JPH0584818U - Optical scale - Google Patents
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- JPH0584818U JPH0584818U JP1768893U JP1768893U JPH0584818U JP H0584818 U JPH0584818 U JP H0584818U JP 1768893 U JP1768893 U JP 1768893U JP 1768893 U JP1768893 U JP 1768893U JP H0584818 U JPH0584818 U JP H0584818U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 取り付け精度が高く、環境が変化しても性能
の低下が非常に少ない光学式スケールを提供する。
【構成】 入射する光線に対し、その入射角が臨界角以
上に設定された傾斜面からなる光非透過部と光透過部と
を交互に形成した標識部と、該標識部を非検物に取り付
ける為のフランジ部とを一体に成形し、且つ前記フラン
ジ部及び標識部が前記光学スケールの他の領域より厚く
なるよう構成する。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide an optical scale with high mounting accuracy and with very little deterioration in performance even when the environment changes. [Structure] For an incident light ray, a marker portion in which a light non-transmissive portion and a light transmissive portion, which are inclined surfaces whose incident angle is set to a critical angle or more, are alternately formed, and the marker portion is made to be a non-inspection object A flange portion for mounting is integrally molded, and the flange portion and the marking portion are thicker than other regions of the optical scale.
Description
【０００１】[0001]
本考案は光学式スケールに関し、特に光学式エンコーダ等に用いるのに適した 光学式スケールに関する。 The present invention relates to an optical scale, and more particularly to an optical scale suitable for use in an optical encoder or the like.
【０００２】[0002]
従来、電子タイプライター等の情報機器において、キャリッジ等の可動部の位 置・速度を検出する為に、光学式エンコーダが多く用いられてきた。このような 光学式エンコーダは、通常可動部に固定され、光学式符号が記録された光学式ス ケールに光を投射し、変調された光を光電変換することによって前記可動部の位 置情報を符号化された電気信号として取り出すように構成されていた。そして、 光学式スケールとしては、 （Ｉ）金属板にエッチングによりスリットを加工したもの （ＩＩ）ガラス，プラスチック等の透明基板上に銀，銅，クロム，アルミニウム 等の金属を蒸着し、金属層のみをエッチングによってスリット状に削除したもの 等が用いられていた。 Conventionally, in information devices such as electronic typewriters, optical encoders have often been used to detect the position and speed of moving parts such as carriages. Such an optical encoder is usually fixed to a movable part, projects light on an optical scale in which an optical code is recorded, and photoelectrically converts the modulated light to obtain position information of the movable part. It was configured to be extracted as an encoded electrical signal. As the optical scale, (I) a metal plate having slits processed by etching (II) a metal such as silver, copper, chromium or aluminum is vapor-deposited on a transparent substrate such as glass or plastic, and only the metal layer is formed. It was used that was cut into a slit shape by etching.
【０００３】 しかし、これらはエッチング可能なスリット幅が金属の厚みの２倍以上に制限 され、微細な符号を記録することが困難であった。また、製作工程が複雑で、し かもエッチングに高価な感光性樹脂を用いる為、コスト高になるといった欠点が あった。However, the width of the slits that can be etched is limited to at least twice the thickness of the metal, making it difficult to record a fine code. Moreover, the manufacturing process is complicated, and the cost is high because an expensive photosensitive resin is used for etching.
【０００４】 また、従来の光学式スケールは、図５に示すような方法で被検物に取り付けら れていた。図５は従来の光学式スケールを用いて光学式エンコーダを構成した例 を示し、２１は光源、２２は金属板をエッチングすることによって標識部を形成 した従来の光学式スケール、３０はコリメータレンズ、２３は金属板をエッチン グすることにより製作した固定光学格子、２４は受光素子、２５は波形整形回路 であり、受光素子２４からの信号を波形整形して図のＳに示したような信号波形 に整形するものである。２６はエンコーダにより位置検出をされるべき回転軸、 ２７は光学式スケール２１を軸２６に取り付けるために軸２６に接着されている 取付板、２８は光学式スケール２１を取付板２７に固定する際の押え板であり、 ２９はその際に用いられるネジである。光源２１，光学格子２３，受光素子２４ はプラスチックや金属からなるケース（図示せず）に固定され、またケースは回 転軸２６にベアリング等を介して位置決められている。Further, the conventional optical scale is attached to the test object by the method shown in FIG. FIG. 5 shows an example in which an optical encoder is constructed by using a conventional optical scale, 21 is a light source, 22 is a conventional optical scale in which a marker is formed by etching a metal plate, 30 is a collimator lens, Reference numeral 23 is a fixed optical grating manufactured by etching a metal plate, 24 is a light receiving element, and 25 is a waveform shaping circuit. The signal from the light receiving element 24 is shaped into a signal waveform as shown in S in the figure. Is to be shaped into. Reference numeral 26 is a rotary shaft whose position is to be detected by an encoder, 27 is a mounting plate adhered to the shaft 26 for mounting the optical scale 21 on the shaft 26, and 28 is a plate for fixing the optical scale 21 to the mounting plate 27. Is a holding plate of No. 29, and 29 is a screw used at that time. The light source 21, the optical grating 23, and the light receiving element 24 are fixed to a case (not shown) made of plastic or metal, and the case is positioned on the rotating shaft 26 via a bearing or the like.
