JPH0590384A - Cassette chamber - Google Patents

Cassette chamber

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JPH0590384A
JPH0590384A JP24984991A JP24984991A JPH0590384A JP H0590384 A JPH0590384 A JP H0590384A JP 24984991 A JP24984991 A JP 24984991A JP 24984991 A JP24984991 A JP 24984991A JP H0590384 A JPH0590384 A JP H0590384A
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cassette
table
chamber
door
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JP24984991A
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Japanese (ja)
Inventor
Kiyotaka Akiyama
清隆 秋山
Original Assignee
Tokyo Electron Yamanashi Kk
東京エレクトロン山梨株式会社
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Abstract

PURPOSE:To improve operability, safety and certainty of a cassette conveying operation into a cassette chamber. CONSTITUTION:Rails 10 to be engaged with a roller 81 provided on a table 8 for placing a cassette 4 are provided on a door 53 of a cassette chamber. The rails 10 are formed similarly to the rails of a movable base 91 provided in the chamber. After the cassette 4 is placed on the table 8 placed on the rails 10 of the door 53, the table 8 is moved along the rails 10, and conveyed onto the rails of the base 91. In this case, the table 8 is secured to a predetermined position of the chamber by positioning means, and the cassette 4 is secured to a predetermined position on the table 8 by a link provided on the table 8. Further, fly-out of a board having no cassette 4 from the front surface of the cassette 4 is prevented by a stopper 15.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】この発明は、被処理体を処理工程に搬送するために被処理体を収納したカセットを収納するカセットチャンバに関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION This invention relates to a cassette chamber for accommodating a cassette housing a workpiece to carry the process to be processed.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来より半導体ウェハ、LCD用ガラス基板等の被処理体を枚葉処理する場合に、被処理体を収納したカセットをカセットチャンバの昇降手段に載置し、カセットを上下動させるとともに搬送機構によりカセット内の被処理体を1枚づつ取り出し処理工程に搬送することが行なわれている。 Conventionally a semiconductor wafer, in the case of single wafer processing an object to be processed such as a glass substrate for LCD, a cassette housing a workpiece placed on the lifting means of the cassette chamber, vertically moving the cassette conveying the object to be processed in the cassette one by one taken out process is being performed by the transport mechanism in conjunction with.

【0003】このようなカセットチャンバ100は、例えば図7に示すような真空処理装置の場合、ロードロック室101を介して例えばプラズマ処理装置等の真空処理室102に連結されており、カセットチャンバ100 Such a cassette chamber 100, for example, in the case of the vacuum processing apparatus shown in FIG. 7, are connected to the vacuum processing chamber 102 through the load lock chamber 101, for example, a plasma processing apparatus or the like, a cassette chamber 100
とロードロック室101及びロードロック室101と処理室102との間にはそれぞれゲートバルブ103が設けられ、ゲートバルブ103を閉じた状態でチャンバの開口100aを介して被処理体104の受渡が行なわれる。 The gate valve 103 are respectively provided between the load lock chamber 101 and the load lock chamber 101 and the processing chamber 102, the delivery of the object 104 is carried out in the closed state of the gate valve 103 through the aperture 100a of the chamber It is. ロードロック室101には、被処理体104を保持する搬送アーム105が回転可能に且つ水平方向に伸縮自在に設けられており、所定の搬送ラインに沿ってカセット106に収納された被処理体104をゲートバルブ103を開けた状態で一枚づつ取り出し、処理室102 The load lock chamber 101, and the transfer arm 105 for holding a workpiece 104 is provided freely telescopically and horizontally rotating the target object 104 stored in the cassette 106 along a predetermined conveying line was removed one by one in a state of opening the gate valve 103, the processing chamber 102
に搬送する。 To convey to. また、カセットチャンバ100には図8に示すようにカセット106を上下に移動させるための昇降機構107が備えられており、この昇降機構107によってカセット106が搬送ラインに対して上又は下に移動することにより、別の被処理体104が搬送アーム105により取り出されることができる。 Furthermore, the cassette chamber 100 and the cassette 106 lifting mechanism 107 for moving is provided vertically as shown in FIG. 8, the cassette 106 is moved up or down relative to the conveyor line by the elevating mechanism 107 it makes it possible to separate the target object 104 is taken out by the transfer arm 105.

