JPH06105843B2 - 改良されたマイクロ波装置 - Google Patents
改良されたマイクロ波装置Info
- Publication number
- JPH06105843B2 JPH06105843B2 JP63507141A JP50714188A JPH06105843B2 JP H06105843 B2 JPH06105843 B2 JP H06105843B2 JP 63507141 A JP63507141 A JP 63507141A JP 50714188 A JP50714188 A JP 50714188A JP H06105843 B2 JPH06105843 B2 JP H06105843B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cavity
- moving
- probe
- gear
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P7/00—Resonators of the waveguide type
- H01P7/06—Cavity resonators
Landscapes
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の背景 （１）．発明の要約 この発明はマイクロ波を閉じ込める空洞内で可動のプロ
ーブとプレートの精密な位置調整を可能とした、改良さ
れた無線周波数波発生装置に関するものである。特にこ
の発明は空洞内でプレート及びプローブを微細に位置調
整するのに、マイクロメータを利用する装置に関する。
ーブとプレートの精密な位置調整を可能とした、改良さ
れた無線周波数波発生装置に関するものである。特にこ
の発明は空洞内でプレート及びプローブを微細に位置調
整するのに、マイクロメータを利用する装置に関する。
（２）．従来技術 基本的な無線周波数波装置はアスムセン（Asmussen）及
びルート（Root）に与えられた米国特許No.4,507,588、
並びにアスムセン及びラインハード（Reinhard）に与え
られた米国特許No.4,585,668及びNo.4,630,566に記載さ
れている。これらの特許はチヤンバ内で円盤状プラズマ
（デイスクプラズマ）を創生する技術に係り、チヤンバ
を取囲む空洞内の無線周波数波のモードと同調は可動の
プローブとプレートによつて制御される。これらのプロ
ーブとプレートによつて微細な同調制御をどのようにし
て行なうかといつた問題が残されている。
びルート（Root）に与えられた米国特許No.4,507,588、
並びにアスムセン及びラインハード（Reinhard）に与え
られた米国特許No.4,585,668及びNo.4,630,566に記載さ
れている。これらの特許はチヤンバ内で円盤状プラズマ
（デイスクプラズマ）を創生する技術に係り、チヤンバ
を取囲む空洞内の無線周波数波のモードと同調は可動の
プローブとプレートによつて制御される。これらのプロ
ーブとプレートによつて微細な同調制御をどのようにし
て行なうかといつた問題が残されている。
目的 したがつてこの発明の目的とするところは、空洞内のモ
ード制御或はモード同調制御を得るのに該空洞内でプロ
ーブとプレートを微細に位置調整可能とした、改良され
たマイクロ波発生装置を提供するにある。またこの発明
は、製作と使用を比較的簡単、且つ、経済的に行なえる
装置を提供することも目的とする。これら及びその他の
目的は、以下の説明と図面を参照することにより極く明
瞭となる。
ード制御或はモード同調制御を得るのに該空洞内でプロ
ーブとプレートを微細に位置調整可能とした、改良され
たマイクロ波発生装置を提供するにある。またこの発明
は、製作と使用を比較的簡単、且つ、経済的に行なえる
装置を提供することも目的とする。これら及びその他の
目的は、以下の説明と図面を参照することにより極く明
瞭となる。
図面の簡単な説明 第１図はこの発明に従つた好ましい装置10の一部縦断正
面図で、特に空洞12内でプレート13を移動させるための
機構20とプレート13の位置変化を測定するためのマイク
ロメータ37を示している。
面図で、特に空洞12内でプレート13を移動させるための
機構20とプレート13の位置変化を測定するためのマイク
ロメータ37を示している。
第２図は第１図に図示の装置10の平面図で、空洞12内で
プローブ15を移動させるための機構40を示している。
プローブ15を移動させるための機構40を示している。
第３図は第１図に図示の装置の縦断正面図で、上記前者
の機構20を示している。
の機構20を示している。
第４図はプローブ15を移動させるための機構40の横断面
図で、特に空洞12内でのプローブ15の位置変化を測定す
るためのマイクロメータ52を示している。
図で、特に空洞12内でのプローブ15の位置変化を測定す
るためのマイクロメータ52を示している。
一般的な説明 この発明は金属製の箱により区画形成された無線周波数
波空洞を備え、この空洞がその中心軸線まわりで一或は
複数のモードの共振で励起されるものであり、また上記
中心軸線に対し直交させて上記空洞内に配置され上記中
心軸線に沿い移動可能に支持されている可動のプレート
手段と、上記空洞に対し無線周波数波を結合するために
該空洞に接続され空洞の内部に挿入してある可動のプロ
ーブ手段と、上記空洞内の無線周波数波を選択し制御す
るように上記プローブ手段及びプレート手段を移動させ
るための制御手段とを備える改良された無線周波数波の
発生装置に係り、空洞内でのプローブ手段及びプレート
