JPH06105804B2 - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH06105804B2 JPH06105804B2 JP62333713A JP33371387A JPH06105804B2 JP H06105804 B2 JPH06105804 B2 JP H06105804B2 JP 62333713 A JP62333713 A JP 62333713A JP 33371387 A JP33371387 A JP 33371387A JP H06105804 B2 JPH06105804 B2 JP H06105804B2
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- discharge
- laser
- storage container
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、レーザ発振用のエネルギーを注入するための
放電ループのインダクタンスを小さくするためにレーザ
管内の放電電極の近くに放電用コンデンサを設けたもの
において、放電用コンデンサを保護するための収納容器
を設けてレーザ発振の効率を高効率に保ったままレーザ
媒質ガスの寿命を大幅に伸ばすことを可能とし、しかも
収納容器の構造を簡単にして、容易かつ安価に収納容器
を作成することのできるガスレーザ発振装置に関するも
のである。
放電ループのインダクタンスを小さくするためにレーザ
管内の放電電極の近くに放電用コンデンサを設けたもの
において、放電用コンデンサを保護するための収納容器
を設けてレーザ発振の効率を高効率に保ったままレーザ
媒質ガスの寿命を大幅に伸ばすことを可能とし、しかも
収納容器の構造を簡単にして、容易かつ安価に収納容器
を作成することのできるガスレーザ発振装置に関するも
のである。
［従来の技術］ 一般にKrFレーザ発振装置、ArFレーザ発振装置などの希
ガスハライドエキシマレーザ発振装置においては、放電
電極間にできるだけ短時間に電気的エネルギーを注入す
るために、放電電極と放電用コンデンサが形成する放電
ループのインダクタンスをできるだけ小さく（例えば数
nH）抑える必要がある。放電ループのインダクタンスが
大きいと、放電がグロー放電からアーク放電に移行し、
放電電極を損傷したり、安定した放電が得られないから
である。
ガスハライドエキシマレーザ発振装置においては、放電
電極間にできるだけ短時間に電気的エネルギーを注入す
るために、放電電極と放電用コンデンサが形成する放電
ループのインダクタンスをできるだけ小さく（例えば数
nH）抑える必要がある。放電ループのインダクタンスが
大きいと、放電がグロー放電からアーク放電に移行し、
放電電極を損傷したり、安定した放電が得られないから
である。
従来、上述のように放電ループのインダクタンスを小さ
く抑えるようにしたガスレーザ発振装置には、第７図、
第８図または第９図に示すようなものが知られている。
く抑えるようにしたガスレーザ発振装置には、第７図、
第８図または第９図に示すようなものが知られている。
第７図では、レーザ媒質ガス（例えばハロゲンガスと希
ガス）（１）を封入したレーザ管（２）内に放電電極
（３）（４）および放電用コンデンサ（５）（６），…
を設けて放電ループのインダクタンスを小さく抑え、高
圧電源（10数KV〜40KV程度）（７）からコイル（８）を
介してコンデンサ（９）に所定量の電荷を充電し、つい
で、入力端子（10）にトリガーパルスを加えてサイラト
ロン（11）をオンすることによってコンデンサ（９）に
充電されていた電荷を放電用コンデンサ（５），
（６），…に転送し、予備電離用ピン（12）と（13）
…、（14）と（15）…の間にアーク放電を生ぜしめ、こ
のアーク放電によって発生した紫外光によってレーザ媒
質ガス（１）を予備電離する。放電用コンデンサ
（５），（６），…の端子電圧が所定の電圧まで充電さ
れると、放電電極（３）（４）間でグロー放電が開始
し、レーザ媒質ガス（１）が励起され、レーザ発振が開
始する。なお、（16）はレーザ媒質ガス（１）循環用の
ブロア、（17）は冷却系としての水冷装置である。
ガス）（１）を封入したレーザ管（２）内に放電電極
（３）（４）および放電用コンデンサ（５）（６），…
を設けて放電ループのインダクタンスを小さく抑え、高
圧電源（10数KV〜40KV程度）（７）からコイル（８）を
介してコンデンサ（９）に所定量の電荷を充電し、つい
で、入力端子（10）にトリガーパルスを加えてサイラト
ロン（11）をオンすることによってコンデンサ（９）に
充電されていた電荷を放電用コンデンサ（５），
（６），…に転送し、予備電離用ピン（12）と（13）
…、（14）と（15）…の間にアーク放電を生ぜしめ、こ
のアーク放電によって発生した紫外光によってレーザ媒
質ガス（１）を予備電離する。放電用コンデンサ
（５），（６），…の端子電圧が所定の電圧まで充電さ
れると、放電電極（３）（４）間でグロー放電が開始
し、レーザ媒質ガス（１）が励起され、レーザ発振が開
始する。なお、（16）はレーザ媒質ガス（１）循環用の
ブロア、（17）は冷却系としての水冷装置である。
第８図では、放電用コンデンサ（５），（６），…をレ
ーザ管（２）の外であるが、予備電離用ピン（12）（1
3）…、（14）（15）…の直下に設けて放電ループのイ
ンダクタンスを小さく抑えていた。また、第９図（特開
昭61-63072ご参照）では、同軸形コンデンサからなる放
電用コンデンサ（18）を収納容器（19）内に収納し、こ
の収納容器（19）をレーザ管（２）内に設けて放電ルー
プのインダクタンスを小さく抑えていた。
ーザ管（２）の外であるが、予備電離用ピン（12）（1
3）…、（14）（15）…の直下に設けて放電ループのイ
ンダクタンスを小さく抑えていた。また、第９図（特開
昭61-63072ご参照）では、同軸形コンデンサからなる放
電用コンデンサ（18）を収納容器（19）内に収納し、こ
の収納容器（19）をレーザ管（２）内に設けて放電ルー
