JPH06150878A - Chemical ionization apparatus - Google Patents

Chemical ionization apparatus

Info

Publication number
JPH06150878A
JPH06150878A JP4326139A JP32613992A JPH06150878A JP H06150878 A JPH06150878 A JP H06150878A JP 4326139 A JP4326139 A JP 4326139A JP 32613992 A JP32613992 A JP 32613992A JP H06150878 A JPH06150878 A JP H06150878A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reaction gas
ion source
source box
potential
monitor electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4326139A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Yuguchi
浩志 湯口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP4326139A priority Critical patent/JPH06150878A/en
Publication of JPH06150878A publication Critical patent/JPH06150878A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

PURPOSE:To surely reproduce the condition of an ion source box and give excellent reproduction of mass spectrometry. CONSTITUTION:A monitor electrode 20 is installed in a thermoelectron radiating hole 13 in an ion source box 11. An electrometer 21 to detect the potential is also installed. A part of thermoelectrons comes into collision directly with the monitor electrode 20 and give potential to it and since potential is provided also to a reaction gas, which is converted into plasma, the potential of the monitor electrode 20 reflects the ionizing condition of the ion source box 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、質量分析装置等で用い
られる化学イオン化装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical ionizer used in a mass spectrometer or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】化学イオン化装置の概要を図2及び図3
により説明する。イオン源ボックスと呼ばれる容器11
の内部に、反応ガス管14からアンモニア等の反応ガス
を導入し、熱電子照射孔13からフィラメント12によ
り生成される熱電子を照射して反応ガスをイオン化させ
る。試料管15より試料ガスをこのイオン化された反応
ガスの中に入れ、試料ガスをイオン化させる。イオン化
された試料ガスは、一方の側壁に設けられたリペラー電
極18により電気的に反発され、対向する側壁に設けら
れたイオン出口16から質量分析装置の方へ放出され
る。
2. Description of the Related Art An outline of a chemical ionizer is shown in FIGS.
Will be described. Container 11 called an ion source box
A reaction gas such as ammonia is introduced into the inside of the reactor from the reaction gas pipe 14, and the thermoelectrons generated by the filament 12 are irradiated from the thermoelectron irradiation holes 13 to ionize the reaction gas. The sample gas is put into the ionized reaction gas through the sample tube 15 to ionize the sample gas. The ionized sample gas is electrically repelled by the repeller electrode 18 provided on one side wall, and is emitted toward the mass spectrometer from the ion outlet 16 provided on the opposite side wall.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】イオン源ボックス11
の内部における反応ガスの状態(温度及び圧力)は試料
ガスのマスパターン(質量分布)に大きな影響を与え
る。すなわち、反応ガスの温度又は圧力が異なると、有
機試料の分子の切断のされ方が異なるようになり、イオ
ン出口16から放出される試料ガスのマスパターンが異
なってくる。従来は、反応ガス管14から導入する反応
ガスの流量をバルブの開度によりコントロールするのみ
であり、イオン源ボックス11内の反応ガスの状態は実
際には不明であった。このため、一度測定を中断して反
応ガスの導入を中止し、再度バルブを開けてイオン源ボ
ックス11内の状態を前と同じにしようとしても、厳密
に前と同じ状態を再現することは困難であり、質量分析
の再現性に問題があった。
Ion source box 11
The state (temperature and pressure) of the reaction gas inside the chamber has a great influence on the mass pattern (mass distribution) of the sample gas. That is, when the temperature or pressure of the reaction gas is different, the way the molecules of the organic sample are cut is different, and the mass pattern of the sample gas emitted from the ion outlet 16 is different. Conventionally, the flow rate of the reaction gas introduced from the reaction gas pipe 14 is only controlled by the opening degree of the valve, and the state of the reaction gas in the ion source box 11 is actually unknown. Therefore, even if the measurement is temporarily stopped, the introduction of the reaction gas is stopped, and the valve is opened again to make the state inside the ion source box 11 the same as before, it is difficult to exactly reproduce the same state as before. Therefore, there was a problem in the reproducibility of mass spectrometry.

【0004】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、イオン
源ボックスの中の状態を確実に再現することのできる化
学イオン化装置を提供することにある。
The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a chemical ionization apparatus capable of reliably reproducing the state in the ion source box. Especially.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明に係る化学イオン化装置は、 a)イオン源ボックス内に置かれたモニタ電極と、 b)モニタ電極の電位を検出する手段とを備えることを特
徴としている。
A chemical ionization apparatus according to the present invention made to solve the above-mentioned problems comprises: a) a monitor electrode placed in an ion source box; and b) detecting the potential of the monitor electrode. And means for doing so.