手段の位置を設定するための改良された上記制御手段
は、 （ａ）．上記空洞内に連通する開口に隣接させて上記箱
の外面上に設置された、上記プローブ手段用の支持手
段、 （ｂ）．上記プローブ手段を支持する摺動手段であっ
て、プローブ手段をその長手軸線に沿い直線的に移動さ
せ上記開口に出入りさせうるように上記支持手段に支持
させてある摺動手段、 （ｃ）．上記空洞内での上記プローブ手段の位置を測定
するように上記した支持手段と摺動手段間に配設されて
いる第１のマイクロメータ手段、 （ｄ）．上記空洞内で上記プレート手段が移動可能であ
るように該プレート手段を支持し、上記中心軸線に沿っ
てプレート手段の精密な位置付けを行う案内手段であっ
て、該プレート手段と共に摺動する摺動部材を含む案内
手段、 （ｅ）．上記空洞内での上記プレート手段の位置を測定
するように上記箱と上記プレート手段間に配設されてい
る第２のマイクロメータ手段、 （ｆ）．上記空洞内での上記プローブ手段の精密な移動
を得させるように上記摺動手段を動かす第１の移動手
段、及び （ｇ）．上記空洞内での上記プレート手段の精密な移動
を得させるように上記摺動部材を動かす第２の移動手
段、 を備えている。
波空洞を備え、この空洞がその中心軸線まわりで一或は
複数のモードの共振で励起されるものであり、また上記
中心軸線に対し直交させて上記空洞内に配置され上記中
心軸線に沿い移動可能に支持されている可動のプレート
手段と、上記空洞に対し無線周波数波を結合するために
該空洞に接続され空洞の内部に挿入してある可動のプロ
ーブ手段と、上記空洞内の無線周波数波を選択し制御す
るように上記プローブ手段及びプレート手段を移動させ
るための制御手段とを備える改良された無線周波数波の
発生装置に係り、空洞内でのプローブ手段及びプレート
手段の位置を設定するための改良された上記制御手段
は、 （ａ）．上記空洞内に連通する開口に隣接させて上記箱
の外面上に設置された、上記プローブ手段用の支持手
段、 （ｂ）．上記プローブ手段を支持する摺動手段であっ
て、プローブ手段をその長手軸線に沿い直線的に移動さ
せ上記開口に出入りさせうるように上記支持手段に支持
させてある摺動手段、 （ｃ）．上記空洞内での上記プローブ手段の位置を測定
するように上記した支持手段と摺動手段間に配設されて
いる第１のマイクロメータ手段、 （ｄ）．上記空洞内で上記プレート手段が移動可能であ
るように該プレート手段を支持し、上記中心軸線に沿っ
てプレート手段の精密な位置付けを行う案内手段であっ
て、該プレート手段と共に摺動する摺動部材を含む案内
手段、 （ｅ）．上記空洞内での上記プレート手段の位置を測定
するように上記箱と上記プレート手段間に配設されてい
る第２のマイクロメータ手段、 （ｆ）．上記空洞内での上記プローブ手段の精密な移動
を得させるように上記摺動手段を動かす第１の移動手
段、及び （ｇ）．上記空洞内での上記プレート手段の精密な移動
を得させるように上記摺動部材を動かす第２の移動手
段、 を備えている。
特にこの発明は金属製の箱により区画形成された無線周
波数波空洞を備え、この空洞がその中心軸線まわりで一
或は複数のモードの共振で励起されるものであり、また
上記中心軸線に対し直交させて上記空洞内に配置され上
記中心軸線に沿い移動可能に支持されている可動のプレ
ート手段と、上記空洞に対し無線周波数波を結合するた
めに該空洞に接続され空洞の内部に挿入してある可動の
プローブ手段と、上記空洞内の無線周波数波を選択し制
御するように上記プローブ手段及びプレート手段を移動
させるための制御手段とを備える改良された無線周波数
波の発生装置に係り、空洞内でのプローブ手段及びプレ
ート手段の位置を設定するための改良された上記制御手
段は、 （ａ）．長手軸線を有する上記プローブ手段、 （ｂ）．このプローブ手段上に上記長手軸線方向で間欠
的に配置して設けられた複数個の位置決め部材、 （ｃ）．これらの位置決め部材上に上記長手軸線に沿わ
せて設けられた管であって、管一端から上記プローブ手
段が延出するように配置されている管、 （ｄ）．上記空洞内に連通する開口を区画形成する受け
具であって、上記した管一端から延出するプローブ手段
を上記空洞内へ突入させた状態で上記開口内におき上記
管を摺動可能に支承する受け具、 （ｅ）．上記したプローブ手段の長手軸線と平行させて
上記管上に設けられたラック手段、 （ｆ）．上記管の他端に支持させて設けられ上記したプ
ローブ手段の長手軸線から遠去かる向きの突起を有する
電気的な接続器手段、 （ｇ）．上記管及びプローブ手段を上記箱に出入りさせ
る向きで直線的に一体移動させうるように支持するため
上記箱の外面上に設けられた少なくとも１個の支え杆、 （ｈ）．上記支え杆上に設けられた保持具であって、上
記管を支承する開口を備え該管を上記した受け具の開口
内に位置付けする保持具、 （ｉ）．指針盤に接続された可動ステムを有し上記保持
具に支持されている第１のダイヤル・マイクロメータで
あって、可動ステムを上記した接続器手段の突起に対し
係合させてあって該ステムの位置変化から上記空洞内で
の上記プローブ手段の位置を測定する第１のダイヤルマ
イクロメータ、 （ｊ）．上記保持具に支持させてある回転可能な第１の
歯車手段であって、上記管及びプローブ手段を上記空洞
に対し出入りする向きで移動させるように上記ラック手
段に係合させてある第１の歯車手段、 （ｋ）．指針盤に接続された可動ステムを有し上記箱の
外面上で支持されている第２のダイヤル・マイクロメー
タであって、上記プレート手段に対し可動ステムを接続
されていて該ステムの位置変化から上記空洞内での上記
中心軸線に沿う方向でみた上記プレート手段の位置を測
