JPH0580003A - 物性量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 検出器を各マイクロ波空洞共振器毎に設ける
必要が無いので検出器同士の調整を必要とせず、かつ測
定感度の高い物性量測定装置を提供する。 【構成】 マイクロ波は、アイソレータを介して分配器
に与えられて分割され、受信アンテナ14が設けられてい
てかつ中心部に突起部16を有する複数の円筒状構成部15
a, ・・・ hに与えられる。各円筒状構成部の固有発振周波
数は、100MHzづつずらせてあり、紙パルプの様な被測定
物11に等間隔で配置されている。各円筒状構成部(15a,
・・・ h)に対向させて、送信アンテナ13を有する円筒状構
成部15a, ・・・ hを配置させて、各対の間に共振状態を起
こさせる。被測定物11により固有共振状態から変位した
共振状態は、送信アンテナ13により捕集され、それらは
結合器により結合される。結合されたマイクロ波出力
は、一個のマイクロ波検出器により検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の広範囲に渡
る部所の物性量を同時にかつ瞬時に測定することを可能
とし、かつ電圧制御マイクロ波発振器とマイクロ波検出
器が各々一個で済む、複数のマイクロ波空洞共振器を備
えた物性量測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、製紙工程の場合、6mもの幅の原
料パルプが、分速1000mもの速さで移動するが、一定の
品質の紙を得るためには、原料パルプの水分量と坪量
（単位面積当りの重量）を広範囲の部所に渡って常時測
定し、その測定結果に基づいて瞬時に原料の調整を行う
必要がある。従来は一個の測定器を機械的に移動させて
物性量を測定していたので、測定器が移動する間に原料
パルプが何1000mも通過してしまうので、大きな距離に
渡る部所の水分量および坪量等の物性量を同時にかつ瞬
時に測定する事は不可能であった。そこで、本出願人
は、特願昭61ー10897号（特開昭62ー169041号）により、
マイクロ波空洞共振器を複数個測定部位に配置させた物
性量測定装置を提案してその問題を解決した。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】特願昭61ー10897号の発
明により、広範囲に渡る水分量および坪量等の物性量を
同時にかつ瞬時に測定する事は可能になったが、この発
明の物性量測定装置は、検出器を各マイクロ波空洞共振
器毎に設けなければならないので、物性量測定装置の価
格が高くなる他、検出器同士の感度の調整等が面倒であ
ると言う欠点を有していた。

【０００４】

【課題を解決するための手段及び作用】そこで、本発明
は、これらの課題を解決するための新規な物性量測定装
置を提案する。

【０００５】本発明の第一実施例は、一個の鋸歯状波発
振器と、前記鋸歯状波発振器が発生する鋸歯状波電圧に
より駆動させる一個の電圧制御マイクロ波発振器と、前
記マイクロ波発振器が発生させたマイクロ波を分配する
複数個の分配器と、前記分配器により分配された各マイ
クロ波が被測定物の対応する部所の物性量に応じて共振
する、固有共振周波数が各々異なる複数のマイクロ波空
洞共振器と、前記複数のマイクロ波空洞共振器の各マイ
クロ波出力を結合させる結合器と、前記結合器の出力を
検出する一個のマイクロ波検出器と、前記マイクロ波検
出器の出力から前記被測定物の部所に対応する物性量を
演算する演算器とを有する物性量測定装置に関する。

【０００６】被測定物の各測定部所に配置される各マイ
クロ波空洞共振器の固有共振周波数は各々異なる様に構
成されているので、各測定部所の物性量に応じて共振す
る各マイクロ波空洞共振器の共振特性を結合器により結
合させても、一回の電子走査により各マイクロ波空洞共
振器の固有共振周波数近傍毎に各共振特性を独立に測定
することが出来る。従って、この物性量測定装置による
と、広い範囲に渡る被測定物の各測定部所の物性量を瞬
時に測定することが可能となる。

【０００７】第一実施例の物性量測定装置は、マイクロ
波検出器を一個しか使用しないので、その価格は廉価に
なり、検出器同士を調整するという作業が不必要とな
る。

【０００８】本発明の第二実施例は、一個の鋸歯状波発
振器と、前記鋸歯状波発振器が発生する鋸歯状波電圧に
より駆動させる一個の電圧制御マイクロ波発振器と、前
記マイクロ波発振器が発生させたマイクロ波を分配する
複数個の分配器とを備え、

