JPH0560465A - トンネル炉内へのガス導入方法およびトンネル炉 - Google Patents

トンネル炉内へのガス導入方法およびトンネル炉

Info

Publication number
JPH0560465A
JPH0560465A JP29859491A JP29859491A JPH0560465A JP H0560465 A JPH0560465 A JP H0560465A JP 29859491 A JP29859491 A JP 29859491A JP 29859491 A JP29859491 A JP 29859491A JP H0560465 A JPH0560465 A JP H0560465A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
furnace
chamber
inner chamber
tunnel furnace
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29859491A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiyuki Kitsunai
稔幸 橘内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP29859491A priority Critical patent/JPH0560465A/ja
Publication of JPH0560465A publication Critical patent/JPH0560465A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Tunnel Furnaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 所望の雰囲気を炉内に形成可能とする、トン
ネル炉のガス導入方法、およびトンネル炉を得る。 【構成】 トンネル炉の左右の壁内に部屋を設け、該壁
内の部屋と炉の内室とを該壁に設けた多数の小孔(1
6)によって連通せしめて、炉の内室に導入されるガス
を該壁内の部屋と多数の小孔とを介して供給するように
した、トンネル炉のガス導入方法、およびトンネル炉。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、トンネル炉に関し、特
にフェライト、セラミックなどの焼成に使用されるトン
ネル炉のガス導入方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】上述形式のトンネル炉においては、炉の
内室の温度および雰囲気ガスの組成を炉の長手方向の各
位置において適切に制御することが重要であって、長手
方向の所望のそれぞれの位置において所望のガス、例え
ば空気、保護ガスとしての窒素または水素などを導入
し、また、長手方向適宜の位置にガス遮断手段を設けて
異なる雰囲気ガス室を形成することなども行われてい
る。
【0003】従来の技術の例として、トンネル炉1の概
略的な横断面図が図4に示される。トンネル炉1の左右
の壁3、4を貫通してガス導入孔5、6を設け、図示し
ないポンプ手段によりガス導入孔5、6を経て、ガスは
炉1の内室2に導入される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】図4の場合、導入され
るガスの温度および圧力を導入される各位置における炉
の内室の温度および圧力に適合させることは、これらが
炉の長手方向で変化し、運転状態で変化するから、制御
装置が複雑となり、高価となる。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、トンネ
ル炉の左右の壁内に部屋を設け、該壁内の部屋と炉の内
室とを多数の小孔によって連通せしめ、内室に導入され
るガス、例えば空気、保護ガスとしての窒素、水素など
を前記壁内の部屋を経て炉の内室に導入する、トンネル
炉内へのガス導入方法が提供される。
【0006】さらに本発明によれば、左右の壁内にそれ
ぞれ少くとも1つの部屋を有し、該部屋は多数の小孔を
介して炉の内室と連通しており、且つ、該部屋内にガス
を導入する手段が設けられているトンネル炉が提供され
る。
【0007】トンネル炉が外側壁と炉の内室を限定する
内側壁とを有するものとし、部屋が外側壁の内方で且つ
内側壁の外方に設けられ、該部屋と炉の内室との間の内
側壁に多数の小孔が設けられているようにしてもよい。
【0008】部屋内にガスを導入するための導管を設
け、該導管を炉の内室に連通する多数の小孔に対比して
充分に大径として、所望の圧力差を該部屋と炉の内室と
の間に形成可能とすることが望ましい。
【0009】
【作用】本発明によれば、ガスは左右の壁内の部屋に導
入されてから多数の小孔を介して炉の室に導入されるか
ら、該ガスの温度を導入される位置の炉の内室の温度に
近い温度とすることが著しく容易であり、安価である。
また多数の小孔を介して炉の内室に導入されるから、そ
の圧力を導入される位置の炉の内室の圧力より僅かに高
い圧力に維持することが容易であり、安価である。
【0010】
【実施例】本発明の実施例を添付図面を参照して説明す
る。図1は本発明の実施例を示すためのトンネル炉の部
分断面図であり、トンネル炉10は内室11と、左右の
壁12、13と、壁12、13内の部屋14、15とを
有し、内室11に導入されるガス、例えば空気、保護ガ
スとしての窒素、水素などは矢印に示すように一旦部屋
14、15に導入された後に、多数の小孔(図2、図3
の孔16、16)を経て内室11に供給される。
【0011】部屋14、15にガスを導入する手段は図
示しないが、各種のものが公知である。部屋14、15
は内室11に隣接しているから内室11の温度に近い温
度を有し、通常は特に部屋14、15内に加熱装置を設
けないでも、内室11の温度とほぼ同一温度で供給され
るが、部屋14、15内に加熱装置を設けてもよい。部
屋14、15にガスを導入する導管は、小孔16、16
に対比して充分に大径として、部屋14、15と内室1
1との間に所望の圧力差を形成可能とする。
【0012】トンネル炉10の長手方向について、部屋
14、15は望ましくは別個に複数組を設け、長手方向
における炉内雰囲気の制御を容易とする。勿論、この場
合は各組の部屋14、15はそれぞれ別のガス供給手段
に連結され、長手方向において別の炉内雰囲気の形成を
可能とする。
【0013】トンネル炉10は壁12、13のみによっ
て外部と隔てられているように示したが、図面の簡略化
の目的であり、通常のトンネル炉と同様に外部壁と内部
壁とを有して内部壁の内部に内室11が限定されるもの
であってよい。この場合には部屋14、15を内部壁に
隣接して外部壁から間隔をおいて設ける。
【0014】本発明は、各種変形を施すことができる。
部屋14、15および小孔16の大きさおよび配置は所
望の炉内雰囲気の形成のために適宜に定めることができ
る。
【0015】
【発明の効果】トンネル炉の左右の壁内に部屋を設け
て、該壁内の部屋と炉の内室とを多数の小孔によって連
通せしめ、内室に導入されるガス、例えば空気、保護ガ
スとしての窒素、水素などを前記壁内の部屋を経て炉の
内室に導入するようにしたから、該ガスの温度を導入さ
れる位置の炉の内室の温度に近い温度とすることが著し
く容易であり、安価である。また多数の小孔を介して炉
の内室に導入されるから、その圧力を導入される位置の
炉の内室の圧力より僅かに高い圧力に維持することが容
易であり、安価である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施例によるトンネル炉の概略
断面図。
【図2】図2は図1のトンネル炉の側壁の部分斜視図。
【図3】図3は図2の側面図。
【図4】図4は従来のトンネル炉の概略断面図。
【符号の説明】
10 トンネル炉 11 内室 12、13 左右の壁 14、15 壁内の部屋 16 小孔