定する第２のダイヤル・マイクロメータ、 （ｌ）．上記中心軸線に対し平行配置して上記プレート
手段上に設けられた少なくとも１個のねじ付き支杆、 （ｍ）．上記空洞内での上記プレート手段の位置を調整
するために上記箱の外部で上記ねじ付き支杆上に設けら
れた第２の歯車手段、 （ｎ）．上記空洞内での上記プローブ手段の精密な移動
を得させるように上記第１の歯車手段を動かす第１の移
動手段、及び （ｏ）．上記空洞内での上記プレート手段の精密な移動
を得させるように上記第２の歯車手段を動かす第２の移
動手段、 を備えている。
波数波空洞を備え、この空洞がその中心軸線まわりで一
或は複数のモードの共振で励起されるものであり、また
上記中心軸線に対し直交させて上記空洞内に配置され上
記中心軸線に沿い移動可能に支持されている可動のプレ
ート手段と、上記空洞に対し無線周波数波を結合するた
めに該空洞に接続され空洞の内部に挿入してある可動の
プローブ手段と、上記空洞内の無線周波数波を選択し制
御するように上記プローブ手段及びプレート手段を移動
させるための制御手段とを備える改良された無線周波数
波の発生装置に係り、空洞内でのプローブ手段及びプレ
ート手段の位置を設定するための改良された上記制御手
段は、 （ａ）．長手軸線を有する上記プローブ手段、 （ｂ）．このプローブ手段上に上記長手軸線方向で間欠
的に配置して設けられた複数個の位置決め部材、 （ｃ）．これらの位置決め部材上に上記長手軸線に沿わ
せて設けられた管であって、管一端から上記プローブ手
段が延出するように配置されている管、 （ｄ）．上記空洞内に連通する開口を区画形成する受け
具であって、上記した管一端から延出するプローブ手段
を上記空洞内へ突入させた状態で上記開口内におき上記
管を摺動可能に支承する受け具、 （ｅ）．上記したプローブ手段の長手軸線と平行させて
上記管上に設けられたラック手段、 （ｆ）．上記管の他端に支持させて設けられ上記したプ
ローブ手段の長手軸線から遠去かる向きの突起を有する
電気的な接続器手段、 （ｇ）．上記管及びプローブ手段を上記箱に出入りさせ
る向きで直線的に一体移動させうるように支持するため
上記箱の外面上に設けられた少なくとも１個の支え杆、 （ｈ）．上記支え杆上に設けられた保持具であって、上
記管を支承する開口を備え該管を上記した受け具の開口
内に位置付けする保持具、 （ｉ）．指針盤に接続された可動ステムを有し上記保持
具に支持されている第１のダイヤル・マイクロメータで
あって、可動ステムを上記した接続器手段の突起に対し
係合させてあって該ステムの位置変化から上記空洞内で
の上記プローブ手段の位置を測定する第１のダイヤルマ
イクロメータ、 （ｊ）．上記保持具に支持させてある回転可能な第１の
歯車手段であって、上記管及びプローブ手段を上記空洞
に対し出入りする向きで移動させるように上記ラック手
段に係合させてある第１の歯車手段、 （ｋ）．指針盤に接続された可動ステムを有し上記箱の
外面上で支持されている第２のダイヤル・マイクロメー
タであって、上記プレート手段に対し可動ステムを接続
されていて該ステムの位置変化から上記空洞内での上記
中心軸線に沿う方向でみた上記プレート手段の位置を測
定する第２のダイヤル・マイクロメータ、 （ｌ）．上記中心軸線に対し平行配置して上記プレート
手段上に設けられた少なくとも１個のねじ付き支杆、 （ｍ）．上記空洞内での上記プレート手段の位置を調整
するために上記箱の外部で上記ねじ付き支杆上に設けら
れた第２の歯車手段、 （ｎ）．上記空洞内での上記プローブ手段の精密な移動
を得させるように上記第１の歯車手段を動かす第１の移
動手段、及び （ｏ）．上記空洞内での上記プレート手段の精密な移動
を得させるように上記第２の歯車手段を動かす第２の移
動手段、 を備えている。
装置は、チヤンバ内でプラズマを所望の度合いで閉じ込
めるために摺動短絡子に支持されチヤンバを取囲んでい
る磁石を備えたものであるのが望ましい。かかる装置は
1986年４月７日に出願された米国特許出願No.849,052に
記載されている。
めるために摺動短絡子に支持されチヤンバを取囲んでい
る磁石を備えたものであるのが望ましい。かかる装置は
1986年４月７日に出願された米国特許出願No.849,052に
記載されている。
本発明装置は、1987年４月22日に出願された米国特許出
願No.41,291に記載の方法を実施するために使用するこ
とができる。物質を加熱する様式（パターン）は時間の
関数として決定される。また加熱に伴なつて変化する誘
電率も決定できる。
願No.41,291に記載の方法を実施するために使用するこ
とができる。物質を加熱する様式（パターン）は時間の
関数として決定される。また加熱に伴なつて変化する誘
電率も決定できる。
詳細な説明 第１−３図は、この発明に従つた好ましい無線周波数波
発生装置を示している。また第４図は、装置10の一部分
を示している。
発生装置を示している。また第４図は、装置10の一部分
を示している。
横断面形状が円形の導電性のハウジングないし箱11及び
同様に導電性の可動プレート13及び固定プレート14によ
つて、無線周波数波用の空洞12が区画形成されている。
導電性の接触子13a,14a（金属製であるのが望まし
い。）を、箱11の内壁面11aに接触させてある。探針な
いしプローブ15（第４図）が空洞12に対し出入りさせう
るように移動可能に設けられており、空洞12に対し無線
周波数波を結合する。導電性の格子或はスクリーン16が
固定プレート14上に設けられ、接触子14aを支持してい
る。プレート14に接触子14aを支持させることもでき
