JPH06123839A

JPH06123839A - ライトバルブ

Info

Publication number: JPH06123839A
Application number: JP27318492A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Yagi; 隆行八木; Tomoko Murakami; 智子村上; Kazuo Isaka; 和夫井阪; Hirotsugu Takagi; 博嗣高木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1992-10-12
Filing date: 1992-10-12
Publication date: 1994-05-06
Anticipated expiration: 2016-04-03
Also published as: JP3151069B2

Abstract

(57)【要約】【目的】小型化でかつアレイ化が容易な機械式のライ
トバルブであり、光透過型であり、光量調節が可能であ
り、高速に光量を調節制御することが可能である。【構成】Ｓｉ基板には、基板の裏面からの入射光が透
過する光透過部が穿設されている。Ｓｉ基板の裏面より
入射される入射光は、基板に設けた光透過部を通じて基
板の表面に出る。一方、基板の上面には回転軸となる回
転支持部が形成されており、回転支持部には円板状の移
動部材としての回転部が回転可能に支持されている。回
転部には入射光を透過可能な窓が穿設されており、光透
過部を透過した入射光はこの窓を通って基板の上方に出
る。回転部の周囲には、回転部と隙間を設けた固定電極
が回転部の周りを囲むようにそれぞれ等間隔で固定され
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業の利用分野】本発明はライトバルブ、特に移動部
材を用いて光量制御を行なう小型のライトバルブに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】現在、主なライトバルブには、カメラ等
の光量調整に用いられる機械式絞り、液晶セルまたはＰ
ＬＺＴ等の強誘電体材料の電気光学効果を用いて背面か
ら照射された光量を微小面積で制御する固体化光シャッ
ター（電子写真学会誌、第３０巻、第４号、１９９１，
ｐ４４７〜４９４）等がある。中でも上記光シャッター
は、光ファイバー伝送路や末端装置の切り替えのために
用いられる光スイッチ等の光偏向器、一次元にアレイ化
することにより電子写真式プリンタの光プリンタヘッ
ド、液晶セルを２次元面配置する液晶ディスプレイ等の
様々な応用が検討されている。

【０００３】機械式ライトバルブは、光スイッチ等の光
通信用光学素子としては光の波長によらず偏向や遮蔽が
可能であるため、多重波長光源を使用する場合や、光源
の波長変動等がある場合において有用であるが、高速応
答性、小型化、アレイ化等の点で固体化光シャッターに
比して劣り、応用分野が限られている。

【０００４】ところで、近年フォトリソプロセスを用い
た極めて小型の可動機構を有する微小機械がマイクロメ
カニクス技術により検討されている。典型的な微小機械
としてはワブルマイクロモーター（M. Mehregany et a
l.,"Operation of microfabricated harmobic and ordi
nary side-drive motors",Proxeedings IEEE Micro Ele
ctro Mechanical Systems Workshop 1990,p1-8 ）やリ
ニアマイクロアクチュエータ（P. Cheung et al.,"Mode
ling and position-detection of a polysiliconlinear
microactuator",Micromechanical Sensors,Actuators,
and Systems ASME 1991,DS C-Vol.32.p269-278 ）等が
提案されている。これら微小機械は、半導体フォトリソ
プロセスにより作製されアレイ化、低コスト化が容易で
あり、小型化することで高速応答性を期待できる。機械
式光学素子としては、光偏向器、干渉計が提案されてい
る。光偏向器では可撓梁を有する金属薄膜の反射を用い
た画素を平面上に複数配置したDot-matrix display(Gal
lagher,"Microshutters Flipof Form Characters in Do
t-matrix display".Electronics,1983.7.14.p81-82)、
空間光変調器（特開平２−８８１２）等があり、干渉計
ではJ.H.Jerman等によるメンブレンの撓みを利用したフ
ァブリペロー干渉計（“A.Miniature Fabry-Perot Inte
rferometer Fabricated Using Silicon Micromachinig
Techniques”，IEEE Solid-State Sensor And Actuator
workshop 1988.p16-18 ）が提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、前述
の光偏向器では素子を小型化でき光シャッターとして用
いることは可能であるが、光の反射を利用する為に光源
を素子の上部より照射する必要があり、光源とレンズ系
を合わせた画像形成装置全体としての小型化が困難であ
るという問題点がある。干渉計においては波長選択をメ
ンブレンの撓み量により行うために、メンブレンを大き
く取る必要があり、干渉計を小型化しアレイ化すること
は困難であるという問題点もある。

