JPH06155288A - 精密切削装置 - Google Patents
精密切削装置Info
- Publication number
- JPH06155288A JPH06155288A JP32627292A JP32627292A JPH06155288A JP H06155288 A JPH06155288 A JP H06155288A JP 32627292 A JP32627292 A JP 32627292A JP 32627292 A JP32627292 A JP 32627292A JP H06155288 A JPH06155288 A JP H06155288A
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- JP
- Japan
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- substrate
- unit
- precision
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 12
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板に掛かる重量負荷を必要最小限にして歪
みを極小にし、組立精度の調整が簡単にできると共に加
工精度の向上が図れるようにした、ダイサー等の精密切
削装置を提供する。 【構成】 ダイサー等の精密切削装置において、スピン
ドルユニットと、テーブルユニットと、アライメントユ
ニットのみが基板に配設され、モニター、インバータ
ー、カバー等の付属部材は前記基板を取り付ける架台に
配設する。
みを極小にし、組立精度の調整が簡単にできると共に加
工精度の向上が図れるようにした、ダイサー等の精密切
削装置を提供する。 【構成】 ダイサー等の精密切削装置において、スピン
ドルユニットと、テーブルユニットと、アライメントユ
ニットのみが基板に配設され、モニター、インバータ
ー、カバー等の付属部材は前記基板を取り付ける架台に
配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイサー等の精密切削
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイサー等の精密切削装置は、例
えば図２に示すように架台１の上に方形の基板２を取り
付け、この基板２の上にＹ軸、Ｚ軸方向に動くスピンド
ルユニット３、Ｘ軸方向に動くと共にアライメントユニ
ット５を搭載したテーブルユニット４、配管ユニット
６、電装ユニット７、インバータ８等の必要な構成部材
を全て装着し、これらの構成部材を取り囲むようにして
基板の周囲にカバー９を取り付け、更に飛沫カバー１０
及び上部カバー１１を取り付けて全体を被覆し、上部カ
バー１１の上にはモニター１２を装着した構成になって
いる。
えば図２に示すように架台１の上に方形の基板２を取り
付け、この基板２の上にＹ軸、Ｚ軸方向に動くスピンド
ルユニット３、Ｘ軸方向に動くと共にアライメントユニ
ット５を搭載したテーブルユニット４、配管ユニット
６、電装ユニット７、インバータ８等の必要な構成部材
を全て装着し、これらの構成部材を取り囲むようにして
基板の周囲にカバー９を取り付け、更に飛沫カバー１０
及び上部カバー１１を取り付けて全体を被覆し、上部カ
バー１１の上にはモニター１２を装着した構成になって
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の精
密切削装置によると、構成部材が全て基板２に装着され
ているため構成部材の全重量が掛かって歪みが大きくな
り、しかも部分的に負荷重量にアンバランスが生じるた
め歪みが一定にならず、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動する精
度部構成部材の組立精度の調整がし難くなり、加工精度
にも悪影響を与えることになる。又、加工精度に不良が
発生した場合に、基板上の構成部材が多いためどの構成
部材に起因しているのか追及するのが著しく困難にな
る。本発明は、このような従来の問題点を解消するため
になされ、基板に掛かる負荷重量を最小限にして歪みを
極小にし、組立精度の調整が容易にできると共に加工精
度の向上が図れるようにした、ダイサー等の精密切削装
置を提供することを課題としたものである。
密切削装置によると、構成部材が全て基板２に装着され
ているため構成部材の全重量が掛かって歪みが大きくな
り、しかも部分的に負荷重量にアンバランスが生じるた
め歪みが一定にならず、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動する精
度部構成部材の組立精度の調整がし難くなり、加工精度
にも悪影響を与えることになる。又、加工精度に不良が
発生した場合に、基板上の構成部材が多いためどの構成
部材に起因しているのか追及するのが著しく困難にな
る。本発明は、このような従来の問題点を解消するため
になされ、基板に掛かる負荷重量を最小限にして歪みを
極小にし、組立精度の調整が容易にできると共に加工精
度の向上が図れるようにした、ダイサー等の精密切削装
置を提供することを課題としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ダイサー等の精密切
削装置において、スピンドルユニットと、テーブルユニ
ットと、アライメントユニットのみが基板に配設され、
モニター、インバーター、カバー等の付属部材は前記基
板を取り付ける架台に配設されている構成を要旨とす
る。
するための手段として、本発明は、ダイサー等の精密切
削装置において、スピンドルユニットと、テーブルユニ
ットと、アライメントユニットのみが基板に配設され、
モニター、インバーター、カバー等の付属部材は前記基
板を取り付ける架台に配設されている構成を要旨とす
る。
【０００５】
【作 用】構成部材を精度部構成部材と非精度部構成部
材（付属部材）とに分け、精度部構成部材のみを基板に
装着し、非精度部構成部材は架台に装着したことから基
板には余計な重量が掛からず基板の歪みを極小に抑える
ことができ、且つ基板の歪みは精度部構成部材のみ関与
するので組立精度の調整が容易にでき、加工精度の向上
が図れ、精度不良の原因追及も簡単に行える。
材（付属部材）とに分け、精度部構成部材のみを基板に
装着し、非精度部構成部材は架台に装着したことから基
板には余計な重量が掛からず基板の歪みを極小に抑える
ことができ、且つ基板の歪みは精度部構成部材のみ関与
するので組立精度の調整が容易にでき、加工精度の向上
が図れ、精度不良の原因追及も簡単に行える。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する（前記従来例と同一部材は同一の符号を付
す）。図１において、１は架台、２は基板であり、この
基板２は方形ではなく精度部構成部材を搭載するのに必
要な最小限の大きさに形成され、スピンドルユニット３
とテーブルユニット４とを装着し、テーブルユニット４
の上面にはアライメントユニット５が装着されている。
詳説する（前記従来例と同一部材は同一の符号を付
す）。図１において、１は架台、２は基板であり、この
基板２は方形ではなく精度部構成部材を搭載するのに必