る。空洞12内で形成されるプラズマの取出しを可能とす
るために固定プレート14には空洞12の近くで、長手軸線
ないし中心軸線ａ−ａと同心配置の開口14′ａを形成し
てある。空洞12を封鎖することもできる。非導電性のカ
ツプ状部材17（石英製であるのが望ましい。）によつ
て、プレート14の開口14′ａが密封的に覆われている。
プラズマ（図示せず）を閉じ込めるための石英管（図示
せず）をカツプ状部材17に代えて、軸線ａ−ａに沿い装
置中に挿入することもできる。本装置は、空洞12内で無
線周波数波を用いる処理ないし加工をするのに利用する
こともできる。固定プレート14は真空源（図示せず）
に、ボルト11fを用いて取付けられている。カツプ状部
材17とプレート14により、気体供給路19,19aからの気体
で充満されプラズマを創生するプラズマ・チヤンバ18が
区画形成されている。装置の基本的な構造は米国特許N
o.4,507,588、No.4,585,668及びNo.4,630,566に記載さ
れている。
同様に導電性の可動プレート13及び固定プレート14によ
つて、無線周波数波用の空洞12が区画形成されている。
導電性の接触子13a,14a（金属製であるのが望まし
い。）を、箱11の内壁面11aに接触させてある。探針な
いしプローブ15（第４図）が空洞12に対し出入りさせう
るように移動可能に設けられており、空洞12に対し無線
周波数波を結合する。導電性の格子或はスクリーン16が
固定プレート14上に設けられ、接触子14aを支持してい
る。プレート14に接触子14aを支持させることもでき
る。空洞12内で形成されるプラズマの取出しを可能とす
るために固定プレート14には空洞12の近くで、長手軸線
ないし中心軸線ａ−ａと同心配置の開口14′ａを形成し
てある。空洞12を封鎖することもできる。非導電性のカ
ツプ状部材17（石英製であるのが望ましい。）によつ
て、プレート14の開口14′ａが密封的に覆われている。
プラズマ（図示せず）を閉じ込めるための石英管（図示
せず）をカツプ状部材17に代えて、軸線ａ−ａに沿い装
置中に挿入することもできる。本装置は、空洞12内で無
線周波数波を用いる処理ないし加工をするのに利用する
こともできる。固定プレート14は真空源（図示せず）
に、ボルト11fを用いて取付けられている。カツプ状部
材17とプレート14により、気体供給路19,19aからの気体
で充満されプラズマを創生するプラズマ・チヤンバ18が
区画形成されている。装置の基本的な構造は米国特許N
o.4,507,588、No.4,585,668及びNo.4,630,566に記載さ
れている。
この発明に係る改良は、可動のプレート13及びプローブ
15を移動させるための機構20及び40に関する。
15を移動させるための機構20及び40に関する。
機構20はプレート13に取付けられた３個の外ねじ付き支
杆21a,21b,21cを有し、これらの支杆21a,21b,21cは箱11
の頂端部11bを貫通し該頂端部11bに支持されている。第
１−３図に示すように内蓋11c上に配置されている箱頂
端部11b上には支持部材23a,23b,23cとねじ24を利用し
て、ねじ穴を有し支杆21a,21b,21cにねじ嵌めされてい
る遊星歯車22a,22b,22cが回転可能に設けられている。
支持部材23aはベアリング23dと支軸23eを含んでいる。
他の支持部材23b,23cも同様のものとされている。箱頂
端部11b上にはまた、該頂端部11bにねじ27によつて取付
けられたブラケツト26に支持させて中心軸線ａ−ａまわ
りで回転自在な中心歯車25が設けられている。ブラケツ
ト26はベアリング26aと支軸26bを含み、中心歯車25を各
遊星歯車22a,22b,22cに対し噛合せる配置で歯車25の支
持を行なつている。側外方に位置させてある歯車28が軸
29に嵌着して設けられ、中心歯車25に対し噛合されてい
る。軸29はＣ字形部材30に支持されている。第１の傘歯
車31が軸29に嵌着され、軸29と直交する方向に沿わせて
Ｃ字形部材30に回転自在に支持させてある他の軸33に嵌
着された第２の傘歯車32と噛合されている。軸33には回
転操作されるノブ34を取付けてあり、このノブ34はＣ字
形部材30に対する該ノブ34の回転変位量を表示する直線
目盛りないし標識35（第２図）を含む。空洞12内でプレ
ート13が特定の点を越えて移動せしめられるのを防止す
るために、支杆21aにストツパ36を螺着してある。第１
−３図かわ理解されるようにノブ34を廻すと軸33、第２
及び第１の傘歯車32,31、軸29、歯車28、中心歯車25、
各遊星歯車22a,22b,22cの順で回転が伝えられて支杆21
a,21b,21cが鉛直方向に沿い移動し、それによつてプレ
ート13が軸線ａ−ａに沿い移動せしめられる。ノブ34は
手動で廻すこともできるし、モータ（図示せず）によつ
て廻すこともできる。中心歯車25の支軸26bは軸線ａ−
ａに沿う開口26cを有し、この開口26cはプラズマを閉じ
込めるための石英管（図示せず）或は空洞12内で無線周
波数波によつて処理しようとする物品を挿入するために
利用できる。箱頂端部11b及び内蓋11cも中心開口11dを
有し、プレート13にも空洞12への通路を提供する開口13
cを設けることができる。固定ステム37aを有するマイク
ロメータ37を箱頂端部11bに支持させてあり、このマイ
クロメータ37の可動ステム37bをプレート13に係合させ
てある。中心軸線ａ−ａに沿つた種々の位置及び該軸線
ａ−ａから種々の間隔をおいた位置で空洞12内の電界強
度を測定するために、センサー（図示せず）用の開口11
