JPH0573578A - Lot managing device - Google Patents
Lot managing deviceInfo
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- JPH0573578A JPH0573578A JP26529591A JP26529591A JPH0573578A JP H0573578 A JPH0573578 A JP H0573578A JP 26529591 A JP26529591 A JP 26529591A JP 26529591 A JP26529591 A JP 26529591A JP H0573578 A JPH0573578 A JP H0573578A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ロット管理装置、特に
一連の作業が為される製造ロットをある作業で複数のロ
ットに分割し、分割されたロットをそれより後のある作
業で元の製造ロットに合流することの設定及び管理がで
きる新規なロット管理装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lot management apparatus, and in particular, a manufacturing lot in which a series of operations is performed is divided into a plurality of lots in a certain operation, and the divided lots are used in the original operation in a subsequent operation. The present invention relates to a new lot management device capable of setting and managing joining of manufacturing lots.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体装置の製造は一つの生産システム
（生産ライン）に多数の半導体ウエハを製造ロット単位
で流して数十から数百の多数の作業を行うことにより行
われ、行う作業の数、順序、各作業の作業条件は製造し
ようとする半導体装置の品種によって異なる。この半導
体装置の品種によって異なる一連の作業はプロセスと称
され、各プロセスには例えばプロセス００１、プロセス
００２というように認識番号が与えられている。2. Description of the Related Art A semiconductor device is manufactured by flowing a large number of semiconductor wafers into a single production system (production line) in units of manufacturing lots and performing a large number of tens to hundreds of operations. , Order, and work conditions for each work differ depending on the type of semiconductor device to be manufactured. A series of operations that differ depending on the type of semiconductor device is called a process, and each process is given an identification number such as process 001 or process 002.
【０００３】そして、半導体装置の製造は、作業担当者
に対して作業指示を行う装置（コンピュタ端末）を設け
各装置をコンピュータにより制御する生産管理システム
を用いて行われるのが普通である。Manufacturing of semiconductor devices is usually carried out by using a production management system in which a device (computer terminal) for giving work instructions to a worker is provided and each device is controlled by a computer.
【０００４】さて、一般の半導体装置の製造においては
必要ではないが、試作に必要となるものに特定の作業に
おいて製造ロットを複数のロットに一時的に分割し、同
じ作業を各分割ロットに対して作業条件を異ならせて行
う一時的ロット分割がある。そして、かかる場合、作業
条件を異ならせる作業が終ると分割ロットは合流して元
の製造ロットに戻される。このようなロットの一時的分
割は、例えばエッチングをエッチング液を変えてあるい
はエッチング時間を変えて行ってエッチングの効果の違
いを検証してみるというような場合に行われる。そし
て、従来においてかかるロットの一時的分割は、作業者
が設計者からの指示に基づいて行っていたに過ぎなかっ
た。By the way, a manufacturing lot is temporarily divided into a plurality of lots in a specific work that is not necessary in the manufacture of a general semiconductor device but is necessary for a prototype, and the same work is performed for each divided lot. There is a temporary lot division performed by changing the working conditions. Then, in such a case, when the work of changing the working conditions is finished, the divided lots are merged and returned to the original manufacturing lot. Such temporary division of the lot is performed, for example, when the etching is performed by changing the etching solution or the etching time to verify the difference in the effect of the etching. And, in the past, such temporary division of the lot was only performed by the operator based on the instruction from the designer.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】従来においてかかるロ
ットの一時的分割が作業者が設計者からの指示に基づい
て行っていたに過ぎなかったためミスが多発し、一時的
分割のあった場合のロット管理が難しかった。特に、２
４時間稼動時においては一時的分割を設定した設定者が
特定の時間帯しか生産ラインにいないため各交代する作
業者に対して適切な指示を与えることが難しくなるの
で、ロット管理が難しくなる。In the prior art, the temporary division of the lot was merely performed by the operator based on the instruction from the designer, so that a lot of mistakes were made and the lot was temporarily divided. It was difficult to manage. Especially 2
When operating for four hours, it becomes difficult for the setter who has set the temporary division to give appropriate instructions to the workers who change each other, because it is only in a specific time zone on the production line, so that lot management becomes difficult.