【0004】ところで、このようなカセットチャンバ1 [0004] By the way, such cassette chamber 1
00にはカセット106を載せるためのテーブル108 00 table 108 for placing the cassette 106 to
が備えられている。 It is provided. このテーブル108は、昇降機構1 The table 108, the lifting mechanism 1
07の可動台109側縁部に設けられたレール109a Rails 109a provided on the movable base 109 side edge portion 07
に係合するローラ108aが取付けられており、このレール109aに案内されてテーブル109をチャンバ1 Rollers 108a to be engaged is attached to the chamber 1 a table 109 is guided by the rails 109a
00内に搬入するができる。 It can will be carried into the 00. 従って、チャンバ100にカセット106を入れるには、まずロードロック室10 Therefore, in the put cassette 106 into the chamber 100, first load lock chamber 10
1と間のバルブ103を閉じた状態でカセットチャンバの扉100aを開けて、被処理体104の収納されたカセット106をテーブル108に載せ、このテーブル1 Open the door 100a of the cassette chamber in a state of closing the valve 103 between 1 and, placing the cassette 106 accommodated in the workpiece 104 in the table 108, the table 1
08をローラ108aがチャンバ内の可動台109のレール109aに係合するように移動させ、しかる後にレール109aに沿って移動させてチャンバ100内に搬入していた。 08 are moved to the roller 108a is engaged with the rail 109a of the movable table 109 in the chamber, is moved along the rail 109a has been loaded into the chamber 100 thereafter.

【0005】 [0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えばLCD用ガラス基板を25枚収納するカセットチャンバの場合、全体の重さが20kg以上にもなるため、カセット106をテーブル108の定位置に載せることが非常に困難で、しかもカセット106をテーブル108に載せた後も、そのローラ108aがレール109aに係合するよう位置にテーブル108を移動させる作業が非常に困難であった。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, for example, in the case of a cassette chamber for accommodating 25 sheets of glass substrates for LCD, since the weight of the whole also becomes more 20 kg, can put the cassette 106 in place of the table 108 very difficult, yet even after placing the cassette 106 to the table 108, the operation of the roller 108a moves the table 108 in a position to engage the rail 109a has been very difficult. 更に、テーブル108をカセット1 Moreover, the cassette 1 to the table 108
06とともにレール109aに沿ってチャンバ100内に移動させた場合、移動の慣性によってカセット106 If along the rail 109a is moved into the chamber 100 with 06, the cassette 106 by the inertia of the moving
の前面から被処理体104が飛出し、カセット内の位置がずれる場合があった。 Workpiece 104 from the front of lurching, there are cases where the position of the cassette is deviated. そのため、チャンバ100内でカセット106下部から被処理体104の予備加熱等を行う場合に効果的に行えない、また搬送アーム105によって被処理体104を搬送する際に位置ずれを生じ、 Therefore, it not effectively performed when the preliminary heating or the like of the object 104 from the lower cassette 106 in the chamber 100, also misaligned in transporting the workpiece 104 by the transfer arm 105,
被処理体104の破損を招く等の問題があった。 There is a problem such as causing damage to the workpiece 104.

【0006】 [0006]

【目的】本発明はこのような従来の問題点を解決するためになされたもので、カセットをカセットチャンバ内の所定の位置に極めて容易且つ正確に搬入することができるカセットチャンバを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such conventional problems, to provide a cassette chamber which can be very easily and accurately load the cassette in a predetermined position in the cassette chamber for the purpose.

【0007】 [0007]

【課題を解決するための手段】このような目的を解決する本発明のカセットチャンバは、被処理体を収納したカセットを上下動可能に収納するカセットチャンバにおいて、カセットを搬入・搬出するドアとカセットを載置するテーブルとを備え、ドアはテーブルを案内する案内手段を備えたものであり、更にテーブルをカセットチャンバの所定位置に固定する位置決め手段を備えたものである。 SUMMARY OF THE INVENTION The cassette chamber of the present invention for solving the above object, in a cassette chamber for vertically movably receiving a cassette housing a processing object, doors and cassette loading and unloading the cassette and a table for mounting the door are those having a guiding means for guiding the table, those having a positioning means for further securing the table at a predetermined position in the cassette chamber. またテーブルは、カセットをテーブルの所定位置に固定するカセット固定手段を備えたものであり、カセットに収納された被処理体の飛出しを防止するストッパを備えものである。 The table, which includes a cassette fixing means for fixing the cassette at a predetermined position of the table, those comprising a stopper for preventing the jumping of the object to be processed contained in the cassette.

