JP2016031266A - Optical encoder and method for manufacturing optical encoder - Google Patents

Optical encoder and method for manufacturing optical encoder Download PDF

Info

Publication number
JP2016031266A
JP2016031266A JP2014153112A JP2014153112A JP2016031266A JP 2016031266 A JP2016031266 A JP 2016031266A JP 2014153112 A JP2014153112 A JP 2014153112A JP 2014153112 A JP2014153112 A JP 2014153112A JP 2016031266 A JP2016031266 A JP 2016031266A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grating plate
adhesive layer
adhesive
optical encoder
protrusions
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014153112A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6436674B2 (en
Inventor
淑江 吉岡
Yoshie Yoshioka
淑江 吉岡
幸治 船岡
Koji Funaoka
幸治 船岡
尚弘 高橋
Naohiro Takahashi
尚弘 高橋
上山 幸嗣
Yukitsugu Kamiyama
幸嗣 上山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2014153112A priority Critical patent/JP6436674B2/en
Publication of JP2016031266A publication Critical patent/JP2016031266A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6436674B2 publication Critical patent/JP6436674B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical encoder having high reliability and high accuracy of detecting a temperature change and manufacturable at a low cost.SOLUTION: An optical encoder 100, designed to detect the rotation of a shaft 10 rotating within a certain range of angles, comprises a hub 20 having a seat part 22 extending in the radial direction from a body part 21, a grating plate 30 bonded to the seat part 22 via an elastic adhesive layer, and an optical system for irradiating the grating plate 30 with light and also receiving and detecting the reflected light. The seat part 22 of the hub 20 has an adhesive surface 24 where the elastic adhesive layer is provided, and protruding parts 25 for supporting the grating plate 30 at three or more points and provided at the outer circumference of the adhesive surface 24. The height Hof the protruding parts 25 is a value with which the tensile and shearing stresses acting on the elastic adhesive layer are smaller than previously measured tensile and shearing adhesive strengths, respectively.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、ガルバノスキャナなどの高速位置決めモータシステムに用いられる光学式エンコーダ、およびその製造方法に関する。   The present invention relates to an optical encoder used in a high-speed positioning motor system such as a galvano scanner, and a manufacturing method thereof.

近年、レーザ加工機のようなガルバノスキャナの応用製品では、加工効率向上への要求が益々高くなっており、ガルバノスキャナにも高速応答が求められている。ガルバノスキャナのようなサーボシステムでは、モータの回転角度(回転位置)などを検出するために光学式エンコーダが用いられている。   In recent years, galvano scanner applied products such as laser processing machines are increasingly required to improve processing efficiency, and galvano scanners are also required to have a high-speed response. In a servo system such as a galvano scanner, an optical encoder is used to detect a rotation angle (rotation position) of a motor.

例えば特許文献1に開示された光学式エンコーダでは、回転軸の頂面に凹部が設けられ、この凹部内に設けられた接着剤を介して、光学パターンを有するディスクが回転軸に接着されている。また、凹部の周面には溝が形成されている。   For example, in the optical encoder disclosed in Patent Document 1, a concave portion is provided on the top surface of the rotating shaft, and a disk having an optical pattern is bonded to the rotating shaft through an adhesive provided in the concave portion. . A groove is formed on the peripheral surface of the recess.

一方、特許文献2には、ガラススケールとその固定治具とを備えた位置測定装置が開示されている。ガラススケールと固定治具との間には、予め高温にした接着剤により形成された弾性層が設けられており、ガラススケールと固定治具との線膨張係数の差に起因して生じる熱応力を、弾性層の撓みにより吸収するようになっている。   On the other hand, Patent Document 2 discloses a position measuring device including a glass scale and a fixing jig thereof. Between the glass scale and the fixing jig, there is an elastic layer formed by a preheated adhesive, and thermal stress caused by the difference in linear expansion coefficient between the glass scale and the fixing jig Is absorbed by the bending of the elastic layer.

特公平08−012086号公報(図2A、図2B参照)Japanese Patent Publication No. 08-012086 (see FIGS. 2A and 2B) 特許第4477440号明細書(図2参照)Japanese Patent No. 4477440 (see FIG. 2)

特許文献1に開示された光学式エンコーダによれば、凹部の周面に形成された溝から接着剤を逃がすことができるので有効である。しかしこの構造では、ディスク、接着剤層および回転軸の線膨張係数の差に起因して生じる熱応力が考慮されていない。環境温度が大きく変化したとき、例えば輸送時に環境温度が大きく低下したときには、過大な熱応力が作用してディスクと回転軸との間に剥がれが生じてしまい、温度変化に対する信頼性の点で問題が生じる。   According to the optical encoder disclosed in Patent Document 1, the adhesive can be released from the groove formed on the peripheral surface of the recess, which is effective. However, this structure does not take into account the thermal stress caused by the difference in linear expansion coefficient between the disk, the adhesive layer, and the rotating shaft. When the environmental temperature changes greatly, for example, when the environmental temperature drops significantly during transportation, excessive thermal stress acts and peeling occurs between the disk and the rotating shaft, which is a problem in terms of reliability against temperature changes. Occurs.

一方、特許文献2に開示された接着方法によれば、確かに熱応力は緩和されるものの、接着工程が複雑であり、製造コストが高くなるという問題がある。   On the other hand, according to the bonding method disclosed in Patent Document 2, although the thermal stress is certainly relieved, there is a problem that the bonding process is complicated and the manufacturing cost increases.

また一般に、光学式エンコーダには高い検出精度が求められている。   In general, optical encoders are required to have high detection accuracy.

本発明の目的は、温度変化に対する高い信頼性と高い検出精度を有する、低コストで製造可能な光学式エンコーダおよびその製造方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide an optical encoder that has high reliability and high detection accuracy with respect to a temperature change and can be manufactured at low cost, and a manufacturing method thereof.

上記目的を達成するために、本発明は、一定の角度範囲内で回転する回転体の回転を検出する光学式エンコーダに関するものである。
この光学式エンコーダは、中空の本体部および本体部から半径方向に延出した座部を有するハブと、この座部に弾性接着剤層を介して接着されたグレーティング板と、このグレーティング板に対して光を照射する投光部と、グレーティング板からの光を受光する受光部とを備える。ハブの座部は、弾性接着剤層が設けられた接着面と、この接着面の外周部の上に設けられてグレーティング板を3点以上の点で支持する1つまたは複数の突起部とを有する。
In order to achieve the above object, the present invention relates to an optical encoder that detects the rotation of a rotating body that rotates within a certain angular range.
This optical encoder includes a hollow main body and a hub having a seat extending in the radial direction from the main body, a grating plate bonded to the seat via an elastic adhesive layer, and the grating plate. A light projecting unit that emits light and a light receiving unit that receives light from the grating plate. The seat portion of the hub includes an adhesive surface provided with an elastic adhesive layer, and one or a plurality of protrusions provided on the outer peripheral portion of the adhesive surface to support the grating plate at three or more points. Have.

この光学式エンコーダは、例えば、接着面の上に弾性接着剤を塗布する工程と、突起部に対してグレーティング板を押し付ける工程と、弾性接着剤を硬化させて弾性接着剤層を形成する工程とを含む方法により製造される。   The optical encoder includes, for example, a step of applying an elastic adhesive on the bonding surface, a step of pressing a grating plate against the protrusion, and a step of curing the elastic adhesive to form an elastic adhesive layer. It is manufactured by the method containing.

好ましくは、接着剤硬化温度での弾性接着剤層の厚さは、弾性接着剤層とグレーティング板との間に作用する引張応力およびせん断応力が、予め測定された引張り接着強さおよびせん断接着強さよりそれぞれ小さくなる範囲内の値である。   Preferably, the thickness of the elastic adhesive layer at the adhesive curing temperature is such that the tensile stress and shear stress acting between the elastic adhesive layer and the grating plate are measured in advance. It is a value within a range smaller than each.

本発明によれば、ハブの座部に対してグレーティング板を接着する際に突起部がグレーティング板を支持し、光学系(投光部および受光部)とグレーティング板との間のギャップを均一にする。これにより、回転時の位置に応じた検出誤差の発生が防止される。
また、本発明の接着構造では、突起部の高さにより弾性接着剤層の厚さが規定される。グレーティング板と弾性接着剤層との間で作用する熱応力(引張応力、せん断応力)は弾性接着剤層の変形により吸収、低減されるところ、突起部の高さを好適な範囲に設定することで、グレーティング板の剥がれを容易かつ確実に防止できる。
また、この光学式エンコーダにおける接着構造と接着工程は、従来のものに比べて非常に単純である。
According to the present invention, when the grating plate is bonded to the seat portion of the hub, the projection portion supports the grating plate, and the gap between the optical system (light projecting portion and light receiving portion) and the grating plate is made uniform. To do. Thereby, generation | occurrence | production of the detection error according to the position at the time of rotation is prevented.
In the adhesive structure of the present invention, the thickness of the elastic adhesive layer is defined by the height of the protrusion. The thermal stress (tensile stress, shear stress) acting between the grating plate and the elastic adhesive layer is absorbed and reduced by the deformation of the elastic adhesive layer, and the height of the protrusion should be set within a suitable range. Thus, peeling of the grating plate can be easily and reliably prevented.
Further, the bonding structure and bonding process in this optical encoder are very simple compared to the conventional one.

