JPS6337234A - Apparatus for measuring particle in fluid - Google Patents

Apparatus for measuring particle in fluid

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JPS6337234A
JPS6337234A JP61178827A JP17882786A JPS6337234A JP S6337234 A JPS6337234 A JP S6337234A JP 61178827 A JP61178827 A JP 61178827A JP 17882786 A JP17882786 A JP 17882786A JP S6337234 A JPS6337234 A JP S6337234A
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fluid
moving average
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Yoshiyuki Furuya
古谷 義之
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Abstract

PURPOSE:To measure particles real time, by counting the photoelectron pulses of laser scattering beams due to particles in a fluid and providing (M+1) pulse count circuits corresponding to the addition number M of times in the moving average processing thereof to successively operate the same. CONSTITUTION:Laser beam 1 is condensed to the fluid in a measuring area 3 and scattering beams due to particles are allowed to reach a photomultiplier tube 7 and the output of the photomultiplier tube 7 is inputted to a pulse wave form shaping circuit 10. The circuit 10 is connected to pulse count circuits 21-2(M+1) to count pulses. Then, count operation is performed by the signal from a shift register 51 and a count value is latched by latch circuit 31-3(M+1) and subsequently compared with a set value by a comparator 55. At this time, the pulse count circuits 21-2(M+1) are successively operated. That is, (M+1) pulse count circuits are provided corresponding to the addition number M of times in the moving average processing of photoelectron pulse count to be successively operated and, therefore, a particle characteristic can be measured real time in a fluctuation reduced state.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野] 本発明は流体中の粒子計測装置、さらに詳細には流体中
に混入している粒子の粒子径および数密度を光子計数法
を用いて測定する装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] "Industrial Application Field" The present invention is a particle measuring device in a fluid, and more specifically, a particle diameter and number density of particles mixed in a fluid is measured using a photon counting method. related to a device for

[従来の技術] 従来、このような装置では、粒子を含む11g定セル中
の流体にレーザ光を照射し、その散乱光な光電子増倍管
を用いて粒子特性を求めている。
[Prior Art] Conventionally, in such an apparatus, a fluid containing particles in an 11 g constant cell is irradiated with a laser beam, and particle characteristics are determined using the scattered light using a photomultiplier tube.

この場合、流体中に混入している粒子の粒子径が小さく
なるにつれて、レーザな照射された粒子からの散乱光は
微弱になる。微弱光検出に対しては、光電子増倍管をア
ナログ的に用いるよりも、光子計数法として用いる方が
有効な手段であることが知られている。
In this case, as the particle size of the particles mixed in the fluid becomes smaller, the scattered light from the laser-irradiated particles becomes weaker. It is known that using a photon counting method is a more effective means for detecting weak light than using a photomultiplier tube in an analog manner.

まず、従来の装置を第4図を用いて説明する。First, a conventional device will be explained using FIG. 4.

第4図において、レーザ光源lから放出されたレーザ光
は、レンズ2によって測定領域3に集光される。測定領
域3は、流体が流れている測定用セル4の内部である。
In FIG. 4, laser light emitted from a laser light source 1 is focused onto a measurement area 3 by a lens 2. In FIG. The measurement region 3 is the inside of the measurement cell 4 through which fluid is flowing.

測定領域内に粒子が通過すると、粒子は入射レーザ光を
散乱する。粒子によって散乱させられた光をレンズ5で
集光し、スリット6上に結像させる。スリットを通過し
た光は光電子増倍管7の光電面に到達する。この時、光
を粒子すなわち光子として考えると、光電面に到達した
光子は光電効果により光電面から電子を放出させる。光
電面から放出された電子は、光電子増倍管7の内部で1
06倍程度増幅され、光電子増倍管の出力信号となる。
When particles pass into the measurement region, they scatter the incident laser light. The light scattered by the particles is focused by a lens 5 and formed into an image on a slit 6. The light passing through the slit reaches the photocathode of the photomultiplier tube 7. At this time, if light is considered as a particle, that is, a photon, the photon that reaches the photocathode causes electrons to be emitted from the photocathode due to the photoelectric effect. The electrons emitted from the photocathode are converted into 1 inside the photomultiplier tube 7.
The signal is amplified by about 0.6 times and becomes the output signal of the photomultiplier tube.