【0008】 [0008]

【作用】テーブルをドアの案内手段に載せ、案内手段に沿ってカセットチャンバ内へ移動させる。 [Action] put on the table to the guide means of the door, is moved into the cassette chamber along the guide means. テーブルはドアの案内手段とカセットチャンバ内の昇降機構に設けられた案内手段とに順次案内され、労力を要せず移動できる。 Table is sequentially guided to the guide means provided on the lifting mechanism in the guiding means and the cassette chamber door can be moved without requiring effort. 更にカセットチャンバ内でテーブルは位置決め手段によってカセットチャンバ内の所定の位置に位置決めされるとともに、カセットはカセット固定手段によりテーブル上の所定位置に固定される。 Furthermore with the table in the cassette chamber is positioned at a predetermined position in the cassette chamber by positioning means, the cassette is fixed to a predetermined position on the table by the cassette fixing means. またカセット内の被処理体はストッパによってカセットの前面から飛出すのを規制される。 The object to be processed in the cassette is restricted to flying out from the front of the cassette by the stopper.

【0009】 [0009]

【実施例】以下、本発明のカセットチャンバを真空処理装置に適用した実施例について図面を参照して説明する。 BRIEF DESCRIPTION cassette chamber of the present invention with reference to the drawings embodiment applied to a vacuum processing apparatus. 図1に示す真空処理装置1は、被処理体である例えばLCD用ガラス基板(以下、単に基板という)2を真空処理室3内で、エッチング、アッシンブ等のプラズマ処理、あるいはCVD処理、酸化処理等する装置で、主として、複数例えば25枚の基板2を収納したカセット4を収納するカセットチャンバ5と、カセットチャンバ5内の基板2を処理室3に搬送するとともに処理室3の真空を維持するためのロードロック室6と、基板2を真空内で処理するための真空処理室3とから成る。 The vacuum processing apparatus shown in FIG. 1 1 is a glass substrate (hereinafter, simply referred to as substrate) for which an LCD an object to be processed 2 in the vacuum processing chamber 3, etching, plasma treatment, etc. Asshinbu or CVD process, the oxidation process in the device equally, primarily, to maintain a cassette chamber 5 for accommodating the cassette 4 housing a plurality of, for example, 25 substrates 2, a vacuum processing chamber 3 conveys the substrate 2 in the cassette chamber 5 into the processing chamber 3 a load lock chamber 6 for, consisting of the vacuum processing chamber 3 which for processing a substrate 2 in a vacuum. ロードロック室6は処理室3の両側に配置され、各ロードロック室6、6'に未処理の基板を収納したカセットを収納するセンダとしてのカセットチャンバ5と、処理済みの基板を収納したカセットを収納するレシーバとしてのカセットチャンバ5'とが配置される。 The load lock chamber 6 are arranged on both sides of the processing chamber 3, cassette housing and a cassette chamber 5, the processed substrate as sender for accommodating a cassette housing a substrate unprocessed each load lock chambers 6 and 6 ' a cassette chamber 5 'as a receiver for accommodating are arranged. 図ではカセットチャンバ5、5'とロードロック室6、6'と真空処理室3が直線的に並列した配置を示したが、ロードロック室を中心として2つのカセットチャンバと2つの真空処理室が互に90゜をなすように配列したマルチ処理装置であってもよい。 In the drawing, illustrating the arrangement of a vacuum processing chamber 3 and the 'load lock chambers 6 and 6 and' the cassette chamber 5,5 has parallel linearly, two cassettes chambers and two vacuum processing chamber around the load lock chamber may be a multi-processing apparatus arranged to form the mutually 90 °.

【0010】以下、センダ側について説明する。 [0010] In the following, a description will be given of the sender side. カセットチャンバ5とロードロック室6との間及びロードロック室6と真空処理室3との間にはそれぞれゲートバルブ7が設けられ、各室を密閉する。 Each gate valve 7 between and between the load lock chamber 6 and the vacuum processing chamber 3 and the cassette chamber 5 and the load lock chamber 6 is provided to seal the chambers. ロードロック室6には、基板2を搬送するための搬送アーム6aが設けられており、この搬送アーム6aはアーム部が基板2を搬送するレベル(搬送レベル)にあって、支持軸を中心として回転可能であるとともにアーム部が水平方向に伸縮自在になっている。 The load lock chamber 6, the transfer arm 6a for conveying the substrate 2 is provided with, the transfer arm 6a In the level (transport level) arm transports the substrate 2, about the support shaft arm with a rotatable is in retractable horizontally. これにより搬送アーム6aはカセットチャンバ5の基板を真空処理室3に、また処理後の基板をカセットチャンバ5に搬送することができる。 Thus the transfer arm 6a can carry substrate cassette chamber 5 to the vacuum processing chamber 3, also the processed substrate into the cassette chamber 5.

