JPH0598112A - Curable resin composition - Google Patents

Curable resin composition

Info

Publication number
JPH0598112A
JPH0598112A JP3284022A JP28402291A JPH0598112A JP H0598112 A JPH0598112 A JP H0598112A JP 3284022 A JP3284022 A JP 3284022A JP 28402291 A JP28402291 A JP 28402291A JP H0598112 A JPH0598112 A JP H0598112A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
meth
pts
resin
cured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3284022A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2649622B2 (en
Inventor
Ichiro Igarashi
一郎 五十嵐
Yutaka Sasaki
裕 佐々木
Tetsuji Jitsumatsu
徹司 実松
Hiroyuki Ota
博之 太田
Masanobu Sato
雅伸 佐藤
Hiroshi Nishimuta
浩史 西牟田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toagosei Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Toagosei Co Ltd
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toagosei Co Ltd, Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Toagosei Co Ltd
Priority to JP3284022A priority Critical patent/JP2649622B2/en
Publication of JPH0598112A publication Critical patent/JPH0598112A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2649622B2 publication Critical patent/JP2649622B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Paints Or Removers (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a low-viscosity curable resin composition suitable for etching resist, readily curable by irradiation with active energy rays or by heating to form a cured material having alkali solubility and releasability. CONSTITUTION:100 pts.wt total amounts of (A) 20-70 pts.wt., preferably 30-60 compound containing one carboxyl group and one (meth) acryloyl group in the molecule and (B) 30-80 pts.wt., preferably 40-70 pts.wt. compound containing two or more (meth) acryloyl groups in the molecule are blended with (C) 0.01-5 pts.wt., preferably 0.05-1 pt.wt. leveling agent and (D) 130 pts.wt., preferably 3-10 pts.wt. granular filler which is soluble in a mixture of the components A and B and has >=50 deg.C glass transition point and 1,000-500,000 number-average molecular weight or is insoluble in the mixture of the components A and B and has >=50 deg.C glass transition point.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明に係わる樹脂組成物は、微
細な凹凸を有する材料表面に、気泡を生じることなく塗
布され、紫外線を照射することにより硬化させることが
でき、硬化後の樹脂膜が、酸処理に対しては耐蝕性を示
し、アルカリ処理に対しては溶解又は剥離性(以下、溶
解・剥離性と表す)を有するという特性を有するため、
各種産業において、注型材料、塗料又は成形材料として
利用され得るものであり、また特にエッチングレジスト
用樹脂組成物とりわけシャドウマスク製造時の二次エッ
チング工程における裏止め材用樹脂組成物として有用で
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION The resin composition according to the present invention is applied to the surface of a material having fine irregularities without generating bubbles and can be cured by irradiating with ultraviolet rays, and a resin film after curing can be obtained. However, it has the property of exhibiting corrosion resistance against acid treatment and having solubility or peelability (hereinafter referred to as “dissolution / peelability”) against alkali treatment,
In various industries, it can be used as a casting material, a coating material or a molding material, and is particularly useful as a resin composition for an etching resist, especially as a resin composition for a backing material in a secondary etching step during the production of a shadow mask. ..

【0002】[0002]

【従来技術】シャドウマスクは、カラーテレビ用ブラウ
ン管内の電子銃から照射された電子を、決められた色の
発光体に衝突させる機能を有し、短辺に対する長辺の比
が102〜1 03である長方形状の細長い穴(以下単に細長
い長方形の穴という)又は円形の穴等の微細な穴を、エ
ッチングにより所定のパターンで多数設けた薄い金属板
である。この微細な穴の形成は、金属板の表裏両面の対
応する位置に、凹部をそれぞれ設け、対応する凹部の底
部同志を連通させることにより行われる。
2. Description of the Related Art A shadow mask has a function of causing electrons emitted from an electron gun in a cathode ray tube for a color television to collide with an illuminant of a predetermined color, and the ratio of the long side to the short side is 10 2 to 1 1. 0 3 is of rectangular elongated hole (hereinafter simply elongated as rectangular holes) or minute holes such as circular holes, a thin metal plate provided numerous in a predetermined pattern by etching. The formation of the minute holes is performed by providing recesses at corresponding positions on the front and back surfaces of the metal plate, and communicating the bottoms of the corresponding recesses.

【0003】シャドウマスクの製造工程の概略を説明す
ると、まず鉄などからなる薄い金属板の表裏両面に感光
性樹脂膜を塗布し、その後パターンを配置したネガフィ
ルムを金属板に密着して感光性樹脂膜の露光部を硬化さ
せる写真焼付けを行い、現像処理により感光性樹脂膜の
非感光部分を除去する。次いで、過塩化鉄等の腐食液に
より一次エッチングを行い、表裏両面より互いに貫通し
ない微細な凹部を形成する。片面のみに裏止め材用樹脂
組成物を塗布することにより、金属板片面上の微細な凹
部を埋める膜を形成し、紫外線等の光を照射することに
より樹脂組成物を硬化させる。このようにして片面を保
護した後、再び腐食液により他面上の凹部を対象とする
二次エッチングを行い、一次エッチングによる片面上の
凹部と他面上の凹部とをその底部において連通させてか
ら、パターン形成用感光性樹脂及び裏止め材用樹脂組成
物の各硬化樹脂膜をアルカリ処理することにより除去
し、シャドウマスクを得る。
The outline of the manufacturing process of the shadow mask is as follows. First, a photosensitive resin film is applied to both front and back surfaces of a thin metal plate made of iron or the like, and then a negative film having a pattern is adhered to the metal plate to make it photosensitive. Photographic printing is performed to cure the exposed portion of the resin film, and the non-exposed portion of the photosensitive resin film is removed by a development process. Next, primary etching is performed with a corrosive solution such as iron perchloride to form fine recesses that do not penetrate each other from the front and back surfaces. A resin composition for a backing material is applied to only one surface to form a film that fills minute recesses on one surface of a metal plate, and the resin composition is cured by irradiation with light such as ultraviolet rays. After protecting one side in this way, again perform a secondary etching targeting the concave portion on the other surface with a corrosive solution, and connect the concave portion on one surface and the concave portion on the other surface by the primary etching to communicate at the bottom portion. Then, each cured resin film of the photosensitive resin for pattern formation and the resin composition for backing material is removed by alkali treatment to obtain a shadow mask.

【0004】上記シャドウマスクの製造方法に於て、一
次エッチング後に塗布する裏止め材用樹脂組成物は、下
記の〜の特性を満足するものでなければならない。 穴埋まり性:幅 100〜200 μm、長さ10〜20cmの細長
い長方形の凹部を有する材料の表面を均一に濡らし、凹
部に気泡を生じることなく凹部を埋める性質。 表面平滑性:裏止め材用樹脂組成物が細長い長方形の
凹部を埋める際に生じる微小気体に起因する気泡が硬化
後の樹脂表面層に残らず、硬化樹脂膜の表面が平滑であ
る性質。 硬化性:凹部の底まで均一に硬化する性質。 耐エッチング性:硬化樹脂膜が、過塩化鉄等の腐食液
による二次エッチングに対して耐エッチング性を有し、
コーティングした材料表面を保護する性質。 アルカリ溶解性:硬化樹脂膜がアルカリ処理により容
易に溶解・剥離する性質。 パターン形成性:ネガフィルムに描かれたパターン
(ネガパターン)に忠実に微細な穴を薄い金属板に形成
する性質であり、例えば細長い長方形の微細な穴を、長
方形の長辺を互いに平行にしながら、かつ一定の間隔で
多数設けたネガパターンの場合、長辺部は直線状であ
り、かつ、隣接する穴の長辺とは互いに平行であり、更
に隣接する穴とは長辺の間隔が一定である等、ネガパタ
ーンに特有な規則的な形状を保持させて、金属板に穴を
形成し、細長い穴の長辺部に挟まれた金属部分にはねじ
れを起こさせない性質。
In the above shadow mask manufacturing method, the resin composition for the backing material applied after the primary etching must satisfy the following characteristics (1) to (3). Hole filling property: A property of uniformly wetting the surface of a material having a narrow rectangular recess having a width of 100 to 200 μm and a length of 10 to 20 cm, and filling the recess without generating bubbles in the recess. Surface smoothness: The property that the surface of the cured resin film is smooth because bubbles caused by minute gas generated when the resin composition for backing material fills the elongated rectangular recesses does not remain in the cured resin surface layer. Curability: The property that the bottom of the recess is uniformly cured. Etching resistance: The cured resin film has etching resistance against secondary etching by a corrosive liquid such as iron perchloride,
The property of protecting the surface of the coated material. Alkali solubility: The property that the cured resin film is easily dissolved and peeled by alkali treatment. Pattern formability: The property of forming fine holes in a thin metal plate faithfully to the pattern drawn on a negative film (negative pattern). For example, long and narrow rectangular fine holes are formed with their long sides parallel to each other. In the case of a negative pattern in which a large number are provided at regular intervals, the long sides are linear, the long sides of adjacent holes are parallel to each other, and the long sides of adjacent holes have a constant long side interval. The property that the regular shape peculiar to the negative pattern is retained to form holes in the metal plate and the metal parts sandwiched between the long sides of the elongated holes are not twisted.

