JPH0569369A - High precision locating device for transport device - Google Patents

High precision locating device for transport device

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JPH0569369A
JPH0569369A JP25978891A JP25978891A JPH0569369A JP H0569369 A JPH0569369 A JP H0569369A JP 25978891 A JP25978891 A JP 25978891A JP 25978891 A JP25978891 A JP 25978891A JP H0569369 A JPH0569369 A JP H0569369A
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guide
piston rod
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suction
cylinder hole
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Shigekazu Nagai
井 茂 和 永
Shuzo Sakurai
井 修 三 桜
Toki Kawamoto
本 勅 川
Masayuki Nakamura
村 雅 行 中
Ryuichi Masui
井 隆 一 増
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Abstract

PURPOSE:To provide a high precision locating device for a work suction transport device, with which location of a sucking member can be done accurately by a small, light, and simple means. CONSTITUTION:A piston on a piston rod 4 having a suction pad is fitted slidably a cylinder hole in a body 1 of a suction transport device and driven with a fluid pressure fed to the cylinder hole. Therein a guide V-groove 16 in parallel with the piston rod sliding direction is provided at the front and the rear of a guide part 15 furnished protrusively on the body 1, and a pair of guide members equipped with guide V-grooves mating with these guide V-grooves 16 are held by a guide holder 20. A roller is interposed between each pair of mating V-grooves, and thereby the guide holder 20 is held slidably relative to the body 1, and the piston rod 4 is fixed to the guide holder 20.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ワークを吸着搬送する
装置における吸着部材の高精度位置決め装置に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a highly accurate positioning device for a suction member in a device for sucking and conveying a work.

【0002】[0002]

【従来の技術】生産ラインにおいて、ワークを搬送する
場合には、ワークの位置決めが必要になる。それは、次
工程にワークを移載するに際し、位置決めが正確でなけ
れば、吸着不良、信号の読み取りエラー等が発生し、生
産能率が低下するためである。殊に、電子部品の搬送、
装着に関する場合は、正確な位置決め、高速駆動、高寿
命といった要求がある。そこで、真空吸着パッドを先端
に備えたロッドをボディの一部でガイドして、ロッドの
回転を不能にするなどの手段が採用されている。
2. Description of the Related Art When a work is conveyed on a production line, it is necessary to position the work. This is because, when the work is transferred to the next process, if the positioning is not correct, a suction failure, a signal reading error, etc. will occur, and the production efficiency will decrease. In particular, the transport of electronic components,
In terms of mounting, there are demands for accurate positioning, high speed drive, and long life. Therefore, a means is adopted in which a rod provided with a vacuum suction pad at its tip is guided by a part of the body so that the rod cannot rotate.

【0003】また、ワークを吸着搬送するための装置に
おいては、それをロボットアーム等に取付けて使用する
ことから、特に、小型、軽量、簡易な手段で高精度の位
置決めを行うことが要求される。しかしながら、このよ
うな要求を満たす装置は未だ提案されていない。
Further, in an apparatus for sucking and conveying a work, since it is used by being attached to a robot arm or the like, it is particularly required to perform highly accurate positioning with a small, lightweight and simple means. .. However, a device satisfying such requirements has not been proposed yet.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、ワークを吸着搬送する装置において、小型、軽量、
簡易な手段で、吸着部材の高精度の位置決めを行うこと
が可能な高精度位置決め装置を得ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The technical problem of the present invention is to reduce the size, weight,
An object of the present invention is to obtain a highly accurate positioning device capable of highly accurately positioning the suction member with a simple means.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の高精度位置決め装置は、ボディ内のシリンダ
孔に、先端に吸着パッドを有するピストンロッドに固定
されたピストンを、摺動自在に嵌挿し、上記シリンダ孔
に供給した流体圧によりピストンを駆動するようにした
吸着搬送装置において、上記ボディに突設したガイド部
の表裏側に、ピストンロッドの摺動方向と平行するガイ
ドV溝をそれぞれ設けると共に、それらのガイドV溝に
対向するガイドV溝を備えた一対のガイド部材を、ガイ
ドホルダーに保持させ、両ガイドV溝の間に、それぞれ
1個または複数個のローラを介装し、それによってガイ
ドホルダーをボディに対して摺動自在に保持させ、該ガ
イドホルダーをピストンロッドに連結することにより構
成される。上記吸着搬送装置においては、ピストンロッ
ドの中心部に、シリンダ孔内の圧力を先端の吸着パッド
側に導く貫通孔を穿設することができ、さらに吸着パッ
ドを金属製にすることができる。
A high-accuracy positioning device of the present invention for solving the above-mentioned problems is such that a piston fixed to a piston rod having a suction pad at its tip is slidable in a cylinder hole in a body. In a suction conveyance device that is inserted into a cylinder and drives the piston by the fluid pressure supplied to the cylinder hole, a guide V groove parallel to the sliding direction of the piston rod is provided on the front and back sides of the guide portion protruding from the body. And a pair of guide members having guide V grooves facing the guide V grooves are held by a guide holder, and one or a plurality of rollers are respectively interposed between the guide V grooves. The guide holder is slidably held by the body, and the guide holder is connected to the piston rod. In the suction conveyance device, a through hole for guiding the pressure in the cylinder hole to the suction pad side at the tip can be formed in the center of the piston rod, and the suction pad can be made of metal.