以上のようにして、温度変化に対する高い信頼性と高い検出精度を有する、低コストで製造可能な光学式エンコーダおよびその製造方法が実現する。   As described above, an optical encoder that has high reliability with respect to temperature change and high detection accuracy and can be manufactured at low cost and a manufacturing method thereof are realized.

本発明の実施の形態1に係る光学式エンコーダであって、グレーティング板の接着前の状態を示す斜視図である。It is an optical encoder which concerns on Embodiment 1 of this invention, Comprising: It is a perspective view which shows the state before adhesion | attachment of a grating plate. 光学式エンコーダを示す側面図である。It is a side view which shows an optical encoder. グレーティング板の構造を示す平面図であり、(a)は回転ディスクを、(b)は回転ディスクから回転角度の一部を切り出したグレーティング板を示す。It is a top view which shows the structure of a grating board, (a) shows a rotating disk, (b) shows the grating board which cut out a part of rotation angle from the rotating disk. 本発明の実施の形態1におけるハブの突起部の配置例を示す平面図であり、(a)では4つの突起部が設けられ、(b)では3つの突起部が設けられている。It is a top view which shows the example of arrangement | positioning of the protrusion part of the hub in Embodiment 1 of this invention, (a) is provided with four protrusion parts, (b) is provided with three protrusion parts. 接着剤層に作用する引張応力を説明するための図であり、(a)は接着剤硬化温度での接着剤層の周辺部を示し、(b)は低温側環境温度での接着剤層の周辺部を示す。It is a figure for demonstrating the tensile stress which acts on an adhesive bond layer, (a) shows the periphery part of the adhesive bond layer in adhesive hardening temperature, (b) is the adhesive layer of an adhesive layer in low temperature environment temperature The peripheral part is shown. 接着剤層に作用する熱応力と突起部の高さ(接着剤層の厚さ)との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the thermal stress which acts on an adhesive bond layer, and the height (thickness of an adhesive bond layer) of a projection part. 本発明の実施の形態2におけるハブの突起部の配置例を示す平面図であり、(a)では接着面の外周部の一部を覆う壁状の突起部が、(b)では接着面の外周部全体を覆う壁状の突起部が設けられている。It is a top view which shows the example of arrangement | positioning of the protrusion part of the hub in Embodiment 2 of this invention, (a) is a wall-shaped protrusion part which covers a part of outer peripheral part of an adhesion surface, (b) is an adhesion surface. A wall-shaped protrusion that covers the entire outer periphery is provided.

以下、本発明の実施の形態に係る光学式エンコーダについて、図面を参照しながら説明する。各図において、同一または同様の構成部分には同一の符号を付している。また、方向を表す用語「上」、「下」などは、図面中の方向を特定するための便宜的なものであり、装置の設置方向などを限定するものではない。   Hereinafter, an optical encoder according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In each figure, the same or similar components are denoted by the same reference numerals. Further, the terms “upper” and “lower” indicating the direction are for the purpose of specifying the direction in the drawing, and do not limit the installation direction of the apparatus.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係る光学式エンコーダであって、グレーティング板30の接着前の状態を示す斜視図である。図2は、光学式エンコーダを示す側面図である。
光学式エンコーダ100(以下、単にエンコーダ100と称す)は、シャフト10の回転(回転角度、回転方向)を検出する。エンコーダ100は、グレーティング板30をシャフト10に固定するためのハブ20、表面に光学パターン31が形成されたグレーティング板30、弾性接着剤層40(以下、単に接着剤層40と称す)、投光部50、受光部60を備える。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a perspective view showing the optical encoder according to the first embodiment of the present invention before the grating plate 30 is bonded. FIG. 2 is a side view showing the optical encoder.
Optical encoder 100 (hereinafter simply referred to as encoder 100) detects the rotation (rotation angle, rotation direction) of shaft 10. The encoder 100 includes a hub 20 for fixing the grating plate 30 to the shaft 10, a grating plate 30 having an optical pattern 31 formed on the surface, an elastic adhesive layer 40 (hereinafter simply referred to as an adhesive layer 40), light projection Unit 50 and light receiving unit 60.

シャフト10は、一定の角度範囲内で回転する回転体の一例であって、例えばサーボモータのシャフトである。シャフト10は、一方向に回転することもあるし、両方向に回転(揺動)することもある。   The shaft 10 is an example of a rotating body that rotates within a certain angle range, and is a shaft of a servo motor, for example. The shaft 10 may rotate in one direction or may rotate (swing) in both directions.

ハブ20は、アルミニウム、ステンレスなどからなる。ハブ20は、シャフト10に挿入されて固定される中空の本体部21と、シャフト10の回転軸(図1に一点鎖線で示す)に対して垂直な半径方向(Y軸方向)に本体部21から延出した座部22とを有する。座部22は、底面23と、平坦な接着面24と、接着面24の上に設けられた複数の突起部25と、位置決め基準面26,27とを有する。接着面24は、底面23から段差を介して上方に位置している。   The hub 20 is made of aluminum, stainless steel, or the like. The hub 20 includes a hollow main body 21 that is inserted into and fixed to the shaft 10, and a main body 21 in a radial direction (Y-axis direction) perpendicular to the rotation axis of the shaft 10 (indicated by a dashed line in FIG. 1). And a seat portion 22 extending from the head. The seat 22 includes a bottom surface 23, a flat adhesive surface 24, a plurality of protrusions 25 provided on the adhesive surface 24, and positioning reference surfaces 26 and 27. The bonding surface 24 is located above the bottom surface 23 through a step.

突起部25は3つ以上存在し、グレーティング板30を3点以上の点で支持する。後述するように、複数の突起部25間の距離が大きいほど熱応力(引張応力)が小さくなるので、接着面24の中央部には突起部25を配置せず、接着面24の外周部に突起部25を配置することが好ましい。接着面24のうち、突起部25が設けられていない部分には接着剤層40が存在する。この接着剤層40を介して、グレーティング板30の下面と座部22とが接着されている。また、突起部25は、接着剤層40の厚さに等しい高さを有し、グレーティング板30に接してこれを支持している。座部22の位置決め基準面26,27は、接着面24に対して垂直な方向に立設されている。それゆえ図1では、位置決め基準面26はYZ平面に平行であり、位置決め基準面27はXZ平面に平行である。座部22におけるグレーティング板30のX軸方向、Y軸方向、Z軸方向の位置決めは、それぞれ、位置決め基準面26、位置決め基準面27、突起部25により行われる。   There are three or more protrusions 25, and the grating plate 30 is supported at three or more points. As will be described later, since the thermal stress (tensile stress) decreases as the distance between the plurality of protrusions 25 increases, the protrusion 25 is not disposed at the center of the bonding surface 24, and the outer periphery of the bonding surface 24 is not disposed. It is preferable to arrange the protrusion 25. The adhesive layer 40 is present on a portion of the adhesive surface 24 where the protrusions 25 are not provided. The lower surface of the grating plate 30 and the seat portion 22 are bonded via the adhesive layer 40. Further, the protrusion 25 has a height equal to the thickness of the adhesive layer 40 and is in contact with and supports the grating plate 30. The positioning reference surfaces 26 and 27 of the seat portion 22 are erected in a direction perpendicular to the bonding surface 24. Therefore, in FIG. 1, the positioning reference surface 26 is parallel to the YZ plane, and the positioning reference surface 27 is parallel to the XZ plane. Positioning of the grating plate 30 in the seat portion 22 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction is performed by the positioning reference surface 26, the positioning reference surface 27, and the protrusion 25, respectively.

接着剤層40を構成する接着剤(弾性接着剤)の例は、シリコン系接着剤、ウレタン系接着剤、アクリル系接着剤などである。特に、熱応力を緩和する観点では、常温で700[MPa]以下のヤング率を有するウレタン系接着剤が好ましく、このウレタン系接着剤を使用することにより、接着面24の中央部におけるグレーティング板30の剥がれを防止できる。   Examples of the adhesive (elastic adhesive) constituting the adhesive layer 40 are a silicon adhesive, a urethane adhesive, an acrylic adhesive, and the like. In particular, from the viewpoint of alleviating thermal stress, a urethane-based adhesive having a Young's modulus of 700 [MPa] or less at normal temperature is preferable. By using this urethane-based adhesive, the grating plate 30 at the central portion of the bonding surface 24 is used. Can be prevented.

投光部50は、レーザダイオード、LED(発光ダイオード)などであり、グレーティング板30に対して光を照射する。受光部60は、フォトダイオードなどの受光素子であり、グレーティング板30から反射された光を受光して光電変換する。投光部50と受光部60は、グレーティング板30の表面に対して同じ側に、この表面から所定のギャップを介して配置されている。すなわち、エンコーダ100は、いわゆる反射型の光学式エンコーダである。   The light projecting unit 50 is a laser diode, LED (light emitting diode), or the like, and irradiates the grating plate 30 with light. The light receiving unit 60 is a light receiving element such as a photodiode, and receives light reflected from the grating plate 30 and performs photoelectric conversion. The light projecting unit 50 and the light receiving unit 60 are disposed on the same side of the surface of the grating plate 30 with a predetermined gap from the surface. That is, the encoder 100 is a so-called reflective optical encoder.