【０００６】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、一連の作業が為される製造ロットを
ある作業で複数のロットに分割し、分割されたロットを
それより後のある作業で元の製造ロットに合流すること
の設定及び管理ができる新規なロット管理装置を提供す
ることを目的とする。The present invention has been made to solve such a problem, and a manufacturing lot in which a series of operations is performed is divided into a plurality of lots in a certain operation, and the divided lots are then divided. It is an object of the present invention to provide a new lot management device capable of performing setting and management of merging with an original manufacturing lot in a certain operation.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明ロット管理装置
は、製造ロットを複数のロットに分割する作業と分割さ
れたロットを合流して元の製造ロットにする作業を設定
するロット分割設定手段と、設定された上記分割する作
業と合流する作業を記憶するロット分割分流情報ファイ
ルとを有し、分割する作業の設定が為されたとき当該製
造ロットの各分割ロットに所定のルールで分割ロット番
号が設定されるようにしてなることを特徴とする。The lot management apparatus of the present invention includes a lot division setting means for setting a work for dividing a production lot into a plurality of lots and a work for merging the divided lots into the original production lot. , A lot division / dividing information file that stores the set dividing work and the joining work, and when the dividing work is set, the divided lot number is determined according to a predetermined rule for each divided lot of the manufacturing lot. Is set.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、本発明ロット管理装置を図示実施例に
従って詳細に説明する。図面は本発明ロット管理装置の
一つの実施例を示すもので、図１は構成図、図２は製造
ロットの流れ図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The lot management apparatus of the present invention will be described in detail below with reference to the illustrated embodiments. The drawings show one embodiment of the lot management apparatus of the present invention. FIG. 1 is a block diagram and FIG. 2 is a flow chart of manufacturing lots.
【０００９】図面において、１はホストコンピュータ
で、生産管理に必要なデータベースの集中管理を行う。
２は設計者用端末で、システムパラメータの登録、各種
設定を行うものであり、その設定の種類の一つにロット
分割設定がある。このロット分割設定については後で詳
述する。また、設計者用端末２においては情報の参照等
も行う。In the drawing, reference numeral 1 is a host computer, which centrally manages a database required for production management.
Reference numeral 2 is a designer's terminal for registering system parameters and making various settings. One of the types of settings is lot division setting. This lot division setting will be described later in detail. The designer's terminal 2 also refers to information.
【００１０】３ａ、３ｂは作業指示端末であり、図面で
は作業指示端末の数が２個しか示されていないが、クリ
ーンルーム内の各作業を行う製造装置４（４ａ、４ｂ、
…と多数あるが、図面では４ａ、４ｂのみ示す）に対し
て１個ずつ設けられている。作業指示端末３ａ、３ｂ、
…は基本的には各作業の作業者（オペレータ）に対する
作業条件の表示、製造ロットの搬送の案内を行うもので
あるが、作業者が各種表示要求をしたり、測定データを
入力したりすることもできる。そして、ロット分割設定
が為された場合には、設定されたロット分割の実現のた
めの分割、合流のための指示が作業指示端末３から為さ
れる。Reference numerals 3a and 3b denote work instruction terminals. Although only two work instruction terminals are shown in the drawing, the manufacturing apparatus 4 (4a, 4b, 4a, 4b, 4b) for performing each work in the clean room is shown.
There are many, but only one is provided for each of 4a and 4b in the drawing). Work instruction terminals 3a, 3b,
... basically displays the work conditions for each worker (operator) and guides the transportation of the manufacturing lot, but the worker requests various displays and inputs measurement data. You can also When the lot division setting is made, the work instruction terminal 3 gives an instruction for division and merging for realizing the set lot division.