【０００６】またこれら機械式光学素子は、光量を調節
し、画素毎の諧調表現を与えることも困難であるという
問題点がある。

【０００７】本発明は、以上のような従来技術の有する
問題点に鑑みてなされたものであって、小型化でかつア
レイ化が容易な機械式のライトバルブであり、光透過型
であり、光量調節が可能であり、高速に光量を調節制御
することが可能であるライトバルブを提供することを目
的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係るライトバルブは、変位手段によって移動
部材を変位させることにより、前記移動部材背面より入
射される光量を調節して制御する小型のライトバルブに
おいて、一部に光透過部が形成され、前記移動部材を変
位可能に支持するとともに前記移動部材の端部と隙間を
介するように固定電極が複数固設された基板を有し、前
記変位手段は、前記固定電極に電圧を印加して前記移動
部材に誘導電荷を発生させ、前記移動部材を変位させる
ことにより前記光透過部を通る光の量を調節するもので
あって、また、前記基板がガラスより形成され、前記光
透過部は前記ガラスの一面に形成される遮光膜の一部を
除去して形成されているものや、前記基板がＳｉ基板よ
り形成され、前記光透過部は前記Ｓｉ基板の一部を除去
して形成されているものや、前記移動部材は回転板から
成り、該回転板は前記基板に形成された回転支持部によ
り回転可能に支持されているものや、前記移動部材は、
端部を固定した可撓梁に支持されているものや、前記基
板に固設された前記固定電極が前記移動部材を支持する
ためのガイド部と一体に形成され、該ガイド部に形成さ
れた固定電極は前記移動部材と隙間を介するように形成
されているものなどで、前記移動部材に孔が形成されて
いるものであってもよい。

【０００９】

【作用】上記のとおり構成された本発明に係るライトバ
ルブは、基板の一部に光透過部を形成し、基板上に複数
固設された固定電極と隙間を介するように支持されると
ともに変位可能な移動部材を設け、変位手段によって固
定電極に電圧を印加し移動部材に誘導電荷を発生させる
ことにより、移動部材が固定電極側に変位され、固定電
極に印加する電圧を変化させれば、基板に形成された光
透過部を通った光の量が移動部材によって調節される。

【００１０】

【実施例】次に本発明の実施例について図１乃至図１４
の図面を参照して詳細に説明する。

【００１１】（第１実施例）図１は本発明のライトバル
ブの第１実施例の平面図である。図２は図１のＡ−Ａ線
断面図である。

【００１２】図１および図２に示すようにＳｉ基板１に
は、基板１の裏面からの入射光２を透過するための光透
過部３が穿設されている。Ｓｉ基板１の裏面より入射さ
れる入射光２は、基板１に設けた光透過部３を通じて基
板１の表面に出る。一方、基板１の上面には回転軸とな
る回転支持部４が形成されており、回転支持部４には円
板状の移動部材としての回転部５が回転可能に支持され
ている。回転部５には入射光２を透過可能な孔としての
窓６が穿設されており、光透過部３を透過した入射光２
はこの窓６を通って基板１の上方に出る。回転部５の周
囲には、回転部５と隙間７を設けた固定電極８が回転部
５の周りを囲むようにそれぞれ等間隔で固定されてい
る。

【００１３】回転部５と隙間７を介して固定された固定
電極８に電圧が印加されると、回転部５と固定電極８間
に静電引力が働く。これにより、複数の固定電極８のそ
れぞれに順次に電圧を印加すると、回転部５は回転支持
部１４に接しながら回転する。このとき、光透過部１３
と回転部１５に設けた窓１６の重なり合う面積により光
の透過光量を調整することが可能となる。

【００１４】本発明に係るライトバルブの第１実施例の
回転部と固定電極は、マイクロメカニクス技術により製
造される前述のワブルマイクロモーターを応用した。

【００１５】ここで本発明に係るライトバルブの第１実
施例の製造工程を図３に示す工程図を参照にして説明す
る。

【００１６】本実施例の製造方法は、Ｓｉ基板１１の両
面にシリコン窒化膜１２を減圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）に
より成膜し、片面の一部をフォトリソグラフィとエッチ
ングによりパターニングして開口部１３を形成する（図
３（Ａ））。エッチングはＣＦ₄ を反応ガスとして用い
た反応性イオンエッチング（ＲＩＦ）によって行った。

