JPH0593616A - Method and apparatus for measuring straightness - Google Patents
Method and apparatus for measuring straightnessInfo
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- JPH0593616A JPH0593616A JP25397491A JP25397491A JPH0593616A JP H0593616 A JPH0593616 A JP H0593616A JP 25397491 A JP25397491 A JP 25397491A JP 25397491 A JP25397491 A JP 25397491A JP H0593616 A JPH0593616 A JP H0593616A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械の案内用移送
軸などの真直度を、レーザビームを使用して測定する真
直度測定方法および測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a straightness measuring method and measuring apparatus for measuring the straightness of a guide shaft of a machine tool by using a laser beam.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、レーザビームを使用して真直度を
測定する方法としては、オートコリメーション法、干渉
法、２重像法、モアレ縞法、および２次元変位測定方法
などがある。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of measuring straightness using a laser beam, there are an autocollimation method, an interferometric method, a double image method, a moire fringe method, a two-dimensional displacement measuring method and the like.
【０００３】例えば、２次元変位測定方法としては、特
開平１−１８９５０４号公報に開示されたものがあり、
この方法は、被測定面に装着された四分割フォトダイオ
ードにレーザビームを照射して、四分割フォトダイオー
ドの中心からのずれを検出して、測定面の変位を測定す
る方法である。For example, as a two-dimensional displacement measuring method, there is one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-189504.
This method is a method of irradiating a laser beam to a four-division photodiode mounted on a surface to be measured, detecting a deviation from the center of the four-division photodiode, and measuring a displacement of the measurement surface.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の各
測定方法においては、光を使用しており、したがって測
定を空気中で行う場合には、空気のゆらぎ（屈折率ゆら
ぎ）による測定誤差を伴うという問題があった。However, in each of the conventional measuring methods described above, light is used, and therefore, when the measurement is performed in the air, the measurement error due to the fluctuation of the air (refractive index fluctuation) is caused. There was a problem with it.
【０００５】そこで、本発明は上記問題を解消し得る真
直度測定方法および測定装置を提供することを目的とす
る。Therefore, an object of the present invention is to provide a straightness measuring method and measuring apparatus which can solve the above problems.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第１の手段は、波長の異なる２本のレーザ
ビームを混合器で１本のレーザビームとなし、このレー
ザビームを、被測定物を案内する移動体に取り付けられ
た受光部の分光器で２本のレーザビームに分割し、この
２本のレーザビームを、それぞれフィルターを通過させ
て元の波長成分のレーザビームを取り出し、これら取り
出された２本のレーザビームの中心位置をそれぞれ受光
素子にて検出し、これら各受光素子からの出力およびあ
らかじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度を使用して、空気ゆらぎによるレーザビームの
ふらつきを除去することにより、受光部の機械的変位を
求めて被測定物の真直度を測定する真直度測定方法であ
る。In order to solve the above problems, the first means of the present invention is to form two laser beams having different wavelengths into one laser beam by a mixer, The spectroscope of the light receiving unit attached to the moving body that guides the object to be measured divides it into two laser beams, and these two laser beams are passed through filters to extract the laser beam of the original wavelength component. , The center positions of these two extracted laser beams are detected by the light receiving elements, and the output from these light receiving elements and the output sensitivity to air fluctuations corresponding to each wavelength obtained in advance are used to detect the air This is a straightness measuring method for measuring the straightness of an object to be measured by obtaining the mechanical displacement of the light receiving part by removing the fluctuation of the laser beam due to the fluctuation.