【0005】裏止め材用樹脂組成物に要求される上記の
性能を満足するものとして、現在は、アルカリ性液体に
可溶性の膜を形成する樹脂を有機溶剤に溶解した組成物
が用いられており、スプレーその他の方法により塗布さ
れた後、温風乾燥炉等により有機溶剤を蒸発させ、樹脂
塗膜を形成している。
As a material satisfying the above-mentioned performance required for a resin composition for a backing material, a composition in which a resin forming a film soluble in an alkaline liquid is dissolved in an organic solvent is used at present. After being applied by spraying or another method, the organic solvent is evaporated in a warm air drying oven or the like to form a resin coating film.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、膜を形
成する樹脂を有機溶剤に溶解した裏止め材用樹脂組成物
は、以下に示す二点が、問題となっている。 1)有機溶剤を大量に含有するため、裏止め材用樹脂組成
物を塗布後、有機溶剤を蒸発させる為の乾燥炉及び蒸発
した溶剤を回収するための装置が必要である。 2)乾燥時に、大量の有機溶剤が蒸発するため、その毒
性、引火及び爆発等の危険性がある。乾燥工程における
引火、爆発及び火災等の危険性を減少させるため、難燃
性を有するトリクロロエチレン等の塩素系溶剤の使用も
検討されているが、近年これらは大気汚染等の問題を引
き起こすことが指摘され、その使用が規制される方向に
ある。これらの問題点を解決するため、水系の紫外線硬
化型樹脂を用いる方法(特開平1-261410、特開平2-1334
04)、本質的に無溶剤である紫外線硬化型樹脂を用いる
方法(特開平2-110166)が提案されている。
However, the resin composition for a backing material in which a resin forming a film is dissolved in an organic solvent has the following two problems. 1) Since a large amount of organic solvent is contained, a drying furnace for evaporating the organic solvent after applying the resin composition for backing material and a device for collecting the evaporated solvent are required. 2) Since a large amount of organic solvent evaporates during drying, there is a risk of toxicity, ignition and explosion. In order to reduce the risk of ignition, explosion and fire in the drying process, the use of flame retardant chlorine-based solvents such as trichlorethylene has been considered, but it has recently been pointed out that these cause problems such as air pollution. And their use is regulated. In order to solve these problems, a method of using a water-based UV-curable resin (Japanese Patent Laid-Open Nos. 1-261410 and 2-1334).
04), a method using an essentially solvent-free UV curable resin (Japanese Patent Laid-Open No. 2-110166) has been proposed.

【0007】しかしながら、これらの樹脂は、微細な半
球状の穴を多数設けた金属板用に開発されており、細長
い長方形の凹部を多数設けた金属板に用いた場合、2次
エッチング後の金属板において、細長い長方形の穴の間
隔が一定でない、或いは細長い長方形の凹部の長辺部に
挟まれた金属部分がねじれるという欠陥が生じるという
問題がある。このような欠陥は、二次エッチングの際に
発生する場合と二次エッチング後のアルカリ処理時に発
生する場合が考えられるが、詳細なメカニズムは解明さ
れていない。また、シャドウマスクの製造に使用される
従来の紫外線硬化型樹脂は、いずれも引火点を持ち、そ
の取扱に注意が必要であるという問題もある。
However, these resins have been developed for a metal plate having a large number of fine hemispherical holes, and when used for a metal plate having a large number of elongated rectangular recesses, the metal after secondary etching is used. In the plate, there is a problem that the intervals between the elongated rectangular holes are not constant, or a metal portion sandwiched between the long sides of the elongated rectangular recesses is twisted. Such defects may occur during the secondary etching or during the alkali treatment after the secondary etching, but the detailed mechanism has not been clarified. In addition, all of the conventional ultraviolet curable resins used for producing shadow masks have a flash point, and there is a problem in that the handling thereof needs to be careful.

【0008】本発明は、従来の紫外線硬化型樹脂が有す
る上記問題を解決し、特にシャドウマスクの裏止め材用
樹脂組成物として優れた、引火点を持たない、実質的に
無溶剤型であり、熱又は活性エネルギー線の照射により
硬化する樹脂組成物を提供することを課題とするもので
ある。
The present invention solves the above problems of conventional UV-curable resins, and is particularly excellent as a resin composition for a backing material of a shadow mask, has no flash point, and is substantially solvent-free. It is an object of the present invention to provide a resin composition that is cured by irradiation with heat or active energy rays.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記問題
点を解決するため鋭意検討した結果、硬化性樹脂組成物
の成分として、ガラス転移点が50℃以上で、かつ数平均
分子量が1,000 〜500,000のポリマ−又はガラス転移点
が50℃以上の粒状充填剤を配合することにより、二次エ
ッチング又はアルカリ溶解における加熱及び冷却による
硬化樹脂膜におけるひずみの発生を防ぎ、細長い長方形
の穴の間隔が不均一になったり、金属板がねじれたりす
るような欠陥を防止することができ、更にこの樹脂組成
物は、加熱によりゲル化が早く起こり、引火点を持たな
いことを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本
発明は下記(a)、(b)、(c)及び(d)からな
り、25℃における粘度が5000cps 以下であることを特徴
とする硬化性組成物である。 (a)分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアク
リロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物 (b)分子中に、二個以上のアクリロイル或はメタクリ
ロイル基を持つ化合物 (c)レベリング剤 (d)上記(a)及び(b)の混合物に溶解し、ガラス
転移点が50℃以上で、かつ数平均分子量が1,000〜500,0
00のポリマ−又は上記(a)及び(b)の混合物に不溶
で、ガラス転移点が50℃以上の粒状充填剤。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made extensive studies to solve the above problems, and as a result, as a component of a curable resin composition, a glass transition point is 50 ° C. or higher and a number average molecular weight is By mixing 1,000 to 500,000 polymer or granular filler having a glass transition point of 50 ° C or higher, generation of strain in the cured resin film due to heating and cooling in secondary etching or alkali dissolution is prevented, and long rectangular holes are formed. It has been found that defects such as non-uniform spacing and twisting of the metal plate can be prevented, and further that this resin composition causes rapid gelation by heating and does not have a flash point. Has been completed. That is, the present invention is a curable composition comprising the following (a), (b), (c) and (d) and having a viscosity at 25 ° C. of 5000 cps or less. (A) Compound having one carboxyl group and one acryloyl or methacryloyl group in the molecule (b) Compound having two or more acryloyl or methacryloyl groups in the molecule (c) Leveling agent (d) Above It is soluble in the mixture of (a) and (b), has a glass transition point of 50 ° C or higher, and has a number average molecular weight of 1,000 to 500,0.
Granular filler which is insoluble in the polymer of 00 or the mixture of the above (a) and (b) and has a glass transition point of 50 ° C. or higher.

【0010】以下に本発明組成物を構成する各成分につ
いて詳細に説明する。(a)成分は分子中に、一個のカ
ルボキシル基及び一個のアクリロイル或はメタクリロイ
ル基(以下(メタ)アクリロイル基という)を持つ化合
物であり、本発明の樹脂組成物の硬化物にアルカリ処理
による溶解・剥離性を付与する成分である。好ましい
(a)成分として、例えば以下のものがある。 二塩基酸又は/及びその酸無水物と、末端に水酸基を
有するアクリレートあるいはメタアクリレート(以下、
(メタ)アクリレートと略称する)との反応生成物。二
塩基酸又は/及びその酸無水物としては、フタル酸、テ
トラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、無水マレ
イン酸及びコハク酸等を、又末端に水酸基を有する(メ
タ)アクリレートとしては、ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート及びヒドロキシプロピル(メタ)アクリレ
ート等を用いることができ、上記反応生成物のうち、分
子末端にカルボキシル基を有するものを用いる。具体的
な化合物としては、(メタ)アクリロイルオキシエチル
モノフタレート(東亞合成化学工業株式会社製商品名
「アロニックスM-5400」等)、(メタ)アクリロイルオ
キシプロピルモノフタレート、(メタ)アクリロイルオ
キシエチルモノテトラヒドロフタレート、(メタ)アク
リロイルオキシプロピルモノテトラヒドロフタレート、
(メタ)アクリロイルオキシエチルモノヘキサヒドロフ
タレート、(メタ)アクリロイルオキシプロピルモノヘ
キサヒドロフタレート、(メタ)アクリロイルオキシエ
チルモノサクシネート(東亞合成化学工業株式会社製商
品名「アロニックスM-5500」等)、(メタ)アクリロイ
ルオキシプロピルモノサクシネート及び無水マレイン酸
モノヒドロキシエチル(メタ)アクリレート等を挙げる
ことができる。
Each component constituting the composition of the present invention will be described in detail below. The component (a) is a compound having one carboxyl group and one acryloyl or methacryloyl group (hereinafter referred to as (meth) acryloyl group) in the molecule, and is dissolved in a cured product of the resin composition of the present invention by alkali treatment. -A component that imparts releasability. Examples of preferable component (a) include the following. Dibasic acid or / and its acid anhydride, and acrylate or methacrylate having a hydroxyl group at the terminal (hereinafter,
Reaction product with (meth) acrylate). As the dibasic acid and / or its acid anhydride, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic anhydride, succinic acid and the like are used, and as the (meth) acrylate having a hydroxyl group at the terminal, hydroxyethyl ( Meta)
Acrylate and hydroxypropyl (meth) acrylate can be used, and among the above reaction products, those having a carboxyl group at the molecular end are used. Specific compounds include (meth) acryloyloxyethyl monophthalate (trade name "Aronix M-5400" manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.), (meth) acryloyloxypropyl monophthalate, (meth) acryloyloxyethyl monophthalate. Tetrahydrophthalate, (meth) acryloyloxypropyl monotetrahydrophthalate,
(Meth) acryloyloxyethyl monohexahydrophthalate, (meth) acryloyloxypropyl monohexahydrophthalate, (meth) acryloyloxyethyl monosuccinate (trade name "Aronix M-5500" manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.), Examples thereof include (meth) acryloyloxypropyl monosuccinate and monohydroxyethyl maleic anhydride (meth) acrylate.