次に、図3を用いて、グレーティング板30の構造を説明する。
図3(a)は回転ディスクを示す。回転ディスクは、シャフト10の周囲360度のドーナツ円板であり、中央にシャフト10が通る穴(シャフト穴)32が開いている。図3(b)は、図3(a)に示す回転ディスクから回転角度の一部を切り出したグレーティング板30を示す。グレーティング板30はシャフト穴がない構造であり、その厚さは小さく均一である。図示しているグレーティング板30の形状は長方形であるが、座部22の構成によっては他の形状であってもよく、例えばシャフト穴のない円板であってもよい。
Next, the structure of the grating plate 30 will be described with reference to FIG.
FIG. 3A shows a rotating disk. The rotating disk is a donut disk of 360 degrees around the shaft 10 and has a hole (shaft hole) 32 through which the shaft 10 passes in the center. FIG. 3B shows the grating plate 30 obtained by cutting out a part of the rotation angle from the rotating disk shown in FIG. The grating plate 30 has a structure without a shaft hole, and its thickness is small and uniform. The shape of the illustrated grating plate 30 is rectangular, but other shapes may be used depending on the configuration of the seat portion 22, for example, a circular plate without a shaft hole.

グレーティング板30の表面には、光学パターン31が、一定の角度範囲内に、所定間隔で放射状に設けられている。グレーティング板30はガラス板であってもよい。光学パターン31は、アルミニウムなどの金属薄膜を蒸着して形成される。アルミニウムなどの代わりに誘電体多層膜を蒸着させてもよい。   On the surface of the grating plate 30, optical patterns 31 are provided radially at predetermined intervals within a certain angular range. The grating plate 30 may be a glass plate. The optical pattern 31 is formed by depositing a metal thin film such as aluminum. A dielectric multilayer film may be deposited instead of aluminum or the like.

次に、図4を用いて、ハブ20における突起部25の配置例について説明する。
図4に示すように、ハブ20の接着面24は長方形に近い形状を有するが、長方形の四辺のうち、シャフト10の回転中心から見てY軸方向に遠い位置にある一辺が若干湾曲している。図4(a)では、接着面24の外周部の4箇所に突起部25a〜25dが設けられている。突起部25aと25bは湾曲辺の両隅部に設けられ、突起部25cと25dは湾曲辺に対向する辺の両隅部に設けられている。図4(b)では、接着面24の外周部の3箇所に突起部25a,25b,25eが設けられている。突起部25a,25bについては図4(a)と同様であり、突起部25eについては湾曲辺に対向する辺の中央に設けられている。
Next, the example of arrangement | positioning of the projection part 25 in the hub 20 is demonstrated using FIG.
As shown in FIG. 4, the adhesive surface 24 of the hub 20 has a shape close to a rectangle, but one of the four sides of the rectangle that is far from the rotation center of the shaft 10 in the Y-axis direction is slightly curved. Yes. In FIG. 4A, protrusions 25 a to 25 d are provided at four locations on the outer peripheral portion of the bonding surface 24. The protrusions 25a and 25b are provided at both corners of the curved side, and the protrusions 25c and 25d are provided at both corners of the side facing the curved side. In FIG. 4B, projections 25 a, 25 b, and 25 e are provided at three locations on the outer peripheral portion of the bonding surface 24. The protrusions 25a and 25b are the same as in FIG. 4A, and the protrusion 25e is provided at the center of the side facing the curved side.

本実施形態1での突起部25の配置例によれば、突起部25どうしが接続されておらず、壁を構成していないので、余剰な接着剤が接着面24から底面23へ流れやすく、接着剤層40の厚さをより均一にすることができる。また、接着剤が接着面24の外へ流れやすいので、接着時にグレーティング板30に対する押付け荷重を小さくすることができる。また、複数の突起部25どうしがつながっていないため、グレーティング板30と接着剤層40の接着面積を大きくとって接着強度を向上させることができる。   According to the arrangement example of the protrusions 25 in the first embodiment, the protrusions 25 are not connected to each other and do not constitute a wall, so that excess adhesive easily flows from the adhesive surface 24 to the bottom surface 23. The thickness of the adhesive layer 40 can be made more uniform. Further, since the adhesive easily flows out of the bonding surface 24, the pressing load on the grating plate 30 during bonding can be reduced. Further, since the plurality of protrusions 25 are not connected to each other, the bonding area between the grating plate 30 and the adhesive layer 40 can be increased to improve the bonding strength.

次に、エンコーダ100の動作について簡単に説明する。
投光部50から出射した光は、グレーティング板30の表面の光学パターン31に照射されて反射される。反射された光は、受光部60により受光され、電気信号として検出される。このとき、シャフト10が回転し、これに伴ってハブ20とグレーティング板30が回転すると、受光部60に達して検出される光量が周期的に変化し、これにより電気信号も周期的に変化することになる。それゆえ、この電気信号の変化を測定することにより、シャフト10の回転角度などを検出できる。
Next, the operation of the encoder 100 will be briefly described.
The light emitted from the light projecting unit 50 is applied to the optical pattern 31 on the surface of the grating plate 30 and reflected. The reflected light is received by the light receiving unit 60 and detected as an electrical signal. At this time, when the shaft 10 is rotated and the hub 20 and the grating plate 30 are rotated accordingly, the amount of light detected by reaching the light receiving unit 60 is periodically changed, and thus the electric signal is also periodically changed. It will be. Therefore, the rotation angle of the shaft 10 can be detected by measuring the change of the electric signal.

次に、エンコーダ100の製造方法に含まれる工程S1〜S4について簡単に説明する。
(S1)接着面24に接着剤を塗布する。
(S2)グレーティング板30の端面を位置決め基準面26,27に押し当てた状態で、上側からグレーティング板30に押し付け加重をかけ、突起部25に対してグレーティング板30を押し付ける。これにより、ハブ20の座部22とグレーティング板30とを接着する。
(S3)接着剤を硬化させて接着剤層40を形成する。
(S4)シャフト10にハブ20の本体部21を圧入する。
Next, steps S1 to S4 included in the method for manufacturing the encoder 100 will be briefly described.
(S1) An adhesive is applied to the adhesive surface 24.
(S2) With the end face of the grating plate 30 pressed against the positioning reference surfaces 26 and 27, the grating plate 30 is pressed against the projection plate 25 from the upper side, and the grating plate 30 is pressed against the protrusion 25. As a result, the seat portion 22 of the hub 20 and the grating plate 30 are bonded.
(S3) The adhesive layer 40 is formed by curing the adhesive.
(S4) The main body 21 of the hub 20 is press-fitted into the shaft 10.

工程S2で、グレーティング板30は、位置決め基準面26,27に押し当てられてX軸方向とY軸方向に位置決めされ、突起部25の上に支持されることによりZ軸方向に位置決めされる。これにより、工程S3の後、接着剤層40の厚さが突起部25の高さに一致することになる。換言すると、接着剤層40の厚さは突起部25の高さにより規定される。工程S2で、余剰な接着剤は、突起部25間の隙間を介して接着面24から底面23に移動する。   In step S <b> 2, the grating plate 30 is pressed against the positioning reference surfaces 26 and 27 to be positioned in the X-axis direction and the Y-axis direction, and is positioned in the Z-axis direction by being supported on the protrusion 25. Thereby, after process S3, the thickness of the adhesive bond layer 40 corresponds with the height of the projection part 25. In other words, the thickness of the adhesive layer 40 is defined by the height of the protrusion 25. In step S <b> 2, excess adhesive moves from the adhesive surface 24 to the bottom surface 23 through the gap between the protrusions 25.

ここで、光学系(投光部50および受光部60)とグレーティング板30との間のギャップの精度は、座部22に対するグレーティング板30のZ軸方向の位置決め精度に依存する。座部22に対してグレーティング板30がZ軸方向から傾いて接着されてしまうと、光学パターン31が形成されたグレーティング板30の表面が、シャフト10の軸方向に対して精確に直角にならない。それゆえ、回転時の位置に応じて光学系と光学パターン31との間のギャップが変動し、検出誤差が生じてしまう。   Here, the accuracy of the gap between the optical system (the light projecting unit 50 and the light receiving unit 60) and the grating plate 30 depends on the positioning accuracy of the grating plate 30 with respect to the seat portion 22 in the Z-axis direction. If the grating plate 30 is bonded to the seat portion 22 while being tilted from the Z-axis direction, the surface of the grating plate 30 on which the optical pattern 31 is formed does not become exactly perpendicular to the axial direction of the shaft 10. Therefore, the gap between the optical system and the optical pattern 31 varies according to the position at the time of rotation, and a detection error occurs.