【０００７】また、上記課題を解決するため、本発明の
第２の手段は、波長の異なるレーザビームをそれぞれ発
射する２個のレーザ発振器と、これら各レーザ発振器か
ら発射されたレーザビームを混合する混合器とを有する
発光部、および上記混合器により混合されたレーザビー
ムを２つに分割する分光器と、この分割された各レーザ
ビームからそれぞれ元の波長成分を取り出す２個のフィ
ルターと、これら各フィルターを通過したレーザビーム
の中心位置をそれぞれ検出する２個の受光素子とを有す
る受光部、並びに上記両受光素子から得られた出力とあ
らかじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度とを使用することにより、空気ゆらぎを除去し
て受光部の機械的変位を演算する演算部とを具備した真
直度測定装置である。In order to solve the above problems, the second means of the present invention is to mix two laser oscillators respectively emitting laser beams having different wavelengths and the laser beams emitted from these laser oscillators. A light emitting part having a mixer, a spectroscope for splitting the laser beam mixed by the mixer into two, two filters for extracting the original wavelength components from the split laser beams, respectively, A light receiving portion having two light receiving elements for detecting the center position of each laser beam passing through each filter, and output sensitivity to the air fluctuations corresponding to the outputs obtained from the both light receiving elements and the wavelengths obtained in advance. A straightness measuring device including a calculation unit that removes air fluctuations and calculates the mechanical displacement of the light receiving unit by using .
【０００８】[0008]
【作用】波長の異なる２本のレーザビームを混合して１
本になし、この１本にされたレーザビームを移動体に取
り付けられた受光部に照射し、そして受光部で元の波長
成分の２本のレーザビームに分割し、この分割された各
レーザビームの中心位置を受光素子により検出するとと
もに、これら両レーザビームの検出された出力に、あら
かじめ求められている各波長成分に応じた空気ゆらぎに
対する出力感度を考慮した演算を施すことにより、空気
ゆらぎによる影響を除去した受光部の機械的変位、すな
わち受光部を取り付けた移動体を案内する被測定物の真
直度を正確に求める方法である。[Operation] By mixing two laser beams having different wavelengths,
This laser beam is made into a book, the light receiving section attached to the moving body is irradiated with this single laser beam, and the light receiving section divides the laser beam into two laser beams of the original wavelength component. The center position of the laser beam is detected by the light receiving element, and the detected output of both laser beams is calculated by considering the output sensitivity to the air fluctuation corresponding to each wavelength component obtained in advance. This is a method for accurately obtaining the mechanical displacement of the light-receiving unit with the influence removed, that is, the straightness of the object to be measured which guides the moving body to which the light-receiving unit is attached.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１および図２に
基づき説明する。本実施例に係る真直度測定装置は、図
１に示すように、波長の異なるレーザビームＡ，Ｂをそ
れぞれ発射する第１レーザ発振器（例えば、Ｈｅ−Ｃｄ
レーザ発振器、λ1 ＝0.44μm）１１および第２レーザ
発振器（例えば、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器、λ2 ＝0.63
μm）１２と、これら各レーザ発振器１１，１２から発
射された両レーザビームを混合する第１ビームスプリッ
タ（混合器の一例で、通常のビームスプリッタを逆に使
用したものである）１３と、第２レーザ発振器１２から
のレーザビームを第１ビームスプリッタ１３に導く反射
鏡１４とを有する発光部１、および上記第１ビームスプ
リッタ１３により混合されたレーザビームを２つのレー
ザビームに分割する第２ビームスプリッタ（分光器）２
１と、この第２ビームスプリッタ２１により分割された
各レーザビームをそれぞれ所定の波長成分、すなわち元
の波長成分だけを取り出す第１および第２干渉フィルタ
ー２２，２３と、これら各干渉フィルター２２，２３を
通過したレーザビームの中心位置を検出する第１および
第２四分割フォトダイオード（受光素子）２４，２５と
を有する受光部２、並びに上記各四分割フォトダイオー
ド２４，２５から得られた各波長成分の出力に基づき、
空気ゆらぎを除去した受光部２の機械的変位を求める演
算部（図示せず）を具備している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the straightness measuring apparatus according to the present embodiment includes a first laser oscillator (for example, He-Cd) that emits laser beams A and B having different wavelengths.
