JPH06161560A - Servo system - Google Patents

Servo system

Info

Publication number
JPH06161560A
JPH06161560A JP30711292A JP30711292A JPH06161560A JP H06161560 A JPH06161560 A JP H06161560A JP 30711292 A JP30711292 A JP 30711292A JP 30711292 A JP30711292 A JP 30711292A JP H06161560 A JPH06161560 A JP H06161560A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
interpolation
position loop
loop gain
pulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30711292A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Niimi
嘉浩 新見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brother Industries Ltd filed Critical Brother Industries Ltd
Priority to JP30711292A priority Critical patent/JPH06161560A/en
Publication of JPH06161560A publication Critical patent/JPH06161560A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the servo system for easily improving the accuracy of circular arc interpolation at an inflection point with simple processing when switching an event during circular arc interpolation. CONSTITUTION:Since the responsiveness of a servo motor MX or the like is improved by increasing the position loop gains KPX and KPY at the inflection point when switching the event during circular arc interpolation, namely, near the inversion of the turning direction of the servo motor MX or the like, the accuracy of circular arc interpolation can be prevented from getting adverse such as followup delay caused by the frictional force of a machine or disabling the sufficient drive of the machine with the gain lack of amplifier parts 9X and 9Y caused by a fine velocity command.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、移動体をサーボ制御す
るサーボ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servo device for servo-controlling a moving body.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、移動体、例えば工作機械の工具
は、X軸駆動用、及びY軸駆動用の2個のサーボモータ
を補間制御することによって制御されている。補間制御
中は、通常設定された一定の位置ループゲインでサーボ
モータが駆動される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a moving body, for example, a tool of a machine tool is controlled by interpolating two servo motors for driving an X-axis and driving a Y-axis. During the interpolation control, the servo motor is driven with the normally set constant position loop gain.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通常の
一定な位置ループゲインで円弧補間を行った場合、円弧
の事象切換時の変曲点では、サーボモータの回転が低速
となり反転するので、機械の摩擦力で充分追従できず、
その遅れのため円弧補間の精度が悪くなったり、あるい
は増幅部が微小速度入力である低速領域でゲインが充分
なく、サーボモータを充分回転できず、同様に円弧補間
の精度を悪くすることがある。
However, when the circular interpolation is performed with the usual constant position loop gain, the rotation of the servomotor becomes slow and reverses at the inflection point at the time of the circular arc event switching. I can not follow sufficiently with frictional force,
Due to the delay, the accuracy of the circular interpolation may be deteriorated, or the gain may not be sufficient in the low speed region where the amplifying unit is a very small speed input and the servo motor may not be rotated sufficiently, and similarly the accuracy of the circular interpolation may be deteriorated. .

【0004】これらの問題を解消するために、増幅部に
補正トルク指令を別途入力して円弧補間の精度を向上す
るサーボ装置が知られているが、補正入力の演算処理に
時間がかかったり、あるいは、増幅部がサーボ駆動装置
として独立している場合、別途補正入力を印加するため
余分な信号入力を用意する必要があった。
In order to solve these problems, a servo device is known in which a correction torque command is separately input to the amplifying section to improve the accuracy of circular interpolation, but it takes time to calculate the correction input. Alternatively, when the amplifier is independent as the servo drive device, it is necessary to prepare an extra signal input in order to separately apply the correction input.

【0005】また、特開昭63−231602号公報に
開示されている数値制御装置では、前記指令部にて事前
にNCプログラムを解読し円弧の事象切換時の変曲点と
その近傍をあらかじめ予見して、円弧補間中その特定領
域に工具が達した時、位置ループゲインを適当な値に設
定せしめる機能を有して、円弧補間などの精度向上を行
っているが、この場合も処理が複雑で演算処理に時間が
かかるという問題があり、高速処理が可能なハードウェ
アに頼る必要がある。
Further, in the numerical control device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-231602, the NC program is decoded in advance by the command unit, and the inflection point and its vicinity at the time of arc event switching are foreseen in advance. Then, when the tool reaches the specific area during circular interpolation, it has a function to set the position loop gain to an appropriate value to improve the accuracy of circular interpolation, but also in this case the processing is complicated. However, there is a problem that the calculation process takes time, and it is necessary to rely on hardware capable of high-speed processing.