【0006】[0006]

【作用】フィラメントにより生成された熱電子は熱電子
照射孔からイオン源ボックス内に入り、一部はイオン源
ボックス内の反応ガスをプラズマ化(イオン化)する
が、残りは反応ガスとは衝突せず、モニタ電極に衝突し
て、モニタ電極に負の電位を与える。一方、プラズマ化
された反応ガスもモニタ電極に電位を与える。これらに
よりモニタ電極に与えられる電位は、イオン源ボックス
内のイオン化の状態を反映するものであるため、逆に、
モニタの電位を監視することにより、イオン源ボックス
内の反応ガスの状態を監視し、制御することができるよ
うになる。
[Function] The thermoelectrons generated by the filament enter the ion source box through the thermoelectron irradiation holes, and part of the reaction gas in the ion source box is plasmatized (ionized), but the rest collides with the reaction gas. Instead, it collides with the monitor electrode and gives a negative potential to the monitor electrode. On the other hand, the reactive gas turned into plasma also gives a potential to the monitor electrode. Since the potential applied to the monitor electrode by these reflects the state of ionization in the ion source box, conversely,
By monitoring the potential of the monitor, the state of the reaction gas in the ion source box can be monitored and controlled.

【0007】[0007]

【実施例】本発明の一実施例を図1及び図2により説明
する。本実施例の化学イオン化装置では、図1に示すよ
うに、イオン源ボックス11の内部の、熱電子照射孔1
3に対向する位置にモニタ電極20が設けられている。
また、イオン源ボックスの外部には、モニタ電極20の
電位を表示する電位計21が設けられている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the chemical ionization apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 1, the thermoelectron irradiation hole 1 inside the ion source box 11 is used.
A monitor electrode 20 is provided at a position opposed to 3.
An electrometer 21 that displays the potential of the monitor electrode 20 is provided outside the ion source box.

【0008】本実施例の化学イオン化装置においても、
従来の装置と同様、側壁に設けられた反応ガス管14か
らアンモニア、イソブタン等の反応ガスを導入し、熱電
子照射孔13から熱電子を照射して反応ガスをイオン化
させる。そして、試料管15より試料ガスをイオン源ボ
ックス11内に入れ、反応ガスイオンにより試料ガスを
イオン化させる。イオン化された試料ガスはリペラー電
極18によりイオン源ボックス11から放出され、質量
分析装置の方へ送られる。
Also in the chemical ionization apparatus of this embodiment,
Similar to the conventional apparatus, a reaction gas such as ammonia or isobutane is introduced from the reaction gas pipe 14 provided on the side wall, and the reaction gas is ionized by irradiating thermoelectrons from the thermoelectron irradiation holes 13. Then, the sample gas is put into the ion source box 11 through the sample tube 15, and the sample gas is ionized by the reaction gas ions. The ionized sample gas is emitted from the ion source box 11 by the repeller electrode 18 and sent to the mass spectrometer.

【0009】こうして反応ガスのイオン化を行なってい
る際、操作者は電位計21の値が一定となるように反応
ガス管14からイオン源ボックス11に供給する反応ガ
スの流量を調節する。電位計21はモニタ電極20の電
位を示すものであるが、モニタ電極20には、フィラメ
ント12により生成された熱電子であって反応ガス分子
に衝突しなかったもの(1次電子)、及び、熱電子によ
りプラズマ化された反応ガス分子(一部には試料ガス分
子も含まれる)から放出された電子が衝突し、これらが
モニタ電極20に電位を与える。従って、一旦測定を中
断して反応ガスを停止させた後、再度反応ガスの導入を
再開する場合や、周辺温度が変化するような状況の下で
測定を行なう場合等には、モニタ電極20の電位が一定
となるように反応ガスの流量を調節することにより、イ
オン源ボックス11内の状態を一定に保つことができ
る。
During the ionization of the reaction gas in this way, the operator adjusts the flow rate of the reaction gas supplied from the reaction gas pipe 14 to the ion source box 11 so that the value of the electrometer 21 becomes constant. The electrometer 21 indicates the potential of the monitor electrode 20. The monitor electrode 20 includes thermoelectrons generated by the filament 12 that do not collide with reaction gas molecules (primary electrons), and Electrons emitted from reaction gas molecules (some of which include sample gas molecules) turned into plasma by thermal electrons collide with each other, and these give an electric potential to the monitor electrode 20. Therefore, when the measurement is temporarily stopped to stop the reaction gas and then the introduction of the reaction gas is restarted, or when the measurement is performed under a condition where the ambient temperature changes, the monitor electrode 20 By adjusting the flow rate of the reaction gas so that the electric potential becomes constant, the state inside the ion source box 11 can be kept constant.