Laser oscillator, λ 1 = 0.44 μm) 11 and second laser oscillator (eg, He-Ne laser oscillator, λ 2 = 0.63)
μm) 12, a first beam splitter (an example of a mixer, which is an ordinary beam splitter used in reverse) 13 for mixing both laser beams emitted from the respective laser oscillators 11, 12, and 2 A light emitting section 1 having a reflecting mirror 14 for guiding a laser beam from a laser oscillator 12 to a first beam splitter 13, and a second beam for splitting the laser beam mixed by the first beam splitter 13 into two laser beams. Splitter (spectrometer) 2
1 and first and second interference filters 22 and 23 for extracting each laser beam split by the second beam splitter 21 from a predetermined wavelength component, that is, only the original wavelength component, and the interference filters 22 and 23. Light receiving portion 2 having first and second four-divided photodiodes (light receiving elements) 24 and 25 for detecting the center position of the laser beam that has passed through, and each wavelength obtained from each of the above four-divided photodiodes 24 and 25. Based on the output of the component,
An arithmetic unit (not shown) for obtaining a mechanical displacement of the light receiving unit 2 from which air fluctuations are removed is provided.
【００１０】上記発光部１は被測定物例えば案内用移送
軸に沿った位置に固定されるとともに、受光部２全体は
移送軸に案内される直進移動体（図示せず）に取り付け
られており、移送軸の真直度が測定される。The light emitting section 1 is fixed at a position along an object to be measured, for example, a guide transfer axis, and the entire light receiving section 2 is attached to a rectilinear moving body (not shown) guided by the transfer axis. , The straightness of the transfer axis is measured.
【００１１】以下、真直度の測定方法を具体的に説明す
る。各レーザ発振器１，２からそれぞれ波長がλ1 およ
びλ2 の２本のレーザビームＡ，Ｂを発射して、通常の
ビームスプリッタを逆に配置してなる第１ビームスプリ
ッタ１１により１本の２重波長レーザビームＣとなし、
このレーザビームＣを、直進移動体に取り付けられた受
光部２に照射する。The straightness measuring method will be described in detail below. Two laser beams A and B having wavelengths λ 1 and λ 2 are emitted from the laser oscillators 1 and 2, respectively, and one laser beam is divided into two beams by a first beam splitter 11 in which a normal beam splitter is arranged in reverse. No double wavelength laser beam C,
The laser beam C is applied to the light receiving unit 2 attached to the rectilinear moving body.
【００１２】受光部２では、この２重波長レーザビーム
Ｃを第２ビームスプリッタ２１で２本に分割し、そして
この分割された各レーザビームをそれぞれ干渉フィルタ
ー２２，２３で元の単波長成分のレーザビームＤ，Ｅに
戻す。例えば、第１干渉フィルター２２を通過したレー
ザビームＤはλ1 の波長成分だけのものとなり、また第
２干渉フィルター２３を通過したレーザビームＥはλ2
の波長成分だけのものとなる。In the light receiving section 2, the double wavelength laser beam C is split into two beams by the second beam splitter 21, and the split laser beams are divided into the original single wavelength components by the interference filters 22 and 23, respectively. The laser beams D and E are returned. For example, the laser beam D that has passed through the first interference filter 22 has only the wavelength component of λ 1 , and the laser beam E that has passed through the second interference filter 23 has λ 2.
It becomes only the wavelength component of.
【００１３】そして、この２つの単波長レーザビーム
Ｄ，Ｅをそれぞれ四分割フォトダイオード２４，２５で
受光し、各レーザビームＤ，Ｅの中心位置を検出する。
受光部２全体は、直進移動体の上に載置されており、図
１の矢印ａにて示すように、２重波長レーザビームＣの
光軸に沿って移動させられる。The two single-wavelength laser beams D and E are received by the four-divided photodiodes 24 and 25, respectively, and the center positions of the laser beams D and E are detected.
The entire light receiving unit 2 is mounted on a rectilinear moving body and is moved along the optical axis of the double wavelength laser beam C as shown by an arrow a in FIG.
【００１４】この時、２つの四分割フォトダイオード２
４，２５により受光された出力に、演算部で所定の演算
を施すと、直進移動体を案内する移送軸の真直度が、測
定室内の空気のゆらぎによる誤差を除去した形で得られ
る。At this time, the two quadrant photodiodes 2
When the calculation unit performs a predetermined calculation on the outputs received by 4, 25, the straightness of the transfer shaft for guiding the rectilinear moving body can be obtained in a form in which the error due to the fluctuation of the air in the measurement chamber is removed.