この出力信号を前置増幅器8で増幅し、波高弁別器9に
通す。波高弁別器のしきい値は光電子増倍管の光電面か
ら電子が1個だけ放出した時の信号に対応する電圧また
は電流の下限に設定しておく。前置増幅器8で増幅され
た信号が、波高弁別器9のしきい値より高い時は、波高
弁別器9からパルスが出力される。
This output signal is amplified by a preamplifier 8 and passed through a pulse height discriminator 9. The threshold value of the pulse height discriminator is set to the lower limit of the voltage or current corresponding to the signal when only one electron is emitted from the photocathode of the photomultiplier tube. When the signal amplified by the preamplifier 8 is higher than the threshold of the pulse height discriminator 9, the pulse height discriminator 9 outputs a pulse.

このパルスはパルス波形整形回路10によってパルス波
形が整えられ、光電子パルスとして出力される。この光
電子パルスを計数する方法が光子計数法である。光子計
数法においては1粒子からの散乱光強度は単位時間毎の
光電子パルス数に対応する。従って、一定時間間隔内の
光電子パルス数を計数すれば、その計数値から流体中の
粒子の粒子径や数密度を求めることができる。
The pulse waveform of this pulse is adjusted by the pulse waveform shaping circuit 10 and output as a photoelectronic pulse. The method of counting these photoelectron pulses is the photon counting method. In the photon counting method, the intensity of scattered light from one particle corresponds to the number of photoelectron pulses per unit time. Therefore, by counting the number of photoelectron pulses within a certain time interval, the particle size and number density of particles in the fluid can be determined from the counted value.

しかし、流体中に混入している粒子の粒子径が小さくな
るにつれて、レーザ光を照射された粒子からの散乱光が
微弱になり、粒子からの光子の放出過程が確率的になる
。従って、単位時間毎の光電子パルス数の91数値のゆ
らぎが大きくなる。このゆらぎは、粒子特性を求めるう
えで問題となる。この光電子パルスの計数値のゆらぎを
みがけに小さくし、粒子特性を求めやすくするために演
算処理が必要になる。
However, as the diameter of the particles mixed in the fluid becomes smaller, the scattered light from the particles irradiated with laser light becomes weaker, and the process of emitting photons from the particles becomes stochastic. Therefore, the fluctuation of the 91 numerical value of the number of photoelectron pulses per unit time becomes large. This fluctuation poses a problem when determining particle characteristics. Arithmetic processing is required to visually reduce fluctuations in the count value of photoelectron pulses and make it easier to determine particle characteristics.

この演算処理方法としては移動平均法が有効である。移
動平均法を説明するために、ある時刻tからある時間Δ
tの間に計数した光電子パルス数をN (t)とする。
A moving average method is effective as this calculation processing method. To explain the moving average method, a certain time Δ from a certain time t
Let N (t) be the number of photoelectron pulses counted during t.

以後このΔtをサンプルタイムと称する。t+Δtから
t+2・Δtの間に計数した光電子パルス数をN(t+
1)と表わすことにする。この表現方法では、kを整数
として1−1+Δt         N(t)t+Δ
t−t+2・Δt    N(t+1)t+2・Δt−
t+3・Δt  N(t+2)t+に・Δt−t+(k
+1)参Δt N(t+k) である。ここで、Mは加算回数である。このような処理
を行なうと、光電子パルスの計数値のゆらぎをみかけ−
1=小さくでき、粒子特性が求めやすくなる。
Hereinafter, this Δt will be referred to as sample time. The number of photoelectron pulses counted between t+Δt and t+2・Δt is N(t+
1). In this representation method, 1-1+Δt N(t)t+Δ
t-t+2・Δt N(t+1)t+2・Δt-
t+3・Δt N(t+2)t+・Δt−t+(k
+1) Reference Δt N (t+k). Here, M is the number of additions. When such processing is performed, fluctuations in the photoelectron pulse count value can be seen.
1=can be made smaller, making it easier to determine particle characteristics.