【０００５】[0005]
光学式スケール２２と固定光学格子２３との隙間は光学式エンコーダの性能に 大きく影響を与えるため微少であり、かつ、光学式スケール２２は隙間を変化さ せることなく回転しなければならない。このためには、取付板２７等に高い部品 精度，接着精度が要求され、また作業工程が複雑であった。 The gap between the optical scale 22 and the fixed optical grating 23 is very small because it greatly affects the performance of the optical encoder, and the optical scale 22 must rotate without changing the gap. For this purpose, the mounting plate 27 and the like are required to have high component accuracy and adhesion accuracy, and the work process is complicated.
【０００６】 一方、安価、簡単に作製出来る新規な構造の光学式スケールが、本出願人によ って特願昭５８−２５０５５１号で提案されている。On the other hand, an optical scale having a novel structure which is inexpensive and can be easily manufactured has been proposed by the present applicant in Japanese Patent Application No. 58-250551.
【０００７】[0007]
本考案は、前述の本出願人による先願の更なる改良であり、その目的は、簡単 な組立工程で被検物に高精度に取り付けることが出来る光学式スケールを提供す ることにある。 The present invention is a further improvement of the above-mentioned prior application by the present applicant, and an object thereof is to provide an optical scale that can be attached to an object to be inspected with high precision by a simple assembly process.
【０００８】 本考案の上記目的は、入射する光線に対しその入射角が臨界角以上に設定され た傾斜面からなる光非透過部と光透過部とを交互に形成した標識部と、該標識部 を非検物に取り付ける為のフランジ部とを一体に成形してなる測角用光学式スケ ールにおいて、前記フランジ部及び標識部が前記光学式スケールの他の領域より 厚いことを特徴とする測角用光学式スケールによって達成される。The above-mentioned object of the present invention is to provide a marker portion in which a light non-transmissive portion and a light transmissive portion, which are inclined surfaces and whose incident angle is set to a critical angle or more, are alternately formed with respect to an incident light ray, and the marker portion. In the optical scale for angle measurement, which is integrally formed with a flange portion for attaching the portion to the non-inspection, the flange portion and the marking portion are thicker than other areas of the optical scale. This is achieved by an optical scale for angle measurement.
【０００９】[0009]
以下、本考案の実施例を図面を用いて詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００１０】 図１は、本考案の光学式スケールを用いて光学式エンコーダを構成した例を示 す斜視図である。図において、１は光源、２はコリメータレンズ、３は本考案に 基づいたロータリー型の光学式スケールで、回転軸７に固定され、この駆動に伴 って回転する。またこの光学式スケール３には、光透過部と光非透過部とが交互 に形成された標識部８及びこの光学式スケールを回転軸に接合するフランジ部１ １が設けられている。４は透明部材から成る固定光学格子で、５は前記光学格子 ４を透過した光を電気信号に変換する受光素子、６は波形整形回路で、受光素子 ５からの信号を波形整形して図の右側にＳで示したような信号波形に整形するも のである。FIG. 1 is a perspective view showing an example in which an optical encoder is constructed using the optical scale of the present invention. In the figure, 1 is a light source, 2 is a collimator lens, 3 is a rotary type optical scale based on the present invention, which is fixed to a rotating shaft 7 and rotates in accordance with this driving. Further, the optical scale 3 is provided with a marking portion 8 in which light transmitting portions and light non-transmitting portions are alternately formed, and a flange portion 11 for joining the optical scale to a rotating shaft. Reference numeral 4 is a fixed optical grating made of a transparent member, 5 is a light receiving element for converting the light transmitted through the optical grating 4 into an electric signal, and 6 is a waveform shaping circuit, which shapes the signal from the light receiving element 5 by waveform shaping. The signal waveform is shaped as shown by S on the right side.