プのインダクタンスを小さく抑えていた。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、第７図に示す従来例では、放電用コンデ
ンサ（５），（６），…がレーザ管（２）内のレーザ媒
質ガス（１）に直接触れているのでつぎのような問題点
があった。
ンサ（５），（６），…がレーザ管（２）内のレーザ媒
質ガス（１）に直接触れているのでつぎのような問題点
があった。
（イ）一般に放電用コンデンサ（５）（６），…の表面
が耐腐食性の劣った材料（例えばエポキシ樹脂）で形成
されているため、放電用コンデンサ（５）（６），…が
レーザ媒質ガス（１）で腐食したり、レーザ管（２）内
を汚染してガス寿命を短かくしたりするという問題点が
あった。
が耐腐食性の劣った材料（例えばエポキシ樹脂）で形成
されているため、放電用コンデンサ（５）（６），…が
レーザ媒質ガス（１）で腐食したり、レーザ管（２）内
を汚染してガス寿命を短かくしたりするという問題点が
あった。
（ロ）放電用コンデンサ（５）（６），…の表面を耐腐
食性の優れた材料（例えば四フッ化エチレン樹脂）でコ
ーティングして耐腐食性をあげる試みもなされている
が、四フッ化エチレン樹脂でもレーザ発振に伴う紫外光
にさらされて次第に分解が進み、炭素由来の不純物が発
生してレーザ媒質ガスの寿命が低下することを避けられ
ない。また、レーザ管（２）内の不純物を除去するため
に真空装置を用いてベーキング（焼き出し）を行う際
に、放電用コンデンサ（５）（６），…の耐熱性の点か
ら高温（例えば300℃）でのベーキングが不可能である
という問題点があった。
食性の優れた材料（例えば四フッ化エチレン樹脂）でコ
ーティングして耐腐食性をあげる試みもなされている
が、四フッ化エチレン樹脂でもレーザ発振に伴う紫外光
にさらされて次第に分解が進み、炭素由来の不純物が発
生してレーザ媒質ガスの寿命が低下することを避けられ
ない。また、レーザ管（２）内の不純物を除去するため
に真空装置を用いてベーキング（焼き出し）を行う際
に、放電用コンデンサ（５）（６），…の耐熱性の点か
ら高温（例えば300℃）でのベーキングが不可能である
という問題点があった。
（ハ）レーザ発振によりレーザ管（２）の温度が上昇し
たり、コンデンサ（５）（６），…が充放電動作をする
と放電用コンデンサ（５）（６），…の温度が上昇して
容量が低下するので、レーザ発振出力が不安定になると
いう問題点があった。
たり、コンデンサ（５）（６），…が充放電動作をする
と放電用コンデンサ（５）（６），…の温度が上昇して
容量が低下するので、レーザ発振出力が不安定になると
いう問題点があった。
（ニ）放電用コンデンサ（５）（６），…が高圧印加や
レーザ媒質ガス（１）の腐食により破損して交換する必
要が生じた場合、この交換時にレーザ管（２）を開けな
ければならず、外気中の水や酸素などがレーザ媒質ガス
（１）と反応してレーザ管（２）内壁の腐食を促進して
しまうという問題点があった。
レーザ媒質ガス（１）の腐食により破損して交換する必
要が生じた場合、この交換時にレーザ管（２）を開けな
ければならず、外気中の水や酸素などがレーザ媒質ガス
（１）と反応してレーザ管（２）内壁の腐食を促進して
しまうという問題点があった。
また、第８図に示す従来例では、放電用コンデンサ
（５）（６），…がレーザ管（２）の外にあるので、前
述の（イ）〜（ニ）の問題点はないが、放電用コンデン
サ（５）（６），…と放電電極（３）（４）との間の距
離が長くなり、放電ループのインダクタンスをそれ程小
さく抑えることができず、短時間に放電電極（３）
（４）間に電気エネルギーを注入することを必要とする
ガスレーザ発振装置ではアーツ放電が起こったり、安定
したレーザ発振が得られないという問題点があった。
（５）（６），…がレーザ管（２）の外にあるので、前
述の（イ）〜（ニ）の問題点はないが、放電用コンデン
サ（５）（６），…と放電電極（３）（４）との間の距
離が長くなり、放電ループのインダクタンスをそれ程小
さく抑えることができず、短時間に放電電極（３）
（４）間に電気エネルギーを注入することを必要とする
ガスレーザ発振装置ではアーツ放電が起こったり、安定
したレーザ発振が得られないという問題点があった。
また、第９図に示す従来例では放電用コンデンサ（18）
を収納容器（19）に収納し、この収納容器（19）をレー
ザ管（２）内に設けたので、放電ループのインダクタン
スを小さく抑えることができるとともに前記（イ）
（ニ）の問題点はないが、収納容器（19）の構造が複雑
になって高価になるとともに、この収納容器（19）は同
軸型形状の特殊なコンデンサ（18）について利用できる
としても汎用の平行平板型構造のコンデンサを多数用い
る場合に利用できないという問題点があった。すなわ
ち、汎用の平行平板型構造のコンデンサを多数用いる場
合には、前記特開昭61-63072の第２図および第３図（図
示省略）に示すように、レーザ媒質ガスの流れを阻止し
ないように多数のコンデンサのそれぞれを対応した個別
の収納容器に収納しなければならないので、収納容器の
構造がさらに複雑になるとともにコンデンサの取り換え
作業が煩雑になるという問題点があった。
を収納容器（19）に収納し、この収納容器（19）をレー
ザ管（２）内に設けたので、放電ループのインダクタン
スを小さく抑えることができるとともに前記（イ）
（ニ）の問題点はないが、収納容器（19）の構造が複雑
になって高価になるとともに、この収納容器（19）は同
軸型形状の特殊なコンデンサ（18）について利用できる
としても汎用の平行平板型構造のコンデンサを多数用い
る場合に利用できないという問題点があった。すなわ
ち、汎用の平行平板型構造のコンデンサを多数用いる場
合には、前記特開昭61-63072の第２図および第３図（図
示省略）に示すように、レーザ媒質ガスの流れを阻止し
ないように多数のコンデンサのそれぞれを対応した個別
の収納容器に収納しなければならないので、収納容器の
構造がさらに複雑になるとともにコンデンサの取り換え
作業が煩雑になるという問題点があった。
本発明は上述の問題点に鑑みなされたもので、放電用コ
ンデンサを放電電極の近くに設置するとともに、この放
電用コンデンサをレーザ媒質ガスから完全に隔離するた
めの収納容器を設けることによって、レーザ発振の効率
