JPH0566980B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0566980B2 JPH0566980B2 JP60232804A JP23280485A JPH0566980B2 JP H0566980 B2 JPH0566980 B2 JP H0566980B2 JP 60232804 A JP60232804 A JP 60232804A JP 23280485 A JP23280485 A JP 23280485A JP H0566980 B2 JPH0566980 B2 JP H0566980B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical system
- flow cell
- photometric
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 43
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 23
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000005375 photometry Methods 0.000 claims description 4
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 31
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 102000053602 DNA Human genes 0.000 description 2
- 108020004414 DNA Proteins 0.000 description 2
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 1
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 1
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 1
- 210000000601 blood cell Anatomy 0.000 description 1
- 210000000170 cell membrane Anatomy 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- MHMNJMPURVTYEJ-UHFFFAOYSA-N fluorescein-5-isothiocyanate Chemical compound O1C(=O)C2=CC(N=C=S)=CC=C2C21C1=CC=C(O)C=C1OC1=CC(O)=CC=C21 MHMNJMPURVTYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、フローサイトメータ等において、フ
ローセルに対する合焦機能を有する粒子解析装置
に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a particle analysis device having a focusing function for a flow cell in a flow cytometer or the like.
[従来の技術]
フローサイトメータ等に用いられる粒子解析装
置では、フローセルの中央部の例えば200μm×
200μmの微小な矩形断面を有する流通部内を、
シース液に包まれて通過する血球細胞などの検体
粒子にレーザービームを照射し、その結果生ずる
前方及び側方散乱光により、検体の形状・大き
さ・屈折率等の粒子的性質を得ることが可能であ
る。また、蛍光剤により染色され得る検体に対し
ては、蛍光を検出することにより、検体を解析す
るための重要な情報を求めることができる。[Prior art] In a particle analysis device used in a flow cytometer, etc., a particle size of, for example, 200 μm×
Inside the flow section with a minute rectangular cross section of 200μm,
A laser beam is irradiated onto specimen particles such as blood cells passing through the sheath fluid, and the resulting forward and side scattered light makes it possible to obtain particle properties such as the shape, size, and refractive index of the specimen. It is possible. Furthermore, for specimens that can be stained with a fluorescent agent, important information for analyzing the specimen can be obtained by detecting fluorescence.
フローサイトメータ等において正確な測定を行
うためには、検体粒子以外の物体からの信号が混
入しないように、測光用対物レンズにより正確に
検体粒子或いはその極く近傍からの光束のみを集
光させると共に、検体粒子の流れの軸と光軸とを
正確に一致させなければならない。そのために、
対物レンズにより焦点調整を行う必要があるが、
次に述べるような不便な要素が幾つかある。 In order to perform accurate measurements with a flow cytometer, etc., a photometric objective lens must be used to accurately focus only the light flux from the sample particle or its immediate vicinity, so that signals from objects other than the sample particle are not mixed in. At the same time, the flow axis of the sample particles must be accurately aligned with the optical axis. for that,
It is necessary to adjust the focus using the objective lens, but
There are several inconvenient factors as described below.
(1) 操作者が目視によつて手動で軸調整を行つて
いるために、操作が繁雑であり十分に正確な光
軸調整を行うことが困難である。(1) Since the operator manually adjusts the optical axis by visual inspection, the operation is complicated and it is difficult to perform sufficiently accurate optical axis adjustment.
(2) 測定中に焦点の移動が生じた場合においても
その確認が不可能なため、測定途中における疑
似信号の混入の有無を判断できず、データの信
頼性について不安がある。(2) Even if the focal point moves during measurement, it is impossible to confirm this, so it is impossible to determine whether or not spurious signals are mixed in during measurement, and there is concern about the reliability of the data.
(3) ノズルやフローセルの交換の度に焦点調整を
必要とし、測定に手間が掛かる。(3) Focus adjustment is required each time the nozzle or flow cell is replaced, making measurement time-consuming.