【００１５】ここで、空気のゆらぎによる誤差を除去す
る演算方法について説明する。先に、実験室内で起こる
大気の状態を想定して、２つの異なる波長のレーザビー
ムによる光路差を求め、その光路差と検出しようとする
機械的変位（本実施例においては１μm 以下のオーダ
ー）とのオーダーが同じであるかどうかを調べてみる。Now, a calculation method for eliminating an error due to air fluctuation will be described. First, assuming the atmospheric conditions that occur in the laboratory, obtain the optical path difference between the laser beams of two different wavelengths, and detect the optical path difference (the order of 1 μm or less in this embodiment). Check if the orders with and are the same.
【００１６】すなわち、乾燥空気の屈折率ｎは、波長が
0.2 〜２μmの範囲内において、下記の実験式(1) によ
り表される。 （ｎ−１）×108 ＝8342.13 ＋2406030 ／（130 −σ
2 ）＋15997 ／（38.9−σ2 ） ・・・・(1) (1) 式中、σは波長の逆数（μm-1 ）である。That is, the refractive index n of dry air is
It is represented by the following empirical formula (1) within the range of 0.2 to 2 μm. (N-1) × 10 8 = 8342.13 +2406030 / (130 -σ
2 ) + 15997 / (38.9−σ 2 ) ... (1) In the formula (1), σ is the reciprocal of the wavelength (μm −1 ).
【００１７】一方、乾燥空気の屈折率ｎは、気圧と温度
の関数であり、下記(2) 式により表される。 ｎ＝１＋10-6（ｋ・Ｐ／Ｔ） ・・・・(2) (2) 式中、Ｐ（mbar）は気圧、Ｔ（Ｋ）は温度、ｋは定
数である。On the other hand, the refractive index n of dry air is a function of atmospheric pressure and temperature and is expressed by the following equation (2). n = 1 + 10 −6 (k · P / T) (2) (2) In the formula, P (mbar) is atmospheric pressure, T (K) is temperature, and k is a constant.
【００１８】上記(1) 式および(2) 式により、各波長
（λ1 ，λ2 ）に対する屈折率（ｎ1，ｎ2 ）を求める
と、下記(3) 式および(4) 式のようになる。 ｎ1 ＝１＋10-6(79.89Ｐ／Ｔ) ( λ1 ＝0.44μm) ・・・・(3) ｎ2 ＝１＋10-6(78.80Ｐ／Ｔ) ( λ2 ＝0.63μm) ・・・・(4) (3) 式および(4) 式をテーラー級数展開して、温度ゆら
ぎ (Ｔ′) と屈折率ゆらぎ（ｎ1′) ，（ｎ2′) との
関係を求めると、下記(5) 式および(6) 式のようにな
る。When the refractive indices (n 1 , n 2 ) for the respective wavelengths (λ 1 , λ 2 ) are calculated by the above equations (1) and (2), the following equations (3) and (4) are obtained. become. n 1 = 1 + 10 -6 (79.89P / T) (λ 1 = 0.44μm) ・ ・ ・ (3) n 2 = 1 + 10 -6 (78.80P / T) (λ 2 = 0.63μm) ・ ・ ・ ( 4) The relationship between temperature fluctuation (T ′) and refractive index fluctuations (n 1 ′) and (n 2 ′) is obtained by Taylor series expansion of equations (3) and (4). It becomes like Formula and Formula (6).
【００１９】[0019]
【数１】 [Equation 1]
【００２０】上記(5) 式および(6) 式中、バーＰおよび
バーＴは、それぞれの平均値を示す。In the above equations (5) and (6), bar P and bar T represent respective average values.
