JPH0575258B2 - - Google Patents
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- JPH0575258B2 JPH0575258B2 JP61178827A JP17882786A JPH0575258B2 JP H0575258 B2 JPH0575258 B2 JP H0575258B2 JP 61178827 A JP61178827 A JP 61178827A JP 17882786 A JP17882786 A JP 17882786A JP H0575258 B2 JPH0575258 B2 JP H0575258B2
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は流体中の粒子計測装置、さらに詳細に
は流体中に混入している粒子の数密度を光子計数
法を用いて測定する装置に関する。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to a device for measuring particles in a fluid, and more particularly to a device for measuring the number density of particles mixed in a fluid using a photon counting method. .
[従来の技術]
従来、このような装置では、粒子を含む測定セ
ル中の流体にレーザ光を照射し、その散乱光を光
電子増倍管を用いて粒子特性を求めている。[Prior Art] Conventionally, in such an apparatus, a fluid containing particles in a measurement cell is irradiated with laser light, and the scattered light is used to determine particle characteristics using a photomultiplier tube.
この場合、流体中に混入している粒子の粒子径
が小さくなるにつれて、レーザを照射された粒子
からの散乱光は微弱になる。微弱光検出に対して
は、光電子増倍管をアナログ的に用いるよりも、
光子計数法として用いる方が有効な手段であるこ
とが知られている。 In this case, as the particle size of the particles mixed in the fluid becomes smaller, the scattered light from the particles irradiated with the laser becomes weaker. For weak light detection, rather than using analog photomultiplier tubes,
It is known that photon counting is a more effective method.
まず、従来の装置を第4図を用いて説明する。 First, a conventional device will be explained using FIG. 4.
第4図において、レーザ光源1から放出された
レーザ光は、レンズ2によつて測定領域3に集光
される。測定領域3は、流体が流れている測定用
セル4の内部である。測定領域内に粒子が通過す
ると、粒子は入射レーザ光を散乱する。粒子によ
つて散乱させられた光をレンズ5で集光し、スリ
ツト6上に結像させる。スリツトを通過した光は
光電子増倍管7の光電面に到達する。この時、光
を粒子すなわち光子として考えると、光電面に到
達した光子は光電効果により光電面から電子を放
出させる。光電面から放出された電子は、光電子
増倍管7の内部で106倍程度増幅され、光電子増
倍管の出力信号となる。この出力信号を前置増幅
器8で増幅し、波高弁別器9に通す。波高弁別器
のしきい値は光電子増倍管の光電面から電子が1
個だけ放出した時の信号に対応する電圧または電
流の下限に設定しておく。前置増幅器8で増幅さ
れた信号が、波高弁別器9のしきい値より高い時
は、波高弁別器9からパルスが出力される。この
パルスはパルス波形整形回路10によつてパルス
波形が整えられ、光電子パルスとして出力され
る。この光電子パルスを計数する方法が光子計数
法である。光子計数法においては、粒子からの散
乱光強度は単位時間毎の光電子パルス数に対応す
る。従つて、一定時間間隔内の光電子パルス数を
計数すれば、その計数値から流体中の粒子の数密
度を求めることができる。 In FIG. 4, laser light emitted from a laser light source 1 is focused onto a measurement area 3 by a lens 2. In FIG. The measurement region 3 is the inside of the measurement cell 4 through which fluid is flowing. When particles pass into the measurement region, they scatter the incident laser light. The light scattered by the particles is focused by a lens 5 and formed into an image on a slit 6. The light passing through the slit reaches the photocathode of the photomultiplier tube 7. At this time, if light is considered as a particle, that is, a photon, the photon that reaches the photocathode causes electrons to be emitted from the photocathode due to the photoelectric effect. The electrons emitted from the photocathode are amplified by about 10 6 times inside the photomultiplier tube 7, and become an output signal of the photomultiplier tube. This output signal is amplified by a preamplifier 8 and passed through a pulse height discriminator 9. The threshold value of the pulse height discriminator is 1 electron from the photocathode of the photomultiplier tube.