【００１１】５はロット分割設定手段で、設計者用端末
２の操作により設計者がロット分割のための入力をする
とロットを一時的に分割する設定を行う。６は各製造ロ
ットについての作業条件のデータを記録するロット別作
業条件ファイル、７はロット分割設定手段５によりロッ
ト分割が設定された時に、分割する作業と、合流する作
業とを記憶するロット分割分流情報ファイル、８はその
他のデータベースファイルである。Numeral 5 is a lot division setting means for setting the division of the lot temporarily when the designer inputs an instruction for lot division by operating the terminal 2 for the designer. 6 is a lot-by-lot work condition file that records data of work conditions for each manufacturing lot, and 7 is a lot division that stores the work to be divided and the work to be joined when the lot division is set by the lot division setting means 5. The diversion information file and 8 are other database files.
【００１２】本ロット管理装置は、基本的には製造ロッ
ト毎の作業条件を記憶するロット別作業条件ファイル等
を備え、製造ロットについての作業順及びその各一時的
に分割の作業条件を、作業指示端末３によって指示する
ものであるが、設計者用端末２の入力操作により製造ロ
ットを一時的に分割する指令が為された場合にはロット
分割設定手段５によりロット分割の設定が為される。そ
こで、このロット分割の設定動作について説明する。This lot management apparatus basically comprises a work condition file for each lot for storing work conditions for each manufacturing lot, and the work order for the manufacturing lot and the work conditions for each temporary division are Although the instruction is given by the instruction terminal 3, when the instruction for temporarily dividing the manufacturing lot is given by the input operation of the designer terminal 2, the lot division setting means 5 sets the lot division. . Therefore, the setting operation of this lot division will be described.
【００１３】図２に示すように、ロット番号が例えば１
５００に設定された５０枚のウエハからなる製造ロット
を、作業Ｅの次の作業Ｆにおいて例えば３つに分割し、
作業Ｆを各分割ロット毎に別の作業条件で行い、更にそ
の次の作業Ｇについても各分割ロット毎に別の作業条件
で行い、そして更にその次の作業Ｈではその分割ロット
を元の製造ロットに合流して同じ作業条件で作業を行う
ものとする。As shown in FIG. 2, the lot number is, for example, 1
The production lot consisting of 50 wafers set to 500 is divided into, for example, three in the work F following the work E,
The work F is performed under different work conditions for each divided lot, and the work G subsequent thereto is also performed under different work conditions for each divided lot. Further, in the next work H, the divided lots are manufactured in the original manufacturing process. It shall join the lot and work under the same working conditions.
【００１４】この場合、先ず、分割する作業を特定す
る。本例では作業Ｆが分割する作業に該当する。かかる
分割する作業を作業Ｆにする入力が為されるとロット分
割設定手段５により作業Ｆが取り込まれてロット分割分
流情報ファイル７にそれが分割を開始する作業として記
憶される。それと同時に、予め設定されるルールに従っ
てその製造ロット（ロット番号１５００）の各分割ロッ
トに分割ロット番号が自動的に設定される。例えば、第
１の分割ロットには１５００−０１、第２の分割ロット
には１５００−０２、第３の分割ロットには１５００−
３というように元の製造ロットのロット番号に枝番号を
付して分割ロット番号とするというようなルールが考え
られる。そして、分割ロット番号がロット分割分流情報
ファイル７、ロット別作業条件ファイル６等に記憶され
る。In this case, first, the work to be divided is specified. In this example, the work F corresponds to a divided work. When the division work is input to the work F, the work F is fetched by the lot division setting means 5 and stored in the lot division / division information file 7 as the work to start the division. At the same time, the divided lot number is automatically set to each divided lot of the manufacturing lot (lot number 1500) according to a preset rule. For example, 1500-01 for the first divided lot, 1500-02 for the second divided lot, and 1500- for the third divided lot.
A rule such that the branch number is added to the lot number of the original production lot, such as 3, is used as the divided lot number. Then, the divided lot number is stored in the lot division / division information file 7, the lot-specific work condition file 6 and the like.