【0011】カセットチャンバ5は、図2に示すように支持台51と、支持台51に固定された本体52と、カセット4を載置するテーブル8から成り、本体52にはカセット4を搬出入するために開閉可能な扉53及び扉53と対向する側にロードロック室6に通じる開口52 [0011] Cassette chamber 5, the support base 51 as shown in FIG. 2, a main body 52 fixed to the support base 51 consists of a table 8 for mounting the cassette 4, loading and unloading the cassette 4 in the main body 52 opening 52 leading to the load lock chamber 6 on the side facing the openable door 53 and door 53 to
aが設けられている。 a is provided. さらにカセットチャンバ5はカセット4を上下に移動させるための昇降機構9を有し、この昇降機構9はカセット4を載せたテーブル8を支持する可動台91と支持台51に設置された図示しない駆動機構によって可動台91を上下移動させる昇降アッセンブリ92とから成る。 Furthermore cassette chamber 5 has an elevating mechanism 9 for moving the cassette 4 in the vertical, the elevating mechanism 9 (not shown) provided with a movable base 91 which supports a table 8 which carries the cassettes 4 in the support base 51 driven comprising a movable table 91 from the vertical movement is allowed elevating assembly 92 by a mechanism. カセット4は昇降機構9が下方にある時に扉53から搬入される。 Cassette 4 is conveyed from the door 53 when the lifting mechanism 9 is below.

【0012】カセットチャンバ5の扉53と本体52との間には、図3(a)に示すようにガススプリング54 [0012] Between the door 53 and the body 52 of the cassette chamber 5, the gas spring 54 as shown in FIG. 3 (a)
等の開閉手段が設けられ、扉53が開いている時には扉53を閉じる方向に付勢力を付与し、これにより扉53 Closing means are provided equal to impart a biasing force in a direction to close the door 53 when the door 53 is opened, thereby the door 53
の重量に加えてカセット4の重量がかかった場合でもその重量に耐え、また扉53を容易に閉じることができるように構成されている。 Weight withstand the weight even if it takes the weight of the cassette 4 is added, and is also configured to allow the door 53 easily closed. なお本体52に連設して扉53 In addition to continuously to the body 52 door 53
を支えるための弾性体或いはエアクッション等から成るショックアブソーバ55が設けられている。 The elastic body or the shock absorber 55 made of air cushions for supporting provided. 扉53を開く場合にはガススプリング54の付勢力は扉53を開く方向に付与され比較的軽い力で開閉できるように構成されている。 The biasing force of the gas spring 54 is configured to be opened and closed with relatively light force is applied in the direction of opening the door 53 when opening the door 53. 図中53aは取手である。 Figure 53a is a handle.

【0013】更に扉53にはその内面にテーブル8を案内するための案内手段としてレール10が形成されている。 [0013] are even more doors 53 rail 10 as guide means for guiding the table 8 on the inner surface thereof formed. このレール10はテーブル8に設けられたローラ8 Roller 8 the rail 10 is provided on the table 8
1と係合する断面形状をしており、テーブル8は軽い力で押すだけでレール10上を移動することができる。 Has a cross-sectional shape of 1 engages, the table 8 can move the rail 10 up in the push of a small force. 図3(b)は、図3(a)のC−C断面図でレール10とローラ81の係合状態を示す。 Figure 3 (b) shows an engagement state of the rail 10 and the roller 81 in sectional view taken along line C-C in FIG. 3 (a). なお、案内手段はテーブル8側にレールを設け、扉53側にそのレールと係合する案内ローラを設けるなど、任意に変更することができる。 The guide means a rail is provided on the table 8 side, and provided with a guide roller which engages with the rail to the door 53 side, can be arbitrarily changed. 但しその場合は、昇降機構9に設けるテーブル案内機構を扉53の案内手段と同様の構成にすることが必要である。 However, if so, it is necessary to a table guide mechanism provided on the elevating mechanism 9 to the same configuration as the guide means of the door 53.

【0014】テーブル8の構成を図4を参照して説明する。 [0014] The structure of the table 8 will be described with reference to FIG. テーブル8は、図4に示すように両側下方に複数対(図では5対)のローラ82が枢着されており、このローラ81が上記扉53のレール10及び後述する可動台91のレール91aと係合し、テーブル8の移動を容易ならしめるとともに案内する。 Table 8 pairs on both sides downwards as shown in FIG. 4 are pivotally mounted the rollers 82 (5 pairs in the figure), the rails 91a of the movable table 91 that the roller 81 is rail 10 and below the door 53 engage the guides with it makes it easier to move the table 8. また、テーブル8の先端にはテーブル8を可動台91上で位置決めするための位置決め手段として位置決めローラ82が取付けられており、テーブル8の搬入移動によってこの位置決めローラ82が可動台91側の位置決め手段に嵌合することにより、テーブル8が位置決めされる。 Further, the tip of the table 8 are positioning rollers 82 are mounted as a positioning means for positioning the table 8 on the movable platform 91, the positioning roller 82 is positioning means for the movable platform 91 side by the carrying movement of the table 8 by fitting to the table 8 it is positioned. 位置決めの動作については後述する。 Will be described later, the operation of positioning.

