JPH0564292B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0564292B2 JPH0564292B2 JP58177632A JP17763283A JPH0564292B2 JP H0564292 B2 JPH0564292 B2 JP H0564292B2 JP 58177632 A JP58177632 A JP 58177632A JP 17763283 A JP17763283 A JP 17763283A JP H0564292 B2 JPH0564292 B2 JP H0564292B2
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- JP
- Japan
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- visible laser
- excitation light
- reaction
- reaction cell
- entrance window
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/51—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid inside a container, e.g. in an ampoule
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は反応用セル内の気体又は液体の反応過
程を観測する装置に関する。
程を観測する装置に関する。
近年、光CVD法又はレーザーCVD法などの開
発研究が盛んにすゝめられている。すなわち、一
種又は数種の気体あるいは液体の入つた反応用セ
ル中に、強いレーザー光又は水銀ランプやケミカ
ルランプ等の光を直接又はレンズや鏡を用いて集
光したり広げたりして入射すると、シングルフオ
トン又はマルチフオトン吸収によつて反応性気体
や液体が分解したり結合したりして核が成長して
反応生成物が得られる。
発研究が盛んにすゝめられている。すなわち、一
種又は数種の気体あるいは液体の入つた反応用セ
ル中に、強いレーザー光又は水銀ランプやケミカ
ルランプ等の光を直接又はレンズや鏡を用いて集
光したり広げたりして入射すると、シングルフオ
トン又はマルチフオトン吸収によつて反応性気体
や液体が分解したり結合したりして核が成長して
反応生成物が得られる。
このような光CVD法やレーザーCVD法などで
は、反応用セル内での気体又は液体の反応過程を
観測することが重要であるが、これまでこれらの
反応過程を２次元的な広がりの面として観測し得
る適当な装置がなかつた。
は、反応用セル内での気体又は液体の反応過程を
観測することが重要であるが、これまでこれらの
反応過程を２次元的な広がりの面として観測し得
る適当な装置がなかつた。
本発明は上記に鑑みなされたものであつて、可
視レーザービームを用いて、反応用セル内の気体
や液体の反応過報を極めて容易に２次元的な広が
りの面として観測することのできる装置を提供す
ることを目的とする。
視レーザービームを用いて、反応用セル内の気体
や液体の反応過報を極めて容易に２次元的な広が
りの面として観測することのできる装置を提供す
ることを目的とする。
この目的は、前記の特許請求の範囲に記載され
た本発明の構成によつて達成されるが、以下実施
例により本発明の構成及び効果を詳しく説明す
る。
た本発明の構成によつて達成されるが、以下実施
例により本発明の構成及び効果を詳しく説明す
る。
図は本発明の反応過程観測装置の一例である。
可視レーザー源１からの可視レーザービーム２
を、ガルバノミラーなどのビーム掃引手段３−シ
リンドリカルレンズ４−平面鏡などのビーム移動
手段５−シリンドリカルレンズ６を介して、反応
用セル７の一つの軸に沿つて（矢印８の方向に）
掃引する。この掃引はガルバノミラー３をスキヤ
ナー９によつて例えば100Hz程度の周波数で振動
させて行われる。反応用セル７は可視レーザービ
ーム入射用窓１０、励起レーザー入射用窓１１及
び観測用窓１２を有し、窓１１を介して励起レー
ザー１３としてパルス紫外レーザー光などにより
反応用セル内の気体又は液体を励起する。
可視レーザー源１からの可視レーザービーム２
を、ガルバノミラーなどのビーム掃引手段３−シ
リンドリカルレンズ４−平面鏡などのビーム移動
手段５−シリンドリカルレンズ６を介して、反応
用セル７の一つの軸に沿つて（矢印８の方向に）
掃引する。この掃引はガルバノミラー３をスキヤ
ナー９によつて例えば100Hz程度の周波数で振動
させて行われる。反応用セル７は可視レーザービ
ーム入射用窓１０、励起レーザー入射用窓１１及
び観測用窓１２を有し、窓１１を介して励起レー
ザー１３としてパルス紫外レーザー光などにより
反応用セル内の気体又は液体を励起する。
いま、He−Neレーザーなどの可視域で発振す
る低出力の細いレーザービームで、反応用セル内
を掃引すると、励起レーザーによる光化学反応に
よつて生成された反応生成物の微粒子にレーザー
ビームが当つて散乱され、レーザービームの掃引
方向とほゞ垂直方向の窓１２から肉眼、写真又は
TVカメラなどを介して観測する場合、残像効果
により反応用セル内での反応過程を２次元的な広
がりの面として観測することができる。又、ビー
ム移動手段５の傾きを変化させることにより、ビ
ームの掃引方向（矢印８）に対し所定の角度の方
向に可視レーザービームを移動できるので、同期
作動手段１４を用いてビーム掃引手段３とビーム
移動手段５とを適宜同期作動させることにより、
ビームの掃引方向に沿つて広がる面を反応用セル
内の所望位置に設定できる。そのため、反応用セ
ル内の気体又は液体の反応過程の断面情報を３次
元的に観測することができる。
る低出力の細いレーザービームで、反応用セル内
を掃引すると、励起レーザーによる光化学反応に
よつて生成された反応生成物の微粒子にレーザー
ビームが当つて散乱され、レーザービームの掃引
方向とほゞ垂直方向の窓１２から肉眼、写真又は
TVカメラなどを介して観測する場合、残像効果
により反応用セル内での反応過程を２次元的な広
がりの面として観測することができる。又、ビー
ム移動手段５の傾きを変化させることにより、ビ
ームの掃引方向（矢印８）に対し所定の角度の方
向に可視レーザービームを移動できるので、同期
作動手段１４を用いてビーム掃引手段３とビーム
移動手段５とを適宜同期作動させることにより、
ビームの掃引方向に沿つて広がる面を反応用セル
内の所望位置に設定できる。そのため、反応用セ
ル内の気体又は液体の反応過程の断面情報を３次
元的に観測することができる。
実施例
反応用セル内に反応性ガスとして１〜２％内外
のジシランガス又はモノシランガスを満たし、励
起用レーザーとしてArFエキシマレーザー
（193nm）、KrFエキシマレーザー（249nm）を用
いて励起した。そして可視レーザーとして2mw