【００１５】次に、合流する作業を特定する。本例では
作業Ｈが合流する作業に該当する。かかる合流する作業
を作業Ｈにする入力が為されるとロット分割設定手段５
により作業Ｈが取り込まれてロット分割分流情報ファイ
ル７にそれが分割を終了して合流する作業として記憶さ
れる。尚、分割ロットの各作業の作業条件は例えばロッ
ト別作業条件ファイル６に記憶する。Next, the work to be merged is specified. In this example, the work H corresponds to the work that merges. When an input is made for the work to be merged into work H, the lot division setting means 5
As a result, the work H is fetched and stored in the lot division / dividing information file 7 as a work for merging after finishing the division. The work condition of each work of the divided lot is stored in the work condition file 6 for each lot, for example.
【００１６】上述したようにロット分割の設定した場合
において、分割の設定が為された製造ロットが作業Ｅを
終了したとき、次作業についての指示をする情報が例え
ばロット別作業条件ファイル６等から読み出されて作業
Ｅの作業指示端末から表示される。すると作業者（オペ
レータ）はその指示に従ってその製造ロットを分割する
ことになる。尚、分割の指示は製造ロットの番号と、各
分割ロットの割振りウェハ枚数を示すことにより行われ
る。In the case where the lot division is set as described above, when the manufacturing lot for which the division is set has completed the work E, information for instructing the next work is given from, for example, the lot-specific work condition file 6 or the like. It is read and displayed from the work instruction terminal of work E. Then, the operator (operator) divides the manufacturing lot according to the instruction. The division instruction is given by indicating the manufacturing lot number and the number of allocated wafers in each division lot.
【００１７】また、実際に分割された製造ロットが作業
Ｇを終えたとき、具体的には分割ロットが全部互いに作
業条件が異なる作業Ｇを終えて合流する分割ロットが全
部揃ったときに作業Ｇの作業指示端末から作業者にその
合流する製造ロットのロット番号を示して合流をする指
示が為される。それと共に次に作業Ｈを行うように搬送
することが指示される。すると、作業者はその指示に従
って分割ロットを元の製造ロットに合流し、作業Ｈを行
う製造装置を行えば良い。しかして、本ロット管理装置
によれば、製造ロットを一時的に分割して作業を行う場
合、分割、合流について正しく指示を行うことができ
る。Further, when the actually divided manufacturing lots have completed the work G, specifically, when the divided lots have all completed the work G having different working conditions and all the merged divided lots have been prepared, the work G is completed. From the work instruction terminal, the worker is instructed to merge by showing the lot number of the manufacturing lot to be merged. At the same time, it is instructed to carry the work H next. Then, the worker may merge the divided lots with the original manufacturing lot according to the instruction and perform the manufacturing apparatus for performing the work H. Therefore, according to the lot management apparatus, when the manufacturing lot is temporarily divided and the work is performed, it is possible to correctly instruct the division and the merge.
【００１８】[0018]
【発明の効果】本発明ロット管理装置は、製造ロット毎
の作業条件を記憶するロット別作業条件ファイルを有
し、作業順序及び作業内容を指示するロット管理装置で
あって、特定の製造ロットについて複数のロットに分割
する作業と、分割された複数の分割ロットを合流して元
の製造ロットにする作業とを設定するロット分割設定手
段と、該ロット分割設定手段により設定された上記分割
する作業と合流する作業を記憶するロット分割分流情報
ファイルと、を少なくとも有し、上記ロット分割設定手
段により分割する作業の設定が為されたとき当該製造ロ
ットの各分割ロットに所定のルールで分割ロット番号が
設定されるようにしてなることを特徴とするものであ
る。従って、本発明ロット管理装置によれば、分割する
作業と合流する作業をロット分割分流情報ファイルに記
憶するので、製造ロットが分割する作業に臨むときに分
割を指示し、終えると分割ロットを合流する作業を終え
たときに合流を指示することができ、製造過程での一時
的分割を正しく指示することができる。The lot management device of the present invention is a lot management device which has a work condition file for each lot for storing the work condition for each manufacturing lot and indicates the work order and work contents. Lot division setting means for setting a work for dividing into a plurality of lots and a work for merging a plurality of divided lots into an original manufacturing lot, and the above-mentioned dividing work set by the lot division setting means And a lot division / dividing information file for storing the work to be merged with each other, and when the division work is set by the lot division setting means, each division lot of the production lot is divided according to a predetermined rule. Is set as follows. Therefore, according to the lot management apparatus of the present invention, the work to be merged with the work to be divided is stored in the lot division / dividing information file. It is possible to instruct merging when the work of finishing is completed, and it is possible to correctly instruct temporary division in the manufacturing process.