[発明の目的]
本発明の目的は、フローセルの前面及び後面か
らの反射光の位置関係を検出することにより、フ
ローセルの光軸中心に対する焦点調整を自動的に
かつ正確に行い得る粒子解析装置を提供すること
にある。[Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a particle analysis device that can automatically and accurately adjust the focus to the optical axis center of the flow cell by detecting the positional relationship of reflected light from the front and rear surfaces of the flow cell. It is about providing.
[発明の概要]
上述の目的を達成するための本発明の要旨は、
フローセル内の流通部を流れる検体粒子に光ビー
ムを照射する照射光学系と、光ビームの検体粒子
への照射によつて発生する光を測光用対物レンズ
で集光して測光する測光光学系とを備え、前記測
光用対物レンズを通して前記測光光学系の測光方
向から前記流通部に向けて斜め方向に指標光束を
投射する投射光学系と、前記流通部の前後それぞ
れの境界面によつて縁切指標光束が反射され前記
測光用対物レンズを通つた2つの反射光の入射位
置を検出する光アレイセンサとを有し、該光アレ
イセンサの出力信号に基づいて前記流通部に対す
る前記測光光学系の合焦状態を検出することを特
徴とする粒子解析装置である。[Summary of the invention] The gist of the present invention for achieving the above object is as follows:
An irradiation optical system that irradiates a light beam onto the sample particles flowing through the flow section in the flow cell, and a photometry optical system that collects and measures light generated by the irradiation of the light beam onto the sample particles using a photometry objective lens. a projection optical system that projects an index light beam in an oblique direction from the photometric direction of the photometric optical system toward the flow section through the photometry objective lens; an optical array sensor that detects the incident position of the two reflected lights from which the index light beam is reflected and passes through the photometric objective lens; This is a particle analysis device characterized by detecting a focused state.
[発明の実施例]
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明す
る。[Embodiments of the Invention] The present invention will be described in detail based on illustrated embodiments.
第1図、第2図は測光光学系及び照明系の構成
図であつて、第1図はフローセル1に流れるサン
プル液流と平行な方向から見た場合であり、第2
図はサンプル液流の断面方向から見た場合であ
る。フローセル1には、上のA方向から被検体サ
ンプルが注入されると同時に、B方向からシース
液が流入されている。フローセル1の流通部1a
では、シース液がサンプル液流をその内部に包み
込み層流の状態で流れており、流体力学的な焦点
合わせがなされ、C方向にドレインとして排出さ
れる。Ar+レーザー光源2から出射されるレーザ
ー光は、結像レンズ系3を通してフローセル1の
流通部1a付近に結像される。レーザー光の直進
方向には、検体粒子による前方散乱光を集光する
対物レンズ4及び光検知器5が配置されている。
また、レーザー光の入射方向と直角な方向の光軸
上には、順次に凸レンズ6、凹レンズ7、赤外光
噴射・可視光透過のダイクロイツクミラー8、結
像レンズ9、絞り10、凸レンズ11、ダイクロ
イツクミラー12,13、反射ミラー14が配置
されている。 1 and 2 are configuration diagrams of the photometric optical system and the illumination system.
The figure shows the view from the cross-sectional direction of the sample liquid flow. A subject sample is injected into the flow cell 1 from the upper direction A, and at the same time, a sheath liquid flows from the B direction. Flow section 1a of flow cell 1
In this case, the sheath liquid encloses the sample liquid flow therein, flows in a laminar flow state, is hydrodynamically focused, and is discharged as a drain in the C direction. Laser light emitted from the Ar + laser light source 2 is imaged near the flow section 1a of the flow cell 1 through the imaging lens system 3. An objective lens 4 and a photodetector 5 are arranged in the straight direction of the laser beam to collect forward scattered light from the sample particles.