【0006】[0006]

【作用】シリンダ孔内を真空源に接続すると、ピストン
が駆動されると同時に、吸着パッドによりワークが持ち
上げられ、ワークを所期の位置に移動させることができ
る。また、シリンダ孔内を圧縮空気源に接続し、あるい
は大気に開放すると、吸着パッドがワークを開放し、ピ
ストンロッドが復帰する。
When the inside of the cylinder hole is connected to a vacuum source, the work piece is lifted by the suction pad at the same time as the piston is driven, and the work piece can be moved to a desired position. Further, when the inside of the cylinder hole is connected to a compressed air source or opened to the atmosphere, the suction pad opens the work and the piston rod returns.

【0007】このような吸着パッドの昇降動作において
は、ガイドV溝を設けたボディのガイド部に対し、ガイ
ドV溝を設けた一対のガイド部材がローラを介してガイ
ドされているため、一対のガイド部材を取付けたガイド
ホルダーは、極めて安定的に摺動をガイドされ、このガ
イドホルダーにより、ピストンロッドをガイドさせる
と、ワークの搬送において、該ピストンロッドの回転を
抑止しながら、高精度の反復動作を、高速、高寿命にお
いて行わせることができる。
In such a lifting operation of the suction pad, since a pair of guide members provided with the guide V groove are guided through the rollers to the guide portion of the body provided with the guide V groove, a pair of guide members are provided. The guide holder to which the guide member is attached is extremely stably guided to slide, and when the guide rod is guided by this guide holder, the piston rod is restrained from rotating during the conveyance of the work, and highly accurate repetition is performed. The operation can be performed at high speed and long life.

【0008】[0008]

【実施例】図1ないし図3は、本発明に係る高精度位置
決め装置を備えた吸着搬送装置についての好適な実施例
を示している。この吸着搬送装置は、ロボットハンド等
に固定されるボディ1内に、ピストン3を摺動自在に嵌
挿したシリンダ孔2を備えている。上記ピストン3は、
ボディ1から下方に突出するピストンロッド4に固定さ
れたもので、シリンダ孔2の上端を閉鎖するキャップ5
との間にスプリング6を介装することにより、常にシリ
ンダ孔2から突出する状態に付勢されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIGS. 1 to 3 show a preferred embodiment of a suction conveyance device equipped with a high precision positioning device according to the present invention. This suction / conveyance device has a cylinder hole 2 in which a piston 3 is slidably inserted in a body 1 fixed to a robot hand or the like. The piston 3 is
A cap 5 fixed to a piston rod 4 protruding downward from the body 1 and closing the upper end of the cylinder hole 2.
By interposing a spring 6 between and, it is always urged to project from the cylinder hole 2.

【0009】シリンダ孔2は、上記キャップ5に取付け
たワンタッチ管継手7に、図示しない切換弁を介して、
真空源及び圧縮空気源に連通させるための管を接続する
ことにより、負圧または正圧が切換供給されるもので、
ピストンロッド4の中心部には、そのシリンダ孔2内の
圧力を先端側に導く貫通孔8を穿設し、そのピストンロ
ッド4の先端には、アダプタ9を介してゴムまたは合成
樹脂製からなる弾性部材からなるからなる吸着パッド1
0を取付けている。なお、図中、11はピストンロッド
4上に設けてピストンロッドの突出時に動作するダンパ
ーを示している。
The cylinder hole 2 is attached to the one-touch fitting 7 attached to the cap 5 through a switching valve (not shown),
By connecting a pipe for communicating with a vacuum source and a compressed air source, negative pressure or positive pressure is switched and supplied,
A through hole 8 is formed in the center of the piston rod 4 to guide the pressure in the cylinder hole 2 to the tip side, and the tip of the piston rod 4 is made of rubber or synthetic resin via an adapter 9. Adsorption pad 1 made of elastic material
0 is attached. In the figure, reference numeral 11 denotes a damper which is provided on the piston rod 4 and operates when the piston rod is projected.

