JPH06129374A - 油回転真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ケーシング内に貯溜された旧油の排出をケー
シングの上部から行えるようにした油回転真空ポンプを
提供する。 【構成】 ケーシング６の端壁の上部には円筒状のシリ
ンダ室１８が形成され、更にシリンダ室１８の底面の中
央とケーシング６の内側の底面との間は油導入路１９に
より連通されている。シリンダ室１８の底面には第１逆
止弁として公知のリード弁２０が取付けられており、油
導入路１９からシリンダ室１８に向かって真空油を流通
させるようになっている。シリンダ室１８にはピストン
２１が摺動自在に嵌合しており、蓋板１６を貫通したＴ
形ハンドル２２により上下に駆動されるようになってい
る。ピストン２１には連通孔２３が形成されると共に、
その直上面にリード弁２４が取付けられ、連通孔２３を
通して下方から上方にのみ流体を流通させるようになっ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は油回転真空ポンプに係
り、特にケーシング内の真空油を排出する技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハに対してスパッタリングや
エッチングを施す半導体製造装置等には、これらのプロ
セスを実行するための処理室を真空引きする真空ポンプ
が装備されている。真空ポンプとしては、１０^-1Ｐａ程
度の真空を得ることのできる油回転真空ポンプが用いら
れている。周知のように、油回転真空ポンプはケーシン
グ内に貯溜した蒸気圧の低い真空油中にポンプを浸漬し
たもので、この真空油をポンプ内に導入して、ポンプの
シールの他、駆動シャフトの潤滑等を行っている。

【０００３】ところで、油回転真空ポンプを長期に亘り
使用すると、反応生成物や摺動粉等の真空油中への混入
量が増加すると共に、真空油自体も酸化等により劣化・
変質する。したがって、油回転真空ポンプの定期オーバ
ホール時等には、真空油の交換が一般に行われている。
真空油の交換時には、ケーシングの最下部に設けられた
油排出口から旧油を排出した後、給油口から所定の油面
レベルになるように新油を注入する。尚、油排出口には
ドレーンボルトやドレーン弁が取付けられており、これ
らを脱着あるいは操作することにより、ドレーンホール
の開閉が行われる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の油回転
真空ポンプでは、旧油を完全に排出するため、油排出口
はケーシングの最下部に設けられている。そのため、油
排出口と床面との距離が少なく、旧油を受けるオイル受
けを設置することが難しかった。また、オイル受けには
底の浅いものを使用せざるを得ないが、このようなオイ
ル受けは持ち運びの際に多少傾けただけで縁から旧油が
こぼれ、床面を汚すことが多かった。このような不具合
を解消するために、電動ポンプを組み込んで旧油をケー
シングの上部に移送して排出する案もあったが、真空油
の交換はその頻度が極めて少ないため、コストの上昇等
を考えるとその実施は難しかった。

【０００５】そこで、本発明は、上記従来技術が有する
問題点を解消し、安価かつ簡便な構成でありながら、旧
油の排出をケーシングの上部から行えるようにした油回
転真空ポンプを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の油回転真空ポンプは、第１にケーシングの
上部に形成された油排出口と、上記ケーシングの内側の
底面近傍に吸入口が開口した油導入路と、上記油排出口
と上記油導入路の流出口との間に配置された円筒状のシ
リンダ室と、上記油導入路の流出口付近に設けられ真空
油を上記油導入路から上記シリンダ室へのみ流通させる
第１逆止弁と、上記シリンダ室内を軸方向へ摺動可能に
組込まれた手動式のピストンと、このピストンに形成さ
れた連通孔と、この連通孔の出口側に設けられ真空油を
上記ピストンの下部から上部へのみ流通させる第２逆止
弁とを備えたことを特徴とし、また、第２にケーシング
の上部に形成された油排出口と、上記ケーシングの内側
の底面近傍に吸入口が開口した油導入路と、上記油導入
路の流出口の側に形成され上端が開放された第１ポンプ
室と、上記油導入路の流出口付近に設けられ真空油を上
記油導入路から第１ポンプ室へのみ流通させる第１逆止
弁と、上記第１ポンプ室の開放部に取り付けられた弾性
を有する半球形のポンプ膜と、上記油排出口に連通する
と共に上記第１ポンプ室に隣接して形成された第２ポン
プ室と、上記第１ポンプ室と上記第２ポンプ室とを連通
する連通孔と、この連通孔の第２ポンプ室側に設けられ
真空油を上記第１ポンプ室から第２ポンプ室へのみ流通
させる第２逆止弁とを備えたことを特徴とするものであ
る。