The voltage or current is set to the lower limit that corresponds to the signal when only one of the two is emitted. When the signal amplified by the preamplifier 8 is higher than the threshold of the pulse height discriminator 9, the pulse height discriminator 9 outputs a pulse. The pulse waveform of this pulse is adjusted by the pulse waveform shaping circuit 10 and output as a photoelectronic pulse. The method of counting these photoelectron pulses is the photon counting method. In the photon counting method, the intensity of scattered light from particles corresponds to the number of photoelectron pulses per unit time. Therefore, by counting the number of photoelectron pulses within a certain time interval, the number density of particles in the fluid can be determined from the counted value.
しかし、流体中に混入している粒子の粒子径が
小さくなるにつれて、レーザ光を照射された粒子
からの散乱光が微弱になり、粒子からの光子の放
出過程が確率的になる。従つて、単位時間毎の光
電子パルス数の計数値のゆらぎが大きくなる。こ
のゆらぎは、粒子特性を求めるうえで問題とな
る。この光電子パルスの計数値のゆらぎをみかけ
上小さくし、粒子特性を求めやすくするために演
算処理が必要になる。 However, as the diameter of the particles mixed in the fluid becomes smaller, the scattered light from the particles irradiated with laser light becomes weaker, and the process of emitting photons from the particles becomes stochastic. Therefore, fluctuations in the count of the number of photoelectron pulses per unit time become large. This fluctuation poses a problem when determining particle characteristics. Arithmetic processing is required to reduce the apparent fluctuation in the count value of this photoelectron pulse and to make it easier to determine the particle characteristics.
この演算処理方法としては移動平均法が有効で
ある。移動平均法を説明するために、ある時刻t
からある時間Δtの間に計数した光電子パルス数
をN(t)とする。以後このΔtをサンプルタイムと
称する。t+Δtからt+2・Δtの間に計数した
光電子パルス数をN(t+1)と表わすことにす
る。この表現方法では、kを整数として
t〜t+Δt N(t)
t+Δt〜t+2・Δt N(t+1)
t+2・Δt〜t+3・Δt N(t+2)
t+k・Δt〜t+(k+1)・Δt N(t+k)
と表わすことができる。移動平均の処理方法は、
S(t)=M-1
〓k=0
N(t+k) ……(1)
である。ここで、Mは加算回路である。このよう
な処理を行なうと、光電子パルスの計数値のゆら
ぎをみかけ上小さくでき、粒子特性が求めやすく
なる。 A moving average method is effective as this calculation processing method. To explain the moving average method, at a certain time t
Let N(t) be the number of photoelectron pulses counted during a certain time Δt. Hereinafter, this Δt will be referred to as sample time. The number of photoelectron pulses counted between t+Δt and t+2·Δt will be expressed as N(t+1). In this expression, k is an integer: t~t+Δt N(t) t+Δt~t+2・Δt N(t+1) t+2・Δt〜t+3・Δt N(t+2) t+k・Δt〜t+(k+1)・Δt N(t+k) It can be expressed as The moving average processing method is S(t)= M-1 〓 k=0 N(t+k)...(1). Here, M is an adder circuit. By performing such processing, fluctuations in the count value of photoelectron pulses can be reduced in appearance, and particle characteristics can be easily determined.
従来の方法では、第4図において、パルス波形
整形回路10から出力された光電子パルスをパル
ス計数回路11で計数し、その計数値をメモリ回
路12で記憶させ、演算装置で計数値を読み込
み、移動平均の演算処理を行なつている。 In the conventional method, as shown in FIG. 4, the photoelectron pulses output from the pulse waveform shaping circuit 10 are counted by the pulse counting circuit 11, the counted value is stored in the memory circuit 12, and the counted value is read and moved by the arithmetic unit. Performs average calculation processing.
[発明が解決しようとする問題点]
前述のような従来の方法で、光電子パルスの計
数値のゆらぎをみかけ上小さくするために、移動
平均法を用いて光電子パルスの計数値を演算装置
で演算処理した場合、演算時間が必要となる。す
なわち、実時間(リアルタイム)で流体中の粒子
の数密度を求めることができなくなる。[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional method as described above, in order to reduce the apparent fluctuation in the count value of photoelectron pulses, the count value of photoelectron pulses is calculated by a calculation device using a moving average method. Processing requires calculation time. That is, it becomes impossible to determine the number density of particles in the fluid in real time.