eが設けられている。プレート13が動くにつれてその位
置変化をマイクロメータ37が測定する。
杆21a,21b,21cを有し、これらの支杆21a,21b,21cは箱11
の頂端部11bを貫通し該頂端部11bに支持されている。第
１−３図に示すように内蓋11c上に配置されている箱頂
端部11b上には支持部材23a,23b,23cとねじ24を利用し
て、ねじ穴を有し支杆21a,21b,21cにねじ嵌めされてい
る遊星歯車22a,22b,22cが回転可能に設けられている。
支持部材23aはベアリング23dと支軸23eを含んでいる。
他の支持部材23b,23cも同様のものとされている。箱頂
端部11b上にはまた、該頂端部11bにねじ27によつて取付
けられたブラケツト26に支持させて中心軸線ａ−ａまわ
りで回転自在な中心歯車25が設けられている。ブラケツ
ト26はベアリング26aと支軸26bを含み、中心歯車25を各
遊星歯車22a,22b,22cに対し噛合せる配置で歯車25の支
持を行なつている。側外方に位置させてある歯車28が軸
29に嵌着して設けられ、中心歯車25に対し噛合されてい
る。軸29はＣ字形部材30に支持されている。第１の傘歯
車31が軸29に嵌着され、軸29と直交する方向に沿わせて
Ｃ字形部材30に回転自在に支持させてある他の軸33に嵌
着された第２の傘歯車32と噛合されている。軸33には回
転操作されるノブ34を取付けてあり、このノブ34はＣ字
形部材30に対する該ノブ34の回転変位量を表示する直線
目盛りないし標識35（第２図）を含む。空洞12内でプレ
ート13が特定の点を越えて移動せしめられるのを防止す
るために、支杆21aにストツパ36を螺着してある。第１
−３図かわ理解されるようにノブ34を廻すと軸33、第２
及び第１の傘歯車32,31、軸29、歯車28、中心歯車25、
各遊星歯車22a,22b,22cの順で回転が伝えられて支杆21
a,21b,21cが鉛直方向に沿い移動し、それによつてプレ
ート13が軸線ａ−ａに沿い移動せしめられる。ノブ34は
手動で廻すこともできるし、モータ（図示せず）によつ
て廻すこともできる。中心歯車25の支軸26bは軸線ａ−
ａに沿う開口26cを有し、この開口26cはプラズマを閉じ
込めるための石英管（図示せず）或は空洞12内で無線周
波数波によつて処理しようとする物品を挿入するために
利用できる。箱頂端部11b及び内蓋11cも中心開口11dを
有し、プレート13にも空洞12への通路を提供する開口13
cを設けることができる。固定ステム37aを有するマイク
ロメータ37を箱頂端部11bに支持させてあり、このマイ
クロメータ37の可動ステム37bをプレート13に係合させ
てある。中心軸線ａ−ａに沿つた種々の位置及び該軸線
ａ−ａから種々の間隔をおいた位置で空洞12内の電界強
度を測定するために、センサー（図示せず）用の開口11
eが設けられている。プレート13が動くにつれてその位
置変化をマイクロメータ37が測定する。
機構40はプローブ15の位置を制御する。プローブ15は中
心軸線ａ−ａに垂直な軸線ｂ−ｂ上で、空洞12に対し出
入りする向きに可動に支持されている。このプローブ15
は３個の部分15a,15b,15cに分割形成され、これらの部
分はねじ付け延長部15d,15eによつて互に連結されてい
る。延長部15d,15e上には位置決め部材41が設置され、
これらの位置決め部材41を管42内に配置してプローブ15
を揺動不能に位置決め支持してある。管42は該管42用の
筒状受け具43に対する電気的な接続を得るための接触子
42aを備え、受け具43は箱11の外面上で架台44により、
管42が該受け具43に対し出入りする向きで摺動しうるよ
うに支持されている。管42は箱11反対側の端で電気接続
用の接続器45を備え、この接続器45は軸線ｂ−ｂに直交
する向きの突起46を有する。軸線ｂ−ｂに平行配置の支
え杆47,48を、上記架台44に支持させて設けてある。支
え杆47,48上には保持具49が設けられ、この保持具49が
管42を摺動可能に支持している。管42上にはラツク51を
担持するスリーブ50が設けられている。保持具49は固定
ステム52aを有するマイクロメータ52を支持しており、
このマイクロメータ52の可動ステム52bを突起46に対し
係合させてある。可動ステム52bの位置は、マイクロメ
ータ52の支持部52dで調整具52cにより調整可能である。
軸54（第４図）上に歯車53が設けられ、ラツク51に対し
噛合されている。軸54にはノブ55が取付けられており、
このノブ55は歯車53を回転させてプローブ15を空洞12に
対し出入りする向きで移動させるために用いられる。装
置の使用に当たりノブ55は手動により、或はモータ（図
示せず）によつて廻すことができる。第1,2図に示す他
の受け具60が、他のプローブ（図示せず）用の他の支え
杆を設けるため、或いは図示プローブ15の設置場所を変
更するために設けられている。この受け具60は架台61に
支持されている。
心軸線ａ−ａに垂直な軸線ｂ−ｂ上で、空洞12に対し出
入りする向きに可動に支持されている。このプローブ15
は３個の部分15a,15b,15cに分割形成され、これらの部
分はねじ付け延長部15d,15eによつて互に連結されてい
る。延長部15d,15e上には位置決め部材41が設置され、
これらの位置決め部材41を管42内に配置してプローブ15
を揺動不能に位置決め支持してある。管42は該管42用の
筒状受け具43に対する電気的な接続を得るための接触子
42aを備え、受け具43は箱11の外面上で架台44により、
管42が該受け具43に対し出入りする向きで摺動しうるよ
