使
用されるガス用フィルタには非常に高い濾過精度が要求
されるため、フィルタエレメントは非常に細かい孔を有
している。また腐食ガス等を使用するためフィルタエレ
メントにセラミック等が使われている。
用されるガス用フィルタには非常に高い濾過精度が要求
されるため、フィルタエレメントは非常に細かい孔を有
している。また腐食ガス等を使用するためフィルタエレ
メントにセラミック等が使われている。
［発明が解決しようとする課題］ 従来のフィルタは以上のように構成されているので、フ
ィルタエレメントに対するガス分子の吸着面積が広く
な、吸着ガス量が多くなる。フィルタの２次側が真空域
となる場合は、フィルタエレメントに吸着したガス分子
が徐々にフィルタエレメントより離れることにより、希
望した真空域に達するのに多大な時間を要し、また、同
一のガス系で時間により異なった種類のガスを流す場合
には、フィルタエレメントに吸着した切換え前のガスが
次のガスに混入する。
ィルタエレメントに対するガス分子の吸着面積が広く
な、吸着ガス量が多くなる。フィルタの２次側が真空域
となる場合は、フィルタエレメントに吸着したガス分子
が徐々にフィルタエレメントより離れることにより、希
望した真空域に達するのに多大な時間を要し、また、同
一のガス系で時間により異なった種類のガスを流す場合
には、フィルタエレメントに吸着した切換え前のガスが
次のガスに混入する。
一方、沸点の高いガスは室温の変化や配管内の断熱膨張
により、フィルタ内で凝固し、滞留してしまうなどの問
題点があった。
により、フィルタ内で凝固し、滞留してしまうなどの問
題点があった。
そこでフィルタ自体や１次側配管を外部から加熱する方
法がある。しかし、本来はガス経路の機器のなかで、単
位面積あるいは単位面積あたりのガス吸着量としてはフ
ィルタエレメントが最も多いと考えられ、フィルタエレ
メントに多くの熱を与える必要があるが、フィルタとフ
ィルタエレメントとの間に空間が存在するため、効率的
に加熱できず、また、フィルタエレメントを加熱するに
は多大な熱をフィルタ自体に加える必要があるが、ガス
及びガスケット等の高分子材料が変質するなどの問題点
があった。
法がある。しかし、本来はガス経路の機器のなかで、単
位面積あるいは単位面積あたりのガス吸着量としてはフ
ィルタエレメントが最も多いと考えられ、フィルタエレ
メントに多くの熱を与える必要があるが、フィルタとフ
ィルタエレメントとの間に空間が存在するため、効率的
に加熱できず、また、フィルタエレメントを加熱するに
は多大な熱をフィルタ自体に加える必要があるが、ガス
及びガスケット等の高分子材料が変質するなどの問題点
があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、フィルタエレメントが発熱し、効率的に気体
を加熱できる流体用フィルタを得ることを目的とする。
たもので、フィルタエレメントが発熱し、効率的に気体
を加熱できる流体用フィルタを得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］ この発明に係る流体用フィルタは、フィルタエレメント
を、周面に微細孔を有するセラミック，金属等から成る
内周側筒体と、電極を備えて上記内周側筒体の外周を被
うように設けられ、周面に上記微細孔より粗い孔を有す
るセラミック，金属等から成る外周側筒体加熱手段とよ
り構成したものである。
を、周面に微細孔を有するセラミック，金属等から成る
内周側筒体と、電極を備えて上記内周側筒体の外周を被
うように設けられ、周面に上記微細孔より粗い孔を有す
るセラミック，金属等から成る外周側筒体加熱手段とよ
り構成したものである。
［作用］ この発明における流体用フィルタは、予め外周側筒体加
熱手段を加熱しておいて、フィルタエレメント内にガス
を流す。
熱手段を加熱しておいて、フィルタエレメント内にガス
を流す。
［実施例］ 以下、この発明の一実施例である流体用フィルタを第１
図を用いて説明する。図において、１はフィルタであ
り、ステンレス等の金属の筒体からなる。当該フィルタ
１は、端面より軸心方向に突出し、ガスタンクからのパ
イプが接続される１次側ニップル１ａと、半導体製造装
置へ接続される２次側ニップル１ｂとを備え、内部に筒
体状の抵抗発熱材であるSiC系セラミックスからなり微
細孔を有するフィルタエレメント５と、このフィルタエ
レメント５を固定する固定部１ｃと、上記フィルタ１と
フィルタエレメント５との接合部、すなわちフィルタエ
レメント５の端面５ａにフィルタ１の１次側１ｄと２次
側１ｅとをシールするガスケット３とを有する。上記フ
ィルタエレメント５は、両端部に電極６が設けられてい
る。上記電極６は電極シール７を介して、フィルタ１の
外部に取り出され図示しない電源に接続されている。
図を用いて説明する。図において、１はフィルタであ
り、ステンレス等の金属の筒体からなる。当該フィルタ
１は、端面より軸心方向に突出し、ガスタンクからのパ
イプが接続される１次側ニップル１ａと、半導体製造装
置へ接続される２次側ニップル１ｂとを備え、内部に筒
体状の抵抗発熱材であるSiC系セラミックスからなり微
細孔を有するフィルタエレメント５と、このフィルタエ
レメント５を固定する固定部１ｃと、上記フィルタ１と
フィルタエレメント５との接合部、すなわちフィルタエ
レメント５の端面５ａにフィルタ１の１次側１ｄと２次
側１ｅとをシールするガスケット３とを有する。上記フ
ィルタエレメント５は、両端部に電極６が設けられてい
る。上記電極６は電極シール７を介して、フィルタ１の
外部に取り出され図示しない電源に接続されている。
上記構成において、電源から電気を供給し電極６に通電
すると、フィルタエレメント５自体が発熱する。すなわ
ちフィルタエレメント５を通過するガスが加熱される。
また、上記フィルタエレメント５に吸着したガスも加熱
され、上記フィルタエレメント５から離れる。
すると、フィルタエレメント５自体が発熱する。すなわ
ちフィルタエレメント５を通過するガスが加熱される。
また、上記フィルタエレメント５に吸着したガスも加熱
され、上記フィルタエレメント５から離れる。
なお、本実施例においては、フィルタエレメント５は抵
抗発熱材であるSiC系セラミックスからなるとしたが、
他のセラミックや金属及びセラミックと金属などからな
り、通電することで発熱し、微細孔を有する他の材料で
構成してもよい。また、フィルタエレメント５は、周面
に微細孔を有するセラミック，金属等から成る内周側筒
体としてのフィルタエレメント５ｂと、電極６を備えて
上記フィルタエレメント５ｂの外周を被うように設けら
れ、周面に上記微細孔より粗い孔を有するセラミック，
金属等から成る外周側筒体加熱手段としてのフィルタエ
レメント５ａとの二層構造より成る。すなわち、フィル
タ１の１次側１ｄに粗い孔のフィルタエレメント５ａ
を、２次側１ｅに微細孔のフィルタエレメント５ｂとし