【００２１】この時、実験室中の空気を局所等方的乱流
と仮定すると、その内部尺度ηは、下記(7) 式のように
近似される。なお、内部尺度ηを概略的に説明すると、
最も小さな気体の乱れの尺度のことで、大気中の圧力ゆ
らぎおよび温度ゆらぎの空間分布がどうのような空間周
波数で広がっているかを測るための尺度であると考えら
れ、もう少し具体的に言うと、今、状態量（Ｐ，Ｔ）の
空気塊が空間に多数散らばってある分布を作っているも
のとすると、この時の空気塊の代表寸法が内部尺度のオ
ーダーに等しいと考えられる。At this time, assuming that the air in the laboratory is a local isotropic turbulence, its internal scale η is approximated by the following equation (7). In addition, when the internal scale η is schematically explained,
It is the smallest measure of gas turbulence and is considered to be a measure for measuring the spatial frequency distribution of pressure and temperature fluctuations in the atmosphere. Now, if it is assumed that a large number of air masses of state quantities (P, T) are scattered in the space, a typical size of the air masses at this time is considered to be equal to the order of the internal scale.
【００２２】η≒ｌ・Ｒe -3/4 ・・・・(7) (7) 式中、ｌおよびＲe は、それぞれ考えている系の代
表長さおよびレイノルズ数を表す。[0022] During η ≒ l · R e -3/4 ···· (7) (7) formula, l and R e represents a characteristic length and Reynolds number of the system believes respectively.
【００２３】例えば、ｌ＝１ｍ，Ｒe ＝105 とすると、
ηは約0.18となる。ところで、波長の違いによるレーザ
ビームの光路差である偏差の最大値ρmaxは、下記(8)
式により近似される。For example, if l = 1 m and R e = 10 5 ,
η is about 0.18. By the way, the maximum value ρ max of the deviation that is the optical path difference of the laser beam due to the difference in wavelength is as follows (8)
It is approximated by the formula.
【００２４】 ρmax ＝Ｌ2 （ｄｎ1 ／ｄｚ−ｄｎ2 ／ｄｚ）／８ ・・・・(8) (8) 式中、Ｌは光路長を表す。上記(8) 式において、
（ｄｎ1 ／ｄｚ）が（ｎ1′／η）に、また（ｄｎ2 ／
ｄｚ）が（ｎ2′／η）にそれぞれ近似的に等しいこと
を利用すると、ρmax が求められる。Ρ max = L 2 (dn 1 / dz-dn 2 / dz) / 8 (8) (8) In the formula, L represents the optical path length. In the above equation (8),
(Dn 1 / dz) becomes (n 1 ′ / η), and (dn 2 /
Utilizing the fact that dz) is approximately equal to (n 2 ′ / η), respectively, ρ max is obtained.
【００２５】例えば、温度ゆらぎＴ′＝０．１とすると
（Ｌ＝１ｍに対して）、ρmax は約１μm となる。した
がって、レーザビームの偏差の最大値のオーダーと、測
定しようとする機械的変位のオーダーとが等しく、測定
精度を確保することができることが分かる。もし、偏差
が小さすぎれば、後述する(11)式の右辺の分母が小さく
なり、測定誤差の原因となり、逆に大きすぎると、機械
的変位の信号（Ｍ：後述する）が空気ゆらぎの信号（Ａ
・ε：後述する）に埋もれて、やはり測定誤差の原因と
なる。For example, if the temperature fluctuation T '= 0.1 (for L = 1 m), then ρ max will be about 1 μm. Therefore, it can be seen that the order of the maximum value of the deviation of the laser beam and the order of the mechanical displacement to be measured are equal, and the measurement accuracy can be ensured. If the deviation is too small, the denominator on the right side of equation (11), which will be described later, will be small, causing a measurement error. On the contrary, if it is too large, the mechanical displacement signal (M: described later) will be a signal of air fluctuation. (A
・ Ε: to be described later), which also causes measurement error.
【００２６】次に、空気のゆらぎを除去し得る演算方法
について説明する。すなわち、機械的変位に対する第１
四分割フォトダイオード２４と第２四分割フォトダイオ
ード２５との出力が同じになるように調節した後、空気
ゆらぎに対する各四分割フォトダイオード２４，２５の
出力感度（Ａ1 ，Ａ2 ）をあらかじめ測定しておく。Next, a calculation method capable of removing the fluctuation of air will be described. That is, the first for mechanical displacement
After adjusting the outputs of the four-divided photodiode 24 and the second four-divided photodiode 25 to be the same, the output sensitivity (A 1 , A 2 ) of each of the four-divided photodiodes 24, 25 to air fluctuation is measured in advance. I'll do it.