【0006】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、簡便な処理で容易に円弧補間中
の事象切換時の変曲点での円弧補間精度を向上させるサ
ーボ装置を提供することにある。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and provides a servo device which improves the circular interpolation accuracy at the inflection point at the time of event switching during circular interpolation by a simple process. To provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のサーボ装置は、複数のサーボモータと、これ
らのサーボモータを所定の関係で駆動するための移動指
令信号を出力する指令部と、その移動指令信号の信号種
別に基づいて所定の補間を行う補間部と、前記補間部で
補間された補間信号に所定の加減速時定数を適用してパ
ルス分配を行う分配部と、前記分配部により分配される
分配部パルスと前記サーボモータの帰還パルスとを比較
し、位置誤差である溜まりパルスを生成する比較部と、
前記補間部における補間が円弧補間のときは、前記比較
部が生成する溜まりパルスにより前記サーボモータの回
転方向の反転近傍を検知する方向反転検知部と、前記方
向反転検知部が反転近傍を検知することにより、適切な
位置ループゲインを設定する位置ループゲイン設定部
と、前記比較部が生成する溜まりパルスと前記位置ルー
プゲイン設定部で設定された位置ループゲインに基づい
て速度指令を演算する速度指令演算部と、前記サーボモ
ータを前記速度指令に基づいて駆動する増幅部とを備え
ている。
In order to achieve this object, a servo apparatus of the present invention comprises a plurality of servo motors and a command section for outputting a movement command signal for driving these servo motors in a predetermined relationship. An interpolating section that performs a predetermined interpolation based on the signal type of the movement command signal; a distributing section that performs a pulse distribution by applying a predetermined acceleration / deceleration time constant to the interpolation signal interpolated by the interpolation section; A comparing unit that compares the distributing unit pulse distributed by the distributing unit and the feedback pulse of the servo motor, and generates a pool pulse that is a position error;
When the interpolation in the interpolation unit is circular interpolation, the direction reversal detection unit that detects the vicinity of reversal of the rotation direction of the servo motor and the direction reversal detection unit that detects the vicinity of reversal based on the accumulated pulse generated by the comparison unit. As a result, a position loop gain setting unit that sets an appropriate position loop gain, a speed command that calculates a speed command based on the accumulated pulse generated by the comparison unit and the position loop gain set by the position loop gain setting unit An arithmetic unit and an amplification unit that drives the servo motor based on the speed command are provided.

【0008】[0008]