【００１７】次いで、Ｓｉ結晶方位面のエッチング速度
差を利用する異方性エッチングによって、図３（Ｂ）に
示す様なＳｉメンブレン１４を形成する。異方性エッチ
ングはＫＯＨ水溶液を加熱して行う。メンブレンの厚み
としてはフォトリソグラフィ等を行うに際してハンドリ
ング上で破損しない厚みであればよく数十μｍ程度とし
た。

【００１８】ポリシリコン膜をＬＰＣＶＤにより成膜し
パターニングした後にリンをイオン注入法により注入し
回転部及び回転支持部の電気シールド部１５を形成する
（図３（Ｃ））。

【００１９】真空スパッタリング法により第１犠牲層１
６となるＳｉＯ₂ を２μｍ成膜した後にパターニングし
た（図３（Ｄ））。

【００２０】次いでポリシリコン膜をＬＰＣＶＤにて
２．５μｍ成膜した後にパターニングし、リンをイオン
注入することにより、移動部材としての回転部１７、窓
１８及び固定電極１９を形成する（図３（Ｅ））。

【００２１】真空スパッタリング法にて第２犠牲層２１
であるＳｉＯ₂ 膜を形成し、ポリシリコン膜を１μｍ成
膜した後にパターニングし、リンをイオン注入すること
により回転支持部２０を形成する（図３（Ｆ））。

【００２２】Ｓｉメンブレン１４を裏面よりＳＦ₆ を反
応ガスとしてＲＩＥによりエッチングし光透過部１３を
形成し、最後にフッ酸水溶液にてＳｉＯ₂ 膜をエッチン
グ除去することにより（図３（Ｇ））、ライトバルブを
形成した。このときＲＩＥによるメンブレン除去時にＳ
ｉＯ₂ 膜がエッチストップ層となり回転部がエッチング
されることはなく、シリコン窒化膜を除去しても差し支
えない。ここでは、光透過部から回転部への空気流が流
入し変位動作を疎外することを防止するために、シリコ
ン窒化膜は残した。

【００２３】このようにして作製したライトバルブは、
極めて小型かつ軽量にアレイ化して作製できる。回転部
の半径を１００μｍ、空隙を１．５μｍとし、回転部周
囲に固定されたの各固定電極に同期しながら順次電圧５
０Ｖ印加することにより５００Ｈｚ以上の回転速度を達
成できる。これにより、定常的に入射する光に対して透
過光のオンオフを数ミリ秒以下の高速で行うことがで
き、回転部の窓と光透過部の重なり面積を窓の位置によ
り調整することで透過光の光量調節が可能となった。

【００２４】図３において、光透過部としてＳｉメンブ
レンをエッチングした開口部分を用いたが、Ｓｉメンブ
レンの開口面積を適当な大きさにとり、電気シールド部
の一部を開口して光透過部として用いても良い。また、
ここでは、Ｓｉ基板を用いたが、K. Suzuki 等（"Singk
e Crysral sillcon rotational micromotors".Proceedi
ngs IEEE Micro Electro Mechanical Systems 1991,p15
-20 ）のガラス基板上に移動部材としての回転部、固定
電極部等を形成したＳｉ基板を接合することにより形成
する方法を用いればガラス基板を用いることも可能であ
る。また、本発明の第１実施例のライトバルブにおける
作製工程ではポリシリコン膜からなる移動部材とした
が、B. Frazier等（"DESING AND FABRICATION OF ELECT
ROPLATED MICROMOTOR STRUCTURES", Micromechanical S
ensors,Actuators,and Systems ASME 1991,DSX-Vol.3
2.p135-146 ）による電解析出による金属を用いてライ
トバルブを形成しても良いことは言うまでもない。ま
た、第１実施例のライトバルブでは図１に示すように移
動部材に１つの窓を設けたが、例えば、図４に示すよう
に移動部材としての回転部５（図１）の外周部を解放し
た複数の窓６（図１）を設けても良い。このようにする
ことにより回転方向を規定した際、光透過部３（図１）
からの入射光の遮光速度が窓の倍数分向上することが可
能となる。また、第１実施例のライトバルブにおいて入
射光は基板下面からとしたが、移動部材としての回転部
側の上方より光を入射しても良いことは言うまでもな
い。