【0011】ラクトンと末端にカルボン酸基を有する
(メタ)アクリレートとの反応生成物。ラクトンとして
εカプロラクトン等を、又末端にカルボン酸基を有する
(メタ)アクリレートとしては(メタ)アクリル酸等を
用いることができ、具体的な化合物としては、これらを
反応させることにより得られる、分子末端にカルボキシ
ル基を有する化合物(例えば、東亞合成化学工業株式会
社製商品名「アロニックスM-5300」等)を挙げることが
できる。
A reaction product of a lactone and a (meth) acrylate having a carboxylic acid group at the terminal. Ε-caprolactone or the like can be used as the lactone, and (meth) acrylic acid or the like can be used as the (meth) acrylate having a carboxylic acid group at the terminal, and a specific compound is a molecule obtained by reacting these. Examples thereof include compounds having a carboxyl group at the terminal (for example, "Aronix M-5300" manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.).

【0012】その他の化合物。具体的な化合物として
は、(メタ)アクリル酸やそのダイマー(東亞合成化学
工業株式会社製商品名「アロニックスM-5600」等)等の
化合物を挙げることができる。 上記〜に例示した化合物の1種又は2種以上を、本
発明組成物中の(a)成分として配合することにより、
アルカリ処理による硬化物の溶解・剥離性が良好な組成
物を得ることができ、特に、アクリル酸ダイマー(東亞
合成化学工業株式会社製商品名「アロニックスM-560
0」)、無水マレイン酸モノヒドロキシエチル(メタ)
アクリレートは、それ自身比較的粘度が低く(25℃にお
ける粘度が200〜400cps)、本発明の樹脂組成物を低粘
度な組成物とするために、好ましいものである。
Other compounds. Specific compounds include compounds such as (meth) acrylic acid and its dimer (trade name “Aronix M-5600” manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.). By blending one or more of the compounds exemplified in the above to as the component (a) in the composition of the present invention,
It is possible to obtain a composition having a good dissolution and peeling property of a cured product by an alkali treatment, and in particular, acrylic acid dimer (trade name “Aronix M-560 manufactured by Toagosei Kagaku Kogyo Co., Ltd.
0 "), monohydroxyethyl maleic anhydride (meth)
Acrylate itself has a relatively low viscosity (viscosity at 25 ° C. is 200 to 400 cps), and is preferable because it makes the resin composition of the present invention a low viscosity composition.

【0013】上記(a)成分の好ましい配合量は、
(a)成分及び(b)成分の合計量を100重量部(以
下、部とあるのは重量部とする)として、20〜70部であ
り、より好ましい配合量は30〜60部である。配合量が20
部より少ない場合、アルカリ溶解・剥離性は充分ではな
く、また配合量が70部より多い場合、二次エッチング時
における耐蝕性が悪くなる恐れがある。
The preferable blending amount of the above-mentioned component (a) is
The total amount of the components (a) and (b) is 100 parts by weight (hereinafter, "parts" means "parts by weight"), and is 20 to 70 parts, more preferably 30 to 60 parts. Compounding amount is 20
If the amount is less than 70 parts, the alkali dissolution / peeling property is not sufficient, and if the amount is more than 70 parts, the corrosion resistance during secondary etching may be deteriorated.

【0014】(b)成分は、分子中に、二個以上の(メ
タ)アクリロイル基を持つ化合物であり、本発明の樹脂
組成物の硬化性を高め、硬化物の耐エッチング性を高め
る成分であり。好ましい(b)成分として、例えば以下
のものがある。 ポリオールポリ(メタ)アクリレート。多価アルコー
ルと(メタ)アクリル酸との反応生成物であり、多価ア
ルコールとしては、ポリエチレングリコール、ポリプロ
ピレングリコール等のポリグリコール、トリメチロール
プロパン及びペンタエリスリトール等を用いることがで
きる。具体的な化合物としては、ポリエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール
ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート及びペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート等を挙げることができる。また、
多価アルコールにエチレンオキシド、プロピレンオキシ
ド等のアルキレンオキサイドを付加させた化合物と(メ
タ)アクリル酸との反応生成物、及びリン酸等の酸に末
端水酸基を有する(メタ)アクリレートを反応させて得
られるリン酸アクリレート等の二官能性、三官能性の化
合物等も用いることができる。
The component (b) is a compound having two or more (meth) acryloyl groups in the molecule, which enhances the curability of the resin composition of the present invention and enhances the etching resistance of the cured product. Yes. Examples of preferable component (b) include the following. Polyol poly (meth) acrylate. It is a reaction product of a polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid. As the polyhydric alcohol, polyglycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol, trimethylolpropane and pentaerythritol can be used. Specific compounds include polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and the like. Also,
Obtained by reacting a reaction product of (meth) acrylic acid with a compound obtained by adding alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide to polyhydric alcohol, and (meth) acrylate having a terminal hydroxyl group with an acid such as phosphoric acid. A bifunctional or trifunctional compound such as phosphoric acid acrylate can also be used.

【0015】ポリエステルポリ(メタ)アクリレー
ト。ポリエステル型の多価アルコールと(メタ)アクリ
ル酸との反応生成物例えば、アジピン酸、フタル酸等の
二塩基酸及びその無水物とジエチレングリコール、トリ
メチロールプロパン、ペンタエリスリトール等の多価ア
ルコールと(メタ)アクリル酸との反応によって得られ
た多官能の化合物を用いることができる。
Polyester poly (meth) acrylate. A reaction product of a polyester type polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid, for example, a dibasic acid such as adipic acid or phthalic acid and an anhydride thereof and a polyhydric alcohol such as diethylene glycol, trimethylolpropane, or pentaerythritol (meth) ) A polyfunctional compound obtained by the reaction with acrylic acid can be used.

【0016】エポキシ(メタ)アクリレート。分子中
に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物のエポ
キシ基と(メタ)アクリル酸とを反応させて得られる化
合物であり、例えば、ビスフェノールAのジグリシジル
エーテル等の、多価アルコールのポリグリシジルエーテ
ルと(メタ)アクリル酸との反応によって得られる多官
能の化合物が挙げられる。上記化合物の中で、ポリオー
ルポリ(メタ)アクリレートは、本発明の樹脂組成物を
低粘度化することができ、又耐エッチング性に優れた硬
化物を得ることができる点で好ましく、トリメチロール
プロパントリ(メタ)アクリレート及びペンタエリスリ
トールトリ(メタ)アクリレートは、特に好ましい化合
物である。上記化合物の1種又は2種以上を本発明の組
成物中に配合することができる。なお、上記化合物のう
ち、常圧において100℃以上の沸点を有するものは、化
合物を取扱う際の皮膚に対する刺激性が低いという利点
がある。
Epoxy (meth) acrylate. A compound obtained by reacting an epoxy group of an epoxy compound having two or more epoxy groups in a molecule with (meth) acrylic acid, for example, polyglycidyl of polyhydric alcohol such as diglycidyl ether of bisphenol A. The polyfunctional compound obtained by reaction of ether and (meth) acrylic acid is mentioned. Among the above compounds, the polyol poly (meth) acrylate is preferable in that it can lower the viscosity of the resin composition of the present invention and can obtain a cured product having excellent etching resistance, and trimethylolpropane. Tri (meth) acrylate and pentaerythritol tri (meth) acrylate are particularly preferred compounds. One or more of the above compounds can be incorporated into the composition of the present invention. Among the above compounds, those having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure have an advantage of low irritation to the skin when handling the compound.