【００２７】そして、機械的変位による出力をＭ、各波
長に応じた空気ゆらぎに対する出力をＡ1・ε，Ａ1・εと
すると、各四分割フォトダイオード２４，２５の出力Ｓ
1 ，Ｓ2 は、下記(9) 式および(10)式で表される。When the output due to the mechanical displacement is M and the outputs for the air fluctuations corresponding to the respective wavelengths are A 1 .epsilon. And A 1 .epsilon., The outputs S of the four-divided photodiodes 24 and 25 are S.
1 and S 2 are represented by the following equations (9) and (10).
【００２８】Ｓ1 ＝Ｍ＋Ａ1・ε ・・・・(9) Ｓ2 ＝Ｍ＋Ａ2・ε ・・・・(10) 上記(9) 式および(10)式中、εは空気ゆらぎによるレー
ザビームのふらつきを表す。S 1 = M + A 1 · ε ··· (9) S 2 = M + A 2 · ε ··· (10) In the above equations (9) and (10), ε is a laser beam due to air fluctuations. Represents the wobble of.
【００２９】したがって、(9) 式および(10)式により、
機械的変位Ｍを求めると、下記(11)式のように表され、
εをキャンセルすることができる。 Ｍ＝（Ａ1・Ｓ1 −Ａ2・Ｓ2 ）／（Ａ1 −Ａ2 ） ・・・・(11) このように、空気ゆらぎに影響されることなく、直進移
動体の正確な機械的変位、すなわち移送軸の真直度を測
定することができる。Therefore, according to the equations (9) and (10),
When the mechanical displacement M is calculated, it is expressed as the following equation (11),
ε can be canceled. M = (A 1 · S 1 −A 2 · S 2 ) / (A 1 −A 2 ) ... (11) As described above, an accurate machine for a straight moving body without being affected by air fluctuations. Displacement, that is, the straightness of the transfer axis can be measured.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上のように本発明の構成によると、波
長の異なる２本のレーザビームを使用して、それぞれの
レーザビームの位置を受光素子により検出するととも
に、これら両レーザビームの検出された出力に、あらか
じめ求められている各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度を考慮した演算を施すことにより、空気ゆらぎ
による影響を除去した受光部の機械的変位を求めること
ができ、したがってレーザビームを使用して、受光部を
取り付けた移動体を案内する被測定物の真直度の測定を
行う場合、通常の室内すなわち空気中においても正確な
測定を行うことができる。As described above, according to the structure of the present invention, the position of each laser beam is detected by the light receiving element by using two laser beams having different wavelengths, and both laser beams are detected. The output of the laser beam can be calculated by taking into account the output sensitivity to air fluctuations corresponding to each wavelength that has been obtained in advance, and the mechanical displacement of the light receiving part can be obtained without the effects of air fluctuations. When the straightness of the object to be measured which guides the moving body to which the light receiving section is attached is measured by using, the accurate measurement can be performed even in a normal room, that is, in the air.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の一実施例における真直度測定装置の概
略構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a straightness measuring device according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例における真直度測定装置の受光部の具
体的構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a specific configuration of a light receiving section of the straightness measuring device in the embodiment.