【００２５】次に本実施例のライトバルブを適用した一
応用例について説明する。

【００２６】図５は本実施例を光ファイバー通信ネット
ワークに用いた場合の１×６の光スイッチの例である。

【００２７】図に示すライトバルブ３２は移動部材のみ
簡略して示した。図５（Ｃ）に示すように基板３８に
は、光ファイバー束３１から出た入射光が全部透過可能
な光透過部４０が設けられている。これにより、基板３
８の下面より入射する光は回転部３６の窓３７の下部の
みの光を選択的に基板上に取り出すことができる。

【００２８】光スイッチは光ファイバ伝送路や末端装置
の切り替えのために用いられる最も重要な光制御用部品
のひとつである。ライトバルブ３２により６本の光ファ
イバー束３１からの入射光３３を回転部３６の窓３７を
通じて透過及び遮光を行うことができ（図５（Ｃ））、
このようにして選択的に取り出して光情報をロッドレン
ズ３４を介して他の光ファイバー３５に入射させること
が可能となる。従来の反射鏡回転型機械駆動式光スイッ
チ（石塚、National Tech. Report, 27,p118,1981 ）は
挿入損失や漏和の低い長所を持つ反面、切り替え速度が
遅いという問題点があったが、本発明のライトバルブは
小型化が容易であり、機械的共振周波数を上げることが
でき切り替え速度を向上できた。

【００２９】（第２実施例）図６は、本発明のライトバ
ルブの第２実施例を示す斜視図である。図７は図６のＢ
ーＢ線断面図である。

【００３０】ここで示す移動部材および固定電極の形態
は、前述の従来技術の説明に示したリニアマイクロアク
チュエータとした。K. Suzuki 等の作製方法により、Ｓ
ｉ基板上にあらかじめパターン形成した移動部材４６お
よび固定電極４８をガラス基板４１に陽極接合方法によ
り接合し、パターン部のみを残してＳｉをエッチング除
去し図６に示すライトバルブを得た。

【００３１】本発明のライトバルブの第２実施例を図６
および図７を参照して説明する。

【００３２】図７に示すようにガラス基板４１の両面の
一方には開口部４３を有する遮光膜４２が形成されてお
り、その反対面には開口部４３と対向する位置に透過部
４４を有する電気シールド部４５が形成されている。ガ
ラス基板４１の上方には、そのガラス基板４１の一面と
水平に移動可能な移動部材４６が支持されている。移動
部材４６には孔としての窓４７が穿設されており、ガラ
ス基板４１の裏面の開口部４３からの入射光が移動部材
４６に設けた窓４７を通過することにより、光量が調節
される。また図６に示すように移動部材４６は４辺から
なる可撓梁５０のうち対向する一対の中央部に支持され
ており、その移動部材４６を直接支持しない対向する可
撓梁５０は可撓梁固定部４９としてガラス基板４１に固
定してある。対向する可撓梁４９に支持されていない移
動部材４６の各端部の中央部には、それぞれ可撓梁固定
部４９の方向に延びて櫛型部材が形成されており、この
櫛型部材と隙間を介して噛み合うようにガラス基板４１
上面に櫛型の固定電極４８が形成されている。

【００３３】この移動部材４６を可動させるには、櫛型
の固定電極４８に空隙を介して電圧を印加し静電引力を
発生させることにより、可撓梁５０が撓み図中Ｙ方向に
変移する。変移することにより遮光膜４２の開口部４３
と静電シールド４５の透過部４４を通過する入射光が遮
蔽され、光量の調節を行うことが可能になる。遮光膜４
２において入射光を略遮光し、電気シールド部４５に形
成された透過部４４により精密に入射光量を制限する。
移動部材４６および固定電極４８のＳｉ厚みを５μｍ、
可撓梁５０の長さを５００μｍ、櫛型の固定電極４８の
数を３５、空隙を１．５μｍ、ガラス基板４１と移動部
材４６のギャップを２μｍとし、電圧を印加することに
より窓４６はＹ方向に０．１μｍ／Ｖ変位した。これに
より、櫛型の固定電極に印加する電圧を変化させること
で窓４６と透過部４４との重なり面積を任意に変化させ
ることが可能となる。