従来の方法では、第4図において、パルス波形整形回路
lOから出力された光電子パルスをパルス計数回路11
で計数し、その計数値をメモリ回路12で記憶させ、演
算装置で計数値を読み込み、移動平均の演算処理を行な
っている。
In the conventional method, as shown in FIG.
, the counted value is stored in the memory circuit 12, and the counted value is read in by the arithmetic unit, and a moving average calculation process is performed.

[発明が解決しようとする問題点] 前述のような従来の方法で、光電子パルスの計数値のゆ
らぎをみかけ上小さくするために、移動平均法を用いて
光電子パルスの計数値を演算装置で演算処理した場合、
演算時間が必要となる。すなわち、実時間(リアルタイ
ム)で流体中の粒子の粒子径や数密度を求めることがで
きなくなる。
[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional method as described above, in order to reduce the apparent fluctuation in the count value of photoelectron pulses, the count value of photoelectron pulses is calculated by a calculation device using a moving average method. If processed,
Computation time is required. That is, it becomes impossible to determine the particle size and number density of particles in the fluid in real time.

従って本発明は、このような問題点を解決するためにな
されたもので、光子計数法による光電子パルスの計数値
のゆらぎをみかけ上小さくするための移動平均を実時間
で計算し、流体中の粒子の粒子計や数密度を実時間で計
測できる粒子計測装置を提供することを目的とする。
Therefore, the present invention was made to solve such problems, and it calculates a moving average in real time to reduce the apparent fluctuation of the count value of photoelectron pulses by photon counting method. The purpose of the present invention is to provide a particle measuring device that can measure the particle meter and number density of particles in real time.

[問題点を解決するための手段] 本発明においては−1−述した問題点を解決するために
、流体中粒子からのレーザ散乱光から得られる光電子パ
ルスの計数値に対して移動平均処理を行なって粒子の特
性を求める流体中の粒子計測装置において、 粒子が流れる流体中にレーザ光を照射するレーザ光源と
、 粒子からのレーザ散乱光を受光して電気信号に変換する
手段と、 前記光電変換手段からの信号を散乱光強度に応じた数の
パルスにするパルス発生手段と、前記パルス発生手段か
らのパルスを計数し移動平均処理の加算回数Mに対応す
る(M−)’1)個のパルス計数回路と、 前記(M+1)個のパルス計数回路を制御する手段と、 前記パルス計数回路の計数値とあらかじめ設定した設定
値とを比較する比較器と、 前記比較器からの信号から粒子数を言1数する31数回
路とを備え、 前記(M+1)個のパルス計数回路を順次作動させるこ
とにより移動平均処理を実時間で行ない、粒子計測を行
なう構成を採用した。
[Means for Solving the Problems] In the present invention, in order to solve the problems described in -1-, moving average processing is performed on the counts of photoelectron pulses obtained from laser scattered light from particles in the fluid. An apparatus for measuring particles in a fluid that determines the characteristics of particles by detecting the characteristics of the particles, the apparatus comprises: a laser light source that irradiates a laser beam into a fluid in which particles flow; a means for receiving laser scattered light from the particles and converting it into an electrical signal; pulse generating means that converts the signal from the converting means into a number of pulses corresponding to the scattered light intensity; and (M-)'1) for counting the pulses from the pulse generating means and corresponding to the number of additions M of the moving average processing. a pulse counting circuit; means for controlling the (M+1) pulse counting circuits; a comparator for comparing the counted value of the pulse counting circuit with a preset value; The apparatus is equipped with a 31 number circuit that counts by 1, and employs a configuration in which moving average processing is performed in real time by sequentially operating the (M+1) pulse counting circuits to perform particle measurement.

