JPH06114293A - 粉塵除去方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、半導体製造業、製薬製造業、食品
製造業等従来の粉塵ろ過装置では不可能であった微粉塵
（０．３μ以下）ろ過を長期に渡って安定に行うことを
目的とした粉塵除去方法とその装置を提洪するものであ
る。 【構成】 本発明は、含塵気流中から粉塵を捕集する為
の遠心力機構を用いたサイクロン内に逆回転のサイクロ
ンを組み込んだ二重以上のサイクロンを有する粉塵除去
方法。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体製造業、製薬製造業、食品製造業等従
来の粉塵ろ過装置では不可能であった微粉塵（０．３μ
以下）ろ過を長期に渡って安定に行うことを目的とした
粉塵除去方法とその装置を提供するものである。従来、
一般的な微粉塵用フィルター（ヘパフィルター等）は、
表面積を大きく取り長期渡って目詰まりを起こさない構
造とする為、ギャザー構造等種々の工夫をこらした再生
不可能な使い捨てフィルターであり非常に高価である等
の問題があった。しかも、目詰まりの増加に伴い圧力損
失が増加し、流量も低下する。また、フィルターの組合
せの選定が非常に困難で、使用可能時間を予測すること
は不可に近く、使用可能時間も短かった。そこで、より
長期に渡って使用する為逆圧クリーニング等種々の工夫
をこらした再生機能付きフィルター／水を使用した水洗
浄装置（水スクラバー）／遠心力（サイクロン）を使用
した粉塵除去装置等が考案された。逆圧によるクリーニ
ング方式は比較的大きな粉塵（１μ以上）を対称とする
ことが多く本発明の目的とする微粉塵（０．３μ以下）
を対象とした場合は、クリーニング用の逆圧圧をかなり
高くする必要がある為、フィルターを傷め、微粉塵
（０．３μ以下）をろ過できなくなる。また、逆圧等で
はフィルター表面を一様にクリーニングする事は不可能
であり、フィルター表面積を有効に使用することができ
なかった。しかも、目詰まりの増加に伴い圧力損失が増
加し、流量も低下する。水洗浄装置では微粉塵（０．３
μ以）を除除去することは難しく、設計流量を守られな
い場合は、除去効率は非常に低下する。また、遠心力を
利用した従来のサイクロンでは、１μ以上の粉塵でない
と除去効率は非常に低く、設計流量が守られない場合は
さらに低下する等の問題があった。本発明は、従来の粉
塵除去装置では不可能であった微粉塵（０．３μ以下）
除去に対し２重以上の遠心力構造（サイクロン）を用い
ることにより、長期に渡って圧力損失の増加及びそれに
伴う流量の低下等の問題をなくした粉塵除去方法とその
装置を提供するものである。基本的 には、含微粉塵気
流中（０．３μ以下）から微粉塵を除去する為の遠心力
機構を用いたサイクロン内に逆回転のサイクンロンを組
み込んだ２重以上のサイクロン構造を有している。この
構造により１重目のサイクロンで設計流量以下の為、除
去効率が低い場合でも２重目以降のサイクロンにより除
去が可能となる。これらの特徴により、流量が増減して
も除去効率が低下しない等の機能を持つ。以下、本発明
の一実施例を示し、その説明をする。図においては一
次気流入口で、二次気流入口である。の気流入口か
ら入った含塵気流はの一次サイクロンにより粉塵を除
去され、の二次サイクロンによりさらに粉塵を除去
し、気流出口より清浄化された気流が放出される。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示す概略図である。 一次気流入口 二次気流入口 一次サイクロン 二次サイクロン 気流出口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 含塵気流中から粉塵を捕集する為の遠心力機構を用いた
   サイクロン内に逆回転のサイクロンを組み込んだ二重以
   上のサイクロンを有した構造の粉塵除去方法とその装
   置。尚、本方法とその装置は単数或いは複数を組み合わ
   せて使用してもよい。