【００１１】 図２は、前記光学式スケール３の構成を示し、（Ａ）は下面から見た図、（Ｂ ）は（Ａ）のＡＡ′における略断面図である。光学式スケール３はガラス，プラ スチック等の透光性部材を用いて、凸状の標識部８とフランジ部１１とが一体に 且つ他の領域よりも厚く成形されて成る。またこの標識部８には、光透過部９と 光非透過部１０とが交互に規則正しく形成され、図１のように照射された光を変 調する。2A and 2B show the structure of the optical scale 3, FIG. 2A is a view seen from the bottom, and FIG. 2B is a schematic sectional view taken along the line AA ′ in FIG. The optical scale 3 is made of a translucent material such as glass or plastic, and is formed by integrally forming a convex marker portion 8 and a flange portion 11 and making them thicker than other regions. In addition, light transmitting portions 9 and light non-transmitting portions 10 are alternately and regularly formed on the marker portion 8 to modulate the emitted light as shown in FIG.
【００１２】 図３は、図２（Ａ）におけるＢＢ′の１部断面図である。前述の光透過部９は 、入射光Ｌ1に対し、その入射角が臨界角より小さな角度をなす、例えば９ａの ような平坦面から成る。また、光非透過部１０は、入射光Ｌ2に対し、その入射 角が臨界角以上の角度となるように傾斜している傾斜面１０ａ及び１０ｂから成 る。例えば、傾斜面１０ａと１０ｂのなす角度を９０°とし、傾斜面１０ａと１ ０ｂとを合わせた水平方向の幅Ｗ1（入射光の光軸に垂直な面への傾斜面の投影 像の幅を示す）と平坦面９ａ夫々の幅Ｗ2とを同一とする。すると、図から明ら かなように、傾斜面１０ａに入射した光は入射角が４５°となるので全反射され て直角に反射され、もう１つの他の傾斜面１０ｂに４５°の角度をなして入射し 、再び全反射されて直角に反射されてもとの入射側に戻る。又、傾斜部１０ｂに 入射した光についても上記と同様に入射側に戻る。ところが、平坦面９ａに入射 する光はそのまま透過してしまう。このことは平坦面のみがスリットの役割を果 たすことを意味する。従って、この光学式スケール３は丁度スリットと遮光部が 同一幅、等ピッチで配列されたものと同じとなる。また、前述の固定光学格子４ にも光学式スケール３と同様の凹凸が形成されている。FIG. 3 is a partial cross-sectional view of BB ′ in FIG. 2 (A). The above-mentioned light transmitting portion 9 is formed of a flat surface such as 9a whose incident angle is smaller than the critical angle with respect to the incident light L 1 . Further, the light non-transmissive portion 10 is composed of inclined surfaces 10a and 10b which are inclined with respect to the incident light L 2 so that the incident angle becomes an angle equal to or greater than the critical angle. For example, the angle formed by the inclined surfaces 10a and 10b is 90 °, and the horizontal width W 1 of the combined inclined surfaces 10a and 10b (the width of the projected image of the inclined surface on the surface perpendicular to the optical axis of the incident light) And the width W 2 of each of the flat surfaces 9a are the same. Then, as is apparent from the figure, the light incident on the inclined surface 10a has an incident angle of 45 ° and is totally reflected and reflected at a right angle, and the other inclined surface 10b forms an angle of 45 °. Incident, and is totally reflected again and reflected at a right angle to return to the original incident side. Further, the light incident on the inclined portion 10b also returns to the incident side in the same manner as above. However, the light incident on the flat surface 9a is transmitted as it is. This means that only flat surfaces play the role of slits. Therefore, the optical scale 3 is exactly the same as the one in which the slits and the light shielding portions are arranged with the same width and the same pitch. Further, the fixed optical grating 4 described above is also provided with the same unevenness as the optical scale 3.