【０００９】開口部を有しかつその中心部に突起部を有
するマイクロ波空洞共振器の円筒状構成部を、前記開口
部を被測定物の一方の面の各測定部所に対向させた状態
で前記被測定物の面内に複数個配置し、前記分配器によ
り分配された各マイクロ波が前記構成部の各々に供給さ
れるように構成し、かつ前記マイクロ波空洞共振器の各
固有共振周波数を相互に相違させ、前記複数のマイクロ
波空洞共振器の各マイクロ波出力を結合させる結合器
と、前記結合器の出力を検出する一個のマイクロ波検出
器と、前記マイクロ波検出器の出力から前記被測定物の
部所に対応する物性量を演算する演算器とを備えた物性
量測定装置に関する。

【００１０】この第二実施例の物性量測定装置に使用さ
れるマイクロ波空洞共振器の円筒状構成部の中心部には
突起部が設けられているので、マイクロ波の電界はその
突起部が延在する部所の周辺部に集中する。その結果こ
の物性量測定装置によると、被測定物の局在化された部
所の物性量を極めて正確にかつ感度良く測定することが
可能となる。

【００１１】このマイクロ波空洞共振器の各々は、一個
の円筒状構成部のみから構成されているので、各マイク
ロ波空洞共振器が二個の円筒状構成部から成るものに比
較して、廉価となりかつコンパクトになる。

【００１２】本発明の第三実施例は、一個の鋸歯状波発
振器と、前記鋸歯状波発振器が発生する鋸歯状波電圧に
より駆動させる一個の電圧制御マイクロ波発振器と、前
記マイクロ波発振器が発生させたマイクロ波を分配する
複数個の分配器とを備え、開口部を有しかつその中心部
に突起部を有するマイクロ波空洞共振器を構成する一対
の円筒状構成部を、被測定物の各測定部所の両面で前記
開口部が対向する状態で、前記被測定物の面内に複数個
配置し、前記分配器により分配された各マイクロ波が前
記構成部の各々に供給されるように構成し、かつ前記マ
イクロ波空洞共振器の各固有共振周波数を相互に相違さ
せ、前記複数のマイクロ波空洞共振器の各マイクロ波出
力を結合させる結合器と、前記結合器の出力を検出する
一個のマイクロ波検出器と、前記マイクロ波検出器の出
力から前記被測定物の部所に対応する物性量を演算する
演算器とを備えた物性量測定装置に関する。

【００１３】この第三実施例の物性量測定装置に使用さ
れるマイクロ波空洞共振器の円筒状構成部の中心部にも
突起部が設けられているので、マイクロ波の電界はその
突起部が延在する部所の周辺部に集中する。その結果こ
の物性量測定装置の場合にも、被測定物の局在化された
部所の物性量を極めて正確にかつ感度良く測定すること
が可能となる。

【００１４】このマイクロ波空洞共振器の各々は、二個
の円筒状構成部から構成されているので、各マイクロ波
空洞共振器が一個の円筒状構成部から成る第二実施例の
ものに比較して、測定感度が極めて高くなる。

【００１５】本発明の第四実施例は、一個の鋸歯状波発
振器と、前記鋸歯状波発振器が発生する鋸歯状波電圧に
より駆動させる一個の電圧制御マイクロ波発振器と、前
記マイクロ波発振器が発生させたマイクロ波を分配する
複数個の分配器とを備え、被測定物の一方の面に金属板
を配置し、開口部を有しかつその中心部に突起部を有す
るマイクロ波空洞共振器の円筒状構成部を、前記開口部
を被測定物の一方の面の各測定部所に対向させた状態で
複数個配置し、前記分配器により分配された各マイクロ
波が前記構成部の各々に供給されるように構成し、かつ
前記マイクロ波空洞共振器の各固有共振周波数を相互に
相違させ、前記複数のマイクロ波空洞共振器の各マイク
ロ波出力を結合させる結合器と、前記結合器の出力を検
出する一個のマイクロ波検出器と、前記マイクロ波検出
器の出力から前記被測定物の部所に対応する物性量を演
算する演算器とを備えた物性量測定装置に関する。