従つて本発明は、このような問題点を解決する
ためになされたもので、光子計数法による光電子
パルスの計数値のゆらぎをみかけ上小さくするた
めの移動平均を実時間で計算し、流体中の粒子の
数密度を実時間で計測できる粒子計測装置を提供
することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made to solve these problems, and it calculates a moving average in real time to reduce the apparent fluctuation of the count value of photoelectron pulses by the photon counting method. The purpose of the present invention is to provide a particle measuring device that can measure the number density of particles in real time.
[問題点を解決するための手段]
本発明においては上述した問題点を解決するた
めに、流体中粒子からのレーザ散乱光から得られ
る光電子パルスの計数値に対して移動平均処理を
行なつて粒子の特性を求める流体中の粒子計測装
置において、
粒子が流れる流体中にレーザ光を照射するレー
ザ光源と、
粒子からのレーザ散乱光を受光して電気信号に
変換する手段と、
前記光電変換手段からの信号を散乱光強度に応
じた数のパルスにするパルス発生手段と、
前記パルス発生手段からのパルスを計数し移動
平均処理の加算回数に対応する(M+1)個のパ
ルス計数回路と、
前記(M+1)個のパルス計数回路を制御する
手段と、
前記パルス計数回路の計数値とあらかじめ設定
した設定値とを比較する比較器と、
前記比較器からの信号から粒子数を計数する計
数回路とを備え、
前記(M+1)個のパルス計数回路を順次作動
させることにより移動平均処理を実時間で行な
い、粒子計測を行なう構成を採用した。[Means for Solving the Problems] In the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, moving average processing is performed on the counts of photoelectron pulses obtained from laser scattered light from particles in the fluid. A particle measuring device in a fluid for determining the characteristics of particles, comprising: a laser light source that irradiates a laser beam into a fluid in which particles flow; a means for receiving laser scattered light from the particles and converting it into an electrical signal; and the photoelectric conversion means. (M+1) pulse counting circuits that count the pulses from the pulse generating means and correspond to the number of additions in the moving average process; means for controlling (M+1) pulse counting circuits; a comparator for comparing the count value of the pulse counting circuit with a preset value; and a counting circuit for counting the number of particles from the signal from the comparator. A configuration was adopted in which moving average processing was performed in real time by sequentially operating the (M+1) pulse counting circuits, and particle measurement was performed.
[作用]
このような構成では、パルス計数に(M+1)
個の計数回路が用いられており、前記(M+1)
個の計数回路を(M+1)ビツトのシフトレジス
タで制御するので、移動平均を実時間で処理する
ことができ、光子計数法を用いて流体中の粒子の
数密度を実時間で計測できる。[Operation] In such a configuration, (M+1) is required for pulse counting.
counting circuits are used, and the (M+1)
Since the counting circuits are controlled by (M+1) bit shift registers, the moving average can be processed in real time, and the number density of particles in the fluid can be measured in real time using the photon counting method.
[実施例]
以下、第1図〜第3図を用いて本発明の実施例
を詳細に説明する。[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail using FIGS. 1 to 3.
第1図には、本発明装置の構成が図示されてお
り、同図において第4図の同一部分には同一参照
符号を付し、その説明は省略する。 FIG. 1 shows the configuration of the apparatus of the present invention, and in FIG. 1, the same parts as in FIG. 4 are given the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted.
本発明装置では、光電子パルスを得るところま
では第4図装置と同一である。 The apparatus of the present invention is the same as the apparatus shown in FIG. 4 up to the point where photoelectron pulses are obtained.
上述した移動平均を表わす(1)式は、時刻tにお
いて、M・Δtの時間の間、光電子パルスを計数
したことに対応する。すなわち、M・Δtの時間
で光電子パルスを計数すれば、時刻tにおけるS
(t)は求めることができる。さらに(M+1)個の
計数回路を用いれば、S(t)の時間変化が計測でき
る。 Equation (1) representing the above-mentioned moving average corresponds to counting photoelectron pulses for a time period of M·Δt at time t. In other words, if photoelectron pulses are counted in a time period of M·Δt, S at time t
(t) can be found. Furthermore, by using (M+1) counting circuits, the time change of S(t) can be measured.