を高効率に保ったままレーザ媒質ガスの寿命を大幅に伸
ばすことを可能としたガスレーザ発振装置を得ることを
目的とするものである。
ンデンサを放電電極の近くに設置するとともに、この放
電用コンデンサをレーザ媒質ガスから完全に隔離するた
めの収納容器を設けることによって、レーザ発振の効率
を高効率に保ったままレーザ媒質ガスの寿命を大幅に伸
ばすことを可能としたガスレーザ発振装置を得ることを
目的とするものである。
さらに、放電用コンデンサとして汎用のコンデンサを使
用できるとともに、レーザ管内を外気に曝さずに放電用
コンデンサの交換を可能にし、しかも、放電用コンデン
サの収納容器の構造を簡単にして、容易かつ安価に収納
容器を作成することのできるガスレーザ発振装置を得る
ことを目的とするものである。
用できるとともに、レーザ管内を外気に曝さずに放電用
コンデンサの交換を可能にし、しかも、放電用コンデン
サの収納容器の構造を簡単にして、容易かつ安価に収納
容器を作成することのできるガスレーザ発振装置を得る
ことを目的とするものである。
また、必要に応じて放電用コンデンサの容量変化を抑え
て安定したレーザ発振を得ることができるようにするこ
とを目的とする。
て安定したレーザ発振を得ることができるようにするこ
とを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、両端開口部を側壁で閉塞してレーザ媒質ガス
を封入してなる筒形形状のレーザ管内に、放電電極と、
この放電電極の近くに位置して前記放電電極間に放電電
圧を印加するための放電用コンデンサとを設けてなるガ
スレーザ発振装置において、前記放電用コンデンサを前
記レーザ媒質ガスから隔離して収納するための収納容器
を設け、この収納容器は、軸方向が前記レーザ管とほぼ
平行な筒形形状に形成され、かつ両端部のうちの少なく
とも一端部が前記レーザ管の側壁を貫通し外部に突出し
て開口するとともに、封止手段によって前記レーザ管の
側壁に固定されてなり、前記放電用コンデンサは、前記
収納容器の開口部から前記収納容器内に着脱可能に収容
されてなることを特徴とするものである。
を封入してなる筒形形状のレーザ管内に、放電電極と、
この放電電極の近くに位置して前記放電電極間に放電電
圧を印加するための放電用コンデンサとを設けてなるガ
スレーザ発振装置において、前記放電用コンデンサを前
記レーザ媒質ガスから隔離して収納するための収納容器
を設け、この収納容器は、軸方向が前記レーザ管とほぼ
平行な筒形形状に形成され、かつ両端部のうちの少なく
とも一端部が前記レーザ管の側壁を貫通し外部に突出し
て開口するとともに、封止手段によって前記レーザ管の
側壁に固定されてなり、前記放電用コンデンサは、前記
収納容器の開口部から前記収納容器内に着脱可能に収容
されてなることを特徴とするものである。
［作用］ レーザ管内に設けられた放電用コンデンサは、放電電極
の近くに位置し、かつ収納容器に収納されているので、
放電ループのインダクタンスが極めて小さくなり、かつ
放電用コンデンサがレーザ媒質ガスから隔離され、レー
ザ媒質ガスにより腐食されないとともにレーザ媒質ガス
を汚染しない。このため、レーザ発振の効率を高効率に
保ったままレーザガスの寿命を大幅に伸ばすことが可能
である。
の近くに位置し、かつ収納容器に収納されているので、
放電ループのインダクタンスが極めて小さくなり、かつ
放電用コンデンサがレーザ媒質ガスから隔離され、レー
ザ媒質ガスにより腐食されないとともにレーザ媒質ガス
を汚染しない。このため、レーザ発振の効率を高効率に
保ったままレーザガスの寿命を大幅に伸ばすことが可能
である。
また、放電用コンデンサを収納する収納容器は、構造が
簡単で耐圧性の良い筒形形状に形成されているので、高
圧力下での使用が可能な収納容器を容易かつ安価に作成
することができる。
簡単で耐圧性の良い筒形形状に形成されているので、高
圧力下での使用が可能な収納容器を容易かつ安価に作成
することができる。
さらに、収納容器の両端部のうちの少なくとも一端部
が、レーザ管の側壁を貫通し外部に突出して開口すると
ともに、封止手段によって側壁に固定され、放電用コン
デンサが、収納容器の開口部から着脱可能に収納されて
いるので、放電電極や放電用コンデンサへの高電圧の供
給を容易にすることができるとともに、レーザ管の内面
を外気に曝さずに放電用コンデンサを交換することがで
きる。
が、レーザ管の側壁を貫通し外部に突出して開口すると
ともに、封止手段によって側壁に固定され、放電用コン
デンサが、収納容器の開口部から着脱可能に収納されて
いるので、放電電極や放電用コンデンサへの高電圧の供
給を容易にすることができるとともに、レーザ管の内面
を外気に曝さずに放電用コンデンサを交換することがで
きる。
［実施例］ 第１図から第４図までは本発明の一実施例を示すもの
で、第７図と同一部分は同一符号とする。第１図および
第２図において、（２）はレーザ管で、このレーザ管
（２）内には、１対の放電電極（３）（４）と、内部に
封入されたレーザ媒質ガス（例えばKr50Torr,F23Torr,
全圧4atm,バッファガス;Ne）（１）を循環するためのブ
ロア（16）と、レーザ媒質ガス（１）を冷却するための
水冷装置（17）と、絶縁性、耐腐食性、耐熱性および気
密性に優れた材料（例えばセラミックス）によって有底
円筒形状に形成され、放電用コンデンサ（５）（６），
…を収納する収納容器（25）（26）と、前記放電電極
（３）（４）間のレーザ媒質ガス（１）を予備電離する
ための予備電離用ピン（21）と（22），…、（23）と
（24），…とが設けられている。前記レーザ管（２）内
には、さらに、図示しない全反射ミラーと発振レーザ光
取り出し用の出射ミラーとからなるレーザ共振器が設け
られている。
で、第７図と同一部分は同一符号とする。第１図および
第２図において、（２）はレーザ管で、このレーザ管
（２）内には、１対の放電電極（３）（４）と、内部に
封入されたレーザ媒質ガス（例えばKr50Torr,F23Torr,
全圧4atm,バッファガス;Ne）（１）を循環するためのブ
ロア（16）と、レーザ媒質ガス（１）を冷却するための