１ 発光部 ２ 受光部 ３ 演算部 １１ 第１レーザ発振器 １２ 第２レーザ発振器 １３ 第１ビームスプリッタ ２１ 第２ビームスプリッタ ２２ 干渉フィルター ２３ 干渉フィルター ２４ 第１四分割フィルター ２５ 第２四分割フィルター REFERENCE SIGNS LIST 1 light emitting unit 2 light receiving unit 3 arithmetic unit 11 first laser oscillator 12 second laser oscillator 13 first beam splitter 21 second beam splitter 22 interference filter 23 interference filter 24 first four-division filter 25 second four-division filter
Claims (2)
で１本のレーザビームとなし、このレーザビームを、被
測定物を案内する移動体に取り付けられた受光部の分光
器で２本のレーザビームに分割し、この２本のレーザビ
ームを、それぞれフィルターを通過させて元の波長成分
のレーザビームを取り出し、これら取り出された２本の
レーザビームの中心位置をそれぞれ受光素子にて検出
し、これら各受光素子からの出力およびあらかじめ求め
られた各波長に応じた空気ゆらぎに対する出力感度を使
用して、空気ゆらぎによるレーザビームのふらつきを除
去することにより、受光部の機械的変位を求めて被測定
物の真直度を測定することを特徴とする真直度測定方
法。Claim: What is claimed is: 1. A mixer mixes two laser beams having different wavelengths into one laser beam, and two laser beams are combined by a spectroscope of a light receiving section attached to a moving body for guiding an object to be measured. The laser beams of the original wavelength components are extracted by passing these two laser beams through the filters, and the center positions of the two extracted laser beams are detected by the light receiving element. However, by using the output from each of these light-receiving elements and the output sensitivity to air fluctuations corresponding to each wavelength that was obtained in advance, the fluctuation of the laser beam due to air fluctuations can be eliminated to obtain the mechanical displacement of the light-receiving part. A straightness measuring method, which comprises measuring the straightness of an object to be measured.
する２個のレーザ発振器と、これら各レーザ発振器から
発射されたレーザビームを混合する混合器とを有する発
光部、および上記混合器により混合されたレーザビーム
を２つに分割する分光器と、この分割された各レーザビ
ームからそれぞれ元の波長成分を取り出す２個のフィル
ターと、これら各フィルターを通過したレーザビームの
中心位置をそれぞれ検出する２個の受光素子とを有する
受光部、並びに上記両受光素子から得られた出力とあら
かじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する出
力感度とを使用することにより、空気ゆらぎを除去して
受光部の機械的変位を演算する演算部とを具備したこと
を特徴とする真直度測定装置。2. A light emitting section having two laser oscillators for respectively emitting laser beams having different wavelengths, and a mixer for mixing the laser beams emitted from the respective laser oscillators, and a mixer for mixing the laser beams. A spectroscope that splits the laser beam into two, two filters that extract the original wavelength component from each of the split laser beams, and two filters that detect the center position of the laser beam that has passed through these filters By using the output obtained from both the light receiving elements and the output sensitivity to the air fluctuation corresponding to each wavelength obtained in advance and the light receiving section having the light receiving element of A straightness measuring device comprising: a calculation unit that calculates a mechanical displacement.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25397491A JPH0593616A (en) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | Method and apparatus for measuring straightness |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25397491A JPH0593616A (en) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | Method and apparatus for measuring straightness |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0593616A true JPH0593616A (en) | 1993-04-16 |
Family
ID=17258519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25397491A Pending JPH0593616A (en) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | Method and apparatus for measuring straightness |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0593616A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111193495A (en) * | 2019-12-12 | 2020-05-22 | 浙江工业大学 | Filtering processing method for workpiece alignment data |
| KR20210112298A (en) * | 2018-10-12 | 2021-09-14 | 일렉트릭 파워 리서치 인스티튜트, 인크. | Method for Measuring Surface Properties in Optically Distorting Media |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04326005A (en) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Res Dev Corp Of Japan | Straightness measuring apparatus |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP25397491A patent/JPH0593616A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04326005A (en) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Res Dev Corp Of Japan | Straightness measuring apparatus |
Cited By (5)
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| KR20210112298A (en) * | 2018-10-12 | 2021-09-14 | 일렉트릭 파워 리서치 인스티튜트, 인크. | Method for Measuring Surface Properties in Optically Distorting Media |
| JP2022509732A (en) * | 2018-10-12 | 2022-01-24 | エレクトリック パワー リサーチ インスチテュート インコーポレイテッド | How to measure surface properties in an optically distorted medium |
| US11788834B2 (en) | 2018-10-12 | 2023-10-17 | Electric Power Research Institute, Inc. | Method for measuring surface characteristics in optically distorting media |
| CN111193495A (en) * | 2019-12-12 | 2020-05-22 | 浙江工业大学 | Filtering processing method for workpiece alignment data |
| CN111193495B (en) * | 2019-12-12 | 2023-06-02 | 浙江工业大学 | Filtering processing method for workpiece straightening data |
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