【図１】本発明ロット管理装置の一つの実施例を示す構
成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a lot management apparatus of the present invention.
【図２】分割ロットの流れの一例を示す流れ図である。FIG. 2 is a flowchart showing an example of the flow of divided lots.
５ ロット分割設定手段 ６ ロット別作業条件ファイル ７ ロット分割分流情報ファイル 5 Lot division setting means 6 Work condition file for each lot 7 Lot division shunt information file
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 博士 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Dr. Yamamoto, Inventor Dr. Yamamoto, 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation
Claims (1)
ト別作業条件ファイルを有し、作業順及び作業内容を指
示するロット管理装置であって、 特定の製造ロットについて複数のロットに分割する作業
と分割された複数の分割ロットを合流して元の製造ロッ
トにする作業を設定するロット分割設定手段と、 上記ロット分割設定手段により設定された上記分割する
作業と合流する作業を記憶するロット分割分流情報ファ
イルと、 を少なくとも有し、 上記ロット分割設定手段により分割する作業の設定が為
されたとき当該製造ロットの各分割ロットに所定のルー
ルで分割ロット番号が設定されるようにしてなることを
特徴とするロット管理装置1. A lot management apparatus that has a work condition file for each lot that stores work conditions for each production lot, and that indicates a work order and work contents. The work is a work for dividing a specific production lot into a plurality of lots. Lot division setting means for setting a work for merging a plurality of divided lots that have been divided into an original manufacturing lot, and a lot division for storing the work for joining with the dividing work set by the lot division setting means At least a distribution information file is provided, and when the division work is set by the lot division setting means, a division lot number is set to each division lot of the manufacturing lot according to a predetermined rule. Lot management device characterized by
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26529591A JPH0573578A (en) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Lot managing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26529591A JPH0573578A (en) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Lot managing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0573578A true JPH0573578A (en) | 1993-03-26 |
Family
ID=17415222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26529591A Pending JPH0573578A (en) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | Lot managing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0573578A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000052201A (en) * | 1998-08-12 | 2000-02-22 | Yokogawa Electric Corp | Product agent of production system |
| US6580958B1 (en) | 1998-11-25 | 2003-06-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor manufacturing apparatus and device manufacturing method |
| US7648848B2 (en) | 2007-03-20 | 2010-01-19 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor integrated circuit production method and device including preparing a plurality of SOI substrates, grouping SOI substrates having mutual similarities and adjusting their layer thicknesses simultaneously |
-
1991
- 1991-09-17 JP JP26529591A patent/JPH0573578A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000052201A (en) * | 1998-08-12 | 2000-02-22 | Yokogawa Electric Corp | Product agent of production system |
| US6580958B1 (en) | 1998-11-25 | 2003-06-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor manufacturing apparatus and device manufacturing method |
| US7648848B2 (en) | 2007-03-20 | 2010-01-19 | Oki Semiconductor Co., Ltd. | Semiconductor integrated circuit production method and device including preparing a plurality of SOI substrates, grouping SOI substrates having mutual similarities and adjusting their layer thicknesses simultaneously |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20041008 |
|
| A072 | Dismissal of procedure [no reply to invitation to correct request for examination] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20050506 |