JPH06163192A - イオン加速装置 - Google Patents

イオン加速装置

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JPH06163192A
JPH06163192A JP33813492A JP33813492A JPH06163192A JP H06163192 A JPH06163192 A JP H06163192A JP 33813492 A JP33813492 A JP 33813492A JP 33813492 A JP33813492 A JP 33813492A JP H06163192 A JPH06163192 A JP H06163192A
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JP
Japan
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casing
flat plate
opening
annular
insulating material
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Pending
Application number
JP33813492A
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English (en)
Inventor
Yoshiaki Agawa
阿川  義昭
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Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 [目的] ブッシングの外周部に配設される複数の金属
環状体をこれらの間で放電が生じるのを防止するように
一体化する構造をイオン加速装置に提供すること。 [構成] 金属フープ24に開口102を形成し、これ
に絶縁材でなる円柱体101のねじ孔101aを整列さ
せて当接させ、これに対向して円柱体100のねじ部1
00aを開口102に挿通させ、かつ円柱体101のね
じ孔101aに螺着し締め付けることにより、各金属フ
ープ24を一体化させ、一端の金属フープ24の開口1
02から突出する円柱体100のねじ部100aにはナ
ット110を螺着し締めつけることにより、また他端の
金属フープ24の開口102から突出する円柱体100
のねじ部100aにナット110を螺着し締めつけるこ
とにより、複数の金属フープ24は一体化することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はイオン加速装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】図3〜図7は従来例のイ
オン加速装置を示すものであるが、ほぼ直方形状の金属
でなる高電圧ターミナル2は図示せずともイオン源や質
量分離磁石を内蔵しており、これは床面に対し絶縁支柱
により支持されている。又このイオン加速装置全体はシ
ールドボックス1により被覆されており、高電圧ターミ
ナル2の一側面とこれと対向するシールドボックス1の
内壁との間に、高電圧発生装置3及び電力供給装置14
の絶縁材でなるブッシング9及び17が取りつけられて
いる。高電圧発生装置3は、公知のように構成され、そ
の高電圧発生部を内蔵するケーシング3aはシールドボ
ックス1の外面に固定されており、これには交流電源5
が入力として供給される制御器4からの高周波出力がケ
ーブル6を介して供給される。図5に示すようにケーシ
ング3a内にはダイオード31とコンデンサ32とから
なる倍電圧回路12が内蔵されており、これからの直流
の高電圧、例えば400KVの出力が導線21を介して
高電圧ターミナル2に供給されるようになっている。導
線21は絶縁材、例えばFRPにより被覆されており、
これがいわゆるブッシング9であり、この外周面には図
3に明示される金属フープ24が所定のピッチで取りつ
けられており、これら金属フープ24の間に抵抗25が
接続されている。尚、図4において、ブッシング9、1
7の金属フープは同一の構造であるが、これらを同一の
符号24で表す。抵抗25についても同様である。
【0003】電力供給装置14の電力発生部を内蔵する
ケーシング14aもシールドボックス1の外壁面に固定
されており、図5に示すように、これには絶縁トランス
11が内蔵されており、鉄心33に一次巻線34が巻装
されており、これにグランド電位としての交流UVが入
力端子13に供給される。又この二次側の巻線35は金
属管20を挿通しており、その出力端子18は高電圧タ
ーミナル2内にある。金属管20は絶縁材でなるブッシ
ング17により被覆されており、これには図4で明示さ
れるように抵抗25により電気的に接続されている金属
フープ24が所定のピッチで取りつけられている。
【0004】図3は電力供給装置14のブッシング部及
び金属フープの詳細を示すものであるが、各金属フープ
24は内方、すなわち小径の環状金属部24bと外方
の、すなわち径大の環状金属部24a及びこれら環状金
属部24a、24bを接続する薄い金属製の環状の平板
部24cとからなっており、これら金属フープ24は、
それぞれの間にナイロン(絶縁材)でなるカラー80を
介在させており、これらをFRP(絶縁材)でなるボル
ト81が挿通していて、その上端部及び下端部でナット
82、82を締めつけることにより一体化され、最上方