【０００７】

【作用】本発明によれば、ピストンあるいはポンプ膜を
手動で操作することにより、ケーシング内の真空油が油
導入路の吸入口からシリンダ室あるいは第１および第２
ポンプ室に流入して、ケーシング上部の油排出口に移送
される。したがって、底の深いオイル受けを使用するこ
とが可能となり、床面を汚すことがなくなる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明による油回転真空ポンプの実施
例について添付の図面を参照して説明する。

【０００９】本発明の第１実施例を示した図１におい
て、油回転真空ポンプ１は２段回転翼形であり、サクシ
ョンパイプ２を介してシリンダ室内に吸い込んだ空気を
加圧する第１段ポンプ３と、第１段ポンプ３から吐出さ
れた空気を更に加圧する第２段ポンプ４とでポンプ機構
が構成されている。両ポンプ３，４は、真空油５を貯溜
したケーシング６内に装備されており、プーリ７に掛け
回されたＶベルト８を介して図示を省略した駆動モータ
により回転駆動される。真空油５はフロントカバー９に
形成されたオイルギャラリー１０からポンプ４，３内に
導入され、ロータシャフト１１の潤滑やブレード１２，
１３とシリンダ１４，１５の内壁との間のシール等を行
う。図中、１６は蓋板であり、１７は給油口である。

【００１０】ケーシング６の端壁の上部には円筒状のシ
リンダ室１８が形成され、更にシリンダ室１８の底面の
中央部とケーシング６の底面との間は油導入路１９によ
って連通されている。シリンダ室１８の底面には第１逆
止弁として公知のリード弁２０が取付けられており、油
導入路１９からシリンダ室１８に向かって真空油を流通
させるようになっている。

【００１１】シリンダ室１８には円盤状のピストン２１
が摺動自在に嵌合しており、このピストン２１は蓋板１
６を貫通したＴ形ハンドル２２により上下に駆動される
ようになっている。ピストン２１には連通孔２３が形成
されると共に、その直上面に第２逆止弁としてリード弁
２４が取付けられ、連通孔２３を通して下方から上方に
のみ流体を流通させるようになっている。図中、２５は
ピストン２１の外周に嵌め込まれたＯリングであり、シ
リンダ室１８の内壁に摺接してシールを行う。また、２
６，２７は共に蓋板１６に嵌め込まれたＯリングであ
り、それぞれＴ形ハンドル２２の軸封とケーシング６と
の接合面のシールとを行う。シリンダ室１８の上部には
管用ねじ孔である油排出口２８が形成されており、この
油排出口２８に流出口が下向きに形成された排出弁２９
がねじ込まれている。図中、３０は円筒状のオイル受け
であり、排出弁２９の下方に設置されている。

【００１２】以下、上述した本発明の第１実施例の作用
を述べる。本実施例では真空油の交換を行う場合、先ず
排出弁２９を開放状態にした後、Ｔ形ハンドル２２を操
作してピストン２１を上下に駆動する。すると、ピスト
ン２１の下降時には、シリンダ室１８側のリード弁２０
が閉鎖状態となる一方、ピストン２１側のリード弁２４
が開放状態となり、連通孔２３を通してピストン２１の
下方から上方に旧油が流出する。反対にピストン２１の
上昇時には、ピストン２１側のリード弁２４が閉鎖状態
となり、シリンダ室１８におけるピストン２１の下部が
負圧となる。そのため、シリンダ室１８側のリード弁２
０は開放状態となり、ケーシング６内の旧油が油導入路
１９を介してシリンダ室１８に流入する。また、同時に
ピストン２１の上部に存在していた旧油は圧縮され、排
出弁２９を通してオイル受け３０に排出される。

【００１３】Ｔ形ハンドル２２の操作を繰り返すと、油
導入路１９がケーシング６の底面近傍に開口しているた
め、旧油はすべてオイル受け３０に排出される。しかる
後、排出弁２９を閉鎖して、給油口１７から所定量の新
油を供給するのである。

【００１４】次に図２を参照して本発明の第２実施例を
説明する。油回転真空ポンプ１は第１実施例と同様の２
段回転翼形である。ケーシング６の端壁の上部には筒状
の第１ポンプ室３１が形成され、更に第１ポンプ室３１
の下面中央とケーシング６の内下面近傍とを連通する油
導入路１９が形成されている。第１ポンプ室３１の下面
には第１逆止弁としてリード弁２０が取付けられてお
り、油導入路１９から第１ポンプ室３１側にのみ流体を
流通させるようになっている。蓋板１６には、第１ポン
プ室３１と連続する円形の開口部３２が形成されてお
り、この開口部３２にゴム膜からなる半球形のポンプラ
バー３３が取り付けられている。