【0015】更にテーブル8は端部に複数の突部83が形成されており、カセット4がテーブル8の略中央に載置されるようにする。 Furthermore table 8 has a plurality of projections 83 are formed on the end portion, the cassette 4 is to be placed substantially at the center of the table 8. テーブル8の後方一端にある突部83aの近傍には、カセット4をテーブル8上の所定の位置に固定する固定手段として「くの字状」のリンク部材11が設けられている。 In the vicinity of the projection 83a at the back end of the table 8, the link member 11 of the "dogleg shape" it is provided as a fixing means for fixing the cassette 4 to a predetermined position on the table 8. リンク部材11はテーブル8 Link member 11 table 8
端部に固定ピン11aによって回動自在に固定され、さらに固定ピン11aに巻回された図示しないコイルバネによってテーブル8上のカセット4から離反する方向(図中、矢印方向)に付勢されている。 Fixed rotatably to the end by a fixing pin 11a, and is urged further (in the figure, the arrow direction) direction away from the cassette 4 on the table 8 by the wound not shown coil spring fixing pin 11a to . またリンク部材11には可動台91に設けられたカム12と係合するフォロワ13が固定され、テーブル8がカセットチャンバ5内に進行する際、このフォロワ13がカム12と係合し、これによってリンク部材11をコイルバネの付勢力に抗してカセット4を押圧する方向に駆動する。 The follower 13 which engages a cam 12 provided on the movable base 91 is fixed to the link member 11, when the table 8 travels in the cassette chamber 5, the follower 13 engages the cam 12, thereby driving the link member 11 in a direction for pressing the cassette 4 against the biasing force of the coil spring. カセット4はリンク部材11に押圧されることにより、テーブル8の突部83aと対角線側にある突部83b、83c By cassette 4 to be pressed against the link member 11, projection 83a and the projection 83b located on the diagonal side of the table 8, 83c
側に押しつけられ固定される。 It is pressed against the side fixed.

【0016】次に可動台91の構成を図5を参照して説明する。 [0016] now be described with reference to FIG. 5 the configuration of the movable base 91. 可動台91の側面には昇降機構9側の案内手段として既に述べたようにテーブル8のローラ81が係合するレール91aが形成されており、搬入されるテーブル8を案内する。 The side surface of the movable table 91 and rollers 81 of the table 8 as already mentioned as a guide means for the lifting mechanism 9 side is formed rail 91a for engaging and guiding the table 8 to be carried. 図5(b)にレール91aとローラ8 Rails 91a in FIG. 5 (b) and the roller 8
1の係合状態を示す。 Shows an engagement state. また可動台91にはテーブル8の可動台91上の位置を決める位置決め手段として位置決め片14が例えばその先端中央部に設けられている(図5(a)、(b))。 Further and in the movable base 91 provided on the positioning piece 14, for example, its central end part as a positioning means for determining the position on the movable table 91 of the table 8 (FIG. 5 (a), (b)). この位置決め片14は図示しないスプリングによって上方に付勢されており、テーブル8 The positioning piece 14 is urged upward by a spring (not shown), Table 8
先端に設けられた位置決めローラ82と協働してテーブル8の可動台91上の位置を決める。 It cooperates with the positioning rollers 82 provided on the tip determining the position on the movable table 91 of the table 8. 即ち位置決め片1 That positioning pieces 1
4は、テーブル8先端のローラ82が係合する凹部14 4, table 8 tips of rollers 82 engaging recesses 14
aを有し、通常はスプリングによって上方に付勢され可動台91上面から突出しているが、搬入されてきたテーブル8のローラ82によって押されて、ローラ82が凹部14aに嵌合するとその付勢力によりテーブル8の搬入を規制して位置決めする。 Has a, normally protrudes from a movable base 91 upper surface is biased upward by a spring, it is pressed by the rollers 82 of the table 8 which has been carried, the biasing force when the roller 82 is fitted in the recess 14a It is positioned to regulate the loading of the table 8 by.