Also, on the optical axis perpendicular to the direction of incidence of the laser beam, a convex lens 6, a concave lens 7, a dichroic mirror 8 for emitting infrared light and transmitting visible light, an imaging lens 9, an aperture 10, and a convex lens 11 are arranged in order. , dichroic mirrors 12 and 13, and a reflection mirror 14 are arranged.
ダイクロイツクミラー12はAr+レーザー光の
波長488nmよりも長波長の光を透過させる特性
を有し、その反射側には結像レンズ15、488n
mの波長を通過させるバリアフイルタ16、オプ
チカルガイド17が配置されている。また、ダイ
クロイツクミラー13は緑色光反射・赤色光透過
の特性を有し、その反射側には結像レンズ18、
バンドパスフイルタ19、オプチカルガイド20
が設けられている。反射ミラー14の反射側に
は、結像レンズ21、赤色光を透過させるバリア
フイルタ22、オプチカルガイド23が配置され
ている。 The dichroic mirror 12 has the property of transmitting light with a wavelength longer than the wavelength of 488nm of the Ar + laser beam, and an imaging lens 15, 488nm, is placed on the reflection side of the dichroic mirror 12.
A barrier filter 16 and an optical guide 17 are arranged to allow wavelengths of m to pass through. Furthermore, the dichroic mirror 13 has the characteristics of reflecting green light and transmitting red light, and an imaging lens 18 on the reflecting side.
Bandpass filter 19, optical guide 20
is provided. On the reflective side of the reflective mirror 14, an imaging lens 21, a barrier filter 22 that transmits red light, and an optical guide 23 are arranged.
また、ダイクロイツクミラー8の反射側には、
投影光学系と測定光学系とから成る焦点検出部が
設けられており、先ず光軸上には投影光学系とし
て順次に凸レンズ24、ハーフミラー25、アパ
ーチヤマスク26,27、赤外光源28が配置さ
れている。更に、ハーフミラー25の反射側に
は、測光光学系としてバリアフイルタ29、光ア
レイセンサ30が設けられている。 In addition, on the reflection side of the dichroic mirror 8,
A focus detection section consisting of a projection optical system and a measurement optical system is provided. First, a convex lens 24, a half mirror 25, aperture masks 26, 27, and an infrared light source 28 are sequentially arranged on the optical axis as the projection optical system. It is located. Further, on the reflection side of the half mirror 25, a barrier filter 29 and an optical array sensor 30 are provided as a photometric optical system.
検体粒子によるレーザー光の前方散乱光は、対
物レンズ4、光検知器5で検出され、光検知器5
の出力信号の大きさと検体粒子の大きさには相関
関係があるので、検体粒子のサイズ決定に用いら
れる。また、蛍光を発光するように染色されてい
る検体粒子は、通常では波長488nmのA+レーザ
ー光の照射により、その反射光は緑色又は赤色の
蛍光を呈する。DNA(デオキシリボ核酸)の量を
検出するために用いられるPIは赤色蛍光を発し、
細胞膜表面抗原の検出に用いるFITCは緑色蛍光
を発することが知られている。その他に、A+レ
ーザー光の照射による側方散乱光中には、検体粒
子内部の複雑な構造が反映されている。 The forward scattered light of the laser light by the sample particles is detected by the objective lens 4 and the photodetector 5.
Since there is a correlation between the magnitude of the output signal and the size of the sample particle, it is used to determine the size of the sample particle. Further, when specimen particles dyed to emit fluorescence are irradiated with A + laser light having a wavelength of 488 nm, the reflected light exhibits green or red fluorescence. PI used to detect the amount of DNA (deoxyribonucleic acid) emits red fluorescence,
FITC, which is used to detect cell membrane surface antigens, is known to emit green fluorescence. In addition, the complex structure inside the sample particle is reflected in the side scattered light caused by irradiation with the A + laser beam.