うに支持されている。管42は箱11反対側の端で電気接続
用の接続器45を備え、この接続器45は軸線ｂ−ｂに直交
する向きの突起46を有する。軸線ｂ−ｂに平行配置の支
え杆47,48を、上記架台44に支持させて設けてある。支
え杆47,48上には保持具49が設けられ、この保持具49が
管42を摺動可能に支持している。管42上にはラツク51を
担持するスリーブ50が設けられている。保持具49は固定
ステム52aを有するマイクロメータ52を支持しており、
このマイクロメータ52の可動ステム52bを突起46に対し
係合させてある。可動ステム52bの位置は、マイクロメ
ータ52の支持部52dで調整具52cにより調整可能である。
軸54（第４図）上に歯車53が設けられ、ラツク51に対し
噛合されている。軸54にはノブ55が取付けられており、
このノブ55は歯車53を回転させてプローブ15を空洞12に
対し出入りする向きで移動させるために用いられる。装
置の使用に当たりノブ55は手動により、或はモータ（図
示せず）によつて廻すことができる。第1,2図に示す他
の受け具60が、他のプローブ（図示せず）用の他の支え
杆を設けるため、或いは図示プローブ15の設置場所を変
更するために設けられている。この受け具60は架台61に
支持されている。
第１−４図から理解できるように、プローブ15及びプレ
ート13はノブ55及び34によつて調節できる。空洞12内で
のプローブ15及びプレート13の位置調整のために、マイ
クロメータを利用した極く単純で精密な調整手段が提供
される。デジタルの読み取り信号を出力するマイクロメ
ータ（図示せず）を用いることもできる。プレート13及
びプローブ15を移動させるためにモータ（図示せず）を
用いることもできる。それにより極く有益で商業的に引
き合うマイクロ波空洞装置が提供される。
ート13はノブ55及び34によつて調節できる。空洞12内で
のプローブ15及びプレート13の位置調整のために、マイ
クロメータを利用した極く単純で精密な調整手段が提供
される。デジタルの読み取り信号を出力するマイクロメ
ータ（図示せず）を用いることもできる。プレート13及
びプローブ15を移動させるためにモータ（図示せず）を
用いることもできる。それにより極く有益で商業的に引
き合うマイクロ波空洞装置が提供される。
以上の記述はこの発明を例示的に説明するためのみのも
のであり、本発明は次に附す請求の範囲のみによつて限
定されるべきである。
のであり、本発明は次に附す請求の範囲のみによつて限
定されるべきである。
Claims (19)
- 【請求項１】金属製の箱により区画形成された無線周波
数波空洞を備え、この空洞がその中心軸線まわりで一或
は複数のモードの共振で励起されるものであり、また上
記中心軸線に対し直交させて上記空洞内に配置され上記
中心軸線に沿い移動可能に支持されている可動のプレー
ト手段と、上記空洞に対し無線周波数波を結合するため
に該空洞に接続され空洞の内部に挿入してある可動のプ
ローブ手段と、上記空洞内の無線周波数波を選択し制御
するように上記プローブ手段及びプレート手段を移動さ
せるための制御手段とを備える無線周波数波の発生装置
において、空洞内でのプローブ手段及びプレート手段の
位置を設定するための改良された上記制御手段が、 （ａ）．上記空洞内に連通する開口に隣接させて上記箱
の外面上に設置された、上記プローブ手段用の支持手
段、 （ｂ）．上記プローブ手段を支持する摺動手段であっ
て、プローブ手段をその長手軸線に沿い直線的に移動さ
せ上記開口に出入りさせうるように上記支持手段に支持
させてある摺動手段、 （ｃ）．上記空洞内での上記プローブ手段の位置を測定
するように上記した支持手段と摺動手段間に配設されて
いる第１のマイクロメータ手段、 （ｄ）．上記空洞内で上記プレート手段が移動可能であ
るように該プレート手段を支持し上記中心軸線に沿って
プレート手段の精密な位置付けを行う案内手段であっ
て、該プレート手段と共に摺動する摺動部材を含む案内
手段、 （ｅ）．上記空洞内での上記プレート手段の位置を測定
するように上記箱と上記プレート手段間に配設されてい
る第２のマイクロメータ手段、 （ｆ）．上記空洞内での上記プローブ手段の精密な移動
を得させるように上記摺動手段を動かす第１の移動手
段、及び （ｇ）．上記空洞内での上記プレート手段の精密な移動
を得させるように上記摺動部材を動かす第２の移動手
段、 を備えている装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の装置において、前記支持
手段が、前記摺動手段をはさんで互いに間隔をあけた配
置で前記箱の外面上に設置された２個の支え杆と前記摺
動手段を支承する開口を有し上記両支え杆に支持させて
ある保持具とによって構成され、前記第１のマイクロメ
ータ手段を前記摺動手段と上記保持具間に位置させて上
記保持具に支持させてある装置。 - 【請求項３】請求項２に記載の装置において、前記した
支持手段と摺動手段間に前記第１の移動手段として、前
記支持手段及びプローブ手段を前記空洞に対し出入りす
る向きで一体的に移動させる歯車手段を設けてある装
置。 - 【請求項４】請求項１に記載の装置において、前記第１
のマイクロメータ手段が可動ステムを備え、この可動ス
テムを前記摺動手段の一部分に対し、前記開口中での前
記摺動手段及びプローブ手段の位置変化が上記可動ステ
ムの位置変化から測定されるように係合させてある装
置。 - 【請求項５】請求項１に記載の装置において、前記第２
のマイクロメータ手段を前記箱の外面上に、該マイクロ