【0017】(b)成分の好ましい配合量は、(a)成
分及び(b)成分の合計量を100部として30〜80部、よ
り好ましい配合量は40〜70部である。配合量が30部より
少ないと、組成物の硬化性が低下し、さらに硬化物の耐
エッチング性も低下する。又、80部より多いと、硬化物
のアルカリ溶解・剥離性が不十分なものとなる恐れがあ
る。
The preferable amount of the component (b) is 30 to 80 parts, more preferably 40 to 70 parts, with the total amount of the components (a) and (b) being 100 parts. If the blending amount is less than 30 parts, the curability of the composition is lowered, and further the etching resistance of the cured product is lowered. On the other hand, if it is more than 80 parts, the alkali dissolution / peeling property of the cured product may be insufficient.

【0018】(c)成分はレベリング剤である。この成
分は、本発明の樹脂組成物の穴埋まり性及び硬化物の表
面平滑性を高めることを可能とするもので、一般的な界
面活性剤を用いることにより、充分目的が達成される。
具体的な化合物としては、例えばノニオン系のフッ素化
アルキルエステルであるフロラードFC-430(住友スリー
エム株式会社製)、メガファックF-177(大日本インキ
化学工業株式会社製)、メガファックF-179 (大日本イ
ンキ化学工業株式会社製)及びシリコーン系化合物とし
てNUCシリコーンL7002(日本ユニカー株式会社製)
等が挙げられる。上記化合物の中で、メガファックF-17
9及びNUCシリコーンL7002等、起泡性が少ないもの
は、容易に表面平滑性に優れた樹脂塗膜を得ることがで
きるので好ましい。
The component (c) is a leveling agent. This component makes it possible to enhance the hole filling property of the resin composition of the present invention and the surface smoothness of the cured product, and the purpose can be sufficiently achieved by using a general surfactant.
Specific compounds include, for example, nonionic fluorinated alkyl ester, Florard FC-430 (manufactured by Sumitomo 3M Limited), Megafac F-177 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), Megafac F-179. (Manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) and NUC Silicone L7002 (manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) as a silicone compound
Etc. Among the above compounds, Megafac F-17
9 and NUC Silicone L7002 having low foaming property are preferable because a resin coating film having excellent surface smoothness can be easily obtained.

【0019】(c)成分の配合量は、(a)成分及び
(b)成分の合計量を100部として、0.01〜5部とするの
が好ましく、0.05〜1部とするのがより好ましい。0.01
部未満では、穴埋まり性及び表面平滑性等の特性を本発
明の樹脂組成物に付与することが困難となる恐れがあ
り、5部を越えると逆に硬化物のヒビ割れ(ハジキと略
称する)或いは膨れが発生し、樹脂塗膜の欠陥を生じ易
くなる恐れがある。
The blending amount of the component (c) is preferably 0.01 to 5 parts, more preferably 0.05 to 1 part, based on 100 parts of the total amount of the components (a) and (b). 0.01
If it is less than 5 parts, it may be difficult to impart properties such as hole filling and surface smoothness to the resin composition of the present invention, and if it exceeds 5 parts, conversely cracking of the cured product (abbreviated as cissing) is performed. ) Or swelling may occur, and defects in the resin coating film may easily occur.

【0020】(d)成分は、上記(a)成分及び(b)
成分の混合物に溶解し、ガラス転移点が50℃以上で、か
つ数平均分子量が1,000〜500,000のポリマ−又は上記
(a)成分及び(b)成分の混合物に不溶で、ガラス転
移点が50℃以上の粒状充填剤である。これらの成分は、
本発明の組成物が硬化する時に発生するひずみを緩和又
は減少することにより、細長い長方形の穴を多数設けた
金属板が、二次エッチングの際や、二次エッチング後の
アルカリ溶解時にねじれるという欠陥を防止する効果を
有するものである。本発明における好ましいポリマーと
しては、線状ポリマーがあり、具体的にはポリスチレ
ン、ポリエチレン及びスチレン・マレイン酸共重合体等
のビニル基を有する単量体の重合体がある。ポリスチレ
ンとしては、スチレンのビニル基におけるα又はβ位
が、アルキル基又はアルコキシ基等により置換された単
量体を重合して得られるポリα−又はβ−アルキルスチ
レン或いはポリα−又はβ−アルコキシスチレンが好ま
しく、ポリα−又はβ−アルキルスチレンの具体例とし
て、ポリα−メチルスチレン及びポリβ−エチルスチレ
ン等があり、ポリα−又はβ−アルコキシスチレンの具
体例として、ポリα−メトキシスチレン及びポリβ−エ
トキシスチレン等がある。ポリマーの数平均分子量は1,
000〜500,000である。数平均分子量が低いポリマーは可
塑剤として作用し、本発明の組成物の硬化物がタックを
持ち、塗布機のロールを汚染するという問題があり、数
平均分子量が高すぎると、本発明の組成物の粘度が高く
なり、塗工が困難になるという問題がある。本発明にお
ける粒状充填剤は、上記(a)成分及び(b)成分の混
合物に不溶であり、二次エッチングやアルカリ溶解時の
熱変化の影響を受けないために、ガラス転移点が50℃以
上であることが必要である。粒状充填剤の平均粒径は、
10μm以下が好ましく、 5μm以下がより好ましい。粒
状充填剤の好ましい具体例としては、炭酸カルシウム、
クレー又はベントナイト等の無機質粒状充填剤やトスパ
ール103、トスパール105(いずれも東芝シリコーン株式
会社製商品名)、ベルパールR-800、ベルパールS-830
(いずれも鐘紡株式会社製商品名)等の有機質粒状充填
剤がある。(d)成分の配合量は、(a)成分及び
(b)成分の合計量を100部として、1〜30部とするのが
好ましい。1部未満では硬化収縮によるひずみの緩和又
は減少効果が不十分となり、金属板に設けた細長い長方
形の穴の間隔が不均一となったり、金属部分がねじれた
りする恐れがあり、30部を越えると樹脂の機械的強度が
小さくなり、二次エッチング中に硬化樹脂膜が割れ、使
用に適さなくなるという恐れがある。(d)成分のより
好ましい配合量は 3〜10部である。
The component (d) is the above component (a) and (b).
It is insoluble in a polymer having a glass transition point of 50 ° C. or higher and a number average molecular weight of 1,000 to 500,000 or a mixture of the components (a) and (b) and having a glass transition point of 50 ° C. It is the above-mentioned granular filler. These ingredients are
By relaxing or reducing the strain generated when the composition of the present invention is cured, a metal plate provided with a large number of elongated rectangular holes, during the secondary etching, or a defect that is twisted during alkali dissolution after the secondary etching It has the effect of preventing. The preferred polymer in the present invention is a linear polymer, specifically, a polymer of a monomer having a vinyl group such as polystyrene, polyethylene and a styrene-maleic acid copolymer. As polystyrene, α- or β-position in the vinyl group of styrene, poly α- or β-alkyl styrene or poly α- or β-alkoxy obtained by polymerizing a monomer substituted with an alkyl group or an alkoxy group, etc. Styrene is preferred, and specific examples of poly α- or β-alkyl styrene include poly α-methyl styrene and poly β-ethyl styrene, and specific examples of poly α- or β-alkoxy styrene include poly α-methoxy styrene. And poly β-ethoxystyrene. The number average molecular weight of the polymer is 1,
It is 000 to 500,000. The polymer having a low number average molecular weight acts as a plasticizer, and the cured product of the composition of the present invention has tack, and there is a problem of contaminating the roll of a coating machine, and when the number average molecular weight is too high, the composition of the present invention There is a problem that the viscosity of the product becomes high and coating becomes difficult. The particulate filler in the present invention is insoluble in the mixture of the above-mentioned components (a) and (b) and is not affected by heat change during secondary etching or alkali dissolution, and therefore has a glass transition point of 50 ° C or higher. It is necessary to be. The average particle size of the granular filler is
It is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less. Specific preferred examples of the granular filler include calcium carbonate,
Inorganic granular filler such as clay or bentonite, Tospearl 103, Tospearl 105 (all are trade names of Toshiba Silicone Co., Ltd.), Bell Pearl R-800, Bell Pearl S-830
There are organic granular fillers such as (all are trade names manufactured by Kanebo Co., Ltd.). The compounding amount of the component (d) is preferably 1 to 30 parts, with the total amount of the components (a) and (b) being 100 parts. If it is less than 1 part, the effect of relaxing or reducing the strain due to curing shrinkage becomes insufficient, the intervals between the elongated rectangular holes formed in the metal plate may become uneven, and the metal part may be twisted. If so, the mechanical strength of the resin becomes small, and the cured resin film may be cracked during the secondary etching, making it unsuitable for use. A more preferable compounding amount of the component (d) is 3 to 10 parts.