【００３４】上記実施例では、一方向のみ移動可能な移
動部材を有するライトバルブについて説明したが、これ
に限らず２次元方向も可能である。

【００３５】図８は図示のＸ、Ｙ方向に変位することが
可能なライトバルブである。上述の第２実施例と同様の
方法で移動部材５１はその４辺の中央部を図８に示す可
撓梁５５をそれぞれ介して基板と隙間を設けて支持さ
れ、各可撓梁５５は可撓梁固定部５４を介して基板に固
定されている。各可撓梁５５にはＸ、Ｙ方向に向けて櫛
型部が形成されており、この櫛型部と隙間を介して噛み
合うように固定電極５３がそれぞれ基板上に固定されて
いる。

【００３６】移動部材５１を変位させるには、図６に示
したライトバルブと同様に櫛型の固定電極に電圧を印加
して発生する静電引力により、可撓梁５５が撓み変位す
る。これにより、変位させたい方向の固定電極を選択し
て電圧を印加することにより、移動部材５１の中央部に
穿設された窓５２は、Ｘ、Ｙ方向に移動可能となる。

【００３７】次に本発明のライトバルブの第２実施例の
応用例を示す。

【００３８】図９は本発明の第２実施例のライトバルブ
６１を一基板上にアレイ化したライトバルブアレイ６２
を示した図である。このライトバルブアレイ６２の静電
印刷への応用例を図１０に示す。蛍光灯等の直線状の光
源６３からの光をライトバルブアレイ６２に照射し、各
ライトバルブへの入射光を透過部および移動部材に設け
た窓を通じて通過させ、セルフォックレンズアレイまた
はマイクロレンズアレイ等のレンズ系６４により感光体
ドラム６５上に入射光を結像させる。ライトバルブは３
ｋＨｚ程度まで駆動制御が可能であり、これにより、従
来の液晶シャッターアレイ等の屈折率変化を利用する光
シャッターと比較しても十分な応答速度を得ることがで
き、偏光子を用いることなく直接に光量を調節すること
が可能である。

【００３９】図１１に各ライトバルブ毎に移動部材６７
の変位量をずらし、通過した光量を変えた時の動作を説
明する図を示す。このように、ガラス基板６９に形成さ
れた光透過部６６から出た入射光６８を、各ライトバル
ブ毎に移動部材６７の変位量をずらして光量を変えるこ
とにより、レンズ系６４にて感光体ドラム状に形成した
画素毎の面積諧調表現が可能と成る。

【００４０】さらに、図１２に示すようにガラス基板７
２の裏面に数種類のカラーフィルター７３を設けること
により、蛍光灯等の光源からの入射光７１がカラーフィ
ルターに通され、この光をライトバルブの移動部材７４
にて制御することでカラー化することが可能になる。ま
た図９に示した１次元アレイ化を２次元に配置すること
でディスプレイ等の画像形成装置への応用も可能であ
る。

【００４１】（第３実施例）図１３は本発明のライトバ
ルブの第３実施例を示す平面図である。図１４は図１３
のＡーＡ線断面図である。

【００４２】図１３に示すようにガラス基板上には、長
方形の光透過部９１を有する遮光膜８３が形成されてお
り、この遮光膜８３の上面には移動部材８１が複数のガ
イド部により移動可能に保持されている。図１４に示す
ように移動部材８１は、間に固定電極８７を介した上ガ
イド部８４および下ガイド部７５に隙間を設けて支持さ
れている。同様に移動部材８１は、固定電極８６を有す
る上下ガイド部に支持されている。各上下ガイド部は移
動部材６５が固定電極に接しないように、各固定電極よ
りも略突出しておくように配置し、空隙を形成してい
る。移動部材８１には第１実施例および第２実施例に示
したライトバルブとは異なり窓を有していない。

【００４３】移動部材を可動させるには、固定電極８６
に電圧を印加することにより移動部材６５に誘起電荷が
発生し、移動部材８１が固定電極８６の方に変位させ
る。移動部材８１を固定電極８６の方向に変位した後に
固定電極８６の電圧を切り、次いで固定電極８８に電圧
を印加する。これにより移動部材８１は固定電極８８の
方向に移動する。このように各固定電極に電圧を順次印
加していくことにより、移動部材８１は遮光膜８３の光
透過部９１上を移動し光透過部９１を介して入射する光
をさえぎる。移動部材を適当な位置に移動することによ
り、光透過部と移動部材の重なり合う面積を変化するこ
とができ、光量を調節することが可能となる。