[作 用] このような構成では、パルス計数に(M+1)個の計数
回路が用いられており、前記(M+1)個の計数回路を
(M+1)ビットのシフトレジスタで制御するので、移
動平均を実時間で処理することができ、光子計数法を用
いて実時間で流体中入の粒子の粒子径や数密度を実時間
で計測できる。
[Function] In such a configuration, (M+1) counting circuits are used for pulse counting, and since the (M+1) counting circuits are controlled by an (M+1) bit shift register, the moving average is Processing can be performed in real time, and the particle diameter and number density of particles contained in a fluid can be measured in real time using photon counting method.

[実施例] 以下、第1図〜第3図を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。
[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail using FIGS. 1 to 3.

第1図には、本発明装置の構成が図示されており、同図
において第4図の同一部分には同一参照符号を付し、そ
の説明は省略する。
FIG. 1 shows the configuration of the apparatus of the present invention, and in FIG. 1, the same parts as in FIG. 4 are given the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted.

本発明装置では、光電子パルスを得るところまでは第4
図装置と同一である。
In the device of the present invention, up to the point where the photoelectron pulse is obtained, the fourth
It is the same as the figure device.

1−述した移動平均を表わす(1)式は、時刻Eにおい
て、M・Δtの時間の間、光電子パルスを計数したこと
に対応する。すなわち、MφΔtの時間で光電子パルス
を計数すれば、時刻toにおける5(to)は求めるこ
とができる。さらに(M+1)個の計数回路を用いれば
、S (t)の時間変化が計測できる。
1- Equation (1) representing the moving average described above corresponds to counting photoelectron pulses at time E for a time period of M·Δt. That is, if photoelectron pulses are counted for a time period of MφΔt, 5(to) at time to can be obtained. Furthermore, by using (M+1) counting circuits, the time change of S (t) can be measured.

このために第1図に図示したように(M+1)個のパル
ス計数回路21,22.・・・ 2(M+1)が設けら
れる。各パルス計数回路はナンド回路を介してパルス波
形整形回路lOに接続されており、シフトレジスタ51
のカウント出力端子(1,2,・・・M+1)からの信
号に応じてカウント動作し、その計数値をそれぞれラッ
チ回路31,32.・・・ 3(M + 1)にラッチ
する。各ラッチ回路の後段には選択回路41,42.・
・・4(M + 1)が接続されており、選択信号に応
じてラッチ回路にラッチされている計数値を比較器55
で比較し、その結果をカウンタ56で計数する。
For this purpose, as shown in FIG. 1, (M+1) pulse counting circuits 21, 22 . ...2(M+1) are provided. Each pulse counting circuit is connected to a pulse waveform shaping circuit lO via a NAND circuit, and a shift register 51
Count operations are performed in response to signals from count output terminals (1, 2, . . . M+1) of , and the counted values are sent to latch circuits 31, 32, . ...Latch at 3(M+1). Selection circuits 41, 42 .・
...4(M+1) is connected, and the count value latched in the latch circuit is sent to the comparator 55 according to the selection signal.
and the results are counted by a counter 56.

また、計数を行なう基準クロックを発生する基準クロッ
ク発生器54が設けられており、基準クロックは局方周
器53を介してタイマー信号発生回路52に入力され、
タイマー信号発生回路52からの信号がシフトレジスタ
51のタイマ一端子に入力される。
Further, a reference clock generator 54 for generating a reference clock for counting is provided, and the reference clock is inputted to the timer signal generation circuit 52 via the local frequency generator 53.
A signal from the timer signal generation circuit 52 is input to a timer one terminal of the shift register 51.

移動平均の加算回数Mを2回としたときの詳細な回路が
第2図に図示されている。第1図の同一部分に同一番号
が付されている。移動平均を求める加算回数を2回とし
たので、3個のパルス51数回路21〜23と3ビツト
のシフトレジスタ51が設けられる。
A detailed circuit diagram when the number of additions M of the moving average is set to two is shown in FIG. Identical parts in FIG. 1 are given the same numbers. Since the number of additions to obtain the moving average is two, three pulse 51 number circuits 21 to 23 and a 3-bit shift register 51 are provided.