【0021】本発明の樹脂組成物は、紫外線、可視光線
或いは電子線等の活性エネルギー線の照射により、又は
加熱により容易に硬化させることができ、硬化手段に応
じて、以下の(e)成分を配合すると、樹脂組成物をよ
り短時間で硬化させることができる。紫外線又は可視光
線を照射することにより、樹脂組成物を硬化させる場
合、樹脂組成物に光硬化性を充分に発揮させるため、一
般的に使用されている増感剤、例えば、ベンゾフェノン
及びその誘導体、ベンゾイン、ベンゾインアルキルエー
テル、2−メチル−〔4−(メチル−4−フェニル〕−
2−モルフォリノ−1−プロパノン、ベンジルジメチル
ケタール及び1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン(市販品として、チバガイギー社製イルガキュア18
4がある。)等を配合することが好ましい。
The resin composition of the present invention can be easily cured by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays, visible rays or electron rays, or by heating, and depending on the curing means, the following component (e) is used. When blended with, the resin composition can be cured in a shorter time. When the resin composition is cured by irradiation with ultraviolet rays or visible light, a sensitizer that is generally used, for example, benzophenone and its derivatives, in order to sufficiently exhibit photocurability in the resin composition, Benzoin, benzoin alkyl ether, 2-methyl- [4- (methyl-4-phenyl]-
2-morpholino-1-propanone, benzyl dimethyl ketal and 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone (commercially available, Ciba Geigy Irgacure 18
There are four. ) Etc. are preferably blended.

【0022】加熱炉、赤外線、マイクロ波等の主として
熱エネルギー源により、樹脂組成物を硬化させる場合、
熱重合開始剤を配合することが好ましく、好適に用いら
れる熱重合開始剤としては、例えばアゾイソブチロニト
リル等のようなアゾ化合物類、ケトンパーオキサイド
類、ハイドロパーオキサイド類、アルキルパーオキサイ
ド類、アシルパーオキサイド類及びパーオキシエステル
類等の各種有機過酸化物類、或いは過硫酸アンモニウム
等のような無機過酸化物類等がある。常温放置又は100
℃以下の比較的低温で加熱する場合、上記熱重合開始剤
と共に重合促進剤を配合するのが良く、好ましい重合促
進剤として、例えばコバルト、鉄、マンガン等の金属と
ナフテン酸、リノール酸、アセチルアセトン等との有機
金属塩類、ジメチルパラトルイジン、アスコルビン酸等
の還元性アミン類及びその他の還元性物質等がある。こ
れらの重合促進剤は、例えばハイドロパーオキサイド
類、ケトンパーオキサイド類、パーオキシエステル類と
有機金属塩、或いはアシルパーオキサイド類と還元性ア
ミン類という組合せで併用する。
When the resin composition is cured mainly by a heat energy source such as a heating furnace, infrared rays and microwaves,
It is preferable to add a thermal polymerization initiator, and the thermal polymerization initiator preferably used includes, for example, azo compounds such as azoisobutyronitrile, ketone peroxides, hydroperoxides, alkyl peroxides. , Various organic peroxides such as acyl peroxides and peroxyesters, and inorganic peroxides such as ammonium persulfate. Leave at room temperature or 100
When heated at a relatively low temperature of ℃ or less, it is preferable to blend a polymerization accelerator together with the above-mentioned thermal polymerization initiator. As preferable polymerization accelerators, for example, metals such as cobalt, iron and manganese and naphthenic acid, linoleic acid and acetylacetone. And the like, reducing amines such as dimethylparatoluidine, ascorbic acid, and other reducing substances. These polymerization accelerators are used in combination, for example, in the combination of hydroperoxides, ketone peroxides, peroxyesters and organic metal salts, or acylperoxides and reducing amines.

【0023】(e)成分の配合量は、(a)成分及び
(b)成分の合計量を100部として、1〜10部とするのが
好ましい。1部未満では光重合の開始を促進する効果が
不十分になり、10部を越えると硬化物に真に必要な成分
を減少させて、硬化物の目標とする特性が低下する恐れ
がある。(e)成分のより好ましい使用量は、2〜8部で
ある。
The amount of the component (e) is preferably 1 to 10 parts, with the total amount of the components (a) and (b) being 100 parts. If it is less than 1 part, the effect of accelerating the initiation of photopolymerization becomes insufficient, and if it exceeds 10 parts, the components that are truly necessary for the cured product may be reduced, and the target properties of the cured product may deteriorate. The more preferable amount of the component (e) used is 2 to 8 parts.

【0024】その他、本発明の樹脂組成物の粘度を下げ
るために、(f)成分として有機溶剤や(a)成分以外
の分子中に一個の(メタ)アクリロイル基を持つ低粘度
化合物を適宜配合することもできる。有機溶剤の好まし
い具体例としては、メタノール、エタノール、ブタノー
ル、IPA等のアルコール類、ブチルセロソルブ、メチ
ルセロソルブ、エチルセロソルブ等のセロソルブ類、メ
チルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブアセテ
ート類、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ト
ルエン及びキシレン等が上げられる。有機溶剤の好まし
い配合割合は、(a)成分と(b)成分の合計100 部当
たり0 〜10部である。
In addition, in order to reduce the viscosity of the resin composition of the present invention, an organic solvent as the component (f) or a low-viscosity compound having one (meth) acryloyl group in the molecule other than the component (a) is appropriately blended. You can also do it. Preferred specific examples of the organic solvent include alcohols such as methanol, ethanol, butanol and IPA, butyl cellosolve, methyl cellosolve, cellosolve such as ethyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cellosolve acetate such as butyl cellosolve acetate, propylene. Examples include glycol monomethyl ether, toluene and xylene. The preferable mixing ratio of the organic solvent is 0 to 10 parts per 100 parts of the total of the components (a) and (b).

【0025】また、分子中に一個のアクリロイル或はメ
タクリロイル基を持つ低粘度化合物の好ましい具体例と
しては、25℃における粘度が20cps以下のものが好まし
く、好適な化合物の具体例としては、例えば、ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル
(メタ)アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、ジメチルアクリルアミド、ベンジル(メ
タ)アクリレート、アクリロイルモルフォリン、テトラ
ヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、2−エチルヘ
キシル(メタ)アクリレート、ポリアルキレン(炭素数
が2〜3)グリコールモノアルキル(炭素数が1〜9)
エーテルのモノ(メタ)アクリレート、ポリエチレング
リコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエト
キシエチルアクリレート(東亞合成化学工業株式会社製
商品名「アロニックスM-101」)等があり、これらの1
種又は2種以上を使用することができる。低粘度化合物
の好ましい配合割合は、(a)成分と(b)成分の合計
100 部当たり0 〜20部である。上記の低粘度化合物のう
ち、常圧において100℃以上の沸点を有するものは、化
合物を取扱う際の皮膚に対する刺激性が低いという利点
を有する。
Further, as a preferred specific example of the low-viscosity compound having one acryloyl or methacryloyl group in the molecule, those having a viscosity at 25 ° C. of 20 cps or less are preferred, and specific examples of suitable compounds include, for example, Hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, acrylamide, diacetone acrylamide, dimethyl acrylamide, benzyl (meth) acrylate, acryloylmorpholine, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, poly Alkylene (C2-3) Glycol monoalkyl (C1-9)
There are ether mono (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethoxyethyl acrylate (trade name "Aronix M-101" manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.).
One kind or two or more kinds can be used. The preferable blending ratio of the low-viscosity compound is the sum of the components (a) and (b).
It is 0 to 20 copies per 100 copies. Among the above-mentioned low-viscosity compounds, those having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure have an advantage of low irritation to the skin when handling the compounds.

【0026】その他、硬化樹脂膜のアルカリ溶解性を向
上させるために、モノチオール化合物等の連鎖移動剤を
本発明組成物中に配合することもできる。
In addition, a chain transfer agent such as a monothiol compound may be added to the composition of the present invention in order to improve the alkali solubility of the cured resin film.

【0027】本発明の組成物は、25℃における粘度が50
00cps以下のものであって、より好ましい粘度は2000cps
以下である。組成物の粘度は上記の各種成分の種類と
配合量を適宜選択して使用することにより、容易に調整
することができる。25℃における組成物の粘度が5000cp
sを越えると、凹部を有する材料の表面を均一に濡らし
て穴を埋める事が困難になる。
The composition of the present invention has a viscosity at 25 ° C. of 50.
00cps or less, more preferable viscosity is 2000cps
It is below. The viscosity of the composition can be easily adjusted by appropriately selecting and using the kinds and blending amounts of the above-mentioned various components. Viscosity of composition at 25 ℃ is 5000cp
When it exceeds s, it becomes difficult to uniformly wet the surface of the material having the concave portions to fill the holes.