【0010】一方、上記ボディ1に突設したガイド部1
5には、その表裏面に、ピストンロッド4の摺動方向と
平行するガイドV溝16をそれぞれ設け、また、それら
のガイドV溝16に対向するガイドV溝18を備えた一
対のガイド部材17を、ガイドホルダー20に保持さ
せ、ガイドV溝16とガイドV溝18との間に、それぞ
れ1個または複数個のローラ19を介装し、それによっ
てガイドホルダー20をボディ1に対して摺動自在に保
持させている。
On the other hand, the guide portion 1 protruding from the body 1
5, the guide V grooves 16 parallel to the sliding direction of the piston rod 4 are provided on the front and back surfaces thereof, and a pair of guide members 17 having guide V grooves 18 facing the guide V grooves 16 are provided. Are held by the guide holder 20, and one or a plurality of rollers 19 are respectively interposed between the guide V groove 16 and the guide V groove 18, whereby the guide holder 20 slides with respect to the body 1. It is held freely.

【0011】上記ガイド部15におけるガイドV溝16
及び一対のガイド部材17におけるガイドV溝18の表
面は、硬質メッキ、焼き入れ等の処理を施し、あるいは
それらの材質として硬質材料が使用される。なお、ボデ
ィ1及びガイドホルダー20は、望ましくは、冷間引き
抜き、精密鍛造、金属射出成形、あるいはロストワック
ス等により製作される。
A guide V groove 16 in the guide portion 15
The surfaces of the guide V-grooves 18 of the pair of guide members 17 are hard-plated, hardened, etc., or hard materials are used as the material thereof. The body 1 and the guide holder 20 are preferably manufactured by cold drawing, precision forging, metal injection molding, lost wax, or the like.

【0012】また、上記ローラ19は、その軸線を交互
に直交させたクロスローラとして配列介装することもで
きるが、その軸線をガイドV溝16及びガイドV溝18
の方向に向けて、1個または複数個をそれらの両V溝間
に介装することもでき、ガイド部材17の端面にストッ
パ21を取付けることにより、それらがガイドV溝1
6,18から脱出するのを防止している。このようなロ
ーラ19を用いると、市販されている各種ベアリングを
使用するよりも、外観形状を取付けスペースに合わせて
自由に設計することができる。さらに、これらのローラ
19としては、高炭素クロム軸受鋼、その他硬質で摩耗
が極めて少ない材質を選択し、それによって高寿命化が
図られる。
The roller 19 may be arranged as a cross roller in which the axes thereof are orthogonal to each other. The axes of the rollers 19 are the guide V groove 16 and the guide V groove 18.
It is also possible to interpose one or a plurality of them between the V-grooves in the direction of, and by attaching a stopper 21 to the end surface of the guide member 17, they are guided V-grooves 1.
Preventing escape from 6,18. When such a roller 19 is used, the external shape can be freely designed according to the mounting space, as compared with the case where various commercially available bearings are used. Further, as these rollers 19, high carbon chrome bearing steel and other hard and extremely wear-resistant materials are selected, thereby extending the service life.

【0013】上記一対のガイド部材17は、ガイドホル
ダー20におけるコ字状のガイド部材取付け部20aの
対向面に取付けボルト23により固定し、これらのガイ
ド部材17は、必要に応じて図示しない調整ボルトでそ
の位置を微調整することにより、正確なガイドを実施可
能にするものである。また、上記ガイドホルダー20に
おけるロッド取付け部20bには、前記ピストンロッド
4を取付け、それによって吸着パッド10を上述したガ
イド機構によりガイドさせている。
The pair of guide members 17 are fixed to the opposite surfaces of the U-shaped guide member mounting portion 20a of the guide holder 20 by mounting bolts 23, and these guide members 17 are adjusted bolts (not shown) as needed. By finely adjusting the position with, accurate guide can be performed. Further, the piston rod 4 is attached to the rod attachment portion 20b of the guide holder 20, whereby the suction pad 10 is guided by the guide mechanism described above.