【0017】更に可動台91には、テーブル8上のカセット4の位置を固定するための固定手段としてカム12 Furthermore the movable table 91, the cam 12 as a fixing means for fixing the position of the cassette 4 on the table 8
が設けられている。 It is provided. このカム12はチャンバ5の扉53 Door 53 of the cam 12 is chamber 5
側に向って傾斜するカム面12aが形成されており、テーブル8の搬入に伴ってこのカム面12aにテーブル8 Cam surface 12a inclined toward the side are formed, the table with the loading of the table 8 in the cam face 12a 8
側の固定手段である「くの字状」のリンク部材11のフォロワ13が当接することにより、前述のようにリンク部材11が駆動されカセット4の位置を固定する。 By follower 13 of the link member 11 of a fastening means of the side "dogleg shape" abut, fixing the position of the cassette 4 link member 11 is driven as described above.

【0018】上述のようにカセット4がチャンバ5内に位置決め、固定される際に、カセット4に収納された基板2の飛出し防止、例えば前面位置を規制するためのストッパ15がカセットチャンバ本体52のロードロック室6に近い部分に設けられている。 [0018] positioned in the cassette 4 in the chamber 5 as described above, when it is fixed, preventing jumping of the substrate 2 contained in the cassette 4, for example, a stopper 15 for regulating the front position the cassette chamber body 52 It is provided in a portion close to the load lock chamber 6. このストッパ15は図6に示すように軸15aと軸15aに固定された板状の部材15bとから成り、支持台51に設けられた図示しない駆動機構によって軸15aが略90゜回転することにより回動する。 The stopper 15 is composed of a plate-like member 15b which is fixed to the shaft 15a and the shaft 15a, as shown in FIG. 6, by the shaft 15a is rotated approximately 90 ° by a drive mechanism (not shown) provided in the support base 51 to rotate. これによりカセット搬入時(図6 As a result when the cassette loading (Fig. 6
(b))には板状の部材15bの先端がカセット4前面に対向して基板2のストッパとして機能し、またカセット4が昇降機構8によって上下動する際には回動して板状の部材15bの面がカセット4前面と平行になり(図6(a))、カセット4から退避することができる。 (B) plate-like in) the tip of the member 15b functions as a stopper of the substrate 2 to face the cassette 4 front, also when the cassette 4 is vertically moved by the elevating mechanism 8 plate-shaped and pivoting surface of the member 15b are parallel to the cassette 4 front (FIG. 6 (a)), can be retracted from the cassette 4.
尚、ストッパ15はカセット4が搬入される本体52の下方にあるので、カセット4から基板2を取りだす際には邪魔になることはない。 The stopper 15 since the lower body 52 in which the cassette 4 is carried, does not get in the way of the cassette 4 when taking out the substrate 2.

【0019】以上のような構成における真空処理装置の動作を説明する。 [0019] illustrating the operation of the vacuum processing apparatus in the above-described configuration. まず、カセットチャンバ5とロードロック室6との間のゲートバルブ7を閉じ、扉53を開けて、扉53のレール10にテーブル8を載置する。 First, close the gate valve 7 between the cassette chamber 5 and the load lock chamber 6, open the door 53, places the table 8 to the rail 10 of the door 53. これによりテーブル8のローラ81がレール10に係合する。 Thus the roller 81 of the table 8 is engaged with the rail 10. 次いで人力により或いはロボット等により基板2を複数枚収納したカセット4をテーブル8上に載置し、カセット4の載ったテーブル8をレール10に沿って移動させる。 Then placed manually or by a cassette 4 in which the substrate 2 and a plurality accommodated by a robot or the like on the table 8 is moved along the table 8 rests of the cassette 4 to the rail 10. テーブル8のローラ81の前側のものは扉53 Those of the front rollers 81 of the table 8 doors 53
のレール10が終ると当然レール10から外れるが、後続のローラ81がレール10に係合しているのでそのまま移動させることができ、後続のローラ81がレール1 While out of the rail 10 ends the course rails 10, since the subsequent roller 81 is engaged with the rail 10 can be moved as it is, the subsequent roller 81 rail 1
0から外れる前にテーブル8はチャンバ本体51内に入り、今度は前側のローラ81が可動台9のレール9aに係合するので、容易にチャンバ内に搬入することができる。 Table 8 Before departing from 0 enters the chamber body 51, in turn, since the front side of the roller 81 is engaged with the rail 9a of the movable stand 9, can be easily loaded into the chamber.