メータ手段の可動ステムの位置変化により前記プレート
手段の位置変化が測定されるようにプレート手段に対し
可動ステムを係合させて設置してある装置。 - 【請求項６】請求項１に記載の装置において、前記案内
手段が、前記中心軸線と平行させ該中心軸線からそれぞ
れ等間隔をおいた配置で前記プレート手段上に立設され
前記箱の外方へ突出させてある複数個のねじ付き支杆で
あって前記摺動部材を構成するねじ付き支杆、前記箱の
外方で該各支杆にねじ嵌めされたところのねじ穴を有す
る歯車、及び前記空洞内で前記プレート手段を前記中心
軸線に沿い移動させるように上記各歯車を回転させる中
心歯車を備え、前記第２の移動手段を上記中心歯車に対
し前記プレート手段を移動させうるように係合させてあ
る装置。 - 【請求項７】請求項１に記載の装置において、前記第１
の移動手段が前記摺動手段を操作するための回転可能な
第１のノブを備え、前記第２の移動手段が前記摺動部材
を操作するための回転可能な第２のノブを備えていて、
該第１のノブの手動操作によって前記プローブ手段が移
動せしめられ第２のノブの手動操作によって前記プレー
ト手段が移動せしめられるようにされている装置。 - 【請求項８】請求項７に記載の装置において、前記第１
のノブ及び第２のノブがそれぞれ、水平軸線まわりで回
転可能である装置。 - 【請求項９】請求項１に記載の装置において、前記第１
及び第２のマイクロメータ手段がそれぞれ、位置変化を
微細に測定するダイヤルゲージを備えている装置。 - 【請求項１０】請求項９に記載の装置において、前記空
洞内での前記プレート手段の位置をおおまかに測定する
ための直線目盛りを、前記第２の移動手段に設けてある
装置。 - 【請求項１１】金属製の箱により区画形成された無線周
波数波空洞を備え、この空洞がその中心軸線まわりで一
或は複数のモードの共振で励起されるものであり、また
上記中心軸線に対し直交させて上記空洞内に配置され上
記中心軸線に沿い移動可能に支持されている可動のプレ
ート手段と、上記空洞に対し無線周波数波を結合するた
めに該空洞に接続され空洞の内部に挿入してある可動の
プローブ手段と、上記空洞内の無線周波数波を選択し制
御するように上記プローブ手段及びプレート手段を移動
させるための制御手段とを備える無線周波数波の発生装
置において、空洞内でのプローブ手段及びプレート手段
の位置を設定するための改良された上記制御手段が、 （ａ）．長手軸線を有する上記プローブ手段、 （ｂ）．このプローブ手段上に上記長手軸線方向で間欠
的に配置して設けられた複数個の位置決め部材、 （ｃ）．これらの位置決め部材上に上記長手軸線に沿わ
せて設けられた管であって、管一端から上記プローブ手
段が延出するように配置されている管、 （ｄ）．上記空洞内に連通する開口を区画形成する受け
具であって、上記した管一端から延出するプローブ手段
を上記空洞内へ突入させた状態で上記開口内におき上記
管を摺動可能に支承する受け具、 （ｅ）．上記したプローブ手段の長手軸線と平行させて
上記管上に設けられたラック手段、 （ｆ）．上記管の他端に支持させて設けられ上記したプ
ローブ手段の長手軸線から遠去かる向きの突起を有する
電気的な接続器手段、 （ｇ）．上記管及びプローブ手段を上記箱に出入りさせ
る向きで直線的に一体移動させうるように支持するため
上記箱の外面上に設けられた少なくとも１個の支え杆、 （ｈ）．上記支え杆上に設けられた保持具であって、上
記管を支承する開口を備え該管を上記した受け具の開口
内に位置付けする保持具、 （ｉ）．指針盤に接続された可動ステムを有し上記保持
具に支持されている第１のダイヤル・マイクロメータで
あって、可動ステムを上記した接続器手段の突起に対し
係合させてあって該ステムの位置変化から上記空洞内で
の上記プローブ手段の位置を測定する第１のダイヤル・
マイクロメータ、 （ｊ）．上記保持具に支持させてある回転可能な第１の
歯車手段であって、上記管及びプローブ手段を上記空洞
に対し出入りする向きで移動させるように上記ラック手
段に係合させてある第１の歯車手段、 （ｋ）．指針盤に接続された可動ステムを有し上記箱の
外面上で支持されている第２のダイヤル・マイクロメー
タであって、上記プレート手段に対し可動ステムを接続
されていて該ステムの位置変化から上記空洞内での上記
中心軸線に沿う方向でみた上記プレート手段の位置を測
定する第２のダイヤル・マイクロメータ、 （ｌ）．上記中心軸線に対し平行配置して上記プレート
手段上に設けられた少なくとも１個のねじ付き支杆、 （ｍ）．上記空洞内での上記プレート手段の位置を調整
するために上記箱の外部で上記ねじ付き支杆上に設けら
れた第２の歯車手段、 （ｎ）．上記空洞内での上記プローブ手段の精密な移動
を得させるように上記第１の歯車手段を動かす第１の移
動手段、及び （ｏ）．上記空洞内での上記プレート手段の精密な移動
を得させるように上記第２の歯車手段を動かす第２の移
動手段、 を備えている装置。 - 【請求項１２】請求項11に記載の装置において、前記ね
じ付き支杆を少なくとも３個、前記中心軸線と平行させ
該中心軸線からそれぞれ等間隔をおいた配置で前記プレ
ート手段上に立設し、各ねじ付き支杆上に、前記中心軸
線まわりで回転する中心歯車により回転せしめられる歯
車をねじ嵌めし、上記中心歯車を前記第２の移動手段に
接続してある装置。 - 【請求項１３】請求項11に記載の装置において、前記第
１の移動手段が手動操作により前記第１の歯車手段を動
かすための回転可能な第１のノブを備え、前記第２の移
動手段が手動操作により前記第２の歯車手段を動かすた
めの回転可能な第２のノブを備えていて、このうち第１