【００１３】 次に、本考案の光学式スケールを用いた光学式エンコーダの動作を図１及び図 ４（Ａ），（Ｂ）を用いて説明する。図４は、光学式スケール３、固定光学格子 ４及び受光素子５の略断面図で、（Ａ）が光学式スケール３と固定光学格子４と に形成された標識の位相が一致した状態、（Ｂ）が１／２周期位相がずれた状態 を示す。図１において、光源１からの光はコリメータレンズ２により平行光とさ れ光学式スケール３の上方から入射する。上述のように上方から入射した光はそ の平坦面で光学式スケール３を透過する。又その傾斜面では２回全反射されて光 学式スケール３を透過しない。従って、光学式スケール３を透過した光により規 則的な光の明暗分布を生じる。ここで光学式スケール３はその回転軸７と共に図 示矢印方向に回転し、その明暗分布も同方向に移動する。ここで、固定光学格子 ４と光学式スケールとに形成された符号は同一、即ち、固定光学格子４の明暗分 布と、入射する光の明暗分布とは等ピッチとなっているので、双方の凹凸の位相 が図４（Ａ）の如く一致した時には、光学式スケール３を透過した光は全て固定 光学格子４を透過するので受光素子５へ入射する光量は最大となる。又、凹凸の 位相が図４（Ｂ）のように１／２周期ズレた時には光学格子同士の傾斜面と平坦 面とが夫々対応した位置となるので、光学式スケール３を透過する光は全て固定 光学格子４の傾斜面で２回全反射されて入射側に戻り、受光素子５へ入射する光 量は最小となる。Next, the operation of the optical encoder using the optical scale of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 4A and 4B. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the optical scale 3, the fixed optical grating 4 and the light receiving element 5. FIG. 4A shows a state in which the marks formed on the optical scale 3 and the fixed optical grating 4 are in phase with each other. B) shows a state in which the 1/2 cycle phase is shifted. In FIG. 1, the light from the light source 1 is collimated by the collimator lens 2 and is incident from above the optical scale 3. As described above, the light incident from above passes through the optical scale 3 on its flat surface. The inclined surface is totally reflected twice and does not pass through the optical scale 3. Therefore, the light transmitted through the optical scale 3 causes a regular light-dark distribution of light. Here, the optical scale 3 rotates together with its rotation axis 7 in the direction of the arrow shown in the figure, and its light and dark distribution also moves in the same direction. Here, the symbols formed on the fixed optical grating 4 and the optical scale are the same, that is, since the light-dark distribution of the fixed optical grating 4 and the light-dark distribution of the incident light have the same pitch, both When the phases of the concavities and convexities coincide with each other as shown in FIG. 4A, all the light transmitted through the optical scale 3 is transmitted through the fixed optical grating 4, so that the amount of light incident on the light receiving element 5 is maximized. Further, when the phase of the unevenness is shifted by 1/2 cycle as shown in FIG. 4B, the inclined surface and the flat surface of the optical gratings correspond to each other, so that all the light transmitted through the optical scale 3 is The amount of light that is totally reflected twice on the inclined surface of the fixed optical grating 4 and returns to the incident side and then enters the light receiving element 5 is the minimum.
【００１４】 そして、この光量が最大になるときと最小にあるときとの間には、光学式スケ ール３の平坦面と固定光学格子４の平坦面とが部分的に一致し、その一致した部 分の面積の割合に応じた光量を受光素子５は受光する。従って、受光素子５から の信号は正弦波状となり、この信号は波形整形回路６により図１のＳのようなパ ルス状の信号に整形される。Then, the flat surface of the optical scale 3 and the flat surface of the fixed optical grating 4 partially coincide between the time when the light amount is maximum and the time when the light amount is minimum, and the coincidence is achieved. The light receiving element 5 receives the amount of light according to the ratio of the area of the formed portion. Therefore, the signal from the light receiving element 5 has a sine wave shape, and this signal is shaped by the waveform shaping circuit 6 into a pulse-shaped signal as indicated by S in FIG.