このような構成の計数装置の動作を第3図のタイミング
チャートを参照して説明する。
The operation of the counting device having such a configuration will be explained with reference to the timing chart of FIG.

パルス波形整形回路10から得られる粒子散乱光に対応
した光電子パルスが端子72に入力される。基準クロッ
ク発生器56から得られる基準クロックを端子71に入
力し、分周回路53で局方 O 周し、クロックC2をつくる。ここで基準クロックとク
ロックCIは同じ信号である。またクロックC2の1周
期がサンプルタイムΔtとなる。
A photoelectron pulse corresponding to the particle scattered light obtained from the pulse waveform shaping circuit 10 is input to the terminal 72 . A reference clock obtained from the reference clock generator 56 is inputted to a terminal 71, and is frequency-divided by a frequency dividing circuit 53 to generate a clock C2. Here, the reference clock and clock CI are the same signal. Further, one period of the clock C2 becomes the sample time Δt.

このクロックC2が同期式プリセッタブルの4ビツト2
進カウンタからなるタイマー信号発生回路52に入力さ
れ、タイマー信号TMが出力される。このタイマー信号
TMは、パルス計数回路21〜23の光電子パルスの計
数時間を決定する。いま、加算回数を2回としたので、
加算回数に対応する光電子パルスの計数時間は、クロッ
クC2の2周期分である。従って、タイマー信号TMは
、クロックC2の2周期の時間がハイレベルで、次のク
ロックC2の1周期の時間がローレベルとなり、この動
作を繰り返す。−殻内に任意のM回の加算の時には、同
期式プリセッタブル4ビツト2進カウンタ52に入力す
るデータをMとすれば、タイマー信号はクロックC2の
M周期の時間がハイレベルで、次のクロックC2の1周
期の時間がローレベルとなり、この動作を繰り返す信号
となる。
This clock C2 is a synchronous presettable 4 bit 2
The signal is input to a timer signal generation circuit 52 consisting of a forward counter, and a timer signal TM is output. This timer signal TM determines the counting time of the photoelectron pulses of the pulse counting circuits 21-23. Now, since we have set the number of additions to 2,
The counting time of photoelectron pulses corresponding to the number of additions is two periods of the clock C2. Therefore, the timer signal TM is at a high level during two cycles of the clock C2, becomes low level during one cycle of the next clock C2, and repeats this operation. - When adding arbitrary M times in the shell, if the data input to the synchronous presettable 4-bit binary counter 52 is M, the timer signal is at high level for M periods of the clock C2, and the next One cycle of the clock C2 becomes a low level and becomes a signal that repeats this operation.