部の金属フープ24の薄板部24cに溶接された断面が
L字形状の締めつけバンド50によりブッシング17に
固定されている。絶縁トランス14の出力端子18はノ
イズフィルタ(図示せず)を介して端子台124に接続
され、これから高電圧ターミナル2が内蔵するイオン源
や質量分離磁石などに電力を供給するように構成されて
いる。
【0005】従来のイオン加速装置は以上のように構成
されるのであるが、図6で示されるように上記のカラー
80の内周面80aは環状平板部24cの開口24ca
と整列して配列されているのであるが、図6で拡大して
明示されているように、この内周面80aの内径は開口
24caのそれより大であり、また開口24caとボル
ト81の外周面との間には空間が画成されることにな
る。
【0006】図7はこのような開口24caとボルト8
1及びカラー80との位置関係を更に詳しく示すのであ
るが、上下で対向する環状平板部24c、24cの開口
24ca、24caは空間において対向している。ま
た、高電圧ターミナル2とシールドボックス1との間は
金属フープ24で400kVの電位が等分割されている
ので、この分割に応じて環状平板部24c、24cには
高電圧が印加されているのであるが、これに形成した開
口24caはエッジとして形成されているため、この近
傍では強い電界Eが発生しており、このため矢印Lで示
されるように空間内を絶縁材であるボルト81及びカ
ラー80の内周面もしくは外周面を伝わって下方の環状
平板部24cの開口24caとの間で放電が生じる恐れ
がある。放電が生じると、環状平板部24cの開口24
caやボルト81、カラー80など放電が伝達した箇所
が炭化し電気的な耐電圧が劣化し、等分割機能を果たさ
なくなる恐れがある。尚、図7では環状平板部24cの
開口24caがカラー80の円周面80aの内径より小
なる場合を説明したが、これらが逆であっても、以上の
欠点があるのは当然である。
【0007】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、環状金属体(金属フープ)の環状平板
部に形成した開口の周辺で放電が生じる確率を大巾に低
下させることのできるイオン加速装置を提供することを
目的とする。
【0008】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、少なく
ともイオン源及び質量分離磁石を内蔵させたケーシング
を地上より所定の高さに配設させ、高電圧電源装置によ
り前記ケーシングに所定の高電圧を印加し、電力供給装
置により前記イオン源や質量分離磁石などに電力を供給
するようにし、前記ケーシングを電磁気的に遮蔽するシ
ールドボックスを設け、前記ケーシングの一側面と、該
一側面と対向する前記シールドボックスの内壁面との間
に、又は前記ケーシングと床面との間に少なくとも加速
管と、前記高電圧電源装置の前記所定の高電圧を前記ケ
ーシングに印加するための導電部材を被覆し、絶縁材で
なる第1ブッシングと、前記電力供給装置の電力を導出
するための導電部材を被覆し、絶縁材でなる第2ブッシ
ングとを接続し、これらの外周面に隙間をおいて前記ケ
ーシングの電位からグランド電位までを分割するために
各々内側円環部と外側円環部と、これら円環部を接続す
る環状平板部とから成る複数の環状金属体を取りつけた
イオン加速装置において、前記各環状平板部に相互に整
列する開口を形成し、上下両端部又はいずれか一方に突
出してねじ部又はねじ孔を形成させた絶縁材で成る円柱
体を前記開口に整列して前記複数の環状金属体の環状平
板部間に配設し、前記ねじ部は前記開口に挿通させて、
これと対向する前記円柱体のねじ孔に螺着、締めつけ、
一端及び他端の前記環状平板部の開口から突出するねじ
部にナットを螺着、締めつけることにより、前記円柱体
の高さの間隔を保持して、前記複数の環状金属体を一体
化させたことを特徴とするイオン加速装置によって達成
される。
【0009】
【作用】各環状金属体間に配設固定されている円柱体の
上端面、下端面は環状平板部の開口に並列して当接して
おり、これらのねじ部をこの開口に挿通させてこれと対
向している円柱体のねじ孔に螺着し締めつけることによ
り、また一端の金属環状体の環状平板部の開口から突出
する円柱体のねじ部にはナットを螺着締めつけることに
より、また他端の環状金属体の環状平板部の開口から突
出する円柱体のねじ部にもナットを螺着締めつけること
により、複数の環状金属体は一体化されるのであるが、
各環状金属体の環状平板部に形成している開口は隣接す
る環状金属体の環状平板部との間に絶縁材でなる円柱体
を介在させているので、開口間に連通した空間を画成し
ておらず、従って上下の開口のエッジ部間に放電が生じ
ることはない。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例によるイオン加速装置
について、図面を参照して説明する。なお、従来例に対
応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説
明は省略する。
【0011】合成樹脂(ナイロン)からなる円柱体10
0または101が、金属フープ間にそれぞれのねじ孔又
はねじ部を開口102に整列させることにより上下に整
列して配列させる。すなわち、図2に示すように、一方
の円柱体100の両端部には突出してねじ部100a、
100aが形成されており、また他方の円柱体101の
上下端部にはねじ孔101a、101aが形成されてい
る。円柱体101のねじ孔101a、101aを上下の