【００１６】この第四実施例の物性量測定装置に使用さ
れるマイクロ波空洞共振器の円筒状構成部の中心部にも
突起部が設けられているので、マイクロ波の電界はその
突起部が延在する部所の周辺部に集中する。その結果こ
の物性量測定装置の場合にも、被測定物の局在化された
部所の物性量を極めて正確にかつ感度良く測定すること
が可能となる。

【００１７】このマイクロ波空洞共振器の各々は、被測
定物の両側に配置された一個の円筒状構成部と一枚の金
属版から構成されているので、各マイクロ波空洞共振器
が二個の円筒状構成部から成る第三実施例の場合の様に
上下の円筒状構成部の位置関係を調整する必要が無い一
方、各マイクロ波空洞共振器が一個の円筒状構成部から
成る第二実施例のものに比較して、その測定感度は高
い。

【００１８】第二〜四実施例のマイクロ波空洞共振器に
於て、その各固有共振周波数を相互に相違させるために
は、前記円筒状構成部の前記開口部から底部までの深さ
を各々相違させることが確実で簡便な方法である。

【００１９】

【実施例】本発明の第一実施例の物性量測定装置を図1
に基づいて説明する。

【００２０】この物性量測定装置は、D/A変換器1と、鋸
歯状波発振器1と、電圧制御マイクロ波発振器3と、アイ
ソレータ4と、8個の分配器5と、マイクロ波空洞共振器6
と、結合器7と、マイクロ波検出器8と、A/D変換器9と、
マイクロプロセッサ10とを有している。

【００２１】鋸歯状波発振器2は、D/A変換器1によりア
ナログ信号に変換されたマイクロプロセッサ10からのデ
ジタル信号に応答して、0Vから35Vまで変化する鋸歯状
波を1KHzの周期で発生させる。この鋸歯状波の入力電圧
の波形に応じて、電圧制御発振器3は2.5GHzから3.5GHz
まで連続して変化するマイクロ波を発生させる。このマ
イクロ波は、アイソレータ4を介して分配器5に与えら
れ、100MHz毎に8分割される。アイソレータ4は、後段の
マイクロ波空洞共振器により反射されるマイクロ波によ
り電圧制御発振器3が破壊されることを防止するために
挿入されている。

【００２２】8個のマイクロ波空洞共振器6の固有発振周
波数は、2.5GHz、2.6GHz ・・・ 3.2GHzと100MHzづつずら
せてあり、かつそれらマイクロ波空洞共振器6は紙パル
プの様な被測定物を横断する方向に等間隔で配置されて
いる。各マイクロ波空洞共振器6には、分配器からのマ
イクロ波が与えられる受信アンテナ14と結合器7に接続
されている送信アンテナ13が設けられている。各マイク
ロ波空洞共振器は、それが配置されている被測定物の部
所の物性量の影響を受けてその固有共振状態からシフト
した状態で共振する。シフトした状態の共振状態の共振
周波数と共振曲線のピーク値とは、被測定物の測定部所
の水分量と坪量（単位体積当りの質量）とに依存するの
で、共振曲線の共振周波数とピーク値の測定により被測
定物の当該部所の水分量とか坪量などの物性量を得るこ
とが出来る。これの詳細については、本出願人による特
許出願（特開昭62-238447号）を参照されたい。尚、各
マイクロ波空洞共振器の固有共振周波数は、被測定物の
物理量によりシフトした共振曲線が隣接するマイクロ波
空洞共振器の共振曲線に大きく重ならない程度に相互に
離してある。

【００２３】結合器7により結合された8個のマイクロ波
空洞共振器6のマイクロ波出力は、一個のマイクロ波検
出器8により検出される。このマイクロ波検出器8には、
クリスタルダイオード又はショットキダイオードが使用
される。マイクロ波検出器8により検出された信号は、A
/D変換器9によりディジタル信号に変換されてマイクロ
プロセッサ10に与えられ、各共振曲線の共振周波数とピ
ーク値とから被測定物の当該部所の水分量とか坪量など
の物性量が計算される。又、このマイクロプロセッサ10
は、鋸歯状波発振器2を駆動させるための信号をD/A変換
器1に与える機能も有している。