【００４４】

【発明の効果】本発明は上記のとおり構成されているの
で、以下に記載する効果を奏する。

【００４５】本発明のライトバルブは基板に光透過部を
形成し、複数固設された固定電極と隙間を介するように
支持されるとともに変位可能な移動部材を設けることに
より、変位手段によって固定電極に電圧が印加されると
移動部材に誘導電荷が発生し、移動部材は固定電極方向
に移動させることができる。このため、光透過部近傍に
移動部材を形成することで、光透過部を通った光の量は
固定電極の電圧を変化させれば移動部材により調節する
ことができる。

【００４６】このような本発明のライトバルブは、半導
体フォトリソプロセスにより製造されるので小型化でか
つアレイ化が容易になる。また、小型化されることで本
発明のライトバルブは高速に光量を調節することが可能
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のライトバルブの第１実施例の平面図で
ある。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】本発明のライトバルブの第１実施例の製造工程
を示す工程図である。

【図４】図１に示す回転部の他の実施例を示した図であ
る。

【図５】本発明の第１実施例を光ファイバー通信ネット
ワークに用いた場合の１×６の光スイッチの例を示す図
である。

【図６】本発明のライトバルブの第２実施例を示す斜視
図である。

【図７】図６のＢーＢ線断面図である。

【図８】Ｘ、Ｙ方向に変位することが可能な本発明のラ
イトバルブの第２実施例を示す図である。

【図９】本発明のライトバルブの第２実施例を一基板上
にアレイ化したライトバルブアレイを示した図である。

【図１０】ライトバルブアレイの静電印刷への応用例を
示す図である。

【図１１】図１０に示すライトバルブアレイの動作を説
明するための図である。

【図１２】本発明のライトバルブの第２実施例のカラー
化への応用例を示す図である。

【図１３】本発明のライトバルブの第３実施例を示す平
面図である。

【図１４】図１３のＡーＡ線断面図である。

【符号の説明】

１，１１Ｓｉ基板２，３３，６８，７１入射光３，２２，４０，４４，６６，８９光透過部４，２０回転支持部５，１７，３６回転部６，１８，３７，４７，５２，７５窓７隙間８，１９，４８，５３，８６，８７，８８固定電極１２，３９シリコン窒化膜１３，４３開口部１４Ｓｉメンブレン１５，４５電気シ−ルド部１６第１犠牲層２１第２犠牲層３１光ファイバー束３２，６１ライトバルブ３４ロッドレンズ３５光ファイバ− ３８基板４１，６９，７２，８２ガラス基板４２，８３遮光膜４６，５１，６７，７４，８１移動部材４９，５４可撓梁固定部５０，５５可撓梁６２ライトバルブアレイ６３光源６４レンズ系６５感光体ドラム７３カラ−フィルタ− ８４上ガイド部８５下ガイド部

フロントページの続き (72)発明者高木博嗣東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】変位手段によって移動部材を変位させる
ことにより、前記移動部材背面より入射される光量を調
節して制御する小型のライトバルブにおいて、一部に光透過部が形成され、前記移動部材を変位可能に
支持するとともに前記移動部材の端部と隙間を介するよ
うに複数の固定電極が固設された基板を有し、前記変位手段は、前記固定電極に電圧を印加して前記移
動部材に誘導電荷を発生させ、前記移動部材を変位させ
ることにより前記光透過部を通る光の量を調節すること
を特徴とするライトバルブ。
【請求項２】前記基板がガラスより形成され、前記光
透過部は前記ガラスの一面に形成される遮光膜の一部を
除去して形成されていることを特徴とする請求項１に記
載のライトバルブ。
【請求項３】前記基板がＳｉ基板より形成され、前記
光透過部は前記Ｓｉ基板の一部を除去して形成されてい
ることを特徴とする請求項１に記載のライトバルブ。
【請求項４】前記移動部材は回転板から成り、該回転
板は前記基板に形成される回転支持部により回転可能に
支持されていることを特徴とする請求項１に記載のライ
トバルブ。
【請求項５】前記移動部材は、端部を固定した可撓梁
に支持されていることを特徴とする請求項１に記載のラ
イトバルブ。
【請求項６】前記基板に固設された前記固定電極が前
記移動部材を支持するためのガイド部と一体に形成さ
れ、該ガイド部に形成された固定電極は前記移動部材と
隙間を介するように形成されていることを特徴とする請
求項１に記載のライトバルブ。
【請求項７】前記移動部材に孔が形成されていること
を特徴とする請求項１、２、３、４、５または６のいず
れか１項に記載のライトバルブ。