このような側方散乱光からの情報を得るため
に、フローセル1からの側方散乱光は、凸レンズ
6と凹レンズ7から構成されている対物レンズ系
及び結像レンズ9を通り絞り10の焦点位置に一
旦結像される。側方散乱光は更に凸レンズ11を
経て、ダイクロイツクミラー12に達するが、
A+レーザー光の波長488nmよりも短波長の光は、
このダイクロイツクミラー12で反射され、結像
レンズ15を経てバリアフイルタ16により
488nmの光のみがオプチカルガイド17の端面
に結像され、図示しない光検知器に伝達され測定
される。 In order to obtain information from such side-scattered light, the side-scattered light from the flow cell 1 passes through an objective lens system consisting of a convex lens 6 and a concave lens 7 and an imaging lens 9 to the focal position of the aperture 10. is imaged once. The side scattered light further passes through the convex lens 11 and reaches the dichroic mirror 12.
A + Light with a wavelength shorter than the wavelength of 488nm of laser light is
It is reflected by this dichroic mirror 12, passes through an imaging lens 15, and then passes through a barrier filter 16.
Only the 488 nm light is imaged on the end face of the optical guide 17, transmitted to a photodetector (not shown), and measured.
ダイクロイツクミラー12を通過した光束のう
ち、緑色光はダイクロイツクミラー13で反射さ
れ、結像レンズ18、緑色光のみを通過させるバ
リアフイルタ19を経てオプチカルガイド20に
入射する。更に、ダイクロイツクミラー13を通
過した光束は反射ミラー14により反射され、結
像レンズ21、赤色光のみを通過するバリアフイ
ルタ22を経てオプチカルガイド23に入射する
ことになる。 Of the light beams that have passed through the dichroic mirror 12, the green light is reflected by the dichroic mirror 13 and enters the optical guide 20 via the imaging lens 18 and the barrier filter 19 that allows only the green light to pass. Furthermore, the light beam that has passed through the dichroic mirror 13 is reflected by the reflection mirror 14, and enters the optical guide 23 via the imaging lens 21 and the barrier filter 22 that passes only red light.
次に焦点検出部においては、赤外光源28は赤
外光領域の光を出射しており、第1図aに示すア
パーチヤマスク27を透過した照射光は、bに示
すパターンを有するアパーチヤマスク26、ハー
フミラー25、凸レンズ24を経てダイクロイツ
クミラー8に達し、ここで左方に反射され凹レン
ズ7、凸レンズ6を介してフローセル1に投影さ
れる。ここで、マスク27のパターンの幅はフロ
ーセル1の流通部1aの幅よりも多少小さくなつ
ており、投影光はフローセル1の前面と後面で反
射される。しかし、反射効率を無視すれば、パタ
ーンの幅は流通部1aの幅からはみ出していても
よい。 Next, in the focus detection section, the infrared light source 28 emits light in the infrared region, and the irradiated light that has passed through the aperture mask 27 shown in FIG. The light reaches the dichroic mirror 8 via the mask 26, the half mirror 25, and the convex lens 24, is reflected to the left, and is projected onto the flow cell 1 via the concave lens 7 and the convex lens 6. Here, the width of the pattern of the mask 27 is somewhat smaller than the width of the flow section 1a of the flow cell 1, and the projection light is reflected on the front and rear surfaces of the flow cell 1. However, if reflection efficiency is ignored, the width of the pattern may extend beyond the width of the flow section 1a.