要な最小限の大きさに形成され、スピンドルユニット３
とテーブルユニット４とを装着し、テーブルユニット４
の上面にはアライメントユニット５が装着されている。
【０００７】このように精度部構成部材のみを搭載した
基板２は、前記架台１に適宜の止め具で３点支持にて固
定し、この基板２部分を除く架台１上に非精度部構成部
材である配管ユニット６、電装ユニット７、インバータ
ー８を装着し、更に基板２の周囲にカバー９を取り付け
ると共に、飛沫カバー１０及びモニター１２を装着した
上部カバー１１を取り付けて全体を被覆してある。
基板２は、前記架台１に適宜の止め具で３点支持にて固
定し、この基板２部分を除く架台１上に非精度部構成部
材である配管ユニット６、電装ユニット７、インバータ
ー８を装着し、更に基板２の周囲にカバー９を取り付け
ると共に、飛沫カバー１０及びモニター１２を装着した
上部カバー１１を取り付けて全体を被覆してある。
【０００８】本発明に係るダイサー等の精密切削装置は
上記のように形成され、基板２上には精度部を構成する
部材即ちスピンドルユニット３と、テーブルユニット４
と、その上に装着されたアライメントユニット５のみが
搭載されているだけであるから、基板２に余分な力が加
わらず重量負荷を軽減してその歪みを最小限に抑えるこ
とができる。この場合、運転時に精度部構成部材がＸ、
Ｙ、Ｚ軸に移動しても荷重点変化に対応する基板２の歪
量がどの位置においても許容範囲以下となるので、加工
精度に悪影響を及ぼさず高い加工精度を確保することが
できる。
上記のように形成され、基板２上には精度部を構成する
部材即ちスピンドルユニット３と、テーブルユニット４
と、その上に装着されたアライメントユニット５のみが
搭載されているだけであるから、基板２に余分な力が加
わらず重量負荷を軽減してその歪みを最小限に抑えるこ
とができる。この場合、運転時に精度部構成部材がＸ、
Ｙ、Ｚ軸に移動しても荷重点変化に対応する基板２の歪
量がどの位置においても許容範囲以下となるので、加工
精度に悪影響を及ぼさず高い加工精度を確保することが
できる。
【０００９】又、基板２には精度部構成部材のみ搭載さ
れていることから、組立精度の調整が容易にできると共
に、加工精度に不良が発生したとしてもその原因究明が
し易く、容易に対処することが可能となる。
れていることから、組立精度の調整が容易にできると共
に、加工精度に不良が発生したとしてもその原因究明が
し易く、容易に対処することが可能となる。
【００１０】更に、架台１から基板２を外せばその基板
２に搭載した精度部構成部材を他の精度部構成部材ユニ
ットと容易に交換できることから各種仕様を選択するこ
とが可能となり、或は基板を共用として精度部構成部材
に互換性を持たせることも可能となり、精密切削装置の
使用範囲の拡大が図れる。
２に搭載した精度部構成部材を他の精度部構成部材ユニ
ットと容易に交換できることから各種仕様を選択するこ
とが可能となり、或は基板を共用として精度部構成部材
に互換性を持たせることも可能となり、精密切削装置の
使用範囲の拡大が図れる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板に精度部構成部材のみを搭載し、非精度部構成部材
は架台に装着したので、基板に余計な荷重が掛からずそ
の歪みを極小に抑えることができ、且つ基板の歪みは精
度部構成部材のみ関与するので組立精度の調整が容易に
でき、加工精度の向上が図れ、精度不良の原因追及も簡
単に行える等の優れた効果を奏する。
基板に精度部構成部材のみを搭載し、非精度部構成部材
は架台に装着したので、基板に余計な荷重が掛からずそ
の歪みを極小に抑えることができ、且つ基板の歪みは精
度部構成部材のみ関与するので組立精度の調整が容易に
でき、加工精度の向上が図れ、精度不良の原因追及も簡
単に行える等の優れた効果を奏する。
【図１】 本発明の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２】 従来例を示す分解斜視図である。
１…架台 ２…基板 ３…スピンドルユニット
４…テーブルユニット ５…アライメントユニット ６…配管ユニット ７
…電装ユニット ８…インバーター ９…カバー １０…飛沫カバー
１１…上部カバー １２…モニター
４…テーブルユニット ５…アライメントユニット ６…配管ユニット ７
…電装ユニット ８…インバーター ９…カバー １０…飛沫カバー
１１…上部カバー １２…モニター
Claims (1)
- 【請求項１】 ダイサー等の精密切削装置において、ス
ピンドルユニットと、テーブルユニットと、アライメン
トユニットのみが基板に配設され、モニター、インバー
ター、カバー等の付属部材は前記基板を取り付ける架台
に配設されている精密切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32627292A JPH06155288A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 精密切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32627292A JPH06155288A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 精密切削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155288A true JPH06155288A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=18185917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32627292A Pending JPH06155288A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 精密切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06155288A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1182694A2 (en) * | 2000-08-23 | 2002-02-27 | Tokyo Electron Limited | Processing system for substrate |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP32627292A patent/JPH06155288A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1182694A2 (en) * | 2000-08-23 | 2002-02-27 | Tokyo Electron Limited | Processing system for substrate |
| EP1182694A3 (en) * | 2000-08-23 | 2006-01-25 | Tokyo Electron Limited | Processing system for substrate |
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