水冷装置（17）と、絶縁性、耐腐食性、耐熱性および気
密性に優れた材料（例えばセラミックス）によって有底
円筒形状に形成され、放電用コンデンサ（５）（６），
…を収納する収納容器（25）（26）と、前記放電電極
（３）（４）間のレーザ媒質ガス（１）を予備電離する
ための予備電離用ピン（21）と（22），…、（23）と
（24），…とが設けられている。前記レーザ管（２）内
には、さらに、図示しない全反射ミラーと発振レーザ光
取り出し用の出射ミラーとからなるレーザ共振器が設け
られている。
前記ブロア（16）は、磁気シールユニットや磁気カップ
リングなどの真空装置用動力伝動機構（57）を介して図
示しない外部動力装置に結合されている。
リングなどの真空装置用動力伝動機構（57）を介して図
示しない外部動力装置に結合されている。
前記収納容器（25）（26）の開口端部は前記レーザ管
（２）の一方の側壁（2a）を貫通して外部に突出すると
ともに真空封止手段（27）（27）によって前記側壁（2
a）に封止固定されている。前記真空封止手段（27）
は、前記収納容器（25）（26）の開口端部の外周壁にロ
ウ付けされた断面Ｕ字形のリング形状の封止金具（例え
ばKOVAR等の金属で形成された封止金具）（28）と、こ
の封止金具（28）に溶接固着された一方のフランジ（2
9）と、前記レーザ管（２）の側壁（2a）の貫通孔（3
0）に溶接固着された他方のフランジ（31）と、ネジ（3
2）〜（32）と、このネジ（32）〜（32）の締付けによ
って前記フランジ（29）（31）の対向するエッジ間に押
圧挟持され真空シール作用をする銅ガスケット（33）と
からなっている。
（２）の一方の側壁（2a）を貫通して外部に突出すると
ともに真空封止手段（27）（27）によって前記側壁（2
a）に封止固定されている。前記真空封止手段（27）
は、前記収納容器（25）（26）の開口端部の外周壁にロ
ウ付けされた断面Ｕ字形のリング形状の封止金具（例え
ばKOVAR等の金属で形成された封止金具）（28）と、こ
の封止金具（28）に溶接固着された一方のフランジ（2
9）と、前記レーザ管（２）の側壁（2a）の貫通孔（3
0）に溶接固着された他方のフランジ（31）と、ネジ（3
2）〜（32）と、このネジ（32）〜（32）の締付けによ
って前記フランジ（29）（31）の対向するエッジ間に押
圧挟持され真空シール作用をする銅ガスケット（33）と
からなっている。
前記放電用コンデンサ（５）…は、第３図および第４図
に示すように、その両電極部がネジ（34）（34）…によ
って帯板状の金属性アレイ（35）（36）の内側に固着さ
れて並列接続となっている。前記金属性アレイ（35）
（36）の前記収納容器（25）の開口部側に向った端部に
は絶縁性帯板状の取手（37）（38）が固着されている。
前記金属性アレイ（35）（36）の外側は、ネジ（39）
（39）…によってレール状金具（40）（41）の内側に固
着され、このレール状金具（40）（41）の外側には断面
がほぼ円形状のレール部（42）（43）が一体に突設形成
されている。前記レール状金具（40）（41）のレール部
（42）（43）は、接続金具（44）（45）の内側の嵌合部
（46）（47）に電気的に接続した状態で着脱可能に嵌合
されている。前記嵌合部（46）（47）は、側壁の一部を
開口した円筒形状に形成されている。
に示すように、その両電極部がネジ（34）（34）…によ
って帯板状の金属性アレイ（35）（36）の内側に固着さ
れて並列接続となっている。前記金属性アレイ（35）
（36）の前記収納容器（25）の開口部側に向った端部に
は絶縁性帯板状の取手（37）（38）が固着されている。
前記金属性アレイ（35）（36）の外側は、ネジ（39）
（39）…によってレール状金具（40）（41）の内側に固
着され、このレール状金具（40）（41）の外側には断面
がほぼ円形状のレール部（42）（43）が一体に突設形成
されている。前記レール状金具（40）（41）のレール部
（42）（43）は、接続金具（44）（45）の内側の嵌合部
（46）（47）に電気的に接続した状態で着脱可能に嵌合
されている。前記嵌合部（46）（47）は、側壁の一部を
開口した円筒形状に形成されている。
前記接続金具（44）（45）の中間部は、断面Ｕ字形のレ
ール形状の封止金具（例えばKOVAR等の金属で形成され
た封止金具）（48），（49）を介して前記収納容器（2
5）の上下の貫通孔にロウ付等によって封止固着され、
前記接続金具（44），（45）の外側にはナット（50）
（51），…が螺着され、これらのナット（50）（51），
…の一方のナット（50）…は、前記放電電極（３）を接
続支持する導電性の支持プレート（52）を前記収納容器
（25）の外周壁に押圧固定するとともに前記接続金具
（44）に電気的に接続し、他方のナット（51）…は、前
記予備電離ピン（21）と（22），…の一方のピン（21）
…の基端部を前記収納容器（25）の外周壁に押圧固定す
るとともに前記接続金具（45）に電気的に接続してい
る。
ール形状の封止金具（例えばKOVAR等の金属で形成され
た封止金具）（48），（49）を介して前記収納容器（2
5）の上下の貫通孔にロウ付等によって封止固着され、
前記接続金具（44），（45）の外側にはナット（50）
（51），…が螺着され、これらのナット（50）（51），
…の一方のナット（50）…は、前記放電電極（３）を接
続支持する導電性の支持プレート（52）を前記収納容器
（25）の外周壁に押圧固定するとともに前記接続金具
（44）に電気的に接続し、他方のナット（51）…は、前
記予備電離ピン（21）と（22），…の一方のピン（21）
…の基端部を前記収納容器（25）の外周壁に押圧固定す
るとともに前記接続金具（45）に電気的に接続してい
る。
前記放電用コンデンサ（６）…も、前記放電用コンデン
サ（５）…と同様の構成により前記収納容器（26）内に
着脱可能に収納されている。前記放電用コンデンサ
（５）（６），…の一方の端子に接続された金属性アレ
イ（35）（35）は、リード線（60）を経、コンデンサ
（９）を介して高圧電源（７）の非接地側に接続される
とともに、前記リード線（60）を経、コイル（８）を介