アパーチヤマスク26のパターンはスリツト部
が光軸から偏心しており、マスク27による指標
をフローセル1上に斜め方向から入射させるため
のものであるが、投影光束はこのアパーチヤマス
ク26を経由しているので、フローセル1が正常
な位置、つまりその中心部が測光光学系と光学的
に共役な状態であれば、凸レンズ24と光学的に
等価な位置にある光アレイセンサ30上に第3図
のdに示すような状態が得られる。第3図aはフ
ローセル1全体の光学共役な位置の関係、bはフ
ローセル1の前面及び後面からの反射光の位置、
cはフローセル1の前面及び後面からの反射光の
光電変換された出力波形をそれぞれ表している。
このように、焦点の位置がaに示すa〜c,e〜
gのように前後にずれた場合には、bに示す位置
に結像され、cに示す信号波形が光アレイセンサ
30から出力される。 The pattern of the aperture mask 26 is such that the slit portion is eccentric from the optical axis, and is used to allow the index by the mask 27 to enter the flow cell 1 from an oblique direction. Therefore, if the flow cell 1 is in a normal position, that is, its center is optically conjugate with the photometric optical system, the light shown in FIG. A state as shown in d is obtained. FIG. 3a shows the optical conjugate positional relationship of the entire flow cell 1, b shows the positions of reflected light from the front and rear surfaces of the flow cell 1,
c represents the photoelectrically converted output waveforms of reflected light from the front and rear surfaces of the flow cell 1, respectively.
In this way, the position of the focal point is a~c,e~ as shown in a.
When shifted back and forth as shown in g, the image is formed at the position shown in b, and a signal waveform shown in c is output from the optical array sensor 30.
このように焦点検出部において得られた信号波
形は信号処理部で解析され、焦点位置がずれてい
る場合には自動的に焦点調整が行われる。なお、
ここで行う焦点調整は、第1図、第2図における
側方散乱光の出射方向に対する焦点ずれを調整し
て、光学系の焦点位置に移動させることである
が、前方散乱光に対しても同様の焦点検出部を配
置してもよいことは勿論である。 The signal waveform obtained in the focus detection section in this way is analyzed by the signal processing section, and if the focus position is shifted, focus adjustment is automatically performed. In addition,
The focus adjustment performed here is to adjust the focal shift with respect to the emission direction of the side scattered light in Figs. 1 and 2 and move it to the focal position of the optical system, but it also applies to the forward scattered light. Of course, a similar focus detection section may be arranged.
第4図は自動焦点調整のためのブロツク回路構
成図であり、光アレイセンサ30からの出力信号
をピーク位置検出部31で解析する。このピーク
位置検出部31では、フローセル1の前面からの
反射光に対応する信号のピーク位置P1、後面か
らの反射光に対応するピーク位置P2が得られ、
加算器32において、P1+P2を計算し、更に割
算器33によりP=(P1+P2)/2を求める。こ
のPは現在の投影光学系の合焦状態、つまり凸レ
ンズ6、凹レンズ7から成る対物レンズ系の焦点
位置を示している。従つて、基準位置設定部34
に予め設定してある光学的焦点位置データの出力
Sと、割算器33からの出力値Pを比較器35に
おいて比較し、P=Sとなるようにセル駆動部3
6に出力を送り、フローセル1の位置を制御す
る。比較器35において、P>Sの場合とP<S
の場合ではセル駆動部36に対する駆動方向を変
えて、フローセル1の中心を光学的焦点位置に制
御して自動合焦が行われることになる。 FIG. 4 is a block circuit configuration diagram for automatic focus adjustment, in which the output signal from the optical array sensor 30 is analyzed by a peak position detection section 31. This peak position detection section 31 obtains a peak position P1 of the signal corresponding to the light reflected from the front surface of the flow cell 1, and a peak position P2 corresponding to the reflected light from the rear surface of the flow cell 1.
The adder 32 calculates P1+P2, and the divider 33 calculates P=(P1+P2)/2. This P indicates the current focusing state of the projection optical system, that is, the focal position of the objective lens system consisting of a convex lens 6 and a concave lens 7. Therefore, the reference position setting section 34
The comparator 35 compares the output S of the optical focus position data set in advance with the output value P from the divider 33, and the cell drive unit 3
6 to control the position of flow cell 1. In the comparator 35, when P>S and when P<S
In this case, automatic focusing is performed by changing the drive direction of the cell drive unit 36 and controlling the center of the flow cell 1 to the optical focus position.