【００１５】第１ポンプ室３１の端壁にはこれも筒状の
第２ポンプ室３４が形成されている。第１ポンプ室３１
と第２ポンプ室３４との間には連通孔３５が形成される
と共に、第２ポンプ室３４の壁面に第２逆止弁としてリ
ード弁２４が取付けられ、連通孔３５を通して第１ポン
プ室３１側から第２ポンプ室３４側にのみ流体を流通さ
せるようになっている。第２ポンプ室３４の下部には管
用ねじ孔である油排出口２８が形成されており、この油
排出口２８に流出口が下向きに形成された排出弁２９が
ねじ込まれている。

【００１６】以下、第２実施例の作用を述べる。本実施
例では真空油の交換を行う場合、先ず排出弁２９を開放
状態にした後、ポンプラバー３３を手のひら等で下方に
押し付ける。すると、図２に破線で示したようにポンプ
ラバー３３が変形し、第１ポンプ室３１内の圧力が上昇
する。その結果、リード弁２０が閉鎖状態となる一方で
リード弁２４は開放状態となり、連通孔３５を通して第
１ポンプ室３１から第２ポンプ室３４側に旧油が流入し
て、排出弁２９を通してオイル受け３０に排出される。
また、ポンプラバー３３から手を放すと、図２に実線で
示したようにポンプラバー３３が復帰し、第１ポンプ室
３１が負圧となる。そのため、リード弁２０は開放状態
となり、ケーシング６内の旧油が油導入路１９を介して
シリンダ室１８に流入する。

【００１７】この操作を繰り返すことにより、第１実施
例と同様に、旧油はすべてオイル受け３０に排出され
る。しかる後、排出弁２９を閉鎖して、給油口１７から
所定量の新油を供給するのである。

【００１８】以上で具体的実施例の説明を終えるが、本
発明の態様はこれらの実施例に限るものではない。例え
ば、上記各実施例は本発明を２段回転翼形の油回転真空
ポンプに適用したものであるが、カム形や回転翼形、揺
動ピストン形の油回転真空ポンプに適用してもよい。ま
た、第１および第２逆止弁としてリード弁に代えてチェ
ックボール等を用いてもよい。

【００１９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、手動式オイルポンプを用いてケーシングの上
部に設けられた油排出口に真空油を移送するようにした
ため、簡便な構成で旧油の排出をケーシングの上部から
行えるようになり、床面を汚さずに真空油の交換が行え
る等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による油回転真空ポンプの第１実施例を
示した縦断面図。

【図２】本発明による油回転真空ポンプの第２実施例を
示した縦断面図。

【符号の説明】

１ 油回転真空ポンプ ５ 真空油 ６ ケーシング １６ 蓋板 １８ シリンダ室 １９ 油導入路 ２０ リード弁 ２１ ピストン ２２ Ｔ形ハンドル ２３ 連通孔 ２４ リード弁 ２９ 排出弁 ３０ オイル受け ３１ 第１ポンプ室 ３３ ポンプラバー ３４ 第２ポンプ室 ３５ 連通孔

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ケーシングの上部に形成された油排出口
   と、上記ケーシングの内側の底面近傍に吸入口が開口し
   た油導入路と、上記油排出口と上記油導入路の流出口と
   の間に配置された円筒状のシリンダ室と、上記油導入路
   の流出口付近に設けられ真空油を上記油導入路から上記
   シリンダ室へのみ流通させる第１逆止弁と、上記シリン
   ダ室内を軸方向へ摺動可能に組込まれた手動式のピスト
   ンと、このピストンに形成された連通孔と、この連通孔
   の出口側に設けられ真空油を上記ピストンの下部から上
   部へのみ流通させる第２逆止弁とを備えたことを特徴と
   する油回転真空ポンプ。
2. 【請求項２】ケーシングの上部に形成された油排出口
   と、上記ケーシングの内側の底面近傍に吸入口が開口し
   た油導入路と、上記油導入路の流出口の側に形成され上
   端が開放された第１ポンプ室と、上記油導入路の流出口
   付近に設けられ真空油を上記油導入路から第１ポンプ室
   へのみ流通させる第１逆止弁と、上記第１ポンプ室の開
   放部に取り付けられた弾性を有する半球形のポンプ膜
   と、上記油排出口に連通すると共に上記第１ポンプ室に
   隣接して形成された第２ポンプ室と、上記第１ポンプ室
   と上記第２ポンプ室とを連通する連通孔と、この連通孔
   の第２ポンプ室側に設けられ真空油を上記第１ポンプ室
   から第２ポンプ室へのみ流通させる第２逆止弁とを備え
   たことを特徴とする油回転真空ポンプ。