このために第1図に図示したように(M+1)
個のパルス計数回路21,22,…2(M+1)
が設けられる。各パルス計数回路はナンド回路を
介してパルス波形整形回路10に接続されてお
り、シフトレジスタ51のカウント出力端子1,
2,…M+1からの信号に応じてカウント動作
し、その計数値をそれぞれラツチ回路31,3
2,…3(M+1)にラツチする。各ラツチ回路
の後段には選択回路41,42,…4(M+1)
が接続されており、選択信号に応じてラツチ回路
にラツチされている計数値を比較器55で比較
し、その結果をカウンタ56で計数する。 For this purpose, as shown in Figure 1 (M+1)
pulse counting circuits 21, 22,...2 (M+1)
is provided. Each pulse counting circuit is connected to the pulse waveform shaping circuit 10 via a NAND circuit, and the count output terminal 1 of the shift register 51,
2, . . . performs a counting operation according to the signal from M+1, and outputs the counted value to the latch circuits 31 and 3, respectively.
Latch at 2,...3 (M+1). Selection circuits 41, 42,...4 (M+1) are provided after each latch circuit.
A comparator 55 compares the count values latched in the latch circuit according to the selection signal, and a counter 56 counts the results.
また、計数を行なう基準クロツクを発生する基
準クロツク発生器54が設けられており、基準ク
ロツクは1/2分周器53を介してタイマー信号発
生回路52に入力され、タイマー信号発生回路5
2からの信号がシフトレジスタ51のタイマー端
子に入力される。 Further, a reference clock generator 54 for generating a reference clock for counting is provided, and the reference clock is inputted to the timer signal generation circuit 52 via a 1/2 frequency divider 53.
The signal from 2 is input to the timer terminal of the shift register 51.
移動平均の加算回路Mを2回としたときの詳細
な回路が第2図に図示されている。第1図の同一
部分に同一番号が付されている。移動平均を求め
る加算回数を2回としたので、3個のパルス計数
回路21〜23と3ビツトのシフトレジスタ51
が設けられる。 A detailed circuit diagram when the moving average adding circuit M is used twice is shown in FIG. Identical parts in FIG. 1 are given the same numbers. Since the number of additions to obtain the moving average is two, three pulse counting circuits 21 to 23 and a 3-bit shift register 51 are used.
is provided.
このような構成の計数装置の動作を第3図のタ
イミングチヤートを参照して説明する。 The operation of the counting device having such a configuration will be explained with reference to the timing chart shown in FIG.
パルス波形整形回路10から得られる粒子散乱
光に対応した光電子パルスが端子72に入力され
る。基準クロツク発生器54から得られる基準ク
ロツクを端子71に入力し、分周回路53で1/2
分周し、クロツクC2をつくる。ここで基準クロ
ツクとクロツクC1は同じ信号である。またクロ
ツクC2の1周期がサンプルタイムΔtとなる。
このクロツクC2が同期式プリセツタブルの4ビ
ツト2進カウンタからなるタイマー信号発生回路
52に入力され、タイマー信号TMが出力され
る。このタイマー信号TMは、パルス計数回路2
1〜23の光電子パルスの計数時間を決定する。
いま、加算回数を2回としたので、加算回数に対
応する光電子パルスの計数時間は、クロツクC2
の2周期分である。従つて、タイマー信号TM
は、クロツクC2の2周期の時間がハイレベル
で、次のクロツクC2の1周期の時間がローレベ
ルとなり、この動作を繰り返す。一般的に任意の
M回の加算の時には、同期式プリセツタブル4ビ
ツト2進カウンタ52に入力するデータをMとす
れば、タイマー信号はクロツクC2のM周期の時
間がハイレベルで、次のクロツクC2の1周期の
時間がローレベルとなり、この動作を繰り返す信
号となる。 A photoelectron pulse corresponding to the particle scattered light obtained from the pulse waveform shaping circuit 10 is input to the terminal 72 . The reference clock obtained from the reference clock generator 54 is input to the terminal 71, and the frequency divider circuit 53 divides the clock into 1/2.
Divide the frequency and create clock C2. Here, the reference clock and clock C1 are the same signal. Further, one period of the clock C2 becomes the sample time Δt.