して接地されている。前記高圧電源（７）の非接地側と
接地側の間には、トリガーパルス入力用の入力端子（1
0）へのトリガーパルスの有無でオン、オフする高電圧
用スイッチング素子としてのサイラトロン（11）が接続
されるとともに、接地側は前記放電電極（４）および前
記予備電離ピン（21）と（22），…、（23）と（24），
…の他方のピン（22）…，（24）…の基端部に接続され
ている。前記収納容器（25）（26）には、内部の放電用
コンデンサ（５）（６），…を冷却するための冷却系
（図示省略）が設けられている。この冷却系は、例え
ば、前記収納容器（25）（26）内に絶縁オイルのような
絶縁性の液体、SF6のような絶縁性の気体または絶縁性
の粉体や固体を充填または循環させることによって行な
われる。このとき、温度センサを用いてこれらの絶縁性
の液体、気体、粉体、固体の温度を制御することによっ
て放電用コンデンサ（５）（６），…を冷却するように
構成してもよい。
サ（５）…と同様の構成により前記収納容器（26）内に
着脱可能に収納されている。前記放電用コンデンサ
（５）（６），…の一方の端子に接続された金属性アレ
イ（35）（35）は、リード線（60）を経、コンデンサ
（９）を介して高圧電源（７）の非接地側に接続される
とともに、前記リード線（60）を経、コイル（８）を介
して接地されている。前記高圧電源（７）の非接地側と
接地側の間には、トリガーパルス入力用の入力端子（1
0）へのトリガーパルスの有無でオン、オフする高電圧
用スイッチング素子としてのサイラトロン（11）が接続
されるとともに、接地側は前記放電電極（４）および前
記予備電離ピン（21）と（22），…、（23）と（24），
…の他方のピン（22）…，（24）…の基端部に接続され
ている。前記収納容器（25）（26）には、内部の放電用
コンデンサ（５）（６），…を冷却するための冷却系
（図示省略）が設けられている。この冷却系は、例え
ば、前記収納容器（25）（26）内に絶縁オイルのような
絶縁性の液体、SF6のような絶縁性の気体または絶縁性
の粉体や固体を充填または循環させることによって行な
われる。このとき、温度センサを用いてこれらの絶縁性
の液体、気体、粉体、固体の温度を制御することによっ
て放電用コンデンサ（５）（６），…を冷却するように
構成してもよい。
つぎに前記実施例の作用について説明する。
高圧電源（７）から高電圧（10数KV〜40KV）が出力する
ことによって、コンデンサ（９）はコイル（８）を介し
て所定の電圧まで充電される。ここで入力端子（10）に
トリガーパルスが加えられると、サイラトロン（11）が
オンし、コンデンサ（９）に蓄積されていた電荷が放電
用コンデンサ（５）（６），…へ移り、予備電離用ピン
（21）と（22），…、（23）と（24），…の間でアーク
放電が発生する。このアーク放電によって紫外光が発生
し、放電電極（３）（４）内のレーザ媒質ガス（１）を
予備電離する。
ことによって、コンデンサ（９）はコイル（８）を介し
て所定の電圧まで充電される。ここで入力端子（10）に
トリガーパルスが加えられると、サイラトロン（11）が
オンし、コンデンサ（９）に蓄積されていた電荷が放電
用コンデンサ（５）（６），…へ移り、予備電離用ピン
（21）と（22），…、（23）と（24），…の間でアーク
放電が発生する。このアーク放電によって紫外光が発生
し、放電電極（３）（４）内のレーザ媒質ガス（１）を
予備電離する。
放電用コンデンサ（５）（６），…の放電電圧が予備電
離状態におけるレーザ媒質ガス（１）のブレークダウン
電圧以上になると、放電電極（３）（４）間でグロー放
電が開始し、レーザ媒質ガス（１）を励起し、レーザ発
振が開始する。このとき、放電用コンデンサ（５）
（６），…は収納容器（25）（26）内に収納され、放電
電極（３）（４）の近傍に配置されているので、放電ル
ープのインダクタンスが極めて小さくなり、安定なグロ
ー放電を発生、維持することができる。また、放電用コ
ンデンサ（５）（６），…は収納容器（25）（26）によ
りレーザ媒質ガス（１）と隔離されているので、腐食性
のレーザ媒質ガスによる腐食を受けたり、予備電離時に
発生する紫外光によってスパッタされて損傷を受けたり
することがない。さらに、放電用コンデンサ（５）
（６），…は金属アレイ（35）（36）およびレール状金
具（40）（41）に固定され、このレール状金具（40）
（41）のレール部（42）（43）が収納容器（25）（26）
に固定された接続金具（44）（45）の嵌合部（46）（4
7）と着脱可能に嵌合しているので、取手（37）（38）
を引っ張ることによって放電用コンデンサ（５）
（６），…を収納容器（25）（26）の外に取り出すこと
ができる。このため、放電用コンデンサ（５）（６），
…が破損した場合の取替え作業が容易になるとともに、
この取替え時にレーザ管（２）内部に外気が侵入ない。
さらに収納容器（25）（26）が絶縁性、耐腐食性、耐熱
性および気密性に優れた材料で形成されているので、放
電用コンデンサ（５）（６），…を取り出した後の真空
装置を用いた高温（例えば300℃）でのベーキングによ
るガス出しが可能となり、レーザ媒質ガス（１）の寿命
の大幅な助長を図れる。また、収納容器（25）（26）に
は、放電用コンデンサ（５）（６），…を冷却するため
の冷却系が設けられているので、放電用コンデンサ
（５）（６），…の温度上昇による容量変化を極力抑制
し、レーザ発振出力の安定化を図っている。
離状態におけるレーザ媒質ガス（１）のブレークダウン
電圧以上になると、放電電極（３）（４）間でグロー放
電が開始し、レーザ媒質ガス（１）を励起し、レーザ発
振が開始する。このとき、放電用コンデンサ（５）
（６），…は収納容器（25）（26）内に収納され、放電
電極（３）（４）の近傍に配置されているので、放電ル
ープのインダクタンスが極めて小さくなり、安定なグロ
ー放電を発生、維持することができる。また、放電用コ
ンデンサ（５）（６），…は収納容器（25）（26）によ
りレーザ媒質ガス（１）と隔離されているので、腐食性
のレーザ媒質ガスによる腐食を受けたり、予備電離時に
発生する紫外光によってスパッタされて損傷を受けたり