このタイマー信号TMとクロックC2がシフトレジスタ
51に人力され、端子QO,Ql、Q2からカウントT
l、カウントT2.カウントT3の制御信号が作られ、
それぞれパルス81数回路21〜23に入力される。カ
ウントTl、カウントT2 、カウントT3は光電子パ
ルスの計数に関与する制御信号であり、これらの制御信
号がノ\イレベルのときに、それぞれの制御信号に関与
するパルス計数回路21〜23が光電子パルスを計数す
る。これらの制御信号がローレベルのときには、それぞ
れの制御信号に関与するパルス計数回路21〜23は、
光電子パルスを計数せず、その間にパルス計数回路21
〜23の計数値を対応するラッチ回路31〜33がラッ
チし、パルス計数回路21〜23を初期状態に設定する
。カウントTl、カウントT2 、カウントT3の時間
的関係は、カラン)TIがハイレベルになってからクロ
ックC2の1周期分、すなわちサンプルタイム分の時間
ΔtだけどれてカウントT2がハイレベルになる。さら
に、カウントT2がハイレベルになってから、クロック
C2の1周期分の時間だけ遅れてカラン)T3がハイレ
ベルになる。このような制御方法によって、S (t)
の時間変化を求めることができる。
The timer signal TM and clock C2 are inputted to the shift register 51, and a count T is output from the terminals QO, Ql, and Q2.
l, count T2. A control signal for count T3 is created;
Each pulse 81 is input to number circuits 21-23. Count Tl, count T2, and count T3 are control signals involved in counting photoelectron pulses, and when these control signals are at the noise level, pulse counting circuits 21 to 23 involved in each control signal count photoelectron pulses. Count. When these control signals are at low level, the pulse counting circuits 21 to 23 involved in each control signal,
The pulse counting circuit 21 does not count the photoelectron pulses.
The corresponding latch circuits 31 to 33 latch the count values of .about.23, and set the pulse counting circuits 21 to 23 to the initial state. The temporal relationship between the count Tl, the count T2, and the count T3 is that after the count T1 becomes high level, the count T2 becomes high level after a delay of one period of the clock C2, that is, a time Δt corresponding to the sample time. Further, after the count T2 becomes high level, the clock signal T3 becomes high level with a delay of one period of the clock C2. With this control method, S (t)
It is possible to find the change over time.

カウントTI、カウントT2.カウントT3は、それぞ
れインバータ61〜63で反転され、セレクトSl、セ
レクトS2.セレクトS3が形成される。セレノ)Sl
、S2.S3は、比較器55に光電子パルスの計数値を
入力するパルス計数回路を選択する制御信号である。従
って、これらの制御信号によって、同時に2つ以上のノ
々ルス計数回路が選択されないようにする。これらの制
御信号がハイレベルのときに、比較器55に光電子パル
スの計数値が入力される。
Count TI, count T2. Count T3 is inverted by inverters 61 to 63, respectively, and select S1, select S2 . Select S3 is formed. Sereno) Sl
, S2. S3 is a control signal that selects a pulse counting circuit that inputs the photoelectron pulse count value to the comparator 55. Therefore, these control signals prevent more than one Norse counting circuit from being selected at the same time. When these control signals are at high level, the count value of photoelectron pulses is input to the comparator 55.

ラッチLl、ラッチL2.ラッチL3はパルス計数回路
21〜23で計数された計数値を、ラッチ回路31〜3
3でラッチするための制御信号である。これらの制御信
号が/\イレベルのときのノ々ルス計数回路の計数値が
ラッチされる。ラッチLlは基準クロックとクロックC
2とセレノトSlのすべての信号がハイレベルになった
ときにハイレベルとなる。同様に、ラッチL2は基準ク
ロックとクロックC2とセレクトS2のすべての信号が
ハイレベルになったときに/\イレベルとなり、ラッチ
L3は基準クロックとクロックC2とセレクトS3のす
べての信号がハイレベルになったときにハイレベルとな
り、それぞれラッチ回路31〜33に入力される。
Latch Ll, latch L2. The latch L3 transfers the count value counted by the pulse counting circuits 21 to 23 to the latch circuits 31 to 3.
This is a control signal for latching at 3. The count value of the Nonolus counter circuit when these control signals are at /\high level is latched. Latch Ll is the reference clock and clock C
It becomes high level when all the signals of 2 and Serenoto Sl become high level. Similarly, latch L2 goes to /\\y level when all the signals of the reference clock, clock C2, and select S2 go to high level, and latch L3 goes to high level when all the signals of reference clock, clock C2, and select S3 go to high level. When this happens, the signal becomes high level and is input to the latch circuits 31 to 33, respectively.

また、クロックC2と各カウントTI、カウントT2.
カウン)T3から光電子パルスを計数するパルス計数回
路21〜23を初期状態に設定するリセット信号R1,
R2,R3が形成される。
Also, clock C2, each count TI, count T2.
Count) A reset signal R1 that sets the pulse counting circuits 21 to 23 that count photoelectron pulses from T3 to the initial state,
R2 and R3 are formed.