This clock C2 is input to a timer signal generation circuit 52 consisting of a synchronous presettable 4-bit binary counter, and a timer signal TM is output. This timer signal TM is the pulse counting circuit 2.
Determine the counting time of photoelectron pulses 1 to 23.
Now, since the number of additions is set to two, the counting time of photoelectron pulses corresponding to the number of additions is the clock C2.
This is for two cycles. Therefore, the timer signal TM
In this case, two periods of clock C2 are at high level, one period of next clock C2 is at low level, and this operation is repeated. Generally, when adding any number of M times, if the data input to the synchronous presettable 4-bit binary counter 52 is M, the timer signal is at a high level for M periods of the clock C2, and the timer signal is at a high level for M periods of the clock C2. The time of one cycle becomes low level, and this becomes a signal that repeats this operation.
このタイマー信号TMとクロツクC2がシフト
レジスタ51に入力され、端子Q0,Q1,Q2
からカウントT1、カウントT2、カウントT3
の制御信号が作られ、それぞれパルス計数回路2
1〜23に入力される。カウントT1、カウント
T2、カウントT3は光電子パルスの計数に関与
する制御信号であり、これらの制御信号がハイレ
ベルのときに、それぞれの制御信号に関与するパ
ルス計数回路21〜23が光電子パルスを計数す
る。これらの制御信号がローレベルのときには、
それぞれの制御信号に関与するパルス計数回路2
1〜23は、光電子パルスを計数せず、その間に
パルス計数回路21〜23の計数値を対応するラ
ツチ回路31〜33がラツチし、パルス計数回路
21〜23を初期状態に設定する。カウント1、
カウントT2、カウントT3の時間的関係は、カ
ウントT1がハイレベルになつてからクロツクC
2の1周期分、すなわちサンプルタイム分の時間
Δtだけ遅れてカウントT2がハイレベルになる。
さらに、カウントT2がハイレベルになつてか
ら、クロツクC2の1周期分の時間だけ遅れてカ
ウントT3がハイレベルになる。このような制御
方法によつて、S(t)の時間変化を求めることがで
きる。 This timer signal TM and clock C2 are input to the shift register 51, and terminals Q0, Q1, Q2
From count T1, count T2, count T3
control signals are generated, and each pulse counting circuit 2
1 to 23 are input. Count T1, count T2, and count T3 are control signals involved in counting photoelectron pulses, and when these control signals are at high level, pulse counting circuits 21 to 23 involved in each control signal count photoelectron pulses. do. When these control signals are low level,
Pulse counting circuit 2 involved in each control signal
1 to 23 do not count photoelectron pulses, and during that time, the corresponding latch circuits 31 to 33 latch the counts of the pulse counting circuits 21 to 23, setting the pulse counting circuits 21 to 23 to the initial state. count 1,
The temporal relationship between count T2 and count T3 is that after count T1 becomes high level, clock C
The count T2 becomes high level after a delay of one period of 2, that is, a time period Δt corresponding to the sample time.
Further, after the count T2 becomes high level, the count T3 becomes high level with a delay of one period of the clock C2. By using such a control method, it is possible to determine the change in S(t) over time.
カウントT1、カウントT2、カウントT3
は、それぞれインバータ61〜63で反転され、
セレクトS1、セレクトS2、セレクトS3が形
成される。セレクトS1,S2,S3は、比較器
55に光電子パルスの計数値を入力するパルス計
数回路を選択する制御信号である。従つて、これ
らの制御信号によつて、同時に2つ以上のパルス
計数回路が選択されないようにする。これらの制
御信号がハイレベルのときに、比較器55に光電
子パルスの計数値が入力される。 Count T1, Count T2, Count T3
are inverted by inverters 61 to 63, respectively,
Select S1, select S2, and select S3 are formed. Selects S1, S2, and S3 are control signals for selecting a pulse counting circuit that inputs the count value of photoelectron pulses to the comparator 55. Therefore, these control signals prevent two or more pulse counting circuits from being selected at the same time. When these control signals are at high level, the count value of photoelectron pulses is input to the comparator 55.