することがない。さらに、放電用コンデンサ（５）
（６），…は金属アレイ（35）（36）およびレール状金
具（40）（41）に固定され、このレール状金具（40）
（41）のレール部（42）（43）が収納容器（25）（26）
に固定された接続金具（44）（45）の嵌合部（46）（4
7）と着脱可能に嵌合しているので、取手（37）（38）
を引っ張ることによって放電用コンデンサ（５）
（６），…を収納容器（25）（26）の外に取り出すこと
ができる。このため、放電用コンデンサ（５）（６），
…が破損した場合の取替え作業が容易になるとともに、
この取替え時にレーザ管（２）内部に外気が侵入ない。
さらに収納容器（25）（26）が絶縁性、耐腐食性、耐熱
性および気密性に優れた材料で形成されているので、放
電用コンデンサ（５）（６），…を取り出した後の真空
装置を用いた高温（例えば300℃）でのベーキングによ
るガス出しが可能となり、レーザ媒質ガス（１）の寿命
の大幅な助長を図れる。また、収納容器（25）（26）に
は、放電用コンデンサ（５）（６），…を冷却するため
の冷却系が設けられているので、放電用コンデンサ
（５）（６），…の温度上昇による容量変化を極力抑制
し、レーザ発振出力の安定化を図っている。
前記実施例では、収納容器は一端側が開口し他端側が閉
塞した有底円筒形状に形成したが、本発明はこれに限る
ものでなく、放電用コンデンサをレーザ媒質ガスから隔
離して収納する筒形形状のものであればよい。ここで筒
形形状とは、円筒に限らず、三角筒、四角筒、…のよう
な多角筒形状を含む。
塞した有底円筒形状に形成したが、本発明はこれに限る
ものでなく、放電用コンデンサをレーザ媒質ガスから隔
離して収納する筒形形状のものであればよい。ここで筒
形形状とは、円筒に限らず、三角筒、四角筒、…のよう
な多角筒形状を含む。
例えば、第10図に示すように両端が開口した円筒形状の
収納容器（125）（126）内に放電用コンデンサ（５）
（６），…を収納してレーザ媒質ガスから隔離するよう
にしてもよい。すなわち、前記収納容器（125）の両側
の開口端部は、レーザ管（２）の両側の側壁（2a）（2
b）を貫通して外部に突出するとともに真空封止手段（2
7）（27）によって前記側壁（2a）（2b）に封止固定さ
れている。前記真空封止手段（27）（27）は、前記収納
容器（125）の両側の開口端部の外周壁にロウ付けされ
た断面Ｕ字形のリング形状の封止金具（例えばKOVAR等
の金属で形成された封止金具）（28）（28）と、この封
止金具（28）（28）に溶接固着された一方のフランジ
（29）（29）と、前記側壁（2a）（2b）の貫通孔（30）
（30）に溶接固着された他方のフランジ（31）（31）
と、ネジ（32）〜（32）（32）〜（32）と、このネジ
（32）〜（32）（32）〜（32）の締付けによって前記フ
ランジ（29）と（31）、（29）と（31）の対向するエッ
ジ間に押圧挟持され真空シール作用をする銅ガスケット
（33）（33）とからなっている。前記収納容器（126）
も前記収納容器（125）とほぼ同様に構成され、その両
側の開口端部は、前記レーザ管（２）の両側の側壁（2
a）（2b）を貫通して外部に突出するとともに真空封止
手段（27）（27）によって封止固定されている。
収納容器（125）（126）内に放電用コンデンサ（５）
（６），…を収納してレーザ媒質ガスから隔離するよう
にしてもよい。すなわち、前記収納容器（125）の両側
の開口端部は、レーザ管（２）の両側の側壁（2a）（2
b）を貫通して外部に突出するとともに真空封止手段（2
7）（27）によって前記側壁（2a）（2b）に封止固定さ
れている。前記真空封止手段（27）（27）は、前記収納
容器（125）の両側の開口端部の外周壁にロウ付けされ
た断面Ｕ字形のリング形状の封止金具（例えばKOVAR等
の金属で形成された封止金具）（28）（28）と、この封
止金具（28）（28）に溶接固着された一方のフランジ
（29）（29）と、前記側壁（2a）（2b）の貫通孔（30）
（30）に溶接固着された他方のフランジ（31）（31）
と、ネジ（32）〜（32）（32）〜（32）と、このネジ
（32）〜（32）（32）〜（32）の締付けによって前記フ
ランジ（29）と（31）、（29）と（31）の対向するエッ
ジ間に押圧挟持され真空シール作用をする銅ガスケット
（33）（33）とからなっている。前記収納容器（126）
も前記収納容器（125）とほぼ同様に構成され、その両
側の開口端部は、前記レーザ管（２）の両側の側壁（2
a）（2b）を貫通して外部に突出するとともに真空封止
手段（27）（27）によって封止固定されている。
前記実施例では、真空封止手段として銅ガスケットシー
ルを用いたが、本発明はこれに限るものでなく、他の金
属ガスケットシールやＯリングシールやパッキンによる
シールなど、他の一般に知られているシール方法を用い
るようにしてもよい。Ｏリングやパッキンをシール材に
用いた場合には、シール材が有機物で形成されているた
め、金属ガスケットシールの場合と比べて、ガス寿命の
点では若干劣るが、コンデンサを直接レーザ管内に収納
した第７図の従来例と比べてレーザ管内の有機物の総量
ははるかに少ないので、ガス寿命を第７図の従来例の数
倍〜数十倍に伸長することが期待できる。
ルを用いたが、本発明はこれに限るものでなく、他の金
属ガスケットシールやＯリングシールやパッキンによる
シールなど、他の一般に知られているシール方法を用い
るようにしてもよい。Ｏリングやパッキンをシール材に
用いた場合には、シール材が有機物で形成されているた
め、金属ガスケットシールの場合と比べて、ガス寿命の
点では若干劣るが、コンデンサを直接レーザ管内に収納
した第７図の従来例と比べてレーザ管内の有機物の総量
ははるかに少ないので、ガス寿命を第７図の従来例の数
倍〜数十倍に伸長することが期待できる。
前記実施例では、収納容器（25）（26）内の放電用コン
デンサ（５）（６），…から電気的エネルギーを外部へ
取り出す手段として、収納容器（25）（26）の貫通孔に
固着された接続金具（44）（45）と、この接続金具（4
4）（45）の外側に螺着された複数のナット（50）（5