て２層に分割し、１次側のフィルタエレメント５ａに電
極６を設けて、あらかじめガスを加熱し、微細孔のフィ
ルタエレメント５ｂにガスが吸着しにくいようにしてい
る。
抗発熱材であるSiC系セラミックスからなるとしたが、
他のセラミックや金属及びセラミックと金属などからな
り、通電することで発熱し、微細孔を有する他の材料で
構成してもよい。また、フィルタエレメント５は、周面
に微細孔を有するセラミック，金属等から成る内周側筒
体としてのフィルタエレメント５ｂと、電極６を備えて
上記フィルタエレメント５ｂの外周を被うように設けら
れ、周面に上記微細孔より粗い孔を有するセラミック，
金属等から成る外周側筒体加熱手段としてのフィルタエ
レメント５ａとの二層構造より成る。すなわち、フィル
タ１の１次側１ｄに粗い孔のフィルタエレメント５ａ
を、２次側１ｅに微細孔のフィルタエレメント５ｂとし
て２層に分割し、１次側のフィルタエレメント５ａに電
極６を設けて、あらかじめガスを加熱し、微細孔のフィ
ルタエレメント５ｂにガスが吸着しにくいようにしてい
る。
また、本発明においては、ガスがフィルタエレメント５
に吸着するのを防止するとしたが、バイオテクノロジに
おいて、ガスに含まれる細菌を滅菌することができる。
に吸着するのを防止するとしたが、バイオテクノロジに
おいて、ガスに含まれる細菌を滅菌することができる。
［発明の効果］ 以上のように、この発明の流体用フィルタは、フィルタ
エレメントを、周面に微細孔を有するセラミック，金属
等から成る内周側筒体と、電極を備えて上記内周側筒体
の外周を被うように設けられ、周面に上記微細孔より粗
い孔を有するセラミック，金属等から成る外周側筒体加
熱手段とより構成したので、ガス吸着防止効果が得られ
るとともに、気体への加熱の効率がよく、また、加熱効
率がよいので多くの熱を加えなくえ済み、ガス及びガス
ケット等の高分子材料が変質しない。
エレメントを、周面に微細孔を有するセラミック，金属
等から成る内周側筒体と、電極を備えて上記内周側筒体
の外周を被うように設けられ、周面に上記微細孔より粗
い孔を有するセラミック，金属等から成る外周側筒体加
熱手段とより構成したので、ガス吸着防止効果が得られ
るとともに、気体への加熱の効率がよく、また、加熱効
率がよいので多くの熱を加えなくえ済み、ガス及びガス
ケット等の高分子材料が変質しない。
第１図はこの発明の一実施例である流体用フィルタの断
面図である。 １……フィルタ、５……フィルタエレメント、６……電
極、７……電極シール。
面図である。 １……フィルタ、５……フィルタエレメント、６……電
極、７……電極シール。
Claims (1)
- 【請求項１】気体を通過させる筒状のフィルタエレメン
トを備えて成る流体用フィルタにおいて、上記フィルタ
エレメントは、周面に微細孔を有するセラミック、金属
等から成る内周側筒体と、電極を備えて上記内周側筒体
の外周を被うように設けられ、周面に上記微細孔より粗
い孔を有するセラミック，金属等から成る外周側筒体加
熱手段とより構成したことを特徴とする流体用フィル
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63234389A JPH0616810B2 (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 流体用フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63234389A JPH0616810B2 (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 流体用フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0283013A JPH0283013A (ja) | 1990-03-23 |
| JPH0616810B2 true JPH0616810B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=16970233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63234389A Expired - Lifetime JPH0616810B2 (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 流体用フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616810B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0644970B2 (ja) * | 1989-02-01 | 1994-06-15 | 日本碍子株式会社 | 集塵用フィルターの付着水分除去方法 |
| JP4636803B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2011-02-23 | 三和ニューテック株式会社 | 空気浄化装置 |
| JP2006142262A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Asahi Kogyosha Co Ltd | フィルタ装置 |
| US20110277499A1 (en) * | 2010-05-12 | 2011-11-17 | Lee Ron C | Method for producing sterile cryogenic liquid |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60193517A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-10-02 | Karupisu Shokuhin Kogyo Kk | 微生物除去法 |
| JPS6178415A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-22 | Kiyoshi Hajikano | セラミツク製熱作用フイルタ− |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP63234389A patent/JPH0616810B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0283013A (ja) | 1990-03-23 |
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Legal Events
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