【００１５】 本考案の光学式スケールは、例えば図２の如きスケールと同一形状のマスタ型 を加工し、ここからＮｉ電鋳等によって反転型をとり、次にこれを成形用金型と して、プラスチック等の材料に凹凸を転写することによって作製される。従って 、被検物（実施例では回転軸７）にスケールを取り付ける為の接合部たるフラン ジ部１１も、高精度にしかも簡単に形成される。また、図１において、光学式ス ケール３を回転軸７に取り付ける場合には、まず光学式スケールと固定光学格子 ４間の受光素子５に影響を与えない部分に、隙間ｄに相当する厚さのスペーサー をはさみ、次に光学式スケール３を押さえて回転させながらフランジ部１１と軸 ７との間に接着剤を流し込む。そして、接着剤が完全に乾燥した後、スペーサー を引きぬく。この作業によって光学式スケール３と固定光学格子４との隙間は正 しくスペーサーの厚みｄに調整され、また回転させながら接着されるので隙間の 変化はほとんどない。ここで、スペーサーとしては、ウレタンシート等を使用す ると、光学式スケールに傷が付きにくく好都合である。また、スペーサーをはさ み込む場所として、光学式スケール３の標識部８の更に外周に平坦な部分を設け 、これに対向する固定光学格子４の部分も平坦に形成して、これらの平坦部を基 準にすると、より作用が容易となる。For the optical scale of the present invention, for example, a master mold having the same shape as that of the scale shown in FIG. 2 is processed, an inversion mold is taken from the master mold by Ni electroforming or the like, and then this is used as a molding mold. It is manufactured by transferring unevenness to a material such as plastic. Therefore, the flange portion 11, which is a joint portion for attaching the scale to the object to be inspected (the rotating shaft 7 in the embodiment), is also formed with high precision and easily. In addition, in FIG. 1, when the optical scale 3 is attached to the rotating shaft 7, first, a portion corresponding to the gap d is provided between the optical scale and the fixed optical grating 4 in a portion that does not affect the light receiving element 5. The spacer is sandwiched, and then the adhesive is poured between the flange portion 11 and the shaft 7 while pressing and rotating the optical scale 3. Then, after the adhesive is completely dried, pull out the spacer. By this work, the gap between the optical scale 3 and the fixed optical grating 4 is adjusted to the thickness d of the spacer, and the gap is hardly changed because the spacers are bonded while being rotated. Here, if a urethane sheet or the like is used as the spacer, it is convenient because the optical scale is not easily scratched. Further, as a place for inserting the spacer, a flat portion is provided further on the outer periphery of the marking portion 8 of the optical scale 3, and the portion of the fixed optical grating 4 facing this is also formed flat. Based on, the action becomes easier.
【００１６】 また、本考案は図２（Ｂ）からも明かなように、フランジ部１１及び標識部８ が回転軸７の軸方向に関して他の領域より厚く形成されているので以下のような 効果がある。Further, as is apparent from FIG. 2B, the present invention has the following effects because the flange portion 11 and the marker portion 8 are formed thicker than other regions in the axial direction of the rotating shaft 7. There is.
【００１７】 第１に、標識部と一体成形されるフランジ部１１が厚く（長く）形成されてい るので、作動時（光学式スケール３の回転時）の面振れを極めて小さくすること ができ、その結果、固定回折格子４と標識部８との間隔を安定に保つことができ る。勿論固定回折格子４と標識部８との接触を防ぐこともできる。また、フラン ジ部１１と光学式スケール３を一体成形するので、従来必要とされていた、取り 付け後の面振れをなくすための、取付板２７の光学式スケール２１と接する部分 の２次加工やその他の調整が不要となり、ローコスト化が実現できる（図５参照 ）。First, since the flange portion 11 integrally formed with the sign portion is formed thick (long), the surface run-out during operation (when the optical scale 3 is rotated) can be made extremely small, As a result, the distance between the fixed diffraction grating 4 and the marker 8 can be kept stable. Of course, it is possible to prevent the fixed diffraction grating 4 and the marking portion 8 from coming into contact with each other. Further, since the flange portion 11 and the optical scale 3 are integrally molded, the secondary processing of the portion of the mounting plate 27 that comes into contact with the optical scale 21 in order to eliminate the surface runout after mounting, which was conventionally required. No other adjustments are required, and cost reduction can be realized (see Fig. 5).
【００１８】 第２に、標識部８が他の領域より厚く構成されているので、フランジ部１１と 標識部８の間の領域が固定光学格子４や該格子を支持する部材などに接触するの を防ぐことができる。一般に標識部８と、固定光学格子４の格子部との間隔は、 非常に接近させ且つ一定に保つことが必要となるが、本考案では光非透過部及び 光透過部を含む標識部８全体が、光学スケール３の他の領域より突き出た形状と なっているので、標識部８と固定光学格子４との間隔さえ制御していればよく、 温度などの環境の変化によって光学スケール３が多少歪んでも標識部以外の「厚 くない」領域は、他の部材に接触することがない。Secondly, since the marker portion 8 is formed thicker than other areas, the area between the flange portion 11 and the marker portion 8 contacts the fixed optical grating 4 or a member supporting the grating. Can be prevented. Generally, the distance between the marking portion 8 and the grating portion of the fixed optical grating 4 needs to be very close and constant, but in the present invention, the entire marking portion 8 including the light non-transmissive portion and the light transmissive portion. However, since it has a shape protruding from the other regions of the optical scale 3, it suffices that the distance between the marking portion 8 and the fixed optical grating 4 be controlled, and the optical scale 3 may slightly change due to changes in the environment such as temperature. Even when distorted, the “non-thick” region other than the marking portion does not come into contact with other members.