【作用】上記の構成を有する本発明のサーボ装置では、
移動指令信号を出力する指令部において円弧補間中であ
ることを把握しつつ、移動指令信号の信号種別に基づい
て所定の補間を行う補間部での補間が円弧補間のとき、
円弧の事象切換時の変曲点近傍で、サーボモータの回転
方向の反転近傍であることを、前記比較部が生成する溜
まりパルスにより検知する方向反転検知部により検知す
る。それにより適切な位置ループゲインを設定する位置
ループゲイン設定部により、位置ループゲインが通常の
位置ループゲインより高く設定され、その位置ループゲ
インに基いて、サーボモータの速度指令を演算する前記
速度指令部で円弧の事象切換時の変曲点近傍におけるサ
ーボモータへの速度指令が円弧の事象切換時の変曲点近
傍以外の速度指令より高めに演算され、その演算された
速度指令は増幅部へ入力される。
In the servo apparatus of the present invention having the above structure,
While grasping that circular interpolation is being performed in the command unit that outputs the movement command signal, when interpolation in the interpolation unit that performs predetermined interpolation based on the signal type of the movement command signal is circular interpolation,
A direction reversal detection unit that detects the accumulated pulse generated by the comparison unit detects that it is near the inversion of the rotation direction of the servo motor in the vicinity of the inflection point at the time of arc event switching. The position loop gain setting unit for setting an appropriate position loop gain thereby sets the position loop gain higher than the normal position loop gain, and based on the position loop gain, the speed command for calculating the speed command of the servo motor Section, the speed command to the servo motor near the inflection point during arc event switching is calculated higher than the speed command other than near the inflection point during arc event switching, and the calculated speed command is sent to the amplifier section. Is entered.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】図1に示すように、本発明のサーボ装置
は、X軸用とY軸用とにそれぞれサーボモータMX,M
Yを有しており、サーボモータMX,MYに対応してそ
れぞれ、分配部3X,3Y、比較部4X,4Y、方向反
転検知部6X,6Y、位置ループゲイン設定部7X,7
Y、速度指令演算部8X,8Y、増幅部9X,9Yとを
有している。また、分配部3X,3Yは共に補間部2に
接続され、補間部2は指令部1に接続されている。
As shown in FIG. 1, the servo apparatus of the present invention has servo motors MX and M for the X-axis and the Y-axis, respectively.
Y, and corresponding to the servomotors MX and MY, the distribution units 3X and 3Y, the comparison units 4X and 4Y, the direction inversion detection units 6X and 6Y, and the position loop gain setting units 7X and 7 are provided.
It has Y, speed command calculation units 8X and 8Y, and amplification units 9X and 9Y. Further, the distribution units 3X and 3Y are both connected to the interpolation unit 2, and the interpolation unit 2 is connected to the command unit 1.

【0011】サーボモータMX,MYからは、X軸方向
及びY軸方向の位置フィードバックとして帰還パルスが
それぞれ比較部4X,4Yへ、またX軸方向及びY軸方
向の速度フィードバックとして帰還速度信号が増幅部9
X,9Yへそれぞれ帰還される。
From the servomotors MX and MY, feedback pulses are amplified as position feedback in the X-axis direction and Y-axis direction to the comparison units 4X and 4Y, respectively, and a feedback speed signal is amplified as speed feedback in the X-axis direction and Y-axis direction. Part 9
Returned to X and 9Y respectively.

【0012】指令部1は、NCプログラム10の内容を
読みとって工作機械のテーブルまたは工具(図示せず)
を直線または円弧運動させるべく、補間部2に指令信号
を出力する。
The command unit 1 reads the contents of the NC program 10 and reads a table or a tool (not shown) of a machine tool.
A command signal is output to the interpolator 2 in order to make a linear or circular motion.

【0013】補間部2は、入力された指令信号を補間
し、X軸及びY軸への補間データを生成し、それら補間
データを分配部3X,3Yへ出力する。さらに、円弧補
間中には方向反転検知部6X,6Yへ円弧補間中である
旨を示す信号を出力する。
The interpolation unit 2 interpolates the input command signal, generates interpolation data for the X axis and the Y axis, and outputs the interpolation data to the distribution units 3X, 3Y. Further, during the circular interpolation, a signal indicating that the circular interpolation is being performed is output to the direction inversion detection units 6X and 6Y.

【0014】分配部3は、前記X軸及びY軸への補間デ
ータを単位時間毎の所定分配パルスにそれぞれ変換し、
X軸に対応する分配パルスを比較部4Xへ、Y軸に対応
する分配パルスを比較部4Yへ出力する。
The distribution unit 3 converts the interpolation data for the X-axis and the Y-axis into predetermined distribution pulses for each unit time,
The distribution pulse corresponding to the X axis is output to the comparison unit 4X, and the distribution pulse corresponding to the Y axis is output to the comparison unit 4Y.

【0015】比較部4X,4Yは、分配部3X,3Yか
らの分配パルスとサーボモータMX,MYからの前記帰
還パルスを比較して、X軸方向及びY軸方向の位置誤差
である溜まりパルスεx,εyを生成する。
The comparators 4X and 4Y compare the distributed pulses from the distributors 3X and 3Y with the feedback pulses from the servomotors MX and MY, and collect pulses εx which are position errors in the X-axis direction and the Y-axis direction. , Εy is generated.