【0014】上記構成を有する吸着搬送装置において
は、図1の状態で、吸着パッド10をワークに接触さ
せ、ワンタッチ管継手7を通してシリンダ孔2内を真空
源に接続すると、吸着パッド10にワークを吸着把持し
たうえで、ピストン3がスプリング6の付勢力に抗して
上動し、ワークが持ち上げられる。従って、この状態で
ボディ1を取付けたロボットハンド等により、ワークを
所期の位置に移動させることができる。切換弁の操作に
より、ワンタッチ管継手7を通してシリンダ孔2内を圧
縮空気源に接続し、あるいは大気に開放すると、吸着パ
ッド10がワークを開放し、スプリング6の付勢力によ
りピストンロッドが図1の位置に復帰する。
In the suction conveyance device having the above structure, when the suction pad 10 is brought into contact with the work in the state of FIG. 1 and the inside of the cylinder hole 2 is connected to the vacuum source through the one-touch fitting 7, the work is placed on the suction pad 10. After sucking and gripping, the piston 3 moves upward against the urging force of the spring 6, and the work is lifted. Therefore, in this state, the work can be moved to a desired position by a robot hand or the like to which the body 1 is attached. When the inside of the cylinder hole 2 is connected to the compressed air source through the one-touch fitting 7 or opened to the atmosphere by the operation of the switching valve, the suction pad 10 opens the work and the urging force of the spring 6 causes the piston rod to move to the position shown in FIG. Return to position.

【0015】このような吸着パッドの昇降動作において
は、ガイドV溝16を設けたボディ1のガイド部15に
対し、ガイドV溝18を設けた一対のガイド部材17
が、ローラ19を介してガイドされているため、一対の
ガイド部材17を取付けたガイドホルダー20は、極め
て安定的に摺動をガイドされ、このガイドホルダー20
により、ピストンロッド4をガイドさせると、ワークの
搬送において、該ピストンロッドの回転を抑止しなが
ら、高精度の反復動作を、高速、高寿命において行わせ
ることができる。
In such an ascending / descending operation of the suction pad, a pair of guide members 17 having guide V grooves 18 are provided for the guide portion 15 of the body 1 having guide V grooves 16.
However, the guide holder 20 having the pair of guide members 17 attached thereto is guided by the roller 19 so as to slide extremely stably.
Thus, when the piston rod 4 is guided, highly accurate repetitive operation can be performed at high speed and long life while suppressing rotation of the piston rod during conveyance of the work.

【0016】上述した真空パッド10は、一般的には、
ゴムや合成樹脂等の弾性部材で形成されるが、この弾性
部材で形成したことに起因して、ワークの吸着時や離脱
時に、正確なワーク位置を得られない場合がある。この
ような問題を解決するには、真空パッドを金属製にする
のが有効であり、これにより一層の精度の向上を期待す
ることができる。このような構成は、上述した高精度の
反復動作を得られることから採用できるものである。ま
た、この構成は、電子部品の搬送、装着時における静電
気対策としても有効である。
The vacuum pad 10 described above generally
It is formed of an elastic member such as rubber or synthetic resin. However, due to the formation of this elastic member, an accurate work position may not be obtained when the work is attracted or released. In order to solve such a problem, it is effective to use a vacuum pad made of metal, and it can be expected that the accuracy is further improved. Such a configuration can be adopted because the above-described highly accurate repetitive operation can be obtained. Further, this configuration is also effective as a countermeasure against static electricity during transportation and mounting of electronic components.

【0017】さらに、上記吸着搬送装置のボディ1は、
ブロック状、円筒状等、自由に設計でき、例えばブロッ
ク状にして各種搬送装置本体や、ロボットアームに取付
け可能にし、汎用性を持たせることもできる。このよう
に汎用性を持たせると、ピストンロッド4を中空にし
て、真空ラインを別に設ける必要がないことも、各種の
使用状態において有利になる。
Further, the body 1 of the suction conveyance device is
It can be freely designed in a block shape, a cylindrical shape, or the like. For example, it can be made into a block shape so that it can be attached to various kinds of transfer device main bodies or robot arms, and can have versatility. When such versatility is provided, it is also advantageous in various usage conditions that the piston rod 4 is hollow and there is no need to separately provide a vacuum line.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上に詳述した本発明の吸着搬送装置に
よれば、小型、軽量、簡易な手段で、吸着部材の高精度
の位置決めを行うことが可能な高精度位置決め装置を得
ることができる。
According to the suction conveyance device of the present invention described in detail above, it is possible to obtain a high-precision positioning device capable of performing high-precision positioning of a suction member with a small, lightweight, and simple means. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る高精度位置決め装置を備えた吸着
搬送装置の実施例を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a suction conveyance device equipped with a highly accurate positioning device according to the present invention.