【００１９】 本考案は、以上の実施例に限らず、種々の応用が可能である。例えば光学式エ ンコーダに用いる場合、透過光ではなく、反射光を検出するようにしてもかまわ ない。又、ロータリー型の光学式スケールだけでなく、リニア型の光学式スケー ルにも適用出来るのは言うまでもない。The present invention is not limited to the above embodiments, and various applications are possible. For example, when used in an optical encoder, reflected light may be detected instead of transmitted light. It goes without saying that the invention can be applied not only to the rotary type optical scale but also to the linear type optical scale.
【００２０】[0020]
以上説明したように、本考案の光学式スケールは入射する光線に対しその入射 角が臨界角以上に設定された傾斜面からなる光非透過部と光透過部とを交互に形 成した標識部と、該標識部を非検物に取り付ける為のフランジ部とを一体に成形 してなる測角用光学式スケールにおいて、前記フランジ部及び標識部が前記光学 式スケールの他の領域より厚く構成されているので、被検物への取り付けを容易 にし、しかも、取り付け精度及び作動時に安定性を高める効果を有する。 As described above, the optical scale of the present invention has a sign portion formed by alternately forming a light non-transmissive portion and a light transmissive portion, each of which is an inclined surface with an incident angle set to a critical angle or more. And an optical scale for angle measurement, which is integrally formed with a flange portion for attaching the marking portion to a non-inspection, wherein the flange portion and the marking portion are thicker than other regions of the optical scale. Therefore, it has the effect of facilitating the attachment to the object to be inspected and, at the same time, improving the attachment accuracy and the stability during operation.
【図１】本考案の光学式スケールを用いて光学式エンコ
ーダを構成した例を示す斜視図FIG. 1 is a perspective view showing an example in which an optical encoder is constructed using the optical scale of the present invention.
【図２】（Ａ），（Ｂ）は夫々本考案の光学式スケール
の一実施例を示す概略図2A and 2B are schematic views showing an embodiment of an optical scale of the present invention.
【図３】図２の光学式スケールの部分断面図3 is a partial cross-sectional view of the optical scale of FIG.
【図４】（Ａ），（Ｂ）は夫々図１の光学式エンコーダ
の動作を説明する要部断面図4 (A) and 4 (B) are cross-sectional views of main parts for explaining the operation of the optical encoder of FIG. 1, respectively.
【図５】従来の光学式スケールを用いた光学式エンコー
ダの構成例を示す斜視図FIG. 5 is a perspective view showing a configuration example of an optical encoder using a conventional optical scale.
３ 光学式スケール ８ 標識部 ９ 光透過部 ９ａ 平坦面 １０ 光非透過部 １０ａ，１０ｂ 傾斜面 １１ フランジ部 3 Optical Scale 8 Marking Part 9 Light Transmission Part 9a Flat Surface 10 Light Non-Transmission Part 10a, 10b Sloping Surface 11 Flange Part
Claims (1)
以上に設定された傾斜面からなる光非透過部と光透過部
とを交互に形成した標識部と、該標識部を非検物に取り
付ける為のフランジ部とを一体に成形してなる測角用光
学式スケールにおいて、前記フランジ部及び標識部が前
記光学式スケールの他の領域より厚いことを特徴とする
測角用光学式スケール。1. A marking portion in which a light non-transmissive portion and a light transmissive portion, which are inclined surfaces whose incident angle is set to a critical angle or more with respect to an incident light ray, are alternately formed, and the marker portion is a non-inspection object. An optical scale for angle measurement, which is integrally formed with a flange portion for attaching to the optical scale, wherein the flange portion and the marking portion are thicker than other regions of the optical scale. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1768893U JPH0584818U (en) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | Optical scale |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1768893U JPH0584818U (en) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | Optical scale |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0584818U true JPH0584818U (en) | 1993-11-16 |
Family
ID=11950769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1768893U Pending JPH0584818U (en) | 1993-04-08 | 1993-04-08 | Optical scale |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0584818U (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5250716B1 (en) * | 2012-11-20 | 2013-07-31 | 株式会社精工技研 | Reflective optical encoder |
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| JPS589022A (en) * | 1981-06-15 | 1983-01-19 | イング・チイ・オリベツチ・アンド・チイ・エス・ピ−・ア | Optical transducer |
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1993
- 1993-04-08 JP JP1768893U patent/JPH0584818U/en active Pending
Patent Citations (1)
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