【0028】本発明の樹脂組成物を得るには、通常の混
合法により上記各成分を均一に混合すればよく、各成分
を混合する順序、混合装置等に特別の限定はない。但
し、室温において固体の成分を混合する場合は、その成
分が融解又は分散する温度まで加熱して混合を行うこと
もできる。
In order to obtain the resin composition of the present invention, it is sufficient to uniformly mix the above-mentioned components by a usual mixing method, and there is no particular limitation on the order of mixing the components or the mixing device. However, when a solid component is mixed at room temperature, it is possible to heat the mixture to a temperature at which the component melts or disperses to perform the mixing.

【0029】本発明の樹脂組成物を塗布する方法として
は、スプレー、フローコート及びディップコート等通常
の塗布方法をいずれも用いることができる。
As the method for applying the resin composition of the present invention, any ordinary application method such as spraying, flow coating and dip coating can be used.

【0030】本発明の樹脂組成物を硬化させるには、活
性エネルギー線の照射又は加熱のいずれの硬化手段を採
用しても良いが、高いエネルギー効率で硬化させること
ができる点及びエネルギー源の設備を省スペース化でき
る点から、活性エネルギー線の照射による硬化が好まし
い。活性エネルギー線の照射又は加熱等の硬化操作及び
硬化物のアルカリ処理は、常法に従って行えば良い。
In order to cure the resin composition of the present invention, any curing means such as irradiation with active energy rays or heating may be adopted, but it is capable of curing with high energy efficiency and equipment of energy source. Curing by irradiation with an active energy ray is preferable from the viewpoint of saving space. The curing operation such as irradiation with active energy rays or heating and the alkali treatment of the cured product may be carried out according to a conventional method.

【0031】[0031]

【実施例及び比較例】次に実施例及び比較例を挙げて、
本発明をさらに詳細に説明する。なお、樹脂組成物及び
その硬化樹脂膜における各種特性の評価は以下の方法に
より行った。 <粘度>25℃における組成物の粘度をE型粘度計を用い
て測定した。 <穴埋まり性>カゼイン系感光性樹脂膜でネガパターン
を形成し、1次エッチングにより細長い長方形の凹部を
両面に多数有する鉄板(以下単に試験用鉄板という)の
片面に、本発明の樹脂組成物を塗布したときの穴埋まり
状態を目視により判定した。なお、試験用鉄板の寸法を
図1に、又試験用鉄板に形成した細長い長方形の凹部の
寸法を図2に各々示した。 ○:全く気泡が無い。△:一部の穴に気泡が有る。×:
全面に気泡が有る。 <表面平滑性>穴埋まり性を評価した後の鉄板に、80w/
cm集光型高圧水銀灯を用い、コンベアースピード3m/min
で紫外線を照射することにより、本発明の樹脂組成物を
硬化させ、硬化樹脂膜の表面状態を目視にて判定した。 ○:ハジキ無し。△:一部、ハジキ有り。×:ハジキが
多数発生した。 <耐エッチング性>表面平滑性を評価した後の鉄板を濃
度43%のFeCl3水溶液に60℃で30分間浸漬し、硬化樹脂
膜の表面状態を目視にて判定した。 ○:全く変化無し。△:着色有り。×:膨らみ或いは剥
がれ等が発生した。 <アルカリ溶解・剥離性>耐エッチング性を評価した後
の鉄板を濃度20%のNaOH水溶液に80℃で1分間浸漬し、
硬化樹脂膜の溶解性又は剥離性を目視にて判定した。 ◎:完全に溶解・剥離した。○:完全には溶解しない
が、剥離した。×:剥離しなかった。 <パターン形成性>アルカリ溶解・剥離性を評価した後
の鉄板を水洗後、乾燥して得た鉄板について、その背面
から光を当てることにより、鉄板に形成された細長い長
方形の穴の形状を透過光で目視できるようにして、透過
光の明るさの均一性で、穴の大きさ、穴の間隔及び長方
形の長辺部の直線性を判定した。 ◎:穴の大きさ及び穴の間隔は完全に一定であり、長方
形の長辺部は直線 ○:製品10枚中1枚に一ヶ所程度欠陥あり。 △:製品10枚中3枚に1〜2ヶ所欠陥あり。×:欠陥多
数あり <樹脂の安定性>本発明の樹脂組成物を150g入れた250c
c のガラス瓶を、60℃に設定した恒温槽中で保管し、粘
度が初期値から10%以上変動するのに要した日数を測定
した。 <引火点>JISK2265(原油及び石油製品引火点試験
方法)に記載されたクリーブランド開放式引火点試験方
法に従って測定した。なお、本発明の樹脂組成物は全
て、加熱するとゲル化し、引火点はなかった。 <表面タック>80w/cm集光型高圧水銀灯を用い、コンベ
アースピード3m/minで紫外線を照射したサンプルを指で
触れて判定した。 ◎ 全くタックなし ○ すこしシットリした感じがする △ ややタックあり × 指に付着する感じがする
EXAMPLES AND COMPARATIVE EXAMPLES Next, examples and comparative examples will be given.
The present invention will be described in more detail. The evaluation of various properties of the resin composition and the cured resin film thereof was performed by the following methods. <Viscosity> The viscosity of the composition at 25 ° C. was measured using an E-type viscometer. <Hole filling property> A resin composition of the present invention is formed on one surface of an iron plate (hereinafter simply referred to as a test iron plate) having a negative pattern formed from a casein-based photosensitive resin film and having a large number of elongated rectangular recesses on both sides by primary etching. The state of filling the hole when was applied was visually determined. The dimensions of the test iron plate are shown in FIG. 1, and the dimensions of the elongated rectangular recesses formed in the test iron plate are shown in FIG. ◯: There are no bubbles at all. Δ: Air bubbles are present in some holes. ×:
There are bubbles on the entire surface. <Surface smoothness> 80w /
cm Concentration type high pressure mercury lamp, conveyor speed 3m / min
The resin composition of the present invention was cured by irradiating it with ultraviolet rays, and the surface condition of the cured resin film was visually determined. ○: No repelling. Δ: Some cissing is present. X: Many repelling occurred. <Etching resistance> The iron plate after the surface smoothness was evaluated was immersed in an aqueous 43% FeCl 3 solution at 60 ° C for 30 minutes, and the surface state of the cured resin film was visually determined. ○: No change. Δ: There is coloring. X: Swelling or peeling occurred. <Alkali dissolution / peelability> After the etching resistance is evaluated, the iron plate is immersed in a 20% aqueous NaOH solution at 80 ° C for 1 minute,
The solubility or releasability of the cured resin film was visually evaluated. A: Completely melted and peeled. ◯: It did not completely dissolve, but peeled off. X: It did not peel. <Pattern formability> After the iron plate after evaluating the alkali dissolution / peeling property is washed with water and dried, the iron plate obtained by illuminating it from the back side penetrates the shape of the elongated rectangular hole formed in the iron plate. The size of the holes, the distance between the holes, and the linearity of the long side portion of the rectangle were judged by the uniformity of the brightness of the transmitted light so that they could be visually observed. ⊚: The hole size and hole interval are completely constant, and the long side of the rectangle is a straight line ○: One out of ten products has a defect. △: 3 out of 10 products had defects at 1 or 2 places. X: Many defects <Stability of resin> 250c containing 150g of the resin composition of the present invention
The glass bottle of c was stored in a constant temperature bath set at 60 ° C, and the number of days required for the viscosity to change by 10% or more from the initial value was measured. <Flash point> The flash point was measured according to the Cleveland open type flash point test method described in JIS K2265 (Crude oil and petroleum product flash point test method). All the resin compositions of the present invention gelled when heated and had no flash point. <Surface tack> Using a high pressure mercury lamp of 80 w / cm condensing type, a sample irradiated with ultraviolet rays at a conveyor speed of 3 m / min was touched with a finger and judged. ◎ No tack at all ○ It feels a little tight △ There is some tack × Feels like sticking to fingers

【0032】実施例1 下記5成分を混合しながら溶解することにより、活性エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物を得た。 (a)成分:アクリロイルオキシエチルモノフタレート
(東亞合成化学工業株式会社製商品名「アロニックスM-
5400」)の60部 (b)成分:トリメチロールプロパントリアクリレート
(東亞合成化学工業株式会社製商品名「アロニックスM-
309」)の40部 (c)成分:メガファックF-177(大日本インキ化学工
業株式会社製)の0.1 部 (d)成分:数平均分子量1900のスチレンマレイン酸共
重合体(アーコケミカル株式会社製商品名「SMA300
0」)の20部 (e)成分:1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン(チバガイギー社製商品名「イルガキュアー18
4」)の 5部
Example 1 An active energy ray-curable resin composition was obtained by dissolving the following 5 components while mixing. Component (a): Acryloyloxyethyl monophthalate (trade name “Aronix M- manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.
5400 ") 60 parts (b) Component: trimethylolpropane triacrylate (trade name" Aronix M- manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd. "
309 ") (c) Component: Megafac F-177 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 0.1 part (d) Component: Styrene-maleic acid copolymer having a number average molecular weight of 1900 (Arco Chemical Co., Ltd.) Product name "SMA300
0 ") 20 parts (e) component: 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone (trade name" Irgacure 18 "manufactured by Ciba Geigy)
4 ") 5 parts