金属フープ24の環状平板部24cに形成された開口1
02、102に整列して配列され、これらに上下で対向
する円柱体100、100のねじ部100a、100a
を開口102に挿通させ、円柱体101のねじ孔101
a、101aに螺着し、かつ締めつけることにより、こ
れら円柱体100、101、金属フープ24は一体化さ
れるのであるが、図1で示されるように最上端の環状平
板部24cの開口24caから突出する円柱体100の
ねじ部100aにはナット110を螺着し、締めつけ
る。また、最下端の環状金属部の環状平板部の開口10
2から突出する円柱体の100のねじ部100aにもナ
ット110を螺着し、締めつけることにより複数個の金
属フープ24は図1に示されるように一体化される。
【0012】以上のようにして一方の一体化構造Aが構
成されるが、他方の環状金属体の一体化構造Bについて
も同様に形成されている。すなわち、本実施例では一対
の一体化構造A、Bで複数の金属フープ24が一体化さ
れる。
【0013】本実施例の電力供給装置14の導電部材を
被覆する絶縁材でなるブッシング17に対し、配設され
る金属フープ24は以上のように一体化されているの
で、環状平板部24cの開口102間には絶縁材のみを
介在させ、この内部に上下で対向する開口102間に連
通した空間を形成していないので、開口102のエッジ
部間で放電を生じることはない
【0014】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【0015】例えば、以上の実施例では円柱体101に
はその上下端部にはねじ孔101a、101aを形成
し、円柱体100の上下端部にはねじ部100a、10
0aを形成したが、これに代えて1種類とし一端側にね
じ孔、他端側にねじ部を形成した円柱体を用いるように
してもよい。
【0016】また、以上の実施例では円柱体100、1
01の材質を合成樹脂(ナイロン)としたが、この円柱
体100、101の材質はFRP、アクリルなどの有機
物や磁器、陶器、セラミックなどあるいは無機物など、
どれを使用してもよい。
【0017】また、以上の実施例では電力供給装置のブ
ッシング17の周囲に配設される複数の金属フープ24
について説明したが、勿論、高電圧電源の電圧を導出す
る導電部材を被覆する絶縁材であるブッシングの周囲に
配設される複数の環状金属体にも、本発明は適用可能で
ある。
【0018】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のイオン加速
装置によれば、高電圧が印加されるケーシングとシール
ドボックスとの内壁面との間に取り付けられる高電圧電
源装置のブッシング又は電力供給装置のブッシングの周
囲に配設される複数の環状金属体間で放電が生ずるとい
うことが未然に防止され、絶縁性を向上させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例によるイオン加速装置の要部の
半部断面側面図である。
【図2】更に要部の分解一部破断側面図である。
【図3】従来例の複数の環状金属体を一体化する構造を
示す部分破断側面図である。
【図4】本従来例のイオン加速装置の要部の破断平面図
である。
【図5】同断面図
【図6】従来例の環状金属体の取り付け構造の要部を示
す図3における[6]−[6]線方向の拡大横断面図で
ある。
【図7】更に拡大した縦断面図である。
【符号の説明】
100 円柱体 101 円柱体 100a ねじ部 101a ねじ孔 102 開口

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくともイオン源及び質量分離磁石を
    内蔵させたケーシングを地上より所定の高さに配設さ
    せ、高電圧電源装置により前記ケーシングに所定の高電
    圧を印加し、電力供給装置により前記イオン源や質量分
    離磁石などに電力を供給するようにし、前記ケーシング
    を電磁気的に遮蔽するシールドボックスを設け、前記ケ
    ーシングの一側面と、該一側面と対向する前記シールド
    ボックスの内壁面との間に、又は前記ケーシングと床面
    との間に少なくとも加速管と、前記高電圧電源装置の前
    記所定の高電圧を前記ケーシングに印加するための導電
    部材を被覆し、絶縁材でなる第1ブッシングと、前記電
    力供給装置の電力を導出するための導電部材を被覆し、
    絶縁材でなる第2ブッシングとを接続し、これらの外周
    面に隙間をおいて前記ケーシングの電位からグランド電
    位までを分割するために各々内側円環部と外側円環部
    と、これら円環部を接続する環状平板部とから成る複数
    の環状金属体を取りつけたイオン加速装置において、前
    記各環状平板部に相互に整列する開口を形成し、上下両
    端部又はいずれか一方に突出してねじ部又はねじ孔を形
    成させた絶縁材で成る円柱体を前記開口に整列して前記
    複数の環状金属体の環状平板部間に配設し、前記ねじ部
    は前記開口に挿通させて、これと対向する前記円柱体の
    ねじ孔に螺着、締めつけ、一端及び他端の前記環状平板
    部の開口から突出するねじ部にナットを螺着、締めつけ
    ることにより、前記円柱体の高さの間隔を保持して、前
    記複数の環状金属体を一体化させたことを特徴とするイ
    オン加速装置。
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