【0016】方向反転検知部6X,6Yは、補間部2か
ら円弧補間中である旨を示す信号が出力されているとき
に前記比較部4X,4Yで生成された溜まりパルスε
x,εyを観察して、εx,εyがある一定値より小さ
くなったことにより円弧補間中の事象切換時の変曲点近
傍、すなわち、サーボモータMX,MYの回転方向が反
転する点を検知し、位置ループゲイン設定部7X,7Y
へ位置ループゲインの変更を指示する。
The direction reversal detection units 6X and 6Y generate the accumulated pulse ε generated by the comparison units 4X and 4Y when the interpolation unit 2 outputs a signal indicating that the circular interpolation is being performed.
By observing x and εy, it is detected that εx and εy are smaller than a certain value, so that the vicinity of the inflection point at the time of event switching during circular arc interpolation, that is, the point where the rotation directions of the servomotors MX and MY are reversed. Position loop gain setting units 7X and 7Y
Instructs to change the position loop gain.

【0017】位置ループゲイン設定部7X,7Yは、前
記方向反転検知部6X,6Yより指示された位置ループ
ゲインの変更の指示と、前記比較部4X,4Yで生成さ
れた溜まりパルスεx,εyとに基づいて適切な位置ル
ープゲインKPX,KPYを算出して設定する。
The position loop gain setting units 7X and 7Y receive an instruction to change the position loop gain instructed by the direction reversal detection units 6X and 6Y, and the accumulated pulses εx and εy generated in the comparison units 4X and 4Y. Based on, the appropriate position loop gains K PX and K PY are calculated and set.

【0018】速度指令演算部8X,8Yは、前記比較部
4X,4Yで生成された溜まりパルスεx,εyと位置
ループゲイン変更部7X,7Yにより適切に設定された
位置ループゲインKPX,KPYに基づいて速度指令を演算
(乗算)して生成する。
The speed command calculators 8X and 8Y are provided with position pulse gains K PX and K PY which are appropriately set by the accumulated pulses εx and εy generated by the comparators 4X and 4Y and the position loop gain changing units 7X and 7Y. Based on, the speed command is calculated (multiplied) to generate.

【0019】増幅部9X,9Yは、前記速度指令演算部
8X,8Yより出力される速度指令を増幅して出力し、
サーボモータMX,MYを駆動させる。
The amplifiers 9X and 9Y amplify and output the speed commands output from the speed command calculators 8X and 8Y,
The servo motors MX and MY are driven.

【0020】このように動作させることにより、円弧補
間中の事象切換時の変曲点、すなわちサーボモータM
X,MYの回転方向が反転する点では、サーボモータM
X,MYの応答性が位置ループゲインKPX,KPYのゲイ
ンアップにより高められるので、機械の摩擦力による追
従遅れや、微小速度指令による増幅部9X,9Yのゲイ
ン不足にともなって充分機械を駆動できないなどの、円
弧補間の精度の悪化を防止できる。
By operating in this manner, the inflection point at the time of event switching during circular interpolation, that is, the servomotor M
At the point where the rotation directions of X and MY are reversed, the servo motor M
Since the responsiveness of X and MY is increased by increasing the position loop gains K PX and K PY , the tracking delay due to the frictional force of the machine and the insufficient gain of the amplifiers 9X and 9Y due to the minute speed command will cause the machine to operate sufficiently. It is possible to prevent the accuracy of the circular interpolation from being deteriorated, such as being unable to drive.