【0033】実施例2〜5 20部のSMA3000に代えて、(d)成分として以下のポリ
マーを、表1に示す配合割合で配合した以外は実施例1
と同様にして活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を得
た。 ・SMAレジン1000(数平均分子量が1600であるスチレ
ン無水マレイン酸共重合物、アーコケミカル株式会社製
商品名) ・ポリスチレンA(数平均分子量が10000であり、ガラ
ス転移温度が90℃である) 上記実施例1〜5で得た硬化性樹脂組成物を、試験用鉄
板に、膜厚30μmになるように塗布した。樹脂塗膜に対
して、80w/cm集光型高圧水銀灯を用いて紫外線を約1秒
間照射した。樹脂組成物及び硬化樹脂膜の特性を評価し
たところ、以下の通りであり、以下の特性以外の特性に
ついては表1に示す結果が得られた。 穴 埋 ま り 性 :○ 表 面 平 滑 性 :○ 樹脂の安定性 :6日以上
Examples 2 to 5 Example 1 was repeated, except that 20 parts of SMA3000 was replaced by the following polymers as component (d) in the proportions shown in Table 1.
An active energy ray-curable resin composition was obtained in the same manner as in. -SMA resin 1000 (styrene-maleic anhydride copolymer having a number average molecular weight of 1600, a trade name of Arco Chemical Co., Ltd.)-Polystyrene A (a number average molecular weight of 10,000 and a glass transition temperature of 90 ° C) The curable resin composition obtained in each of Examples 1 to 5 was applied to a test iron plate so as to have a film thickness of 30 μm. The resin coating film was irradiated with ultraviolet rays for about 1 second using an 80w / cm condensing type high pressure mercury lamp. When the properties of the resin composition and the cured resin film were evaluated, the results were as follows, and the results shown in Table 1 were obtained for properties other than the following properties. Hole filling: ○ Surface smoothness: ○ Resin stability: 6 days or more

【0034】[0034]

【表1】 [Table 1]

【0035】比較例1〜3 (d)成分に代えて以下のポリマーを表2に示す配合割
合で配合した以外は実施例1と同様にして活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物を得た。 ・ハイワックス100P(数平均分子量が900であり、ガラ
ス転移温度が40℃である) ・ポリスチレンB(数平均分子量が60000であり、ガラ
ス転移温度が100 ℃である) 上記比較例1〜3で得た活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を、試験用鉄板に、膜厚30μmになるように塗布し
た。樹脂塗膜に対して、80w/cm集光型高圧水銀灯を用い
て紫外線を約1秒間照射した。樹脂組成物及び硬化樹脂
膜の特性を評価したところ、以下の通りであり、以下の
特性以外の特性については表2に示す結果が得られた。 耐エッチング性 :○ 樹脂の安定性 :6日以上
Comparative Examples 1 to 3 Active energy ray-curable resin compositions were obtained in the same manner as in Example 1 except that the following polymers were blended in the proportions shown in Table 2 in place of the component (d). High wax 100P (number average molecular weight is 900, glass transition temperature is 40 ° C) Polystyrene B (number average molecular weight is 60,000, glass transition temperature is 100 ° C) In Comparative Examples 1 to 3 above The active energy ray-curable resin composition obtained was applied to a test iron plate so as to have a film thickness of 30 μm. The resin coating film was irradiated with ultraviolet rays for about 1 second using an 80w / cm condensing type high pressure mercury lamp. When the properties of the resin composition and the cured resin film were evaluated, the results were as follows, and the results shown in Table 2 were obtained for properties other than the following properties. Etching resistance: ○ Resin stability: 6 days or more

【0036】[0036]

【表2】 [Table 2]

【0037】実施例6〜11 20部のSMA3000に代えて、(d)成分として以下の粒
状充填剤を表3に示す通りに配合した以外は実施例1と
同様にして活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を得た。 ・スーパーSS(炭酸カルシウム、丸尾カルシウム株式
会社製商品名) ・ウルトラホワイト−90(クレー、エンゲルハード株式
会社製商品名) ・クニゲルV−1(ベントナイト、クニミネ工業株式会
社製商品名) 上記実施例6〜11で得た活性エネルギー線硬化型樹脂
組成物を試験用鉄板に、膜厚30μmになるように塗布し
た。樹脂塗膜に対して、80w/cm集光型高圧水銀灯を用い
て紫外線を約1秒間照射した。樹脂組成物の樹脂安定性
を評価したところ、いずれも6日以上であり、樹脂組成
物及び硬化樹脂膜におけるこれ以外の特性については表
3に示す結果が得られた。
Examples 6 to 11 An active energy ray-curable resin was prepared in the same manner as in Example 1 except that 20 parts of SMA3000 was replaced by the following granular filler as component (d), as shown in Table 3. A composition was obtained.・ Super SS (trade name of calcium carbonate, Maruo Calcium Co., Ltd.) ・ Ultra White-90 (trade name of clay, Engelhard Co., Ltd.) ・ Kunigel V-1 (trade name of bentonite, Kunimine Industry Co., Ltd.) The active energy ray-curable resin composition obtained in 6 to 11 was applied to a test iron plate so as to have a film thickness of 30 μm. The resin coating film was irradiated with ultraviolet rays for about 1 second using an 80w / cm condensing type high pressure mercury lamp. When the resin stability of the resin composition was evaluated, it was 6 days or longer, and the results shown in Table 3 were obtained for the other properties of the resin composition and the cured resin film.

【0038】[0038]

【表3】 [Table 3]

【0039】実施例12 上記実施例6で得た活性エネルギー線硬化型樹脂組成物
のうち(e)成分を配合しない樹脂組成物を、膜厚30μ
mになるよう試験用鉄板に塗布した。樹脂塗膜に対し
て、電子線照射装置を用いて加速電圧175KV、照射線量3
Mradで電子線を照射し、樹脂塗膜表面のタックがないこ
とから、樹脂が硬化したことを確認した。樹脂組成物及
び硬化樹脂膜の特性を評価したところ表3に示す結果が
得られた。
Example 12 Of the active energy ray-curable resin composition obtained in Example 6 above, a resin composition containing no component (e) was used to obtain a film thickness of 30 μm.
It was applied to a test iron plate so as to be m. Using an electron beam irradiation device, an acceleration voltage of 175 KV and an irradiation dose of 3 for resin coatings
It was confirmed that the resin was cured by irradiating it with an electron beam with Mrad and there was no tack on the surface of the resin coating film. When the characteristics of the resin composition and the cured resin film were evaluated, the results shown in Table 3 were obtained.

【0040】実施例13 上記実施例1で得た活性エネルギー線硬化型樹脂組成物
における20部のSMA3000に代えて、(d)成分として
8部のスーパーSSを配合し、 5部のイルガキュアー18
4に代えて、(e)成分として 1部のベンゾイルパーオ
キサイド(日本油脂株式会社製)を配合した他は、実施
例1と同様にして、熱硬化性樹脂組成物を得た。このよ
うにして得た樹脂組成物を、実施例1と同様にして塗布
し、室温で 1分間放置した後、100℃で 5分間加熱する
ことにより、樹脂を硬化させ、樹脂塗膜表面のタックが
ないことから、樹脂が硬化したことを確認した。樹脂組
成物及び硬化樹脂膜の特性は以下のとおりであった。 穴埋まり性 :○ 表面平滑性 :○ 耐エッチング性:○ アルカリ溶解・剥離性:◎ パターン形成性:◎ 樹脂の安定性 :6日以上
Example 13 Instead of 20 parts of SMA3000 in the active energy ray-curable resin composition obtained in Example 1 above, as the component (d),
8 parts Super SS are mixed, 5 parts Irgacure 18
A thermosetting resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that 1 part of benzoyl peroxide (manufactured by NOF CORPORATION) was added as the component (e) in place of 4. The resin composition thus obtained was applied in the same manner as in Example 1, allowed to stand at room temperature for 1 minute, and then heated at 100 ° C for 5 minutes to cure the resin, thereby tacking the surface of the resin coating film. It was confirmed that the resin was cured because there was no The characteristics of the resin composition and the cured resin film were as follows. Hole fillability: ○ Surface smoothness: ○ Etching resistance: ○ Alkali dissolution / peelability: ◎ Pattern formability: ◎ Resin stability: 6 days or more