のノブが前記保持具に支持されて第１の歯車手段に対し
接続されており、第２のノブが前記箱の外面上で支持さ
れて第２の歯車手段に対し接続されている装置。 - 【請求項１４】請求項13に記載の装置において、前記第
２のノブが水平軸線まわりで回転可能に設けられ、軸と
アングル歯車を用いて前記第２の歯車手段に接続されて
いる装置。 - 【請求項１５】請求項13に記載の装置において、前記第
１のノブを、前記保持具に回転可能に支持させた軸上に
水平軸線まわりで回転可能に取付けて設けてある装置。 - 【請求項１６】請求項11に記載の装置において、前記支
え杆を２個、前記管をはさんで互いに間隔をあけた平行
配置で前記箱の外面上から突出させて設け、前記保持具
をこれらの２個の支え杆上にまたがらせて設けてある装
置。 - 【請求項１７】請求項11に記載の装置において、前記第
１の移動手段が手動操作により前記第１の歯車手段を動
かすための回転可能な第１のノブを備え、前記第２の移
動手段が手動操作により前記第２の歯車手段を動かすた
めの回転可能な第２のノブを備えていて、このうち第２
のノブが水平軸線まわりで回転可能に設けられ軸とアン
グル歯車を用いて第２の歯車手段に接続されており、該
第２の歯車手段が、前記中心軸線と平行させ該中心軸線
からそれぞれ等間隔をおいた配置で前記プレート手段上
に立設された少なくとも３個の前記ねじ付き支杆の各々
にねじ嵌めされた歯車であって前記中心軸線まわりで回
転可能に支持され上記アングル歯車に接続された中心歯
車によって回転せしめられる歯車を備え、また第１のノ
ブが、前記ラック手段に対し係合させてある歯車を支持
し前記保持具に支持させてある軸に水平軸線まわりで回
転可能に取付けられている装置。 - 【請求項１８】請求項17に記載の装置において、前記支
え杆を２個、前記管をはさんで互いに間隔をあけた平行
配置で前記箱の外面上から突出させて設け、これらの支
え杆上に前記保持具を、前記プローブ手段の軸線方向で
みて該保持具の前記開口が前記した受け具の開口と間隔
をおくように配置して設けてある装置。 - 【請求項１９】請求項11に記載の装置において、前記空
洞内での前記プレート手段の位置をおおまかに測定する
ための直線目盛りを、前記第２の移動手段に設けてある
装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/088,377 US4792772A (en) | 1987-08-24 | 1987-08-24 | Microwave apparatus |
| US088377 | 1987-08-24 | ||
| PCT/US1988/002673 WO1989002164A1 (en) | 1987-08-24 | 1988-08-08 | Improved microwave apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01502794A JPH01502794A (ja) | 1989-09-21 |
| JPH06105843B2 true JPH06105843B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=22211022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63507141A Expired - Fee Related JPH06105843B2 (ja) | 1987-08-24 | 1988-08-08 | 改良されたマイクロ波装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4792772A (ja) |
| EP (1) | EP0328618B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06105843B2 (ja) |
| CA (1) | CA1287666C (ja) |
| DE (1) | DE3886031T2 (ja) |
| WO (1) | WO1989002164A1 (ja) |
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-
1987
- 1987-08-24 US US07/088,377 patent/US4792772A/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-08-08 EP EP88907886A patent/EP0328618B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-08-08 DE DE88907886T patent/DE3886031T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-08-08 WO PCT/US1988/002673 patent/WO1989002164A1/en active IP Right Grant
- 1988-08-08 JP JP63507141A patent/JPH06105843B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1988-08-11 CA CA000574475A patent/CA1287666C/en not_active Expired - Lifetime
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