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 トンネル炉の左右の壁内に部屋を設け、
    該壁内の部屋と炉の内室を多数の小孔によって連通せし
    め、炉の内室に導入されるガス、例えば空気または保護
    ガスとしての窒素、水素などを前記壁内の部屋を経て炉
    の内室に導入する、ことを特徴とするトンネル炉内への
    ガス導入方法。
  2. 【請求項2】 左右の壁内にそれぞれ少くとも1つの部
    屋を有し、該部屋は多数の小孔を介して炉の内室と連通
    しており、且つ、該部屋内にガスを導入するための手段
    が設けられていることを特徴とするトンネル炉。
  3. 【請求項3】 トンネル炉が外側壁と炉の内室を限定す
    る内側壁とを有しており、前記部屋が外側壁の内方で且
    つ内側壁の外方に設けられており、該部屋と炉の内室と
    の間の内側壁に前記多数の小孔が設けられている、こと
    を特徴とする請求項2に記載のトンネル炉。
  4. 【請求項4】 前記部屋内にガスを導入するための導管
    が設けられ、該導管は前記多数の小孔に対比して充分に
    大径であって、所望の圧力差を該部屋と炉の内室との間
    に形成可能であることを特徴とする請求項2に記載のト
    ンネル炉。
JP29859491A 1991-08-30 1991-08-30 トンネル炉内へのガス導入方法およびトンネル炉 Pending JPH0560465A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29859491A JPH0560465A (ja) 1991-08-30 1991-08-30 トンネル炉内へのガス導入方法およびトンネル炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29859491A JPH0560465A (ja) 1991-08-30 1991-08-30 トンネル炉内へのガス導入方法およびトンネル炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0560465A true JPH0560465A (ja) 1993-03-09

Family

ID=17861757

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29859491A Pending JPH0560465A (ja) 1991-08-30 1991-08-30 トンネル炉内へのガス導入方法およびトンネル炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0560465A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007187374A (ja) * 2006-01-12 2007-07-26 Ngk Insulators Ltd 連続焼成炉

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1960254A1 (de) * 1969-12-01 1971-06-03 Schneider & Co Anlage zur Waermebehandlung von Gut,insbesondere zum Brennen von keramischem Material
JPS5733778A (en) * 1980-08-08 1982-02-23 Furukawa Electric Co Ltd Electric furnace

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1960254A1 (de) * 1969-12-01 1971-06-03 Schneider & Co Anlage zur Waermebehandlung von Gut,insbesondere zum Brennen von keramischem Material
JPS5733778A (en) * 1980-08-08 1982-02-23 Furukawa Electric Co Ltd Electric furnace

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007187374A (ja) * 2006-01-12 2007-07-26 Ngk Insulators Ltd 連続焼成炉
JP4522368B2 (ja) * 2006-01-12 2010-08-11 日本碍子株式会社 炉内生成ガス排出機構

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69130979D1 (de) Ergometrische Vorrichtung
AU2003263894A1 (en) Modular ceramic oxygen system
KR910015003A (ko) 열처리 장치 및 이를 사용한 박막형성 방법
JPH0560465A (ja) トンネル炉内へのガス導入方法およびトンネル炉
JP4522368B2 (ja) 炉内生成ガス排出機構
JP2008544565A (ja) プロセスチャンバの内部を近大気圧に保つ装置及び方法
IL155052A0 (en) System and method for curing composite material
ES2159710T3 (es) Horno para el tratamiento termico de cargas de piezas metalicas de trabajo.
JP3611144B2 (ja) 蓄熱式交番燃焼装置
ATE302290T1 (de) Aufkohlungsanlage mit gasaufheizung
KR970015757A (ko) 고진공 소결 및 열처리장치
JP2614516B2 (ja) 差動排気形真空処理装置
TWM575879U (zh) Continuous annealing blue processing equipment
JPH08316221A (ja) 半導体基板の熱処理装置
JPH0542990A (ja) 特殊材料ガスの供給方法
JPH11281259A (ja) 連続式雰囲気炉
SE9101564L (sv) Odlingsrum
US3476369A (en) Tunnel furnace
KR20030039117A (ko) 세라믹 전자부품 제조용로
KR940006590Y1 (ko) 자장 열처리로(Magnetic Annealing Furnace)
KR0186089B1 (ko) 이중온도영역을 갖는 수평확산로
JPS61285713A (ja) 熱処理装置
JPS63279769A (ja) 海苔乾燥室の制御方法
KR20030039118A (ko) 세라믹 전자부품 제조용로
JPH04290220A (ja) 常圧cvd装置