本実施例の焦点検出部においては、光アレイセ
ンサ30としてCCDを用いており、投影光によ
るフローセル1からの反射光を電気的に走査させ
ることにより信号波形を抽出しているが、光電素
子に機械的な駆動機構を取り付けて走査を行つて
も同様の信号波形が得られる。また、信号処理部
にマイロプロセツサを導入し各演算をソフトウエ
アで行うようにすると、回路構成も簡単になり、
かつ同様の性能を得ることができる。なお、合焦
調整はフローセル1を移動させて行うのではな
く、対物レンズ系を調整するようにしてもよいこ
とは云うまでもない。 In the focus detection section of this embodiment, a CCD is used as the optical array sensor 30, and the signal waveform is extracted by electrically scanning the reflected light from the flow cell 1 by the projection light. A similar signal waveform can be obtained even if a mechanical drive mechanism is attached and scanning is performed. In addition, by introducing a microprocessor into the signal processing section and performing each calculation using software, the circuit configuration becomes simpler.
And similar performance can be obtained. It goes without saying that focus adjustment may be performed by adjusting the objective lens system instead of by moving the flow cell 1.
[発明の効果]
以上説明したように本発明に係る粒子解析装置
は、焦点検出部からマスクパターンをフローセル
に投影し、フローセルの前面及び後面からの反射
光を基に合焦検出を行い、フローセルの中心を光
学系の中心位置に相対的に駆動させるので、従来
の手動による焦点調整の繁雑さから開放されると
共に、高精度の焦点位置調整ができるために信頼
性の高いデータが得られることになる。[Effects of the Invention] As explained above, the particle analysis device according to the present invention projects a mask pattern from the focus detection section onto the flow cell, performs focus detection based on the reflected light from the front and rear surfaces of the flow cell, and detects the flow cell. Since the center of the optical system is moved relative to the center position of the optical system, the complexity of conventional manual focus adjustment is avoided, and highly reliable data can be obtained because the focus position can be adjusted with high precision. become.
図面は本発明に係る粒子解析装置の一実施例を
示し、第1図、第2図は光学系の構成図、第3図
はフローセル中心と焦点位置関係の説明図、第4
図は信号処理部及び駆動部のブロツク回路構成図
である。
符号1はフローセル、1aは流通部、2はレー
ザー光源、3は結像レンズ系、4は対物レンズ、
5は光検知器、6は凸レンズ、7は凹レンズ、
8,12,13はダイクロイツクミラー、9は結
像レンズ、16,19,22はバリアフイルタ、
17,20,23はオプチカルガイド、25はハ
ーフミラー、26,27はアパーチヤマスク、2
8は赤色光源、30は光アレイセンサ、31はピ
ーク位置検出器、32は加算器、33は割算器、
34は基準位置設定器、35は比較器、36はセ
ル駆動部である。
The drawings show an embodiment of the particle analysis device according to the present invention, and FIGS. 1 and 2 are configuration diagrams of the optical system, FIG. 3 is an explanatory diagram of the relationship between the center of the flow cell and the focal point position, and FIG.
The figure is a block circuit configuration diagram of a signal processing section and a driving section. 1 is a flow cell, 1a is a flow section, 2 is a laser light source, 3 is an imaging lens system, 4 is an objective lens,
5 is a photodetector, 6 is a convex lens, 7 is a concave lens,
8, 12, 13 are dichroic mirrors, 9 is an imaging lens, 16, 19, 22 is a barrier filter,
17, 20, 23 are optical guides, 25 is a half mirror, 26, 27 are aperture masks, 2
8 is a red light source, 30 is an optical array sensor, 31 is a peak position detector, 32 is an adder, 33 is a divider,
34 is a reference position setter, 35 is a comparator, and 36 is a cell driver.