1），…とを用いるようにしたが、本発明はこれに限る
ものでなく、例えば第５図および第６図に示すように、
KOVARの金属により一体構造に形成された電気エネルギ
ー取り出し用端子（71）（72）を収納容器（25）（26）
の取付穴に気密封着し、この端子（71）（72）の内側係
合部（73）（74）に放電用コンデンサ（５）（６），…
を固定したレール状金具（40）（41）のレール部（42）
（43）を着脱可能に係合し、外側部に支持プレートと予
備電離用ピンとを電気的に接続するようにしてもよい。
デンサ（５）（６），…から電気的エネルギーを外部へ
取り出す手段として、収納容器（25）（26）の貫通孔に
固着された接続金具（44）（45）と、この接続金具（4
4）（45）の外側に螺着された複数のナット（50）（5
1），…とを用いるようにしたが、本発明はこれに限る
ものでなく、例えば第５図および第６図に示すように、
KOVARの金属により一体構造に形成された電気エネルギ
ー取り出し用端子（71）（72）を収納容器（25）（26）
の取付穴に気密封着し、この端子（71）（72）の内側係
合部（73）（74）に放電用コンデンサ（５）（６），…
を固定したレール状金具（40）（41）のレール部（42）
（43）を着脱可能に係合し、外側部に支持プレートと予
備電離用ピンとを電気的に接続するようにしてもよい。
前記実施例では、本実施例を自動予備電離方式のガスレ
ーザ発振装置に利用した場合について説明したが、Ｘ線
予備電離方式やコロナ放電式のガスレーザ発振装置にも
本発明を利用できること勿論である。
ーザ発振装置に利用した場合について説明したが、Ｘ線
予備電離方式やコロナ放電式のガスレーザ発振装置にも
本発明を利用できること勿論である。
［発明の効果］ 本発明によるガスレーザ発振装置は、上記のように、放
電電極の近くに位置した放電用コンデンサを収納容器に
収納してレーザ媒質ガスから隔離するようにしたので、
放電ループのインダクタンスを極めて小さく（例えば数
nH）して安定したグロー放電によるレーザ発振が得られ
るとともに、放電用コンデンサがレーザ媒質ガスによっ
て腐食されたり、レーザ媒質ガスを汚染しないで長寿命
化を図ることができる。
電電極の近くに位置した放電用コンデンサを収納容器に
収納してレーザ媒質ガスから隔離するようにしたので、
放電ループのインダクタンスを極めて小さく（例えば数
nH）して安定したグロー放電によるレーザ発振が得られ
るとともに、放電用コンデンサがレーザ媒質ガスによっ
て腐食されたり、レーザ媒質ガスを汚染しないで長寿命
化を図ることができる。
また、放電用コンデンサを収納する収納容器は、構造が
簡単で耐圧性の良い筒形形状に形成されているので、高
圧力下での使用が可能な収納容器を容易かつ安価に作成
することができる。
簡単で耐圧性の良い筒形形状に形成されているので、高
圧力下での使用が可能な収納容器を容易かつ安価に作成
することができる。
さらに、この収納容器の両側部のうちの少なくとも一側
部が、レーザ管の側壁を貫通し外部に突出して開口する
とともに、封止手段によって側壁に固定され、放電用コ
ンデンサが、収納容器の開口部から着脱可能に収容され
ているので、放電電極や放電用コンデンサへの高電圧の
供給を容易にすることができるとともに、レーザ管の内
面を外気に曝さずに放電用コンデンサを交換することが
できる。このため、放電用コンデンサが破壊したときに
放電用コンデンサを容易に取り替えることができるとと
もに、この交換時にレーザ管内に大気が侵入するのを防
いで、レーザ媒質ガスの寿命およびレーザ管自体の寿命
の伸長を図ることができる。
部が、レーザ管の側壁を貫通し外部に突出して開口する
とともに、封止手段によって側壁に固定され、放電用コ
ンデンサが、収納容器の開口部から着脱可能に収容され
ているので、放電電極や放電用コンデンサへの高電圧の
供給を容易にすることができるとともに、レーザ管の内
面を外気に曝さずに放電用コンデンサを交換することが
できる。このため、放電用コンデンサが破壊したときに
放電用コンデンサを容易に取り替えることができるとと
もに、この交換時にレーザ管内に大気が侵入するのを防
いで、レーザ媒質ガスの寿命およびレーザ管自体の寿命
の伸長を図ることができる。
また、収納容器を絶縁性、耐腐食性、耐熱性および気密
性に優れた材料で形成した場合には、放電用コンデンサ
を取り外し、真空装置を用いた高温（例えば300℃）で
のベーキングによるガス出しが可能になるので、レーザ
管内を清浄な状態にしてからレーザ媒質ガスを注入する
ことによってレーザ媒質ガスの寿命を大幅に伸ばすこと
ができる。
性に優れた材料で形成した場合には、放電用コンデンサ
を取り外し、真空装置を用いた高温（例えば300℃）で
のベーキングによるガス出しが可能になるので、レーザ
管内を清浄な状態にしてからレーザ媒質ガスを注入する
ことによってレーザ媒質ガスの寿命を大幅に伸ばすこと
ができる。
また、収納容器に冷却系を設けるようにした場合には、
放電用コンデンサの温度上昇による容量変化を抑制して
安定したレーザ発振出力を得ることができる。このと
き、この冷却系として、絶縁オイルのような絶縁性の液
体、SF6のような絶縁性の気体または絶縁性の粉体や固
体を収納容器内に充填または循環させるようにした場合
には、上述の冷却効果と併せて放電用コンデンサの沿面
耐圧を向上させることもできる。
放電用コンデンサの温度上昇による容量変化を抑制して
安定したレーザ発振出力を得ることができる。このと
き、この冷却系として、絶縁オイルのような絶縁性の液
体、SF6のような絶縁性の気体または絶縁性の粉体や固
体を収納容器内に充填または循環させるようにした場合
には、上述の冷却効果と併せて放電用コンデンサの沿面
耐圧を向上させることもできる。
第１図から第４図までは本発明によるガスレーザ発振装
置の一実施例を示すもので、第１図は第２図のＢ−Ｂ線
断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第
２図の一部拡大断面図、第４図は放電用コンデンサを収
納容器内に着脱可能に収納する状態を示す要部の斜視
図、第５図および第６図は他の実施例を示すもので、第