本実施形態1では、突起部25がグレーティング板30を支持した状態で接着が行われ、さらに余剰な接着剤が接着面24の外へ逃げるように構成されているので、接着剤層40の厚さが均一となって、シャフト10の回転軸方向(Z軸方向)とグレーティング板30の表面とが精確に直交することになる。これにより、光学系とグレーティング板30との間のギャップがグレーティング板30の表面全体にわたって均一になり、回転時の位置に応じた検出誤差が防止される。   In the first embodiment, the bonding is performed in a state in which the protruding portion 25 supports the grating plate 30, and the excessive adhesive escapes out of the bonding surface 24. Therefore, the rotation axis direction (Z-axis direction) of the shaft 10 and the surface of the grating plate 30 are accurately orthogonal to each other. As a result, the gap between the optical system and the grating plate 30 becomes uniform over the entire surface of the grating plate 30, and detection errors corresponding to the position during rotation are prevented.

なお、説明した方法では、工程S1〜S3を工程S4の前段で実施したが、後段で実施してもよい。すなわち、シャフト10に対して本体部21を圧入してからグレーティング板30をハブ20に接着してもよい。   In the method described above, steps S1 to S3 are performed before the step S4, but may be performed after the step. That is, the grating plate 30 may be bonded to the hub 20 after the main body 21 is press-fitted into the shaft 10.

次に、グレーティング板30と接着剤層40との間で作用する熱応力について検討する。   Next, thermal stress acting between the grating plate 30 and the adhesive layer 40 will be examined.

エンコーダ100の環境温度は、輸送時などにマイナス数十度程度まで下がることがある一方、モータからの発熱などにより80度程度まで上がることがある。環境温度が、接着剤硬化温度(典型的には25度)からこうした低温側環境温度または高温側環境温度へ変化すると、ハブ20、接着剤層40およびグレーティング板30の線膨張係数の差に起因して熱応力が発生する。   The environmental temperature of the encoder 100 may decrease to about minus several tens of degrees during transportation or the like, while it may increase to about 80 degrees due to heat generated from the motor. When the environmental temperature changes from the adhesive curing temperature (typically 25 degrees) to such a low temperature environment temperature or a high temperature environment temperature, it is caused by a difference in linear expansion coefficients of the hub 20, the adhesive layer 40, and the grating plate 30. Thermal stress is generated.

接着剤層40とハブ20との接着面積は、接着剤層40とグレーティング板30との接着面積よりも大きい。それゆえ、接触する面積がより小さい接着剤層40とグレーティング板30との界面における熱応力に起因して生じる剥がれが問題となる。ここで一般に、熱応力は引張応力(または圧縮応力)とせん断応力とで表される。   The bonding area between the adhesive layer 40 and the hub 20 is larger than the bonding area between the adhesive layer 40 and the grating plate 30. Therefore, peeling caused by thermal stress at the interface between the adhesive layer 40 having a smaller contact area and the grating plate 30 becomes a problem. Here, in general, thermal stress is expressed by tensile stress (or compressive stress) and shear stress.

接着剤層40の厚さが大きい場合、接着剤層40に作用する引張応力(圧縮応力)が大きくなり、引張剥がれが生じることが考えられる。接着剤層40は、高温時にはZ軸方向に膨張し、低温時にはZ軸方向に収縮する。グレーティング板30はZ軸方向に拘束されていないため、高温時の接着剤層40の膨張に対しては自由に変形できる。一方、低温時の接着剤層40の収縮に対しては、突起部25によりグレーティング板30の端が支持されているため、接着剤層40がグレーティング板30を引っ張る力(引張応力)が生じる。すなわち、本実施形態1によれば、高温側環境温度で作用する圧縮応力に起因する剥がれは問題とならない。それゆえ以下では、低温側環境温度で作用する引張応力に起因する剥がれについてのみ検討する。   When the thickness of the adhesive layer 40 is large, it is considered that the tensile stress (compressive stress) acting on the adhesive layer 40 is increased and tensile peeling occurs. The adhesive layer 40 expands in the Z-axis direction at high temperatures and contracts in the Z-axis direction at low temperatures. Since the grating plate 30 is not constrained in the Z-axis direction, it can be freely deformed against the expansion of the adhesive layer 40 at a high temperature. On the other hand, with respect to the shrinkage of the adhesive layer 40 at a low temperature, since the end of the grating plate 30 is supported by the protrusions 25, a force (tensile stress) that causes the adhesive layer 40 to pull the grating plate 30 is generated. That is, according to the first embodiment, the peeling due to the compressive stress acting at the high temperature environment temperature does not cause a problem. Therefore, in the following, only the peeling due to the tensile stress acting at the low-temperature environment temperature will be considered.

一方、接着剤層40の厚さが小さい場合、接着剤層40に作用するせん断応力が大きくなり、せん断剥がれが生じることが考えられる。ハブ20およびグレーティング30と比較して接着剤層40の縦弾性係数(ヤング率)は小さいため、接着剤層40が変形することになる。この接着剤層40の変形により、せん断応力が緩和される。   On the other hand, when the thickness of the adhesive layer 40 is small, it is considered that the shear stress acting on the adhesive layer 40 increases and shear peeling occurs. Since the longitudinal elastic modulus (Young's modulus) of the adhesive layer 40 is smaller than that of the hub 20 and the grating 30, the adhesive layer 40 is deformed. Due to the deformation of the adhesive layer 40, the shear stress is relieved.

まとめると、接着剤層40の厚さを好適な範囲内の値とすることで、グレーティング板30と接着剤層40との界面における引張剥がれとせん断剥がれが防止されると考えられる。なお、前述の通り接着剤層40の厚さは突起部25の高さに一致する。   In summary, it is considered that tensile peeling and shear peeling at the interface between the grating plate 30 and the adhesive layer 40 are prevented by setting the thickness of the adhesive layer 40 within a suitable range. As described above, the thickness of the adhesive layer 40 matches the height of the protrusion 25.

本発明者らは、被着部材の剥がれが、グレーティング板30と接着剤層40との界面で生じる熱応力(引張応力、せん断応力)に起因していることに着眼した。また、説明しているように、引張応力は、低温側環境温度下でグレーティング板30が撓むことにより引張応力が緩和されることを見出した。さらに、撓み量は微少なため、ギャップ精度に影響を与えないことを見出した。
以下、引張応力とせん断応力に分けて、好適な突起部25の高さの範囲について詳細に検討する。
The inventors noticed that the peeling of the adherend was caused by thermal stress (tensile stress, shear stress) generated at the interface between the grating plate 30 and the adhesive layer 40. Further, as explained, it has been found that the tensile stress is relaxed by the bending of the grating plate 30 under the low temperature environment temperature. Furthermore, since the amount of bending is very small, it has been found that the gap accuracy is not affected.
Hereinafter, a suitable range of the height of the protrusion 25 will be examined in detail by dividing into tensile stress and shear stress.

まず、以下のように記号を定義する。
・ΔT[℃]:接着剤硬化温度と低温側環境温度との差
・H[mm]:突起部25の高さ(Z軸方向の長さ)
・α[1/℃]:ハブ20の線膨張係数
・L0A[mm]:接着領域内の最大距離
・L0T[mm]:突起部25間の最小距離
・L0TV[mm]:距離L0Tに垂直な直線の接着領域内での距離
・H[mm]:グレーティング板30の厚さ(Z軸方向の長さ)
・E[MPa]:グレーティング板30の縦弾性係数
・α[1/℃]:グレーティング板30の線膨張係数
・I[mm]:グレーティング板30の断面2次モーメント
・A[mm]:接着剤層40とグレーティング板30の下面との接着面積
・E[MPa]:接着剤層40の縦弾性係数
・G[MPa]:接着剤層40の横弾性係数
・α[1/℃]:接着剤層40の線膨張係数
First, symbols are defined as follows.
ΔT [° C.]: Difference between adhesive curing temperature and low temperature environment temperature H 0 [mm]: Height of protrusion 25 (length in the Z-axis direction)
Α m [1 / ° C.] Coefficient of linear expansion of the hub 20 L 0A [mm]: Maximum distance in the bonding area L 0T [mm]: Minimum distance between the protrusions 25 L 0TV [mm]: Distance Distance in the linear adhesion region perpendicular to L0T , H g [mm]: Thickness of the grating plate 30 (length in the Z-axis direction)
E g [MPa]: Longitudinal elastic modulus of the grating plate 30 α g [1 / ° C.] Linear expansion coefficient of the grating plate 30 I g [mm 4 ]: Sectional moment of inertia of the grating plate 30 A 0 [ mm 2 ]: Adhesive area between the adhesive layer 40 and the lower surface of the grating plate 30 • E a [MPa]: Longitudinal elastic modulus of the adhesive layer 40 • G a [MPa]: Transverse elastic coefficient of the adhesive layer 40 • α a [1 / ° C.]: Linear expansion coefficient of the adhesive layer 40

1.引張応力
低温側環境温度での接着剤層40の収縮に対しては、突起部25によりグレーティング板30の端部が支持されているため、接着剤層40がグレーティング板30を引っ張る力(引張応力)が生じる。接着剤層40の厚さが大きくグレーティング板30の板厚が充分に薄いときには、グレーティング板30が撓むことで引張応力が緩和される。このとき、グレーティング板30の撓み量は微少であるため、ギャップの精度に影響を与えない。すなわち、光学系とグレーティング板30との間には、グレーティング板30の撓みに起因して回転時の位置に応じたギャップの変動が生じるところ、この変動は検出精度にとっては問題にならないレベルである。
1. Tensile stress Since the end portion of the grating plate 30 is supported by the protrusions 25 against the shrinkage of the adhesive layer 40 at the low-temperature environment temperature, the force (tensile stress) that the adhesive layer 40 pulls the grating plate 30. ) Occurs. When the thickness of the adhesive layer 40 is large and the thickness of the grating plate 30 is sufficiently thin, the tensile stress is relieved by the bending of the grating plate 30. At this time, since the amount of bending of the grating plate 30 is very small, it does not affect the accuracy of the gap. In other words, the gap varies between the optical system and the grating plate 30 according to the position during rotation due to the deflection of the grating plate 30, and this variation is at a level that does not cause a problem for detection accuracy. .