【００２４】図2は、本発明の物性量測定装置により測
定した紙の測定結果を示す。曲線aは被測定物が存在し
ない状態の各マイクロ波空洞共振器の共振状態を示す。
この状態では各マイクロ波空洞共振器はその固有共振周
波数で共振するので、曲線aは2.5GHz、2.6GHz ・・・ 3.2G
Hzに各々ピークを有する。曲線bは、一定厚さの紙を置
いた場合の共振曲線で、各々の共振曲線の共振周波数は
対応する固有共振周波数より低い方にシフトしており、
そのピーク値も曲線aのそれから減衰している。曲線c,
dは、各々、曲線bの場合の紙よりも厚い紙を被測定物と
した場合の測定結果を示す。これらの共振周波数とピー
ク値とのシフト量から各マイクロ波空洞共振器に対応す
る紙の部分の坪量と水分量を得ることが出来る。

【００２５】0v〜35vに変化する一個の鋸歯状波に応じ
て電圧制御発振器3は、2.5GHzから3.5GHzまで連続して
変化するマイクロ波を一回発生させるが、この一回の走
査により紙の横方向に一列に等間隔で配置されている8
個のマイクロ波空洞共振器に各々周波数分割されたマイ
クロ波が与えられ、同時にそれら8個のマイクロ波空洞
共振器の被測定物の紙により変化した共振曲線が、つま
り8個のマイクロ波空洞共振器の位置に対応する紙の部
所の物性量が得られる。鋸歯状波の発生は1KHzと言う速
い周波数で行われるので、被測定物の各部所の坪量と水
分量とは、実質上空白時間無しに測定出来る。

【００２６】図2では、固有周波数2.8GHzに対応する共
振曲線b, c, dは、他の固有周波数に対応する曲線に比
較して共振周波数のシフト量とピーク値の減衰量が大き
い。これは、左から4個目のマイクロ波空洞共振器の位
置の被測定物の水分量（又は坪量）が、他の部所のそれ
よりも大きいことを示す。

【００２７】図3に示される本発明の第二実施例の場合
には、各マイクロ波空洞共振器は被測定物11の片側に置
かれた円筒状構成物12のみより構成されている。この円
筒状構成物12a, ・・・ ,12hには、その中心部に突起部16
a, ・・・ ,16hが設けられていて、かつ分配器5からのマイ
クロ波をその内部に導入するための受信アンテナ13と被
測定物の各測定部所の物性量に応じたマイクロ波の共振
特性を結合器7に送るための送信アンテナ14とがその底
部に設けられている。各円筒状構成物12a, ・・・,12hの円
筒の内側直径は20mmで、円筒状構成物12aの内側深さは2
5mm、円筒状構成物12bの内側深さは24mm、と1mmづつ浅
くなり、円筒状構成物12hの内側深さは18mmとなる様に
構成されている。このように内側深さを1mmずつ変化さ
せることにより、円筒状構成物12aの固有共振周波数を
2.5GHz、円筒状構成物12bの固有共振周波数を2.6GHz、・
・・ 、円筒状構成物12hの固有共振周波数を3.2GHzと各々
100MHzづつずらすことが出来る。これらの円筒状構成物
は、同軸型共振器を構成しているので、その円筒状構成
物の内径とその中心部の突起部の外径との寸法は任意で
ある。従って、円筒状構成物の径を小さくすることによ
り、被測定物の測定点同志の距離を実質状10mm以下にす
ることも可能である。

【００２８】これらの円筒状構成物は、その中心部に突
起部16を有しているので、電界は被測定物の突起部16が
延在する部所の周辺部に集中する。従って第二実施例の
物性量測定装置によると、突起部が存在しないマイクロ
波空洞共振器を使用する場合に比較して、この部分の物
性量を感度良くかつ正確に測定することが出来る。

【００２９】この第二実施例の場合、各々のマイクロ波
空洞共振器は被測定物11の片側に配置された一個の円筒
状構成物12a, ・・・ ,12hのみにより構成されているの
で、物性測定装置の構成が簡単になりそれを廉価にする
ことが出来る他、一組の円筒状構成物を被測定物の両側
に配置させる場合に必要となる両者の円筒状構成物の相
互の位置合わせが不必要となる。