【0021】なお、位置ループゲイン変更部7X,7Y
による適切な位置ループゲインKPX,KPYの設定方法の
例としては、図2に示すように、 |ε|>A の時 KP=KP0 A≧|ε|>B の時 KP=KPα B≧|ε|≧0 の時 KP=KPβ KP0<KPα<KPβ ε ;溜まりパルス A ;方向反転検知レベルの定数 B ;ゲインの2段変更レベルの定数 KP0 ;通常の位置ループゲイン KPα,KPβ;変更された位置ループゲイン がある。
The position loop gain changing units 7X and 7Y
As an example of a method of setting the appropriate position loop gains K PX and K PY by, as shown in FIG. 2, when | ε |> A, K P = K P0 when A ≧ | ε |> B, K P = When K P α B ≧ | ε | ≧ 0, K P = K P β K P0 <K P α <K P β ε; Droop pulse A; Direction reversal detection level constant B; Gain two-step change level constant K P0 : Normal position loop gain K P α, K P β; There is a changed position loop gain.

【0022】あるいは、サーボモータMの駆動軸の反転
情報を考慮して、図3(a)及び図3(b)に示すよう
に、 ε:正値→負値の時 A>ε≧0 の場合 KP=KPα, 0>ε>−Aの場合 KP=KPβ, |ε|>A の時 KP=KP0 ε:負値→正値の時 A>ε≧0 の場合 KP=KPβ, 0>ε>−Aの場合 KP=KPα, |ε|>A の時 KP=KP0 ε ;溜まりパルス A ;方向反転検知レベルの定数 KP0 ;通常の位置ループゲイン KPα,KPβ;変更された位置ループゲイン とする設定方法がある。
Alternatively, in consideration of the inversion information of the drive axis of the servomotor M, as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), ε: positive value → negative value A> ε ≧ 0 Case K P = K P α, 0>ε> -A K P = K P β, | ε |> A K P = K P0 ε: Negative value → positive value A> ε ≧ 0 Case K P = K P β, 0>ε> -A K P = K P α, | ε |> A K P = K P0 ε; Pool pulse A; Direction reversal detection level constant K P0 ; Ordinary position loop gain K P α, K P β; There is a setting method for setting the changed position loop gain.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のサーボ装置によれば、円弧補間中の事象切換時の
変曲点、すなわちサーボモータの回転方向が反転する点
の近傍では、サーボモータの応答性が位置ループゲイン
のゲインアップにより高められるので、サーボモータは
俊敏に動作して応答性を向上することができ、機械の摩
擦力による機械の追従遅れや、微小速度指令による増幅
部のゲイン不足にともなって充分機械を駆動できないな
どの、円弧補間の精度の悪化を防止できる。
As is apparent from the above description, according to the servo device of the present invention, in the vicinity of the inflection point at the time of event switching during circular interpolation, that is, the point where the rotation direction of the servo motor is reversed, Since the response of the servo motor is enhanced by increasing the position loop gain, the servo motor can operate swiftly to improve the response, and the tracking delay of the machine due to the frictional force of the machine and the amplification by the minute speed command It is possible to prevent the accuracy of circular interpolation from deteriorating, such as when the machine cannot be driven sufficiently due to insufficient gain in the part.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を具体化したサーボ装置のブロック図で
ある。
FIG. 1 is a block diagram of a servo device embodying the present invention.

【図2】本実施例のサーボ装置の位置ループゲイン変更
部での位置ループゲインの変更状況の一例を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing an example of a position loop gain changing state in a position loop gain changing unit of the servo apparatus of the present embodiment.