図5は、接着剤層に作用する引張応力を説明するための図である。
図5(a)は、接着剤硬化温度での接着剤層40の周辺部を示す。接着剤硬化温度は、上記工程S3で接着剤を硬化させる際の温度である。接着剤硬化温度では、接着剤層40の厚さは突起部25の高さ(Z軸方向の長さ)に等しくH[mm]である。
図5(b)は、低温側環境温度での接着剤層40の周辺部を示す。低温側環境温度では、突起部25の高さはH[mm]に収縮し、接着剤層40の厚さはHa1[mm]に収縮する。実際には、接着剤層40にはグレーティング板30が接着されているので、グレーティング板30は接着剤層40に引っ張られて撓む。最も撓んだ箇所(本実施形態1では中央部)の接着剤層40の厚さをH[mm]で示す。H[mm]、Ha1[mm]は、それぞれ式(1)、式(2)で表される。
FIG. 5 is a diagram for explaining the tensile stress acting on the adhesive layer.
FIG. 5A shows the periphery of the adhesive layer 40 at the adhesive curing temperature. The adhesive curing temperature is a temperature at which the adhesive is cured in step S3. At the adhesive curing temperature, the thickness of the adhesive layer 40 is equal to the height of the protrusion 25 (the length in the Z-axis direction) and is H 0 [mm].
FIG.5 (b) shows the peripheral part of the adhesive bond layer 40 in low temperature side environmental temperature. At the low ambient temperature, the height of the protrusion 25 contracts to H m [mm], and the thickness of the adhesive layer 40 contracts to H a1 [mm]. Actually, since the grating plate 30 is bonded to the adhesive layer 40, the grating plate 30 is pulled by the adhesive layer 40 and bent. The thickness of the adhesive layer 40 at the most bent portion (the center portion in the first embodiment) is indicated by H a [mm]. H m [mm] and H a1 [mm] are represented by formula (1) and formula (2), respectively.

Figure 2016031266
Figure 2016031266

以下、グレーティング板30と接着剤層40との界面における引張応力の釣り合いを、等分布荷重が作用した両端支持梁により簡略的にモデル化する。
接着面24の長さ(Y軸方向の長さ)L0T[mm]の両端が支持され、接着剤層40に等分布引張荷重w[N/mm]が作用するとする。収縮後の接着剤層40の伸び(Z軸方向)をΔH[mm]とすると、H、Ha1、ΔHの間の関係は式(3)で表される。
Hereinafter, the balance of the tensile stress at the interface between the grating plate 30 and the adhesive layer 40 is simply modeled by the both end support beams to which the equally distributed load is applied.
It is assumed that both ends of the length (length in the Y-axis direction) L 0T [mm] of the adhesive surface 24 are supported, and an evenly distributed tensile load w [N / mm] acts on the adhesive layer 40. When the elongation (Z-axis direction) of the adhesive layer 40 after shrinkage is ΔH a [mm], the relationship among H a , H a1 , and ΔH a is expressed by Expression (3).

Figure 2016031266
Figure 2016031266

グレーティング板30と接着剤層40の界面における引張応力の釣り合いを式(4)に示す。なお、式(4)において、W[N]は接着剤層40に加わる総荷重であり、W[N]=w[N/mm]×L0T[mm]で表される。L0T[mm]は、低温側環境温度で収縮したときの支持部25間の長さL0m[mm]である。L0m[mm]が数十ミリメートル程度以下の場合、L0m[mm]の収縮量はわずかであるため、L0T[mm]をL0m[mm]で近似して問題ない。グレーティング板30の幅(X軸方向の長さ)をL0TV[mm]とする。L0T[mm]と同様に、低温側環境温度での収縮量はわずかであるため、収縮前の長さで近似して問題ない。A[mm]は接着面の面積であり、A[mm]=L0T[mm]×L0TV[mm]で表される。同様に、A[mm]の低温側環境温度での収縮量はわずかであるため、収縮前の面積で近似して問題ない。 The balance of the tensile stress at the interface between the grating plate 30 and the adhesive layer 40 is shown in Equation (4). In Equation (4), W [N] is a total load applied to the adhesive layer 40, and is represented by W [N] = w [N / mm] × L 0T [mm]. L 0T [mm] is a length L 0m [mm] between the support portions 25 when contracted at the low temperature environment temperature. When L 0m [mm] is about several tens of millimeters or less, the contraction amount of L 0m [mm] is very small, so that there is no problem in approximating L 0T [mm] with L 0m [mm]. The width (length in the X-axis direction) of the grating plate 30 is L 0TV [mm]. Similar to L 0T [mm], the amount of shrinkage at the low-temperature environment temperature is very small, so there is no problem in approximating the length before shrinkage. A 0 [mm 2 ] is an area of the bonding surface, and is represented by A 0 [mm 2 ] = L 0T [mm] × L 0TV [mm]. Similarly, since the amount of shrinkage of the A 0 [mm 2 ] at the low-temperature environment temperature is small, there is no problem in approximating the area before shrinkage.

Figure 2016031266
Figure 2016031266

このモデルでは一般に、グレーティング板30の最大撓み量(Z軸方向)をδ[mm]として、等分布引張荷重w[N/mm]は式(5)で表される。ただし、最大撓み量δ[mm]は、式(6)で表され、グレーティング板30の断面2次モーメントI[mm]は式(7)で表される。 In this model, generally, the maximum amount of deflection (Z-axis direction) of the grating plate 30 is δ [mm], and the equally distributed tensile load w [N / mm] is expressed by Equation (5). However, the maximum amount of deflection δ [mm] is expressed by Expression (6), and the secondary moment of inertia I g [mm 4 ] of the grating plate 30 is expressed by Expression (7).

Figure 2016031266
Figure 2016031266

式(5)と式(6)を式(4)に代入し、ΔH[mm]について解くと式(8)が得られる。ただし、式(8)中のKは式(9)で表される。 Substituting Equation (5) and Equation (6) into Equation (4) and solving for ΔH a [mm] yields Equation (8). However, K 1 in the formula (8) is expressed by Equation (9).

Figure 2016031266
Figure 2016031266

接着剤層40に作用する引張応力σ[MPa]は、フックの法則より式(10)で表される。   The tensile stress σ [MPa] acting on the adhesive layer 40 is expressed by the equation (10) from Hooke's law.

Figure 2016031266
Figure 2016031266

式(10)から判るように、接着剤層40に作用する引張応力σ[MPa]は突起部25の高さH[mm]の関数で表され、H[mm]が大きくなる程大きくなる。なお、式(10)からは、突起部25間の距離L0T[mm]が長いほど引張応力σが小さくなることも判る。 As can be seen from equation (10), a tensile stress acts on the adhesive layer 40 sigma [MPa] is represented by the height H 0 function [mm] of the protrusion 25, large enough to H 0 [mm] is increased Become. Note that it can also be seen from the equation (10) that the tensile stress σ decreases as the distance L 0T [mm] between the protrusions 25 increases.

グレーティング板30が接着剤層40から剥がれないようにするために、引張応力σ[MPa]には、引張り接着強さσ[MPa]より小さい(σ<σ)という条件が課される。引張り接着強さσは、例えばJISK6849(1994)により測定可能な値である。この条件(σ<σ)に式(10)を代入して、Hについての不等式(11)が得られる。式(11)を変形して、Hについての不等式(12)が得られる。ただし、式(11)、式(12)中のKは式(13)で表される。 In order to prevent the grating plate 30 from being peeled off from the adhesive layer 40, the tensile stress σ [MPa] is subjected to a condition that is smaller than the tensile adhesive strength σ c [MPa] (σ <σ c ). The tensile bond strength σ c is a value that can be measured, for example, according to JIS K6849 (1994). By substituting equation (10) into this condition (σ <σ c ), inequality (11) for H g is obtained. Equation (11) is transformed to give inequality (12) for H 0 . However, equation (11), K 2 in the formula (12) is expressed by Equation (13).