【0020】更にテーブル8が進行するとテーブル8に設けられた「くの字状」のリンク部材11のフォロワ1 The follower first link member 11 of the further table 8 is provided on the table 8 when traveling "dogleg shape"
3が、可動台9のカム12のカム面12aに当接し(図4(b))、さらに進行するとカム面12aの傾斜に沿ってリンク部材11がカセット4を押圧する方向に移動させる(図4(a))。 3 comes into contact with the cam surface 12a of the cam 12 of the carriage 9 (FIG. 4 (b)), thereby further proceeds to move in the direction the link member 11 along the inclined cam surface 12a presses the cassette 4 (FIG. 4 (a)). このようにリンク部材11が駆動されカセット4をテーブル8の突部83b、83cに押しつけ、その位置を固定する。 Thus pressing the link member 11 the cassette 4 is driven projection 83b of the table 8, to 83c, to fix the position. 同時にテーブル8の位置決めローラ82は可動台9の位置決め片14の凹部1 Recess 1 at the same time positioning rollers 82 of the table 8 of the positioning piece 14 of the movable table 9
4aに嵌合し、テーブル8が位置決めされる。 Fitted in 4a, the table 8 is positioned.

【0021】この時点で、ストッパ15は板状の部材1 [0021] At this point, the stopper 15 is a plate-like member 1
5bの先端がカセット4前面に対向する位置に回動しており、基板2がカセット4前面から飛出すのを規制する。 Tip of 5b has rotated to a position opposed to the cassette 4 front substrate 2 regulates the jumping out from the cassette 4 front. これにより、テーブル8、カセット4及び基板2がそれぞれ所定の位置に位置決め固定される。 Thus, the table 8, the cassette 4 and the substrate 2 are respectively positioned and fixed in place. しかる後に扉53を閉じ、昇降機構8によってカセット4を上昇させ、ロードロック室6との間のゲートバルブ7を開ける前或いは開けた後、必要に応じカセット4下方から最下部の基板2を接触センサ或いは加熱板によりセンス及び/又は予備加熱する。 Close the door 53 thereafter raises the cassette 4 by the lifting mechanism 8, the contact after before or opened opening the gate valve 7, the bottom of the cassette 4 below as needed substrate 2 between the load lock chamber 6 sensing and / or pre-heated by the sensor or heating plates. しかる後に、ロードロック室6の搬送アーム6aにより基板2をカセット4下方から取り出し、処理室3に搬送する。 Thereafter, the substrate is taken out 2 from the cassette 4 downward by the transfer arm 6a of the load lock chamber 6, it is transported to the processing chamber 3. 基板2が取り出されるとカセット4は1段下がり、2番目の基板2が搬送アーム6 When the substrate 2 is taken out the cassette 4 is lowered one step, the second substrate 2 carrying arm 6
aにより取り出されることができる。 It can be taken out by a. 以下、同様にして順次基板2が取り出される。 Hereinafter, sequentially a substrate 2 is taken out in the same manner. この際、基板2は所定の位置にあるので、搬送アーム6aは確実に保持し搬送することができる。 At this time, since the substrate 2 in a predetermined position, the transfer arm 6a can be securely held by the transport. なお処理後の基板2は同様にロードロック室6'の搬送アーム6aにより搬送されレシーバ側のカセットチャンバ5'にあるカセット内に納められるが、全ての処理終了後カセットをカセットチャンバ5' Although the substrate 2 after treatment is housed in a cassette in a 'to the cassette chamber 5 at the receiver conveyed by the conveying arm 6a of' Similarly load lock chamber 6, all of the processing after completion cassette cassette chamber 5 '
から運び出す場合にも、扉53のレールに沿ってカセットが載置されるテーブルを移動することができるので、 If the carry away from the well, it is possible to move the table cassette is mounted along the rail of the door 53,
容易に作業することができる。 It is possible to work easily.

【0022】 [0022]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発明のカセットチャンバによれば、カセットチャンバの扉にカセットを案内する案内手段を設けたので、カセットのチャンバ内への搬入、搬出が非常に容易となり作業性が向上する。 As is clear from the foregoing description, according to the cassette chamber of the present invention, since there is provided a guide means for guiding the cassette door of the cassette chamber, carried into the chamber of the cassette, unloading is very easy and will work is improved. また、カセット及びカセットを載置するテーブルがチャンバ内の所定位置に固定されるので、搬送アームによる搬送を安全且つ確実にすることができる。 Further, since the table for placing a cassette and the cassette is fixed in place in the chamber, it is possible to safely and reliably transport by the transport arm.
また、カセットに収納された被処理体の飛出しがストッパにより防止されるので、搬送を安全且つ確実に行なうことができる。 Further, since the jump-out of the workpiece stored in the cassette is prevented by the stopper, it is possible to perform the conveyance safely and reliably.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明のカセットチャンバが適用される真空処理装置の1実施例を示す図。 It shows an embodiment of a vacuum processing apparatus [1] cassette chamber of the present invention is applied.