【図3】本実施例のサーボ装置の位置ループゲイン変更
部での位置ループゲインの変更状況の一例を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a position loop gain changing state in a position loop gain changing unit of the servo apparatus of the present embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 指令部 2 補間部 3X,3Y 分配部 4X,4Y 比較部 6X,6Y 方向反転検知部 7X,7Y 位置ループゲイン変更部 8X,8Y 速度指令演算部 9X,9Y 増幅部 MX,MY サーボモータ 1 command section 2 interpolation section 3X, 3Y distribution section 4X, 4Y comparison section 6X, 6Y direction reversal detection section 7X, 7Y position loop gain change section 8X, 8Y speed command calculation section 9X, 9Y amplification section MX, MY servo motor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のサーボモータと、 これらのサーボモータを所定の関係で駆動するための移
動指令信号を出力する指令部と、 その移動指令信号の信号種別に基づいて所定の補間を行
う補間部と、 前記補間部で補間された補間信号に所定の加減速時定数
を適用してパルス分配を行う分配部と、 前記分配部により分配される分配部パルスと前記サーボ
モータの帰還パルスとを比較し、位置誤差である溜まり
パルスを生成する比較部と、 前記補間部における補間が円弧補間のときは、前記比較
部が生成する溜まりパルスにより前記サーボモータの回
転方向の反転近傍を検知する方向反転検知部と、 前記方向反転検知部が反転近傍を検知することにより、
適切な位置ループゲインを設定する位置ループゲイン設
定部と、 前記比較部が生成する溜まりパルスと前記位置ループゲ
イン設定部で設定された位置ループゲインに基づいて速
度指令を演算する速度指令演算部と、 前記サーボモータを前記速度指令に基づいて駆動する増
幅部とを備えたことを特徴とするサーボ装置。
1. A plurality of servo motors, a command unit for outputting a movement command signal for driving these servo motors in a predetermined relationship, and an interpolation for performing a predetermined interpolation based on the signal type of the movement command signal. A distribution unit for applying a predetermined acceleration / deceleration time constant to the interpolation signal interpolated by the interpolation unit for pulse distribution, and a distribution unit pulse distributed by the distribution unit and a feedback pulse of the servo motor. A comparison unit that compares and generates a stagnant pulse that is a position error, and when the interpolation in the interpolation unit is circular interpolation, a direction that detects the vicinity of the reversal of the rotation direction of the servo motor by the stagnant pulse generated by the comparison unit. By the inversion detection unit and the direction inversion detection unit detecting the vicinity of the inversion,
A position loop gain setting unit that sets an appropriate position loop gain, a speed command calculation unit that calculates a speed command based on the accumulated pulse generated by the comparison unit and the position loop gain set by the position loop gain setting unit. A servo device that drives the servo motor based on the speed command.
JP30711292A 1992-11-17 1992-11-17 Servo system Pending JPH06161560A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30711292A JPH06161560A (en) 1992-11-17 1992-11-17 Servo system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30711292A JPH06161560A (en) 1992-11-17 1992-11-17 Servo system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06161560A true JPH06161560A (en) 1994-06-07

Family

ID=17965181

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30711292A Pending JPH06161560A (en) 1992-11-17 1992-11-17 Servo system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06161560A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6744233B1 (en) 2000-11-01 2004-06-01 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Servo controller and method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6744233B1 (en) 2000-11-01 2004-06-01 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Servo controller and method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3478946B2 (en) Servo adjustment method and device
JP3169838B2 (en) Servo motor control method
JPH07110717A (en) Motor control system
JPH08179831A (en) Quadrant projection correcting method for full-closed loop system
JPH05118302A (en) Controller for servomotor
KR910006499B1 (en) Numerical controller
JPS63148315A (en) Servo motor controller
JP2875646B2 (en) Backlash acceleration correction device
JPS63123107A (en) Position control system
JPS63229506A (en) Output system for axis speed
JPH06161560A (en) Servo system
JPH0469850A (en) Position controller for tape recorder
JP3426779B2 (en) Backlash compensation device for numerically controlled machine tools
JP2906766B2 (en) Servo motor control device
JP2003076425A (en) Control device for feeding driving system
JP3578634B2 (en) Creating an arc command
JP2728260B2 (en) Servo control device
JP3562535B2 (en) Numerical control unit
JPH0531648A (en) Main spindle control device for machine tool
JPS6324402A (en) Locus control device for robot
JPS63231602A (en) Numerical controller
JPH044405A (en) Numerical controller
JPH10228319A (en) Controller for motor
JPH02144606A (en) Quick access control system
JPS60214018A (en) Positioning controller