Figure 2016031266
Figure 2016031266

グレーティング板30の厚さH[mm]が式(11)を満たし、または、突起部25の高さH[mm]が式(12)を満たす場合には、引張応力に起因してグレーティング板30が接着剤層40から剥がれることがない。 When the thickness H g [mm] of the grating plate 30 satisfies the expression (11) or the height H 0 [mm] of the protrusion 25 satisfies the expression (12), the grating is caused by the tensile stress. The plate 30 is not peeled off from the adhesive layer 40.

なお、式(12)、式(13)の右辺が最も小さくなるときが、H[mm]、H[mm]についての最も厳しい条件である。それゆえ上記の通り、L0T[mm]を「突起部25間の最小距離」と定義し、L0TV[mm]を「距離L0Tに垂直な直線の接着領域内での距離」と定義している。 Incidentally, formula (12), when the right side of equation (13) becomes minimum is, H g [mm], the most severe condition for H 0 [mm]. Therefore, as described above, L 0T [mm] is defined as “minimum distance between the protrusions 25”, and L 0TV [mm] is defined as “distance within the linear adhesion region perpendicular to the distance L 0T ”. ing.

2.せん断応力
温度変化ΔT[℃]が生じたときには、ハブ20とグレーティング板30はそれぞれ膨張または収縮する。低温側環境温度では、接着面24の長さL[mm]はL0A[mm]に収縮し、グレーティング板30の裏面の接着剤層40と接する部分の長さ(Y軸方向の長さ)はL[mm]からL[mm]に収縮する。L0A[mm]、L[mm]は、それぞれ式(14)、式(15)で表される。
2. Shear stress When the temperature change ΔT [° C.] occurs, the hub 20 and the grating plate 30 expand or contract, respectively. At the low-temperature environment temperature, the length L 0 [mm] of the bonding surface 24 shrinks to L 0A [mm], and the length of the portion in contact with the adhesive layer 40 on the back surface of the grating plate 30 (the length in the Y-axis direction). ) Contracts from L 0 [mm] to L g [mm]. L 0A [mm] and L g [mm] are represented by formula (14) and formula (15), respectively.

Figure 2016031266
Figure 2016031266

接着剤層40の縦弾性係数はハブ20、グレーティング30の縦弾性係数と比較して小さいため、接着剤層40が変形する。接着剤層40のY軸方向の変形量λ[mm]は、式(16)で表される。   Since the longitudinal elastic modulus of the adhesive layer 40 is smaller than the longitudinal elastic modulus of the hub 20 and the grating 30, the adhesive layer 40 is deformed. The deformation amount λ [mm] in the Y-axis direction of the adhesive layer 40 is expressed by Expression (16).

Figure 2016031266
Figure 2016031266

温度変化に起因する被着部材の伸び(縮み)によるせん断応力τ[MPa]は、フックの法則に式(16)を代入して式(17)で表される。   The shear stress τ [MPa] due to the elongation (shrinkage) of the adherend due to the temperature change is expressed by the equation (17) by substituting the equation (16) into the Hooke's law.

Figure 2016031266
Figure 2016031266

式(16)から判るように、接着剤層40に作用するせん断応力τ[MPa]は突起部25の高さH[mm]の関数で表され、H[mm]が小さくなる程大きくなる。
引張応力の場合と同様に、グレーティング板30が接着剤層40から剥がれないようにするために、せん断応力τ[MPa]には、せん断接着強さτ[MPa]より小さい(τ<τ)という条件が課される。せん断接着強さτは、例えばJISK6850(1999)により測定可能な値である。この条件(τ<τ)に式(17)を代入して、Hについての不等式(18)が得られる。
As can be seen from equation (16), the shear stress acting on the adhesive layer 40 tau [MPa] is represented by the height function of the H 0 [mm] of the protrusion 25, large enough to H 0 [mm] is reduced Become.
As in the case of tensile stress, the shear stress τ [MPa] is smaller than the shear bond strength τ c [MPa] (τ <τ c ) so that the grating plate 30 is not peeled off from the adhesive layer 40. ) Is imposed. The shear bond strength τ c is a value that can be measured, for example, according to JIS K6850 (1999). By substituting equation (17) into this condition (τ <τ c ), inequality (18) for H 0 is obtained.

Figure 2016031266
Figure 2016031266

突起部25の高さH[mm]が式(18)を満たす場合には、せん断応力に起因してグレーティング板30が接着剤層40から剥がれることがない。 When the height H 0 [mm] of the protrusion 25 satisfies the formula (18), the grating plate 30 is not peeled off from the adhesive layer 40 due to shear stress.

なお、式(18)の右辺が最も小さくなるときが、H[mm]についての最も厳しい条件である。それゆえ上記の通り、L0A[mm]を「接着領域内の最大距離」と定義している。 Note that the time when the right side of Expression (18) is the smallest is the most severe condition for H 0 [mm]. Therefore, as described above, L 0A [mm] is defined as “the maximum distance in the adhesion region”.

以上より、突起部25の高さH[mm]が式(12)と式(18)を同時に満たす、すなわちH[mm]が式(19)を満たす場合には、熱応力(引張応力、せん断応力)に起因してグレーティング板30が接着剤層40から剥がれることがない。 From the above, when the height H 0 [mm] of the protrusion 25 satisfies the expressions (12) and (18) simultaneously, that is, when H 0 [mm] satisfies the expression (19), the thermal stress (tensile stress) The grating plate 30 is not peeled off from the adhesive layer 40 due to shear stress).

Figure 2016031266
Figure 2016031266

(実施例)
一例として、ハブ20の材料にアルミニウムを用い、グレーティング板30の材料にガラスを用い、接着剤層40を構成する接着剤にウレタン系接着剤を用いた場合の、突起部25の高さH[mm]の好適な範囲を計算した。
(Example)
As an example, the height H 0 of the protrusion 25 when aluminum is used as the material of the hub 20, glass is used as the material of the grating plate 30, and a urethane-based adhesive is used as the adhesive constituting the adhesive layer 40. The preferred range of [mm] was calculated.

典型的な条件を以下に挙げる。
・温度変化量ΔT[℃]=55
・ハブ20の線膨張係数α[1/℃]=2.3×10−5
・突起部25間の最小距離L0T[mm]=3.0
・距離L0Tに垂直な直線の接着領域内での距離L0TV[mm]=4.0
・接着領域内の最大距離L0A[mm]=5.0
・グレーティング板30の縦弾性係数E[MPa]=7.1×10
・グレーティング板30の線膨張係数α[1/℃]=8.5×10−6
・接着剤層40とグレーティング板30の下面との接着面積A[mm]=13
・接着剤層40の縦弾性係数E[MPa]=7.0×10
・接着剤層40の横弾性係数G[MPa]=2.3×10
・接着剤層40の線膨張係数α[1/℃]=2.5×10−4
・引張接着強度σ[MPa]=7.0
・せん断接着強度τ[MPa]=16
Typical conditions are listed below.
・ Temperature change ΔT [° C.] = 55
The linear expansion coefficient α m [1 / ° C.] = 2.3 × 10 −5 of the hub 20
-Minimum distance L 0T [mm] = 3.0 between the protrusions 25
And distance L 0T a distance L 0TV in adhesion area of the line vertical [mm] = 4.0
・ Maximum distance L 0A [mm] in the adhesion area = 5.0
The longitudinal elastic modulus E g [MPa] = 7.1 × 10 4 of the grating plate 30
The linear expansion coefficient α g of the grating plate 30 [1 / ° C.] = 8.5 × 10 −6
-Adhesion area A 0 [mm 2 ] = 13 between the adhesive layer 40 and the lower surface of the grating plate 30
The longitudinal elastic modulus E a [MPa] of the adhesive layer 40 = 7.0 × 10 2
The transverse elastic modulus G a [MPa] of the adhesive layer 40 = 2.3 × 10 2
The linear expansion coefficient α a [1 / ° C.] = 2.5 × 10 −4 of the adhesive layer 40
・ Tensile bond strength σ c [MPa] = 7.0
Shear bond strength τ c [MPa] = 16

上記値を式(18)に代入すると、突起部25の高さH[mm]>5.8×10−2が得られる。一例としてH[mm]=6.0×10−2とし、この値を式(11)に代入すると、グレーティング板30の厚さH[mm]<2.0が得られた。一例としてH[mm]=1.5とした。H[mm]≦1.5であれば、引張応力が作用したときにグレーティング板30が撓み、引張応力が緩和されるといえる。 By substituting the above value into the equation (18), the height H 0 [mm]> 5.8 × 10 −2 of the protrusion 25 is obtained. As an example, when H 0 [mm] = 6.0 × 10 −2 is set and this value is substituted into the equation (11), the thickness H g [mm] <2.0 of the grating plate 30 is obtained. As an example, H g [mm] = 1.5. If H g [mm] ≦ 1.5, it can be said that the grating plate 30 is bent when the tensile stress is applied, and the tensile stress is relaxed.