【図2】本発明のカセットチャンバの1実施例を示す側面図。 Side view of one embodiment of cassette chamber of the invention; FIG.

【図3】図2のカセットチャンバの要部を示す図で、 [Figure 3] a diagram showing a main part of the cassette chamber of Figure 2,
(a)は扉の側面図、(b)は(a)のC−C断面図。 (A) is a side view of the door, C-C sectional view of (b) is (a).

【図4】図2のカセットチャンバのテーブルの移動状態を示す上面図。 Figure 4 is a top view showing the moving state of the table of the cassette chamber of FIG.

【図5】図2のカセットチャンバの可動台を示す図で、 [5] a view showing a movable table of the cassette chamber of Figure 2,
(a)は上面図、(b)は(a)のA−A断面図、 (A) is a top view, A-A sectional view of (b) is (a),
(c)は(a)のB−B断面図。 (C) the B-B cross-sectional view of (a).

【図6】図2のカセットチャンバのストッパを示す図で、(a)はカセットの正面から見た図、(b)はカセットの側面から見た図。 [6] a view showing a stopper of the cassette chamber in FIG. 2, (a) Front View of the cassette, (b) is a view seen from the side of the cassette.

【図7】従来の真空処理装置を示す図。 7 is a diagram showing a conventional vacuum processing apparatus.

【図8】従来のカセットチャンバを示す図。 8 shows a conventional cassette chamber.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

2・・・・・・基板(被処理体) 4・・・・・・カセット 5・・・・・・カセットチャンバ 53・・・・・・扉(ドア) 8・・・・・・テーブル 82・・・・・・ローラ(位置決め手段) 9・・・・・・昇降機構 91・・・・・・可動台 10・・・・・・レール(案内手段) 11・・・・・・リンク部材(カセット固定手段) 12・・・・・・カム(カセット固定手段) 14・・・・・・位置決め片(位置決め手段) 15・・・・・・ストッパ 2 ...... base material (workpiece) 4 ...... cassette 5 ...... cassette chamber 53 ...... door (door) 8 ...... Table 82 ...... rollers (positioning means) 9 ...... elevating mechanism 91 ...... carriage 10 ...... rail (guide means) 11 ... ... link member (cassette fixing means) 12 ...... cam (cassette fixing means) 14 ...... positioning piece (positioning means) 15 ... ... stopper

Claims (4)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】被処理体を収納したカセットを上下動可能に収納するカセットチャンバにおいて、前記カセットを搬入・搬出するドアと前記カセットを載置するテーブルとを備え、前記ドアは前記テーブルを案内する案内手段を備えたことを特徴とするカセットチャンバ。 1. A cassette chamber for accommodating a cassette housing a workpiece to be movable up and down, and a table for mounting the door and the cassette loading and unloading the cassette, the door guiding the table cassette chamber, characterized in that it comprises a guiding means for.
  2. 【請求項2】前記テーブルを前記カセットチャンバの所定位置に固定する位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項1記載のカセットチャンバ。 2. A cassette chamber according to claim 1, further comprising a positioning means for fixing the table at a predetermined position of the cassette chamber.
  3. 【請求項3】前記テーブルは、前記カセットを前記テーブルの所定位置に固定するカセット固定手段を備えたことを特徴とする請求項1記載のカセットチャンバ。 Wherein the table is a cassette chamber according to claim 1, further comprising a cassette fixing means for fixing said cassette at a predetermined position of the table.
  4. 【請求項4】前記カセットに収納された前記被処理体の飛出しを防止するストッパを備えたことを特徴とする請求項1記載のカセットチャンバ。 4. A cassette chamber according to claim 1, further comprising a stopper for preventing the jumping of the object to be processed accommodated in the cassette.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5525024A (en) * 1994-08-17 1996-06-11 Applied Materials, Inc. Cassette loader having compound translational motion
US5538385A (en) * 1994-06-24 1996-07-23 Kensington Laboratories, Inc. Specimen carrier holder and method of operating it
JP2003536247A (en) * 2000-06-06 2003-12-02 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド Material conveying system

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5538385A (en) * 1994-06-24 1996-07-23 Kensington Laboratories, Inc. Specimen carrier holder and method of operating it
US5697759A (en) * 1994-06-24 1997-12-16 Kensington Laboratories, Inc. Method of orienting a specimen carrier holder in an automated specimen processing system
US5525024A (en) * 1994-08-17 1996-06-11 Applied Materials, Inc. Cassette loader having compound translational motion
JP2003536247A (en) * 2000-06-06 2003-12-02 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド Material conveying system
JP4729237B2 (en) * 2000-06-06 2011-07-20 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド Material handling system to process, carried port module

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