【図2】同側面図である。FIG. 2 is a side view of the same.

【図3】同平面図である。FIG. 3 is a plan view of the same.

【図4】ガイド部分の構成を示す要部断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of an essential part showing the configuration of a guide part.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ボディ、 2 シリンダ
孔、3 ピストン、 4 ピストンロッド、10
吸着パッド、 15 ガイド部、1
6,18 ガイドV溝、 17 ガイド部
材、19 ローラ、20 ガイドホルダー。
1 body, 2 cylinder holes, 3 pistons, 4 piston rods, 10
Suction pad, 15 guides, 1
6, 18 guide V groove, 17 guide member, 19 roller, 20 guide holder.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中 村 雅 行 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社筑波技術センター内 (72)発明者 増 井 隆 一 茨城県筑波郡谷和原村絹の台4−2−2 エスエムシー株式会社筑波技術センター内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Masayuki Nakamura, inventor Masayuki Nakamura, Taniwahara, Tsukuba, Ibaraki Kinutai 4-2-2, SMC Tsukuba Technology Center (72) Ryuichi Masui, Tawawa, Tsukuba, Ibaraki Murakinokidai 4-2-2 SMC Corporation Tsukuba Technical Center

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ボディ内のシリンダ孔に、先端に吸着パッ
ドを有するピストンロッドに固定されたピストンを、摺
動自在に嵌挿し、上記シリンダ孔に供給した流体圧によ
りピストンを駆動するようにした吸着搬送装置におい
て、 上記ボディに突設したガイド部の表裏側に、ピストンロ
ッドの摺動方向と平行するガイドV溝をそれぞれ設ける
と共に、 それらのガイドV溝に対向するガイドV溝を備えた一対
のガイド部材を、ガイドホルダーに保持させ、 両ガイドV溝の間に、それぞれ1個または複数個のロー
ラを介装し、 それによってガイドホルダーをボディに対して摺動自在
に保持させ、 該ガイドホルダーをピストンロッドに連結した、ことを
特徴とする吸着搬送装置における高精度位置決め装置。
1. A piston fixed to a piston rod having a suction pad at its tip is slidably inserted into a cylinder hole in a body, and the piston is driven by the fluid pressure supplied to the cylinder hole. In the suction conveyance device, guide V grooves parallel to the sliding direction of the piston rod are provided on the front and back sides of the guide portion protruding from the body, and a pair of guide V grooves facing the guide V grooves are provided. The guide member of (1) is held by a guide holder, and one or a plurality of rollers are respectively interposed between the guide V grooves, whereby the guide holder is held slidably with respect to the body. A high-accuracy positioning device in a suction conveyance device, characterized in that a holder is connected to a piston rod.
【請求項2】ピストンロッドの中心部に、シリンダ孔内
の圧力を先端の吸着パッド側に導く貫通孔を穿設したこ
とを特徴とする請求項1に記載の吸着搬送装置における
高精度位置決め装置。
2. A high-accuracy positioning device in a suction conveyance device according to claim 1, wherein a through hole for guiding the pressure in the cylinder hole to the suction pad side at the tip is bored in the central portion of the piston rod. ..
【請求項3】吸着パッドを金属製にしたことを特徴とす
る請求項1に記載の吸着搬送装置における高精度位置決
め装置。
3. The high-accuracy positioning device in the suction conveyance device according to claim 1, wherein the suction pad is made of metal.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101272954B1 (en) * 2011-02-18 2013-06-12 임석규 Double pick up cylinder for element of semiconductor
KR101320369B1 (en) * 2012-04-02 2013-10-23 임석규 Vacuum Absorbtion Cylinder For Element of Semiconductor
KR101838444B1 (en) * 2017-08-18 2018-03-13 이재성 Vacuum type gripper for transferring containers packaging packaged a processed goods

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002172578A (en) * 2000-12-07 2002-06-18 Ckd Corp Attraction pad holder

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