ラツチL1、ラツチL2、ラツチL3はパルス
計数回路21〜23で計数された計数値を、ラツ
チ回路31〜33でラツチするための制御信号で
ある。これらの制御信号がハイレベルのときのパ
ルス計数回路の計数値がラツチされる。ラツチL
1は基準クロツクとクロツクC2とセレクトS1
のすべての信号がハイレベルになつたときにハイ
レベルになる。同様に、ラツチL2は基準クロツ
クとクロツクC2とセレクトS2のすべての信号
がハイレベルになつたときにハイレベルとなり、
ラツチL3は基準クロツクとクロツクC2とセレ
クトS3のすべての信号がハイレベルになつたと
きにハイレベルとなり、それぞれラツチ回路31
〜33に入力される。 Latch L1, latch L2, and latch L3 are control signals for latching the count values counted by pulse counting circuits 21-23 in latch circuits 31-33. The count values of the pulse counting circuit when these control signals are at high level are latched. Latch L
1 is the reference clock, clock C2, and select S1
It becomes high level when all the signals of become high level. Similarly, latch L2 goes high when all signals from reference clock, clock C2, and select S2 go high;
The latch L3 becomes high level when all the signals of the reference clock, clock C2, and select S3 become high level, and the latch circuit 31 becomes high level.
~33 is input.
また、クロツクC2と各カウントT1、カウン
トT2、カウントT3から光電子パルスを計数す
るパルス計数回路21〜23を初期状態に設定す
るリセツト信号R1,R2,R3が形成される。
これらの信号がハイレベルのとき、対応するパル
ス計数回路が初期状態に設定される。リセツトR
1はクロツクC2とカウントT1が同時にローレ
ベルになつたときにハイレベルとなる。同様に、
リセツトR2はクロツクC2とカウントT2が同
時にローレベルになつたときにハイレベルとな
り、リセツトR3はクロツクC2とカウントT3
が同時にローレベルになつたときにハイレベルと
なる。 Further, reset signals R1, R2, and R3 are generated from the clock C2 and the respective counts T1, T2, and T3 to set the pulse counting circuits 21 to 23 for counting photoelectronic pulses to the initial state.
When these signals are at high level, the corresponding pulse counting circuits are set to the initial state. Reset R
1 goes high when clock C2 and count T1 go low at the same time. Similarly,
Reset R2 goes high when clock C2 and count T2 go low at the same time, and reset R3 goes high when clock C2 and count T3 go low at the same time.
becomes high level when both become low level at the same time.
セレクトS1、セレクトS2、セレクトS3に
よつて選択された各パルス計数回路21〜23の
光電子パルスの計数値は、比較器55に入力され
る。この比較器では、あらかじめ設定したデータ
より大きい計数値が入力されたときにハイレベル
の信号が出力されるように設定しておく。比較器
にあらかじめ設定したデータより大きい計数値が
連続的に入力されても、比較器55からの出力信
号はハイレベルのままである。そして、比較器に
あらかじめ設定したデータより小さい計数値が入
力されたとき、比較器からの出力信号はローレベ
ルになる。比較器からの出力信号がハイレベルか
らローレベルになることによつて、カウンタ56
がカウントする。ここで、比較器55にあらかじ
め設定するデータは、流体中の粒子の粒子径に対
応し、表示器65で表示されている計数値は、流
体中の粒子の数密度に関与した数値となる。 The count values of photoelectron pulses of each of the pulse counting circuits 21 to 23 selected by select S1, select S2, and select S3 are input to the comparator 55. This comparator is set so that a high level signal is output when a count value greater than preset data is input. Even if a count value larger than the preset data is continuously input to the comparator, the output signal from the comparator 55 remains at a high level. When a count value smaller than the preset data is input to the comparator, the output signal from the comparator becomes low level. When the output signal from the comparator changes from high level to low level, the counter 56
counts. Here, the data preset in the comparator 55 corresponds to the particle diameter of particles in the fluid, and the count value displayed on the display 65 is a value related to the number density of particles in the fluid.
また、比較器を複数組採用することによつて、
複数の粒子径の数密度を計測することも可能であ
る。 In addition, by employing multiple sets of comparators,
It is also possible to measure the number density of multiple particle sizes.
さらに、実施例では、移動平均の加算回数を2
回として説明したが、この加算回数は任意のM回
にも拡張できることはもちろんである。 Furthermore, in the embodiment, the number of additions of the moving average is set to 2.