【００３０】図4は本発明の第三実施例を示し、各マイ
クロ波空洞共振器は被測定物11の両側に置かれた二個の
同一形状の円筒状構成物15a, ・・・ ,15hから構成されて
いる。各円筒状構成物15a, ・・・ ,15hには、その中心部
に突起部16が設けられていて、かつ分配器5からのマイ
クロ波をその内部に導入するための受信アンテナ13と被
測定物の各測定部所の物性量に応じたマイクロ波の共振
特性を結合器7に送るための送信アンテナ14とがその底
部に設けられている。各円筒状構成物15a, ・・・,15hの円
筒の内側直径は20mmで、円筒状構成物15aの内側深さは3
5mm、円筒状構成物15bの内側深さは34.5mmと0.5mmづつ
浅くなり、円筒状構成物15hの内側深さは31.5mmとなる
様に構成されている。これらの円筒状構成物は、同軸型
共振器を構成しているので、その中心部の突起部の径は
任意である。このように内側深さを円筒状構成物毎に0.
5mmずつ変化させる（一対で合計1mmづつ変化させる）こ
とにより、円筒状構成物15aの固有共振周波数を2.5GH
z、円筒状構成物15bの固有共振周波数を2.6GHz、・・・ 、
円筒状構成物12hの固有共振周波数を3.2GHzと各々100MH
zづつずらすことが出来る。

【００３１】第三実施例の物性量測定装置のマイクロ波
空洞共振器は、被測定物11の両側に設けた中心部に突起
部16を備えた一対の円筒状構成部により構成されている
ので、第二実施例のそれに比較してその感度は非常に良
い。

【００３２】図5は本発明の第四実施例を示し、各マイ
クロ波空洞共振器は被測定物11の一方の側に置かれた金
属板17と他方の側に置かれた円筒状構成物15a, ・・・ ,15
hから構成されている。各円筒状構成物15a, ・・・ ,15hに
は、その中心部に突起部16a, ・・・ ,16hが設けられてい
て、かつ分配器5からのマイクロ波をその内部に導入す
るための受信アンテナ13と被測定物の各測定部所の物性
量に応じたマイクロ波の共振特性を結合器７に送るため
の送信アンテナ14とがその底部に設けられている。各円
筒状構成物15a, ・・・ ,15hの円筒の内側直径は20mmで、
円筒状構成物15aの内側深さは35mm、円筒状構成物15bの
内側深さは34.5mmと0.5mmづつ浅くなり、円筒状構成物1
5hの内側深さは31.5mmとなる様に構成されている。これ
らの円筒状構成物は、同軸型共振器を構成しているの
で、その中心部の突起部の径は任意である。このように
内側深さを円筒状構成物毎に0.5mmずつ変化させること
により、円筒状構成物15aの固有共振周波数を2.5GHz、
円筒状構成物12bの固有共振周波数を2.6GHz、・・・ 、円
筒状構成物15hの固有共振周波数を3.2GHzと各々100MHz
づつずらすことが出来る。

【００３３】本発明の第四実施例の物性量測定装置のマ
イクロ波空洞共振器は、中心部に突起部16を備えた円筒
状構成部と金属板17とから構成されているので、マイク
ロ波空洞共振器が一対の円筒状構成物により構成されて
いる物性量測定装置のように両者の円筒状構成物の位置
合わせを行う必要が無い。更に、マイクロ波空洞共振器
が単一の円筒状構成物により構成されている物性量測定
装置に比較して、その感度は良い。

【００３４】

【発明の効果】本発明の第一〜四実施例の物性量測定装
置は、マイクロ波検出器を一個しか使用しないので、そ
の価格は廉価になり、検出器同士を調整するという作業
が不必要となる。

【００３５】更に、マイクロ波空洞共振器が一個の円筒
状構成部のみから構成されている第二実施例の物性量測
定装置は、各マイクロ波空洞共振器を二個の円筒状構成
部、又は一個のマイクロ波空洞共振器と一枚の金属板と
から構成するものに比較して、円筒状構成部を一個づつ
しか必要としないので、物性量測定装置全体の価格は廉
価となる。更に、円筒状構成物の径を小さくすることに
より、被測定物の測定点同志の距離を実質状10mm以下に
することも可能である。

【００３６】各マイクロ波空洞共振器が二個の円筒状構
成部から構成されている第三実施例の物性量測定装置
は、各マイクロ波空洞共振器が一個の円筒状構成部から
成るものに比較して、測定感度が高い。