これらの信号がハイレベルのとき、対応するノくルス計
数回路が初期状態に設定される。リセ−/ )R1はク
ロックC2とカウントTlが同時にローレベルになった
ときにハイレベルとなる。同様に、リセットR2はクロ
ックC2とカウントT2が同時にローレベルになったと
きにハイレベルとなり、リセットR3はクロックC2と
カラン)T3が同時にローレベルになったときに/\イ
レベルどなる。
When these signals are at a high level, the corresponding Norms counting circuits are set to their initial state. RESET/)R1 becomes high level when clock C2 and count Tl become low level at the same time. Similarly, reset R2 goes high when clock C2 and count T2 go low at the same time, and reset R3 goes high when clock C2 and count T3 go low at the same time.

セレクトSl、セレクトS2.セレクトS3によって選
択された各パルス計数回路21〜23の光電子パルスの
計数値は、比較器55に入力される。この比較器では、
あらかじめ設定したデータより大きい計数値が入力され
たときにハイレベルの信号が出力されるように設定して
おく。比較器にあらかじめ設定したデータより大きい計
数値が連続的に入力されても、比較器55からの出力信
号はハイレベルのままである。そして、比較器にあらか
じめ設定したデータより小さい計数値が入力されたとき
、比較器からの出力信号はローレベルになる。比較器か
らの出力信号がハイレベルからローレベルになることに
よって、カウンタ56がカウントする。ここで、比較器
55にあらかじめ設定するデータは、流体中の粒子の粒
子径に対。
Select Sl, Select S2. The count value of the photoelectron pulse of each pulse counting circuit 21 to 23 selected by the selection S3 is input to the comparator 55. In this comparator,
Set so that a high level signal is output when a count value larger than preset data is input. Even if a count value larger than the preset data is continuously input to the comparator, the output signal from the comparator 55 remains at a high level. When a count value smaller than the preset data is input to the comparator, the output signal from the comparator becomes low level. The counter 56 counts as the output signal from the comparator changes from high level to low level. Here, the data set in advance in the comparator 55 corresponds to the particle diameter of particles in the fluid.

応し、表示器65で表示されている計数値は、流体中の
粒子の数密度に関与した数値となる。
Accordingly, the count value displayed on the display 65 is a value related to the number density of particles in the fluid.

また、比較器を複数組採用することによって、複数の粒
子径の数密度を計測することも可能である。
Furthermore, by employing a plurality of comparators, it is also possible to measure the number density of a plurality of particle diameters.