Although the number of additions has been described as 1 times, it goes without saying that this number of additions can be extended to any number of M times.
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、パルス
計数に移動平均処理の加算回数に対応した(M+
1)個のパルス計数回路を用い、これを順次作動
させて移動平均処理を行つているので、光電子パ
ルスの計数値のゆらぎを見かけ上小さくし、流体
中の粒子特性を求めやすくするための移動平均を
実時間で処理でき、実時間の粒子の数密度を計測
できる。[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, pulse counting corresponds to the number of additions of moving average processing (M+
1) Moving average processing is performed by sequentially operating pulse counting circuits, which reduces the apparent fluctuation of the photoelectron pulse count and makes it easier to determine particle characteristics in the fluid. The average can be processed in real time, and the number density of particles can be measured in real time.
第1図は本発明装置の構成を示すブロツク図、
第2図は光電子パルスの計数を行う部分の詳細な
回路図、第3図は動作を説明するタイミングチヤ
ート図、第4図は従来の構成を示すブロツク図で
ある。
21〜23……パルス計数回路、31〜33…
…ラツチ回路、41〜43……選択回路、55…
…比較器、56……カウンタ。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the device of the present invention;
FIG. 2 is a detailed circuit diagram of a portion that counts photoelectron pulses, FIG. 3 is a timing chart explaining the operation, and FIG. 4 is a block diagram showing a conventional configuration. 21-23...Pulse counting circuit, 31-33...
...Latch circuit, 41-43...Selection circuit, 55...
...Comparator, 56...Counter.
Claims (1)
光電子パルスの計数値に対して移動平均処理を行
なつて粒子の特性を求める流体中の粒子計測装置
において、 粒子が流れる流体中にレーザ光を照射するレー
ザ光源と、 粒子からのレーザ散乱光を受光して電気信号に
変換する手段と、 前記光電変換手段からの信号を散乱光強度に応
じた数のパルスにするパルス発生手段と、 前記パルス発生手段からのパルスを計数し移動
平均処理の加算回数Mに対応する(M+1)個の
パルス計数回路と、 前記(M+1)個のパルス計数回路を制御する
手段と、 前記パルス計数回路の計数値とあらかじめ設定
した設定値とを比較する比較器と、 前記比較器からの信号から粒子数を計数する計
数回路とを備え、 前記(M+1)個のパルス計数回路を順次作動
させることにより移動平均処理を実時間で行ない
粒子計測を行なうことを特徴とする流体中の粒子
計測装置。 2 前記パルス計数回路を制御する手段は(M+
1)ビツトのシフトレジスタであることを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の流体中の粒子
計測装置。[Scope of Claims] 1. A particle measuring device in a fluid that calculates particle characteristics by performing moving average processing on the count values of photoelectron pulses obtained from laser scattered light from particles in the fluid, comprising: a fluid in which particles flow; a laser light source that irradiates a laser beam into the interior of the particle; a means for receiving laser scattered light from particles and converting it into an electrical signal; and a pulse generator that converts the signal from the photoelectric conversion means into a number of pulses corresponding to the intensity of the scattered light. (M+1) pulse counting circuits that count the pulses from the pulse generating means and correspond to the number of additions M in the moving average process; means for controlling the (M+1) pulse counting circuits; A comparator that compares the count value of the counting circuit with a preset setting value, and a counting circuit that counts the number of particles from the signal from the comparator, and sequentially operates the (M+1) pulse counting circuits. A particle measuring device in a fluid is characterized in that it measures particles by performing moving average processing in real time. 2. The means for controlling the pulse counting circuit is (M+
1) The particle measuring device in a fluid according to claim 1, which is a bit shift register.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61178827A JPS6337234A (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Apparatus for measuring particle in fluid |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61178827A JPS6337234A (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Apparatus for measuring particle in fluid |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6337234A JPS6337234A (en) | 1988-02-17 |
JPH0575258B2 true JPH0575258B2 (en) | 1993-10-20 |
Family
ID=16055355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61178827A Granted JPS6337234A (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Apparatus for measuring particle in fluid |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6337234A (en) |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP61178827A patent/JPS6337234A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6337234A (en) | 1988-02-17 |
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