式(10)を基に接着剤層40に作用する引張応力σを算出し、式(17)を基に接着剤層40に作用するせん断応力τを算出し、それぞれ突起部25の高さ(接着剤層40の厚さ)の関数としてプロットしてグラフを作成した。このグラフを図6に示す。
図6から、引張剥がれ、せん断剥がれが生じない突起部25の高さH[mm]の範囲は、約0.06[mm]〜約0.15[mm]であると判った。また、式(6)を基に算出した最大撓み量δは1.0×10−3[mm]未満であってギャップの精度について無視できる程度の微少な値である。
The tensile stress σ acting on the adhesive layer 40 is calculated based on the equation (10), the shear stress τ acting on the adhesive layer 40 is calculated based on the equation (17), and the height ( A graph was created by plotting as a function of the thickness of the adhesive layer 40. This graph is shown in FIG.
From FIG. 6, it was found that the range of the height H 0 [mm] of the protrusion 25 where tensile peeling and shear peeling did not occur was about 0.06 [mm] to about 0.15 [mm]. Further, the maximum deflection amount δ calculated based on the formula (6) is less than 1.0 × 10 −3 [mm] and is a negligible value with respect to the accuracy of the gap.

実施の形態2.
図7は、本発明の実施の形態2におけるハブの突起部の配置例を示す平面図である。
本実施形態2は、突起部25の構成が上記実施形態1と異なる。エンコーダ100のその他の構成は実施形態1と同じであり、図面において同一の符号を付して説明を省略する。
Embodiment 2. FIG.
FIG. 7 is a plan view showing an arrangement example of the protrusions of the hub according to the second embodiment of the present invention.
The second embodiment is different from the first embodiment in the configuration of the protrusion 25. Other configurations of the encoder 100 are the same as those of the first embodiment, and the same reference numerals are given in the drawings, and description thereof is omitted.

図7(a)は、接着面24の外周部の4箇所に突起部25a〜25dが設けられた図4(a)に対応する。シャフト10の回転中心から見てY軸方向に遠い位置にある(湾曲辺側の)2つの突起部25a,25bがつながって、接着面24の外周部の一部を覆う壁状の突起部25fが形成されている。   FIG. 7A corresponds to FIG. 4A in which the protrusions 25 a to 25 d are provided at four locations on the outer peripheral portion of the bonding surface 24. Two projections 25a and 25b that are far from the rotation center of the shaft 10 in the Y-axis direction (on the curved side) are connected to each other, and a wall-like projection 25f that covers a part of the outer peripheral portion of the bonding surface 24 is connected. Is formed.

ここで、グレーティング数が多いほど、エンコーダの分解能を向上させることができる。それゆえ、分解能を向上させる観点では、シャフト10の回転中心から見てY軸方向にできるだけ遠い位置に光学パターン31が形成されることが好ましい。またこのとき、光学系とグレーティング板30との間のギャップの精度を向上させるために、壁状の突起部25fは、光学パターン31にわたって延びてその全域を支持していることが好ましい。   Here, as the number of gratings increases, the resolution of the encoder can be improved. Therefore, from the viewpoint of improving the resolution, it is preferable that the optical pattern 31 is formed at a position as far as possible in the Y-axis direction when viewed from the rotation center of the shaft 10. At this time, in order to improve the accuracy of the gap between the optical system and the grating plate 30, it is preferable that the wall-shaped protrusion 25f extends over the optical pattern 31 and supports the entire area thereof.

またここで、作業性を考慮すると、座部22からはみ出る接着剤の量はできるだけ少ないことが望ましい。本実施形態2では、壁状の突起部25fにより接着剤が湾曲辺側に流れにくくなり、座部22からはみ出る接着剤の量を少なくして作業性を向上させることができる。   Here, considering workability, it is desirable that the amount of the adhesive protruding from the seat portion 22 is as small as possible. In the second embodiment, the wall-shaped protrusion 25f makes it difficult for the adhesive to flow toward the curved side, and the workability can be improved by reducing the amount of the adhesive protruding from the seat portion 22.

図7(b)では、接着面24の外周部全体を覆う壁状の突起部25gが設けられている。この突起部25gの構造は非常に単純であり、加工が簡単なため低コストで製造可能である。また、図7(b)の構造によれば、図7(a)と同様に、光学系とグレーティング板30との間のギャップの精度を向上させることができる。   In FIG. 7B, a wall-like protrusion 25 g that covers the entire outer peripheral portion of the bonding surface 24 is provided. The structure of the protrusion 25g is very simple and can be manufactured at low cost because it is easy to process. 7B, the accuracy of the gap between the optical system and the grating plate 30 can be improved as in FIG. 7A.

以上、上記実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はこの実施形態に限定されず、さらに上記実施形態には、種々の変形、改良が加えられてよい。   The present invention has been described with reference to the above embodiment, but the present invention is not limited to this embodiment, and various modifications and improvements may be added to the above embodiment.

例えば、上記実施形態では反射型の光学式エンコーダについて説明したが、本発明はこれに限定されることなく、グレーティング板30に対して投光部50と受光部60とが反対側に位置する透過型の光学式エンコーダであってもよい。この場合、グレーティング板30は、接着面24の外周部から光学パターン31が外側へ飛び出すような形状を有し、またはそのように配置される。これにより、光学パターン31の下面側に座部22が存在しない状態となる。また、投光部50と受光部60は、グレーティング板30の表面に対して反対側に配置される。これにより、投光部50から射出された光は光学パターンを透過して受光部60で検出されることになる。   For example, although the reflection type optical encoder has been described in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and the light projecting unit 50 and the light receiving unit 60 are located on the opposite sides of the grating plate 30. It may be a type optical encoder. In this case, the grating plate 30 has a shape such that the optical pattern 31 protrudes outward from the outer peripheral portion of the bonding surface 24, or is arranged in such a manner. As a result, the seat portion 22 does not exist on the lower surface side of the optical pattern 31. In addition, the light projecting unit 50 and the light receiving unit 60 are disposed on the opposite sides with respect to the surface of the grating plate 30. Thereby, the light emitted from the light projecting unit 50 passes through the optical pattern and is detected by the light receiving unit 60.

10 シャフト、 20 ハブ、 21 本体部、 22 座部、 23 底面、 24 接着面、 25(25a〜25g) 突起部、 26,27 位置決め基準面、 30 グレーティング板、 31 光学パターン、 40 弾性接着剤層、 50 投光部、 60 受光部、 100 光学式エンコーダ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Shaft, 20 Hub, 21 Body part, 22 Seat part, 23 Bottom face, 24 Adhesive surface, 25 (25a-25g) Protrusion part, 26,27 Positioning reference surface, 30 Grating plate, 31 Optical pattern, 40 Elastic adhesive layer , 50 Projector, 60 Receiver, 100 Optical encoder

Claims (8)