【0010】なお、反応ガス流量の制御は、マイコンと
電子制御弁を用いて自動的に行なうようにしてもよい。
The reaction gas flow rate may be automatically controlled using a microcomputer and an electronic control valve.

【0011】[0011]

【発明の効果】本発明に係る化学イオン化装置では、イ
オン源ボックス内の状態をモニタすることができるた
め、その状態を一定とするように制御を行なうことがで
きる。このため、試料のイオン化の際のマスパターンに
変化が生じることが防止され、質量分析の再現性が良好
となる。このイオン化状態の再現性の向上は、一旦測定
を中断して反応ガスを停止させた後、再度反応ガスの導
入を再開する場合や、周辺温度が変化するような状況の
下で測定を行なう場合等において特に有効である。
In the chemical ionization apparatus according to the present invention, since the state inside the ion source box can be monitored, the state can be controlled to be constant. Therefore, it is possible to prevent a change in the mass pattern at the time of ionization of the sample, and to improve the reproducibility of mass spectrometry. This improvement in the reproducibility of the ionized state is achieved by interrupting the measurement and stopping the reaction gas, then restarting the introduction of the reaction gas, or when performing measurement under conditions where the ambient temperature changes. It is especially effective in such cases.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施例である化学イオン化装置の
断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a chemical ionization apparatus that is an embodiment of the present invention.

【図2】 化学イオン化装置の斜視図。FIG. 2 is a perspective view of a chemical ionization device.

【図3】 従来の化学イオン化装置の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional chemical ionization device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…イオン源ボックス 12…フィラメ
ント 13…熱電子照射孔 14…反応ガス
管 15…試料管 16…イオン出
口 18…リペラー電極 20…モニタ電
極 21…電位計
11 ... Ion source box 12 ... Filament 13 ... Thermoelectron irradiation hole 14 ... Reaction gas tube 15 ... Sample tube 16 ... Ion outlet 18 ... Repeller electrode 20 ... Monitor electrode 21 ... Electrometer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 a)イオン源ボックス内に置かれたモニタ
電極と、 b)モニタ電極の電位を検出する手段とを備えることを特
徴とする化学イオン化装置。
1. A chemical ionization apparatus comprising: a) a monitor electrode placed in an ion source box; and b) means for detecting the potential of the monitor electrode.
JP4326139A 1992-11-10 1992-11-10 Chemical ionization apparatus Pending JPH06150878A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4326139A JPH06150878A (en) 1992-11-10 1992-11-10 Chemical ionization apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4326139A JPH06150878A (en) 1992-11-10 1992-11-10 Chemical ionization apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06150878A true JPH06150878A (en) 1994-05-31

Family

ID=18184490

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4326139A Pending JPH06150878A (en) 1992-11-10 1992-11-10 Chemical ionization apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06150878A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4863593B2 (en) Method and apparatus for increasing secondary ion yield
JPS63954A (en) Glow discharge mass spectrometer
WO2007108211A1 (en) Gas analyzer
US4159423A (en) Chemical ionization ion source
US20080067356A1 (en) Ionization of neutral gas-phase molecules and mass calibrants
JPH06150878A (en) Chemical ionization apparatus
JPH1154083A (en) Ionization device
JPH11329328A (en) Electron beam inspection device
JPS5843863B2 (en) mass spectrometer
JP3505071B2 (en) Atmospheric pressure ionization mass spectrometer and method thereof
JP2688488B2 (en) Micro probe surface analyzer
US4037108A (en) Ion source with capability of changing between operation modes
JPS5943646Y2 (en) Direct chemical ion source for mass spectrometers
JP3582213B2 (en) Atmospheric pressure ionization mass spectrometer
JPS5832200Y2 (en) ion source device
JPS6335399Y2 (en)
JPH0412590Y2 (en)
KR950005662Y1 (en) Process monitoring apparatus of plasma etching chamber
TW202242952A (en) Wide range electron impact ion source for a mass spectrometer
JP2765014B2 (en) Ion source device
JPH0232749B2 (en)
JPH01281651A (en) Ion source for mass spectrometry
JPH09134698A (en) Ion beam machining device
JP4582935B2 (en) Mass spectrometer
JPS5935506B2 (en) Ion source for mass spectrometer