５図は要部断面図、第６図は第５図のＣ−Ｃ線拡大断面
図、第７図から第９図までは、それぞれ従来例を示す断
面図、第10図は本発明の他の実施例を示す断面図であ
る。 （１）…レーザ媒質ガス、（２）…レーザ管、（2a）
（2b）…レーザ管（２）の側壁、（３）（４）…放電電
極、（５）（６）…放電用コンデンサ、（25）（26）
（125）（126）…収納容器、（27）（48）（49）…封止
手段。
置の一実施例を示すもので、第１図は第２図のＢ−Ｂ線
断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第
２図の一部拡大断面図、第４図は放電用コンデンサを収
納容器内に着脱可能に収納する状態を示す要部の斜視
図、第５図および第６図は他の実施例を示すもので、第
５図は要部断面図、第６図は第５図のＣ−Ｃ線拡大断面
図、第７図から第９図までは、それぞれ従来例を示す断
面図、第10図は本発明の他の実施例を示す断面図であ
る。 （１）…レーザ媒質ガス、（２）…レーザ管、（2a）
（2b）…レーザ管（２）の側壁、（３）（４）…放電電
極、（５）（６）…放電用コンデンサ、（25）（26）
（125）（126）…収納容器、（27）（48）（49）…封止
手段。
Claims (4)
- 【請求項１】両端開口部を側壁で閉塞してレーザ媒質ガ
スを封入してなる筒形形状のレーザ管内に、放電電極
と、この放電電極の近くに位置して前記放電電極間に放
電電圧を印加するための放電用コンデンサとを設けてな
るガスレーザ発振装置において、前記放電用コンデンサ
を前記レーザ媒質ガスから隔離して収納するための筒形
形状の収納容器を設け、この収納容器は、その軸方向が
前記レーザ管とほぼ平行に形成され、かつ両端部のうち
の少なくとも一端部が前記レーザ管の側壁を貫通し外部
に突出して開口するとともに、封止手段によって前記レ
ーザ管の側壁に固定されてなり、前記放電用コンデンサ
は、前記収納容器の開口部から前記収納容器内に着脱可
能に収容されてなることを特徴とするガスレーザ発振装
置。 - 【請求項２】収納容器は絶縁性、耐腐食性、耐熱性およ
び気密性に優れた材料によって形成されてなる特許請求
の範囲第１項記載のガスレーザ発振装置。 - 【請求項３】収納容器は、放電用コンデンサを冷却する
ための冷却系を具備してなる特許請求の範囲第１項また
は第２項記載のガスレーザ発振装置。 - 【請求項４】収納容器の冷却系は、絶縁オイルのような
絶縁性の液体、SF6のような絶縁性の気体または絶縁性
の粉体や固体を、前記収納容器内に充填または循環させ
てなる特許請求の範囲第３項記載のガスレーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62333713A JPH06105804B2 (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62333713A JPH06105804B2 (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01175274A JPH01175274A (ja) | 1989-07-11 |
| JPH06105804B2 true JPH06105804B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=18269133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62333713A Expired - Fee Related JPH06105804B2 (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105804B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01191486A (ja) * | 1988-01-27 | 1989-08-01 | Komatsu Ltd | レーザの予備電離電極 |
| JP2666149B2 (ja) * | 1988-07-27 | 1997-10-22 | 株式会社小松製作所 | 放電励起ガスレーザ装置の紫外線予備電離電極 |
| JPH03127882A (ja) * | 1989-10-13 | 1991-05-30 | Toshiba Corp | ガスレーザ装置 |
| JP2718623B2 (ja) * | 1993-10-14 | 1998-02-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | ガスレーザ装置 |
| RU2002120302A (ru) * | 2002-07-31 | 2004-03-20 | Владимир Михайлович Борисов | Эксимерный лазер |
| RU2507654C1 (ru) * | 2012-07-23 | 2014-02-20 | Олег Борисович Христофоров | Газоразрядный лазер, лазерная система и способ генерации излучения |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6138966U (ja) * | 1984-08-08 | 1986-03-11 | 日本電気株式会社 | コンデンサ内蔵形パルスガスレ−ザ |
| JPS6163072A (ja) * | 1984-09-04 | 1986-04-01 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ |
-
1987
- 1987-12-29 JP JP62333713A patent/JPH06105804B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01175274A (ja) | 1989-07-11 |
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