【００３７】マイクロ波空洞共振器の各々が、被測定物
の両側に配置された一個の円筒状構成部と一枚の金属版
から構成されている第四実施例の物性量測定装置は、各
マイクロ波空洞共振器が二個の円筒状構成部から成る第
三実施例の場合の様に上下の円筒状構成部の位置関係の
調整を不必要とする一方、各マイクロ波空洞共振器が一
個の円筒状構成部から成る第二実施例のものに比較し
て、その測定感度は高い。

【００３８】更に第二〜四実施例の物性量測定装置の各
円筒状構成部には、その中心部に突起部が設けられてい
るので、これらの物性量測定装置による測定精度・感度
は極めて高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第一〜四実施例の物性量測定装置の
構成図を示す。

【図２】 本発明の物性量測定装置による物性量の測定
結果を示す。

【図３】 本発明の第二実施例におけるマイクロ波空洞
共振器を示す。

【図４】 本発明の第三実施例におけるマイクロ波空洞
共振器を示す。

【図５】 本発明の第四実施例におけるマイクロ波空洞
共振器を示す。

【符号の説明】

1 D/A変換器 2 鋸歯状波発振器 3 電圧制御発振器 4 アイソレータ 5 分配器 6 マイクロ波空洞共振器 7 結合器 8 検出器 9 A/D変換器 10 マイクロプロセッサ 11 被測定物 12a〜12h 円筒状構成部 13 送信アンテナ 14 受信アンテナ 15a〜15h 円筒状構成部 16a〜16h 突起部 17 金属板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一個の鋸歯状波発振器と、前記鋸歯状波発
   振器が発生する鋸歯状波電圧により駆動させる一個の電
   圧制御マイクロ波発振器と、前記マイクロ波発振器が発
   生させたマイクロ波を分配する複数個の分配器とを備
   え、 開口部を有しかつその中心部に突起部を有するマイクロ
   波空洞共振器を構成する一対の円筒状構成部を、被測定
   物の各測定部所の両面で前記開口部が対向する状態で、
   前記被測定物の面内に複数個配置し、前記分配器により
   分配された各マイクロ波が前記構成部の各々に供給され
   るように構成し、かつ前記マイクロ波空洞共振器の各固
   有共振周波数を相互に相違させ、 前記複数のマイクロ波空洞共振器の各マイクロ波出力を
   結合させる結合器と、前記結合器の出力を検出する一個
   のマイクロ波検出器と、前記マイクロ波検出器の出力か
   ら前記被測定物の部所に対応する物性量を演算する演算
   器とを備えた物性量測定装置。
2. 【請求項２】前記円筒状構成部の前記開口部から底部ま
   での深さを各々相違させることにより、前記マイクロ波
   空洞共振器の各固有共振周波数を相互に相違させた事を
   特徴とする請求項２記載の物性量測定装置。
3. 【請求項３】一個の鋸歯状波発振器と、前記鋸歯状波発
   振器が発生する鋸歯状波電圧により駆動させる一個の電
   圧制御マイクロ波発振器と、前記マイクロ波発振器が発
   生させたマイクロ波を分配する複数個の分配器とを備
   え、 被測定物の一方の面に金属板を配置し、開口部を有しか
   つその中心部に突起部を有するマイクロ波空洞共振器の
   円筒状構成部を、前記開口部を被測定物の一方の面の各
   測定部所に対向させた状態で複数個配置し、前記分配器
   により分配された各マイクロ波が前記構成部の各々に供
   給されるように構成し、かつ前記マイクロ波空洞共振器
   の各固有共振周波数を相互に相違させ、 前記複数のマイクロ波空洞共振器の各マイクロ波出力を
   結合させる結合器と、前記結合器の出力を検出する一個
   のマイクロ波検出器と、前記マイクロ波検出器の出力か
   ら前記被測定物の部所に対応する物性量を演算する演算
   器とを備えた物性量測定装置。
4. 【請求項４】前記円筒状構成部の前記開口部から底部ま
   での深さを各々相違させることにより、前記マイクロ波
   空洞共振器の各固有共振周波数を相互に相違させた事を
   特徴とする請求項３記載の物性量測定装置。
5. 【請求項５】前記円筒状構成部が同軸型共振器である事
   を特徴とする前記請求項の何れかに記載の物性量測定装
   置。