さらに、実施例では、移動平均の加算回数を2回として
説明したが、この加算回数は任意のM回にも拡張できる
ことはもちろんである。
Further, in the embodiment, the number of times of addition of the moving average is assumed to be two, but it goes without saying that this number of times of addition can be extended to any number of M times.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、パルス計数に移
動平均処理の加算回数に対応した(M+1)個のパルス
計数回路を用い、これを順次作動させて移動平均処理を
行っているので、光電子パルスの計数値のゆらぎを見か
け上小さくし、流体中の粒子特性を求めやすくするため
の移動平均を実時間で処理でき、実時間で粒子の粒子径
や数密度を計測できる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, (M+1) pulse counting circuits corresponding to the number of additions of moving average processing are used for pulse counting, and these are sequentially operated to perform moving average processing. This makes it possible to process the moving average in real time to reduce the apparent fluctuation of the photoelectron pulse count value and make it easier to determine the particle characteristics in the fluid, and to measure the particle size and number density of particles in real time. can.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明装置の構成を示すブロック図、第2図は
光電子パルスの計数を行う部分の詳細な回路図、第3図
は動作を説明するタイミングチャート図、第4図は従来
の構成を示すブロック図÷ある。 21〜23・・・パルス計数回路 31〜33・・・ラッチ回路 41〜43・・・選択回路 55・・・比較器    56・・・カウンタ「 /?
、A已−?+1iIl−、’F  (自発)昭和61年
12JI  all 特、11庁長官殿 1 、 ・IIf+の表小 1trl+I+ 61年特、81願第178827 L
;2、発明の名称 1k 体中ノ粒(、、+ 71111装置3、補11を
する名 ・ハf1と(ハ)用法   特、11出願人名  称 
    興(1旧、式会ン14.4tJIP人    
     ゛1面古  03  (26B)  248
1  (イ()5、袖t1によIl増加する発、1!l
la″)Ik   O6、補11の対象 明細−1の発1引の計重1な説11の欄図面 7、補11:の内容 2)同第8頁第12行11の「実時間チ′を肖り除する
。 3)図中、第1図を別紙のように袖1]ユする。
Figure 1 is a block diagram showing the configuration of the device of the present invention, Figure 2 is a detailed circuit diagram of the part that counts photoelectron pulses, Figure 3 is a timing chart explaining the operation, and Figure 4 is the conventional configuration. Block diagram showing ÷. 21-23... Pulse counting circuit 31-33... Latch circuit 41-43... Selection circuit 55... Comparator 56... Counter "/?
,A已-? +1iIl-,'F (Spontaneous) 1986 12JI all Special, 11 Director General 1, ・IIf+ table small 1trl+I+ 1961 Special, 81 Application No. 178827 L
;2. Title of the invention 1k No particulates in the body (,, + 71111 device 3, supplement 11 name/c f1 and (c) Usage Patent, 11 applicant name
Xing (1 old, Shikikai 14.4t JIP person
゛1 page old 03 (26B) 248
1 (I()5, Il increases by sleeve t1, 1!l
la'') Ik O6, Supplement 11, Target specification-1, weight of quotation 1, theory 11, column Drawing 7, Supplement 11: Contents 2) ``Real time CH'' on page 8, line 12, 11 3) In the figure, draw Figure 1 on the sleeve 1] as shown in the attached sheet.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)流体中粒子からのレーザ散乱光から得られる光電子
パルスの計数値に対して移動平均処理を行なって粒子の
特性を求める流体中の粒子計測装置において、 粒子が流れる流体中にレーザ光を照射するレーザ光源と
、 粒子からのレーザ散乱光を受光して電気信号に変換する
手段と、 前記光電変換手段からの信号を散乱光強度に応じた数の
パルスにするパルス発生手段と、 前記パルス発生手段からのパルスを計数し移動平均処理
の加算回数Mに対応する(M+1)個のパルス計数回路
と、 前記(M+1)個のパルス計数回路を制御する手段と、 前記パルス計数回路の計数値とあらかじめ設定した設定
値とを比較する比較器と、 前記比較器からの信号から粒子数を計数する計数回路と
を備え、 前記(M+1)個のパルス計数回路を順次作動させるこ
とにより移動平均処理を実時間で行ない粒子計測を行な
うことを特徴とする流体中の粒子計測装置。 2)前記パルス計数回路を制御する手段は (M+1)ビットのシフトレジスタであることを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の流体中の粒子計測装
置。
[Scope of Claims] 1) A particle measuring device in a fluid that performs moving average processing on the count values of photoelectron pulses obtained from laser scattered light from particles in the fluid to determine the characteristics of the particles, comprising: a fluid in which the particles flow; a laser light source that irradiates a laser beam into the interior of the particle; a means for receiving laser scattered light from particles and converting it into an electrical signal; and a pulse generator that converts the signal from the photoelectric conversion means into a number of pulses corresponding to the intensity of the scattered light. (M+1) pulse counting circuits that count the pulses from the pulse generating means and correspond to the number of additions M in the moving average process; means for controlling the (M+1) pulse counting circuits; A comparator that compares the count value of the counting circuit with a preset setting value, and a counting circuit that counts the number of particles from the signal from the comparator, and sequentially operates the (M+1) pulse counting circuits. A particle measuring device in a fluid is characterized in that it measures particles by performing moving average processing in real time. 2) The particle measuring device in a fluid according to claim 1, wherein the means for controlling the pulse counting circuit is an (M+1)-bit shift register.
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