のHe−Neシーザービームを100Hzで掃引した結
果、ジシランガスの場合前者ではシングルフオト
ンによる反応過程が、後者では２フオトンによる
反応過程が、又モレシランガスの場合はいずれも
２フオトンによる反応過程が（いわゆるレーザー
ス）−（Laser Snow）として極めて明瞭に観測す
ることができた。特に本発明は反応過程を面の広
がりとして観測できるので、励起レーザーによつ
て反応性ガスが分解して核ができ、後からできた
核が前にできた核を押すような状態で対流が起
り、反応用セルの内壁面に付着していく状態を詳
細に観察することができた。
のジシランガス又はモノシランガスを満たし、励
起用レーザーとしてArFエキシマレーザー
（193nm）、KrFエキシマレーザー（249nm）を用
いて励起した。そして可視レーザーとして2mw
のHe−Neシーザービームを100Hzで掃引した結
果、ジシランガスの場合前者ではシングルフオト
ンによる反応過程が、後者では２フオトンによる
反応過程が、又モレシランガスの場合はいずれも
２フオトンによる反応過程が（いわゆるレーザー
ス）−（Laser Snow）として極めて明瞭に観測す
ることができた。特に本発明は反応過程を面の広
がりとして観測できるので、励起レーザーによつ
て反応性ガスが分解して核ができ、後からできた
核が前にできた核を押すような状態で対流が起
り、反応用セルの内壁面に付着していく状態を詳
細に観察することができた。
図は本発明の反応過程観測装置の一例を示す光
学系。 図中の符号、１……可視レーザー源、２……可
視レーザービーム、３……ビーム掃引手段（ガル
バノミラー）、５……ビーム移動手段（平面鏡）、
７……反応用セル、８……ビーム掃引方向、１３
……励起用レーザー、１４……同期作動手段。
学系。 図中の符号、１……可視レーザー源、２……可
視レーザービーム、３……ビーム掃引手段（ガル
バノミラー）、５……ビーム移動手段（平面鏡）、
７……反応用セル、８……ビーム掃引方向、１３
……励起用レーザー、１４……同期作動手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 可視レーザービーム入射用窓と、励起光入射
用窓と観測用窓とを有する反応用セル、 励起光入射用窓へ励起光を投射する励起光源、 可視レーザー源、 この可視レーザー源から可視レーザービームを
受け、揺動して一つの軸に沿つて線状に伸びる掃
引ビームを形成するガルバノミラーを含むビーム
掃引手段、及び この掃引ビームを受け、回動して前記の軸と直
交する方向に掃引ビームを前記の反応用セルの可
視レーザービーム入射用窓へ投射する平面鏡を含
むビーム移動手段 を備え、それにより前記の軸に沿つて広がる面を
選択してその選択面内で、反応用セル内で励起光
により生じる反応過程を観測するようにしたこと
を特徴とする反応過程観測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17763283A JPS6069534A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 反応過程観測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17763283A JPS6069534A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 反応過程観測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6069534A JPS6069534A (ja) | 1985-04-20 |
| JPH0564292B2 true JPH0564292B2 (ja) | 1993-09-14 |
Family
ID=16034391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17763283A Granted JPS6069534A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 反応過程観測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6069534A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62180241A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-07 | Hamamatsu Photonics Kk | 断層像観察装置 |
| JP2005283527A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検出装置 |
| JP2007147499A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Hoshizaki Electric Co Ltd | 電解生成水中の銀成分の確認方法および同確認手段を備える電解生成水用ディスペンサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54109488A (en) * | 1978-02-08 | 1979-08-28 | Fuji Photo Optical Co Ltd | Analyzing method and device of optically scattered image information |
| JPS56120553A (en) * | 1980-02-21 | 1981-09-21 | Sekisui Chemical Co Ltd | Magnesia cement composition |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP17763283A patent/JPS6069534A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54109488A (en) * | 1978-02-08 | 1979-08-28 | Fuji Photo Optical Co Ltd | Analyzing method and device of optically scattered image information |
| JPS56120553A (en) * | 1980-02-21 | 1981-09-21 | Sekisui Chemical Co Ltd | Magnesia cement composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6069534A (ja) | 1985-04-20 |
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