一定の角度範囲内で回転する回転体の回転を検出する光学式エンコーダであって、
中空の本体部および該本体部から半径方向に延出した座部を有するハブと、
前記座部に弾性接着剤層を介して接着されたグレーティング板と、
前記グレーティング板に対して光を照射する投光部と、
前記グレーティング板からの光を受光する受光部とを備え、
前記座部は、前記弾性接着剤層が設けられた接着面と、該接着面の外周部の上に設けられて前記グレーティング板を3点以上の点で支持する1つまたは複数の突起部とを有することを特徴とする
光学式エンコーダ。
An optical encoder that detects the rotation of a rotating body that rotates within a certain angular range,
A hub having a hollow body and a seat extending radially from the body;
A grating plate bonded to the seat through an elastic adhesive layer;
A light projecting unit that irradiates light to the grating plate;
A light receiving portion for receiving light from the grating plate,
The seat includes an adhesive surface on which the elastic adhesive layer is provided, and one or a plurality of protrusions provided on an outer peripheral portion of the adhesive surface to support the grating plate at three or more points. An optical encoder characterized by comprising:
前記1つまたは複数の突起部は、前記接着面の外周部の少なくとも一部を覆う壁状の突起部を含むことを特徴とする、
請求項1に記載の光学式エンコーダ。
The one or more protrusions include a wall-like protrusion that covers at least a part of the outer peripheral portion of the bonding surface.
The optical encoder according to claim 1.
前記接着面は、前記座部の底面より上方に位置することを特徴とする、
請求項1または2に記載の光学式エンコーダ。
The adhesive surface is located above the bottom surface of the seat,
The optical encoder according to claim 1 or 2.
前記弾性接着剤層は、ウレタン系接着剤からなることを特徴とする、
請求項1から3のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
The elastic adhesive layer is made of a urethane adhesive,
The optical encoder according to any one of claims 1 to 3.
グレーティング板の厚さは、1.5[mm]以下であることを特徴とする、
請求項1から4のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。
The thickness of the grating plate is 1.5 [mm] or less,
The optical encoder according to any one of claims 1 to 4.
請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学式エンコーダを製造する方法であって、
前記接着面の上に弾性接着剤を塗布する工程と、
前記1つまたは複数の突起部に対してグレーティング板を押し付ける工程と、
前記弾性接着剤を硬化させて弾性接着剤層を形成する工程とを含み、
前記1つまたは複数の突起部の高さH[mm]は、弾性接着剤の硬化温度と低温側環境温度との差ΔT[℃]に応じて変化する、前記弾性接着剤層に作用する引張応力およびせん断応力が、予め測定された引張り接着強さσ[MPa]およびせん断接着強さτ[MPa]よりそれぞれ小さくなる範囲内の値であることを特徴とする
光学式エンコーダの製造方法。
A method for manufacturing the optical encoder according to claim 1,
Applying an elastic adhesive on the adhesive surface;
Pressing a grating plate against the one or more protrusions;
Curing the elastic adhesive to form an elastic adhesive layer,
The height H 0 [mm] of the one or more protrusions acts on the elastic adhesive layer that changes according to the difference ΔT [° C.] between the curing temperature of the elastic adhesive and the low-temperature environment temperature. Production of optical encoder, wherein tensile stress and shear stress are values within a range smaller than the previously measured tensile bond strength σ c [MPa] and shear bond strength τ c [MPa], respectively. Method.
前記1つまたは複数の突起部の高さH[mm]は、下記の式(1)、式(2)
を満たし、
Figure 2016031266
ここで、
ΔT[℃]は、接着剤硬化温度と低温側環境温度との差、
α[1/℃]は、ハブの線膨張係数、
0A[mm]は、接着領域内の最大距離、
0T[mm]は、突起部間の最小距離、
0TV[mm]は、距離L0Tに垂直な直線の接着領域内での距離、
[mm]は、グレーティング板の厚さ、
[MPa]は、グレーティング板の縦弾性係数、
α[1/℃]は、グレーティング板の線膨張係数、
[mm]は、接着剤層とグレーティング板の下面との接着面積、
[MPa]は、接着剤層の縦弾性係数、
[MPa]は、接着剤層の横弾性係数、
α[1/℃]は、接着剤層の線膨張係数であることを特徴とする、
請求項6に記載の光学式エンコーダの製造方法。
The height H 0 [mm] of the one or more protrusions is expressed by the following formulas (1) and (2).
The filling,
Figure 2016031266
here,
ΔT [° C.] is the difference between the adhesive curing temperature and the low-temperature environment temperature,
α m [1 / ° C] is the linear expansion coefficient of the hub,
L 0A [mm] is the maximum distance in the bonded area,
L 0T [mm] is the minimum distance between the protrusions,
L 0TV [mm] is a distance in a straight adhesion region perpendicular to the distance L 0T ,
H g [mm] is the thickness of the grating plate,
E g [MPa] is the longitudinal elastic modulus of the grating plate,
α g [1 / ° C.] is the coefficient of linear expansion of the grating plate,
A 0 [mm 2 ] is an adhesion area between the adhesive layer and the lower surface of the grating plate,
E a [MPa] is the longitudinal elastic modulus of the adhesive layer,
G a [MPa] is the transverse elastic modulus of the adhesive layer,
α a [1 / ° C.] is a linear expansion coefficient of the adhesive layer,
A method for manufacturing the optical encoder according to claim 6.
前記座部は、前記接着面に対して垂直な方向に立設された位置決め基準面を有し、
前記1つまたは複数の突起部に対してグレーティング板を押し付ける工程では、前記グレーティング板の端面を位置決め基準面に押し当てた状態でグレーティング板を押し付けることを特徴とする、
請求項6または7に記載の光学式エンコーダの製造方法。
The seat has a positioning reference surface that is erected in a direction perpendicular to the adhesive surface;
In the step of pressing the grating plate against the one or more protrusions, the grating plate is pressed in a state where an end surface of the grating plate is pressed against a positioning reference surface,
A method for manufacturing the optical encoder according to claim 6 or 7.
JP2014153112A 2014-07-28 2014-07-28 Optical encoder and method for manufacturing optical encoder Active JP6436674B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014153112A JP6436674B2 (en) 2014-07-28 2014-07-28 Optical encoder and method for manufacturing optical encoder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014153112A JP6436674B2 (en) 2014-07-28 2014-07-28 Optical encoder and method for manufacturing optical encoder

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016031266A true JP2016031266A (en) 2016-03-07
JP6436674B2 JP6436674B2 (en) 2018-12-12

Family

ID=55441735

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014153112A Active JP6436674B2 (en) 2014-07-28 2014-07-28 Optical encoder and method for manufacturing optical encoder

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6436674B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112384761A (en) * 2018-07-13 2021-02-19 三菱电机株式会社 Encoder, motor, and method for manufacturing encoder
WO2021087693A1 (en) * 2019-11-04 2021-05-14 深圳市大疆创新科技有限公司 Sensor, movable platform and microwave radar sensor

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04208811A (en) * 1990-12-01 1992-07-30 Canon Inc Rotation detector and apparatus using the same
JPH0499014U (en) * 1991-01-31 1992-08-27
JPH0584818U (en) * 1993-04-08 1993-11-16 キヤノン株式会社 Optical scale
JPH1114404A (en) * 1997-06-23 1999-01-22 Fanuc Ltd Optical rotary encoder
JP2004340929A (en) * 2003-04-21 2004-12-02 Mitsubishi Electric Corp Optical rotary encoder
JP2007132811A (en) * 2005-11-10 2007-05-31 Samutaku Kk Linear encoder
JP2012073219A (en) * 2010-08-30 2012-04-12 Canon Inc Rotary encoder and method for assembling rotary encoder
JP2013007676A (en) * 2011-06-24 2013-01-10 Mitsutoyo Corp Graduation protection structure of scale
WO2013114567A1 (en) * 2012-01-31 2013-08-08 株式会社安川電機 Encoder, encoder manufacturing method, and drive apparatus
JP2013257341A (en) * 2008-06-17 2013-12-26 Renishaw Plc Scale track

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04208811A (en) * 1990-12-01 1992-07-30 Canon Inc Rotation detector and apparatus using the same
JPH0499014U (en) * 1991-01-31 1992-08-27
JPH0584818U (en) * 1993-04-08 1993-11-16 キヤノン株式会社 Optical scale
JPH1114404A (en) * 1997-06-23 1999-01-22 Fanuc Ltd Optical rotary encoder
JP2004340929A (en) * 2003-04-21 2004-12-02 Mitsubishi Electric Corp Optical rotary encoder
JP2007132811A (en) * 2005-11-10 2007-05-31 Samutaku Kk Linear encoder
JP2013257341A (en) * 2008-06-17 2013-12-26 Renishaw Plc Scale track
JP2012073219A (en) * 2010-08-30 2012-04-12 Canon Inc Rotary encoder and method for assembling rotary encoder
JP2013007676A (en) * 2011-06-24 2013-01-10 Mitsutoyo Corp Graduation protection structure of scale
WO2013114567A1 (en) * 2012-01-31 2013-08-08 株式会社安川電機 Encoder, encoder manufacturing method, and drive apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112384761A (en) * 2018-07-13 2021-02-19 三菱电机株式会社 Encoder, motor, and method for manufacturing encoder
CN112384761B (en) * 2018-07-13 2022-10-14 三菱电机株式会社 Encoder, motor, and method for manufacturing encoder
WO2021087693A1 (en) * 2019-11-04 2021-05-14 深圳市大疆创新科技有限公司 Sensor, movable platform and microwave radar sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP6436674B2 (en) 2018-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3787362B2 (en) Strip-like elastic flexible tape measure for length or angle measuring device
US10401378B2 (en) Accelerometer
JP5630088B2 (en) Piezoresistive pressure sensor
JP2014085342A (en) Stress reduction components for sensors
KR20060054053A (en) Optical element holding system, barrel, exposure apparatus, and device manufacturing method
JP6436674B2 (en) Optical encoder and method for manufacturing optical encoder
US5097172A (en) Mounting system for transducer
JP2002340624A (en) Detector for rotation angle, and rotary disc therefor
US11111132B2 (en) Micro electromechanical systems (MEMS)inertial sensor
JP2003222507A (en) Optical fiber sensor and strain monitoring system using sensor
US20170338708A1 (en) Rotating-electric-machine rotor structure, and rotating electric machine
US20210190606A1 (en) Strain gages and methods for manufacturing thereof
JP5308074B2 (en) Laser beam correction system and bimorph wavefront correction mirror manufacturing method
US20200063794A1 (en) Method for fixing a fiber having a fiber bragg grating sensor segment onto a compo-nent and bearing device with such a fiber
JP2007333667A (en) Optical encoder
KR20200019245A (en) Torque detector
JP2010135492A (en) Aligner and device manufacturing method
KR101331469B1 (en) Reducing Method of Warpage for Anodic Bonded Silicon/Glass Substrate
JP2012030333A (en) Structure including holder unit and device unit and fixing method for the same
JP2009134320A (en) Method of manufacturing optical module
JP2017003736A (en) Lens fixing structure and fixing method
KR101255665B1 (en) Apparatus for measuring torque using optical sensor
JP6349281B2 (en) Optical device and method for assembling the same
JP2005300316A (en) Displacement measuring device
JP2011185759A (en) Semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170125

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171016

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171031

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180515

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180625

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181016

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181113

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6436674

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250