Claims (1)
ビームを照射する照射光学系と、光ビームの検体
粒子への照射によつて発生する光を測定用対物レ
ンズで集光して測光する測光光学系とを備え、前
記測光用対物レンズを通して前記測光光学系の測
光方向から前記流通部に向けて斜め方向に指標光
束を投射する投射光学系と、前記流通部の前後そ
れぞれの境界面によつて前記指標光束が反射され
前記測光用対物レンズを通つた2つの反射光の入
射位置を検出する光アレイセンサとを有し、該光
アレイセンサの出力信号に基づいて前記流通部に
対する前記測光光学系の合焦状態を検出すること
を特徴とする粒子解析装置。1. An irradiation optical system that irradiates a light beam onto the sample particles flowing through the flow section in the flow cell, and a photometric optical system that collects and measures the light generated by the irradiation of the light beam onto the sample particles with a measurement objective lens. a projection optical system that projects an index light beam in an oblique direction from the photometric direction of the photometric optical system toward the flow section through the photometry objective lens; an optical array sensor that detects the incident position of the two reflected lights from which the index light beam is reflected and passes through the photometric objective lens; A particle analysis device characterized by detecting a focused state.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60232804A JPS6291836A (en) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | Particle analyzing device |
US06/918,981 US4732479A (en) | 1985-10-18 | 1986-10-15 | Particle analyzing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60232804A JPS6291836A (en) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | Particle analyzing device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6291836A JPS6291836A (en) | 1987-04-27 |
JPH0566980B2 true JPH0566980B2 (en) | 1993-09-22 |
Family
ID=16945025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60232804A Granted JPS6291836A (en) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | Particle analyzing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6291836A (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2745568B2 (en) * | 1988-09-30 | 1998-04-28 | 株式会社島津製作所 | Adjustment method and adjustment mechanism for capillary cell detector |
JP5167194B2 (en) * | 2009-04-28 | 2013-03-21 | 株式会社日立エンジニアリング・アンド・サービス | Microbiological testing device |
CN111443020B (en) * | 2020-06-17 | 2020-09-08 | 天宇利水信息技术成都有限公司 | Sensor for monitoring sediment content of water body |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5082882A (en) * | 1973-11-26 | 1975-07-04 | ||
JPS59176649A (en) * | 1983-03-28 | 1984-10-06 | Shimadzu Corp | Particle analyzer |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP60232804A patent/JPS6291836A/en active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5082882A (en) * | 1973-11-26 | 1975-07-04 | ||
JPS59176649A (en) * | 1983-03-28 | 1984-10-06 | Shimadzu Corp | Particle analyzer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6291836A (en) | 1987-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4690561A (en) | Particle analyzing apparatus | |
JP3187129B2 (en) | Particle analyzer | |
US5644388A (en) | Imaging flow cytometer nearly simultaneously capturing a plurality of images | |
US4732479A (en) | Particle analyzing apparatus | |
EP0950890B1 (en) | Particle imaging apparatus | |
US4715708A (en) | Particle analyzing apparatus with index projecting optical system for detecting a focusing state of the measuring system | |
JP3815838B2 (en) | Particle measuring device | |
JPS6222084B2 (en) | ||
JPH10161195A (en) | Autofocusing method and device | |
JP4720146B2 (en) | Spectroscopic apparatus and spectral system | |
JPH061241B2 (en) | Particle analyzer | |
JP5052318B2 (en) | Fluorescence detection device | |
JPH0566980B2 (en) | ||
JP4262380B2 (en) | Light intensity measuring device | |
JPH0638064B2 (en) | Particle analyzer | |
JPH0552896B2 (en) | ||
JP3184641B2 (en) | Edge detecting device for tapered hole and its depth measuring device | |
JPH0660869B2 (en) | Particle analyzer | |
JP2828145B2 (en) | Optical section microscope apparatus and method for aligning optical means thereof | |
JPH0552897B2 (en) | ||
US20240319487A1 (en) | Microscope and method for autofocusing | |
JPS61294334A (en) | Particle analyzer | |
JPH10133117A (en) | Microscope equipped with focus detecting device | |
JPS62245942A (en) | Particle analyzer | |
JPH04115109A (en) | Surface-roughness measuring apparatus |