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明の組成物は、活性エネルギー線の
照射又は加熱によって容易かつ速やかに硬化し、アルカ
リ溶解・剥離性を有する硬化物を形成する低粘度の樹脂
組成物であり、例えばシャドウマスクの製造工程の一段
階である、一次エッチング後の裏止め材用樹脂組成物と
して特に有用なものである。本発明の硬化性樹脂組成物
を用いて、シャドウマスクを製造することによって、穴
埋まり性、表面平滑性、硬化性、耐エッチング性、アル
カリ溶解・剥離性及びパターン形成性等の諸特性を満足
するシャドウマスクを製造することが出来る。本発明組
成物は上記のような特長を有するので、シャドウマスク
製造時の裏止め材用樹脂組成物以外の多くの分野で、例
えば注型材料、塗料又は成形材料としても利用されるも
のである。又、本発明組成物は有機溶剤を必要としない
ので、有機溶剤を蒸発させる為の乾燥炉及び溶剤の回収
装置が不要であり、又原料取扱時の有機溶剤の毒性を懸
念する必要がなく、乾燥時の引火及び爆発等の危険性も
予防できる。しかも、有機溶剤の蒸発を伴う乾燥工程を
必要としない短時間硬化が可能であり、エネルギーコス
トの低減と火災発生の防止が達成され、既存の工程を生
かして改良できる点で有用であり、その工業的価値は極
めて大である。
The composition of the present invention is a low-viscosity resin composition which can be easily and quickly cured by irradiation with active energy rays or heating to form a cured product having an alkali-dissolving / releasing property. It is particularly useful as a resin composition for a backing material after primary etching, which is one step of the mask manufacturing process. By producing a shadow mask using the curable resin composition of the present invention, various properties such as hole filling, surface smoothness, curability, etching resistance, alkali dissolution / removability and pattern formability are satisfied. It is possible to manufacture a shadow mask that does. Since the composition of the present invention has the above-mentioned features, it is used in many fields other than the resin composition for the backing material at the time of producing a shadow mask, for example, as a casting material, a paint or a molding material. .. Further, since the composition of the present invention does not require an organic solvent, there is no need for a drying furnace for evaporating the organic solvent and a solvent recovery device, and there is no need to worry about the toxicity of the organic solvent when handling raw materials, The risk of ignition and explosion during drying can be prevented. Moreover, it is possible to perform short-time curing that does not require a drying step involving evaporation of an organic solvent, achieves reduction of energy cost and prevention of fire occurrence, and is useful in that it can be improved by utilizing existing steps. The industrial value is extremely large.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例で使用した試験用鉄板の寸法である。FIG. 1 is a size of a test iron plate used in Examples.

【図2】実施例で使用した試験用鉄板に形成した細長い
長方形の凹部の寸法である。
FIG. 2 is a dimension of an elongated rectangular recess formed in a test iron plate used in Examples.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C09D 5/00 PNW 6904−4J 7/06 PSL 7211−4J G03F 7/004 501 7124−2H 7/027 501 9019−2H (72)発明者 佐々木 裕 愛知県名古屋市港区船見町1番地の1 東 亞合成化学工業株式会社名古屋総合研究所 内 (72)発明者 実松 徹司 愛知県名古屋市港区船見町1番地の1 東 亞合成化学工業株式会社名古屋総合研究所 内 (72)発明者 太田 博之 愛知県名古屋市港区船見町1番地の1 東 亞合成化学工業株式会社名古屋総合研究所 内 (72)発明者 佐藤 雅伸 京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神 北町1番地の1 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 西牟田 浩史 滋賀県彦根市高宮町480番地の1 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Office reference number FI technical display location C09D 5/00 PNW 6904-4J 7/06 PSL 7211-4J G03F 7/004 501 7124-2H 7 / 027 501 9019-2H (72) Inventor Hiroshi Sasaki 1 at 1 Funami-cho, Minato-ku, Nagoya, Aichi Toagosei Chemical Industry Co., Ltd. Nagoya Research Institute (72) Inventor Tetsuji Minematsu Funami, Minato-ku, Nagoya, Aichi 1 at Toago Synthetic Chemical Industry Co., Ltd., Nagoya Research Institute (72) Inventor Hiroyuki Ota 1 at 1 Funamicho, Minato-ku, Aichi Prefecture Nagoya City Toagosei Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. (72) ) Inventor Masanobu Sato 1 at 1 Tenjin Kitamachi, Tenjin Kitamachi 4-chome, Horikawa-dori Teranouchi, Kamigyo-ku, Kyoto Who Hiroshi Nishimuta 1 Dainippon Screen Manufacturing Co., Ltd. Hikone district office in Shiga Prefecture Hikone Takamiya-cho address 480

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】下記(a)、(b)、(c)及び(d)か
らなり、25℃における粘度が5000cps 以下であることを
特徴とする硬化性樹脂組成物。 (a)分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアク
リロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物 (b)分子中に、二個以上のアクリロイル或はメタクリ
ロイル基を持つ化合物 (c)レベリング剤 (d)上記(a)及び(b)の混合物に溶解し、ガラス
転移点が50℃以上で、かつ数平均分子量が1,000 〜 50
0,000 のポリマ−、又は上記(a)及び(b)の混合物
に不溶で、ガラス転移点が50℃以上の粒状充填剤。
1. A curable resin composition comprising the following (a), (b), (c) and (d) and having a viscosity at 25 ° C. of not more than 5000 cps. (A) Compound having one carboxyl group and one acryloyl or methacryloyl group in the molecule (b) Compound having two or more acryloyl or methacryloyl groups in the molecule (c) Leveling agent (d) Above It is dissolved in the mixture of (a) and (b), has a glass transition point of 50 ° C or higher, and has a number average molecular weight of 1,000 to 50.
A granular filler which is insoluble in 0,000 polymer or a mixture of the above (a) and (b) and has a glass transition point of 50 ° C or higher.
JP3284022A 1991-10-04 1991-10-04 Method for producing curable resin composition for backing material and shadow mask Expired - Fee Related JP2649622B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3284022A JP2649622B2 (en) 1991-10-04 1991-10-04 Method for producing curable resin composition for backing material and shadow mask

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3284022A JP2649622B2 (en) 1991-10-04 1991-10-04 Method for producing curable resin composition for backing material and shadow mask

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0598112A true JPH0598112A (en) 1993-04-20
JP2649622B2 JP2649622B2 (en) 1997-09-03

Family

ID=17673294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3284022A Expired - Fee Related JP2649622B2 (en) 1991-10-04 1991-10-04 Method for producing curable resin composition for backing material and shadow mask

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2649622B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8288079B2 (en) 2006-01-12 2012-10-16 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photocurable resin composition and a method for forming a pattern
JP2017102198A (en) * 2015-11-30 2017-06-08 富士フイルム株式会社 Photosensitive composition, manufacturing method of cured film, cured film, touch panel and display device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57143367A (en) * 1981-02-28 1982-09-04 Sony Corp Photo-setting coating film composition
JPH01261410A (en) * 1988-04-13 1989-10-18 Toagosei Chem Ind Co Ltd Actinic radiation-curable resin composition
JPH01278509A (en) * 1988-04-30 1989-11-08 Goou Kagaku Kogyo Kk Ultraviolet rays curable resin composition

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57143367A (en) * 1981-02-28 1982-09-04 Sony Corp Photo-setting coating film composition
JPH01261410A (en) * 1988-04-13 1989-10-18 Toagosei Chem Ind Co Ltd Actinic radiation-curable resin composition
JPH01278509A (en) * 1988-04-30 1989-11-08 Goou Kagaku Kogyo Kk Ultraviolet rays curable resin composition

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8288079B2 (en) 2006-01-12 2012-10-16 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photocurable resin composition and a method for forming a pattern
JP2017102198A (en) * 2015-11-30 2017-06-08 富士フイルム株式会社 Photosensitive composition, manufacturing method of cured film, cured film, touch panel and display device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2649622B2 (en) 1997-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI298113B (en) Photoresist resin commposition for printing electric-circuit board
JP2649621B2 (en) UV curable resin composition for backing material and method for producing shadow mask
JP2592733B2 (en) Curable resin composition
JPH0598112A (en) Curable resin composition
TW201701069A (en) Curable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board capable of being resistive to decrease of optical properties such as sensitivity and resolution
US5336574A (en) Curable composition and process for producing shadow mask using the same
JPH0679463B2 (en) Active energy ray curable resin composition
JPH0655794B2 (en) UV curable resin composition
JP3491532B2 (en) Curable composition for backing material during shadow mask production
JP3509653B2 (en) Curable composition
US6143803A (en) Curable composition for back-protecting material in making shadow mask
JP3491531B2 (en) Curable composition for backing material during shadow mask production
JP2000256585A (en) Hardenable composition for lining at the time of production of shadow mask
JP2003021899A (en) Curable composition for etching resist
JPS63270702A (en) Photocurable composition
JPS58145712A (en) Radiation-curable resin composition
JP2001125264A (en) Curable composition
JPH0730270B2 (en) Active energy ray curable resin composition
JP2003021900A (en) Curable composition for etching resist
JP2000256425A (en) Curable composition for backing material for use in shadow mask preparation
WO2020189066A1 (en) Coating composition
JP2021024906A (en) Photocurable resin composition
JP2003262955A (en) Curing composition for etching resist
JPH02153909A (en) Light-polymerizable composition
JP2003128941A (en) Photo-curing composition and method for curing the same

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees