JPH055746A - 相対的移動体の移動物理量検出装置 - Google Patents
相対的移動体の移動物理量検出装置Info
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- JPH055746A JPH055746A JP15878191A JP15878191A JPH055746A JP H055746 A JPH055746 A JP H055746A JP 15878191 A JP15878191 A JP 15878191A JP 15878191 A JP15878191 A JP 15878191A JP H055746 A JPH055746 A JP H055746A
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- moving
- light
- magnetic field
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、信頼性や測定精度を十分高くする
ことが可能な相対的移動体の移動物理量検出装置を提供
することを目的としたものである。 【構成】 本発明は、一方の物体(回転子5)に磁界発
生手段(6a,6b)を取り付け、他方の物体(固定子
3)にこの磁界発生手段によって形成される磁界によっ
てファラデー効果により通過する光の偏光面を回転させ
る光ファイバ(ファイバ束(4a,4b,4c,4d)
を設け、該光ファイバを通過する光の偏光面の回転角に
依存する物理量を観測することにより両物体の相対的移
動物理量を求める構成としたことにより、測定のための
光をほぼ光ファイバ中を伝送させるだけとして移動部や
固定部に所定の空間的位置関係に配置された光学部材を
介して伝送させる必要をなくし、これにより光学部材の
位置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測定誤差要因
をなくして、信頼性や測定精度を著しく向上させること
を可能としたものである。
ことが可能な相対的移動体の移動物理量検出装置を提供
することを目的としたものである。 【構成】 本発明は、一方の物体(回転子5)に磁界発
生手段(6a,6b)を取り付け、他方の物体(固定子
3)にこの磁界発生手段によって形成される磁界によっ
てファラデー効果により通過する光の偏光面を回転させ
る光ファイバ(ファイバ束(4a,4b,4c,4d)
を設け、該光ファイバを通過する光の偏光面の回転角に
依存する物理量を観測することにより両物体の相対的移
動物理量を求める構成としたことにより、測定のための
光をほぼ光ファイバ中を伝送させるだけとして移動部や
固定部に所定の空間的位置関係に配置された光学部材を
介して伝送させる必要をなくし、これにより光学部材の
位置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測定誤差要因
をなくして、信頼性や測定精度を著しく向上させること
を可能としたものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、相対的移動体の移動物
理量を検出する相対的移動体の移動物理量検出装置にか
かり、特に、ファラデー効果を示す光ファイバを利用し
たものに関する。
理量を検出する相対的移動体の移動物理量検出装置にか
かり、特に、ファラデー効果を示す光ファイバを利用し
たものに関する。
【0002】
【従来の技術】偏光光の性質を利用した相対的移動体の
移動物理量検出装置としては、例えば、回転体に取り付
けた偏光板を通過させた光の周期的強度変化を測定する
ことによって回転体の回転速度等の回転物理量を求める
装置が知られている(例えば、特公平2ー118410
号公報参照)。
移動物理量検出装置としては、例えば、回転体に取り付
けた偏光板を通過させた光の周期的強度変化を測定する
ことによって回転体の回転速度等の回転物理量を求める
装置が知られている(例えば、特公平2ー118410
号公報参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の従来
の装置は、回転部や固定部に所定の空間的位置関係に配
置された光学部材を介して検出用の光を伝送しているた
めに、これら光学部材の位置関係の変動や伝送路の条件
の変動等の測定誤差要因を多く含むものであり、信頼性
や測定精度の上から必ずしも十分満足できるものではな
かった。また、この従来の装置は往復移動等の直進的移
動の検出には適用することができなかった。
の装置は、回転部や固定部に所定の空間的位置関係に配
置された光学部材を介して検出用の光を伝送しているた
めに、これら光学部材の位置関係の変動や伝送路の条件
の変動等の測定誤差要因を多く含むものであり、信頼性
や測定精度の上から必ずしも十分満足できるものではな
かった。また、この従来の装置は往復移動等の直進的移
動の検出には適用することができなかった。
【0004】本発明は、上述の背景のもとでなされたも
のであり、信頼性や測定精度を十分高くすることが可能
な相対的移動体の移動物理量検出装置を提供することを
目的としたものである。
のであり、信頼性や測定精度を十分高くすることが可能
な相対的移動体の移動物理量検出装置を提供することを
目的としたものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明は、(1) 互いに相対的に移動する物体の
移動物理量を検出する相対的移動体の移動物理量検出装
置であって、一方の物体に磁界発生手段を取り付け、他
方の物体にこの磁界発生手段によって形成される磁界に
よってファラデー効果により通過する光の偏光面を回転
させる光ファイバを取り付け、前記光ファイバを通過す
る光の偏光面の回転角に依存する物理量を観測すること
により両物体の相対的移動物理量を求める構成とした。
めに、本発明は、(1) 互いに相対的に移動する物体の
移動物理量を検出する相対的移動体の移動物理量検出装
置であって、一方の物体に磁界発生手段を取り付け、他
方の物体にこの磁界発生手段によって形成される磁界に
よってファラデー効果により通過する光の偏光面を回転
させる光ファイバを取り付け、前記光ファイバを通過す
る光の偏光面の回転角に依存する物理量を観測すること
により両物体の相対的移動物理量を求める構成とした。
【0006】また、構成1の態様として、(2) 構成1の
相対的移動体の移動物理量検出装置において、前記一方
の物体が固定子であり、他方の物体が前記固定子に対し
て回転移動する回転子であると共に、前記移動物理量が
回転物理量であることを特徴とする構成とした。
相対的移動体の移動物理量検出装置において、前記一方
の物体が固定子であり、他方の物体が前記固定子に対し
て回転移動する回転子であると共に、前記移動物理量が
回転物理量であることを特徴とする構成とした。
【0007】さらに、この構成1または2の態様とし
て、(3) 構成1又は2の相対的移動体の移動物理量検出
装置において、前記光ファイバに入射する光を発生する
光源と、この光源から前記光ファイバに入射し、該光フ
ァイバを通過して射出した光を通過させる偏光手段と、
この偏光手段を通過した光の強度を検出する光検出器
と、この光検出器の出力信号を処理して相対的移動物理
量を求める処理装置とを有することを特徴とした構成と
した。
て、(3) 構成1又は2の相対的移動体の移動物理量検出
装置において、前記光ファイバに入射する光を発生する
光源と、この光源から前記光ファイバに入射し、該光フ
ァイバを通過して射出した光を通過させる偏光手段と、
この偏光手段を通過した光の強度を検出する光検出器
と、この光検出器の出力信号を処理して相対的移動物理
量を求める処理装置とを有することを特徴とした構成と
した。
【0008】
【作用】上述の構成1によれば、一方の物体と他方の物
体とが相対的に移動すると、一方の物体に取り付けた磁
界発生手段と他方の物体に取り付けた光ファイバとの距
離が変化する。これにより、光ファイバを通過する光の
偏光面の回転角がこの距離に依存して変化する。したが
って、その偏光面の回転角に依存して変化する物理量を
観測することにより両物体の相対的移動物理量を求める
ことができる。
体とが相対的に移動すると、一方の物体に取り付けた磁
界発生手段と他方の物体に取り付けた光ファイバとの距
離が変化する。これにより、光ファイバを通過する光の
偏光面の回転角がこの距離に依存して変化する。したが
って、その偏光面の回転角に依存して変化する物理量を
観測することにより両物体の相対的移動物理量を求める
ことができる。
【0009】この場合、測定のための光はほぼ光ファイ
バ中を伝送させるだけでよく、従来のように、回転部や
固定部に所定の空間的位置関係に配置された光学部材を
介して伝送させる必要がないため、これら光学部材の位
置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測定誤差要因が
ほとんどない。それゆえ、従来に比較して信頼性や測定
精度を著しく向上させることが可能となる。
バ中を伝送させるだけでよく、従来のように、回転部や
固定部に所定の空間的位置関係に配置された光学部材を
介して伝送させる必要がないため、これら光学部材の位
置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測定誤差要因が
ほとんどない。それゆえ、従来に比較して信頼性や測定
精度を著しく向上させることが可能となる。
【0010】また、構成2によれば、回転物理量の測定
ができ、さらに、構成3においては、偏光面の回転角に
依存して変化する物理量として偏光手段を通過した光の
強度を選定したことにより、比較的簡単な構成により、
両物体の相対的移動物理量を求めることを可能としてい
る。
ができ、さらに、構成3においては、偏光面の回転角に
依存して変化する物理量として偏光手段を通過した光の
強度を選定したことにより、比較的簡単な構成により、
両物体の相対的移動物理量を求めることを可能としてい
る。
【0011】
【実施例】第1実施例 図1は本発明の第1実施例にかかる相対的移動体の移動
物理量検出装置の縦断面図、図2は図1のIIーII線
断面図、図3は磁力線の方向とファイバイ束を構成する
光ファイバの主たる軸線方向との関係を示す図、図4は
検出部の構成を示す図である。以下これらの図を参照し
ながら本発明の第1実施例を詳述する。なお、この実施
例は、回転体の回転物理量を測定する場合の例である。
物理量検出装置の縦断面図、図2は図1のIIーII線
断面図、図3は磁力線の方向とファイバイ束を構成する
光ファイバの主たる軸線方向との関係を示す図、図4は
検出部の構成を示す図である。以下これらの図を参照し
ながら本発明の第1実施例を詳述する。なお、この実施
例は、回転体の回転物理量を測定する場合の例である。
【0012】これらの図において、符号1は固定部、符
号2は固定部1に固定された支持台、符号3は支持台2
に固定支持された固定子、符号4a,4b,4c,4d
は固定子3に固定されたファイバ束、符号5は固定子3
に回転自在に支持された回転子、符号6a,6bは回転
子4に固定された永久磁石、符号7は回転子4の回転
軸、符号8a,8b,8c,8dは光源部、符号9a,
9b,9c,9dは検出部である。
号2は固定部1に固定された支持台、符号3は支持台2
に固定支持された固定子、符号4a,4b,4c,4d
は固定子3に固定されたファイバ束、符号5は固定子3
に回転自在に支持された回転子、符号6a,6bは回転
子4に固定された永久磁石、符号7は回転子4の回転
軸、符号8a,8b,8c,8dは光源部、符号9a,
9b,9c,9dは検出部である。
【0013】固定子3は、内部が断面円形状の中空に形
成されており、その中空内部には略円柱状をなした回転
子5が収納されている。この回転子5は、該回転子5の
軸心を貫通して該回転子5に固定された回転軸7によっ
て、前記固定子3に軸受7a,7bを介して回転自在に
取り付けられている。
成されており、その中空内部には略円柱状をなした回転
子5が収納されている。この回転子5は、該回転子5の
軸心を貫通して該回転子5に固定された回転軸7によっ
て、前記固定子3に軸受7a,7bを介して回転自在に
取り付けられている。
【0014】固定子3の内周面には、4つのファイバ束
4a,4b,4c,4dが等間隔に取り付けられてい
る。これらファイバ束4a,4b,4c,4dは、1本
の光ファイバを、回転軸7に沿った方向を長辺とする直
方体形状の箱体内壁に沿ってコイル状に巻回したもの
で、その全長の多くの部分は、回転軸7と平行になるよ
うになっている。そして、各ファイバ束4a,4b,4
c,4dを構成する光ファイバの両端は外部に引き出さ
れ、一方の端部は光源8a,8b,8c,8dに接続さ
れ、他方の端部は検出部9a,9b,9c,9dにそれ
ぞれ接続されている。なお、このファイバ束4a,4
b,4c,4dを構成する光ファイバは、鉛ガラスを用
いたもので、磁力線が光軸方向に平行である磁界内にお
かれると、ファラデー効果により内部を通過する光の偏
光面をその磁界の強さに比例して回転させる性質を有す
るものである。なお、このような光ファイバとしては、
例えば、特公平3ー13177号公報に記載のものがあ
る。
4a,4b,4c,4dが等間隔に取り付けられてい
る。これらファイバ束4a,4b,4c,4dは、1本
の光ファイバを、回転軸7に沿った方向を長辺とする直
方体形状の箱体内壁に沿ってコイル状に巻回したもの
で、その全長の多くの部分は、回転軸7と平行になるよ
うになっている。そして、各ファイバ束4a,4b,4
c,4dを構成する光ファイバの両端は外部に引き出さ
れ、一方の端部は光源8a,8b,8c,8dに接続さ
れ、他方の端部は検出部9a,9b,9c,9dにそれ
ぞれ接続されている。なお、このファイバ束4a,4
b,4c,4dを構成する光ファイバは、鉛ガラスを用
いたもので、磁力線が光軸方向に平行である磁界内にお
かれると、ファラデー効果により内部を通過する光の偏
光面をその磁界の強さに比例して回転させる性質を有す
るものである。なお、このような光ファイバとしては、
例えば、特公平3ー13177号公報に記載のものがあ
る。
【0015】回転子5の外周部には、軸対称的に2つの
永久磁石6a,6bが取り付けられている。これら永久
磁石6a,6bは、回転軸に沿った方向を長辺とする略
直方体形状をなしたもので、長手方向の一方の端部をN
極、他方の端部をS極とするものである。したがって、
これら永久磁石6a,6bによって形成される磁界は、
図3に示されるように、ファイバ束4a,4b,4c,
4dがこれら永久磁石6a,6bと対向する配置関係に
なったとき、回転軸7に平行な方向の磁力線Hが回転軸
7に平行な方向にある光ファイバを切ることになり、こ
れにより、ファラデー効果によって通過する光の偏光面
を回転させる。
永久磁石6a,6bが取り付けられている。これら永久
磁石6a,6bは、回転軸に沿った方向を長辺とする略
直方体形状をなしたもので、長手方向の一方の端部をN
極、他方の端部をS極とするものである。したがって、
これら永久磁石6a,6bによって形成される磁界は、
図3に示されるように、ファイバ束4a,4b,4c,
4dがこれら永久磁石6a,6bと対向する配置関係に
なったとき、回転軸7に平行な方向の磁力線Hが回転軸
7に平行な方向にある光ファイバを切ることになり、こ
れにより、ファラデー効果によって通過する光の偏光面
を回転させる。
【0016】光源8a,8b,8c,8dは、偏光光を
出射するもので、例えば、半導体レーザ装置等で構成す
ることができる。
出射するもので、例えば、半導体レーザ装置等で構成す
ることができる。
【0017】検出部9a,9b,9c,9dは、ファイ
バ束4a,4b,4c,4dからの偏光光を通過させる
偏光板91aと、この偏光板91aを通過した光を検出
してその強度に応じた信号を出力する光検出器92a
と、この光検出器92aの出力信号を処理し、回転子5
の回転物理量を求めて記録表示する信号処理部90aと
からなる。
バ束4a,4b,4c,4dからの偏光光を通過させる
偏光板91aと、この偏光板91aを通過した光を検出
してその強度に応じた信号を出力する光検出器92a
と、この光検出器92aの出力信号を処理し、回転子5
の回転物理量を求めて記録表示する信号処理部90aと
からなる。
【0018】信号処理部90aは、光検出器92aから
送出された信号を、基準信号発生回路95aより送られ
る基準信号とコンパレータ93aで比較してTTL信号
を作成し、このTTL信号を積算回路94aで計数し
て、その計数結果を記録回路97a及び表示回路98a
に送って記録及び表示するものである。積算回路の計数
時間はゲート信号発生回路96aによって決める。ゲー
ト信号発生回路96aのゲート時間及び基準信号発生回
路の基準信号の大きさは外部端子A,Bに加える電圧に
よってそれぞれ適宜設定できる。
送出された信号を、基準信号発生回路95aより送られ
る基準信号とコンパレータ93aで比較してTTL信号
を作成し、このTTL信号を積算回路94aで計数し
て、その計数結果を記録回路97a及び表示回路98a
に送って記録及び表示するものである。積算回路の計数
時間はゲート信号発生回路96aによって決める。ゲー
ト信号発生回路96aのゲート時間及び基準信号発生回
路の基準信号の大きさは外部端子A,Bに加える電圧に
よってそれぞれ適宜設定できる。
【0019】上述の構成において、いま、回転子5が回
転している状態で、光源8aから射出され、ファイバ束
4a及び偏光板91aを通過して光検出器92aに達す
る光の強度を考える。そうすると、ファイバ束4aを通
過した光の偏光角が偏光板91aの偏光角と一致してい
る場合には、光検出器92aに達する光強度が最大にな
り、90°ずれたときに最小になる。ここで、ファイバ
束4aを通過した光の偏光角は、永久磁石6a,6bと
ファイバ束4aとの距離に応じて変化する。しかも、そ
の距離は回転子5の回転に応じて周期的に変化する。し
たがって、光検出器92aで検出される光強度も回転子
5の回転に応じて周期的に変化することになる。いま、
回転子5の回転速度を3000rpmとした場合には、
その周期は20msecとなる。この場合、永久磁石が
2個(6a,6b)用いられているため、光検出器92
aからはパルス間隔10msecのパルスが送られる。
そこで、このパルスをコンパレータによりパルス幅約1
msec程度のTTL信号に変換し、積算回路94aで
計数する。ここで、ゲート信号発生回路96aのゲート
パルス間隔を500msecに設定すれば、1ゲートに
おける計数値は50個となる。この50個の計数値が3
000rpmの回転速度を示すことになる。このように
設定した場合において、例えば、計数値が51を示した
場合には回転速度は3060rpmであり、計数値が4
9を示した場合には回転速度は2940rpmというよ
うに求めることができる。
転している状態で、光源8aから射出され、ファイバ束
4a及び偏光板91aを通過して光検出器92aに達す
る光の強度を考える。そうすると、ファイバ束4aを通
過した光の偏光角が偏光板91aの偏光角と一致してい
る場合には、光検出器92aに達する光強度が最大にな
り、90°ずれたときに最小になる。ここで、ファイバ
束4aを通過した光の偏光角は、永久磁石6a,6bと
ファイバ束4aとの距離に応じて変化する。しかも、そ
の距離は回転子5の回転に応じて周期的に変化する。し
たがって、光検出器92aで検出される光強度も回転子
5の回転に応じて周期的に変化することになる。いま、
回転子5の回転速度を3000rpmとした場合には、
その周期は20msecとなる。この場合、永久磁石が
2個(6a,6b)用いられているため、光検出器92
aからはパルス間隔10msecのパルスが送られる。
そこで、このパルスをコンパレータによりパルス幅約1
msec程度のTTL信号に変換し、積算回路94aで
計数する。ここで、ゲート信号発生回路96aのゲート
パルス間隔を500msecに設定すれば、1ゲートに
おける計数値は50個となる。この50個の計数値が3
000rpmの回転速度を示すことになる。このように
設定した場合において、例えば、計数値が51を示した
場合には回転速度は3060rpmであり、計数値が4
9を示した場合には回転速度は2940rpmというよ
うに求めることができる。
【0020】なお、光源8b、ファイバ束4b及び検出
部9bからなる測定系、光源8c、ファイバ束4c及び
検出部9cからなる測定系、並びに、光源8d、ファイ
バ束4d及び検出部9dからなる測定系においても、以
上述べた測定と同様の測定が行われ、図示しないが、こ
れら各測定値は平均化されて測定精度の向上が図られ
る。
部9bからなる測定系、光源8c、ファイバ束4c及び
検出部9cからなる測定系、並びに、光源8d、ファイ
バ束4d及び検出部9dからなる測定系においても、以
上述べた測定と同様の測定が行われ、図示しないが、こ
れら各測定値は平均化されて測定精度の向上が図られ
る。
【0021】上述の実施例によれば、測定のための光は
ほぼ光ファイバ中を伝送させるだけでよく、従来のよう
に、回転部や固定部に所定の空間的位置関係に配置され
た光学部材を介して伝送させる必要がないため、これら
光学部材の位置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測
定誤差要因がほとんどない。それゆえ、従来に比較して
信頼性や測定精度を著しく向上させることが可能とな
る。また、光学的検出であるので、電磁的ノイズの影響
を受けないことは勿論である。
ほぼ光ファイバ中を伝送させるだけでよく、従来のよう
に、回転部や固定部に所定の空間的位置関係に配置され
た光学部材を介して伝送させる必要がないため、これら
光学部材の位置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測
定誤差要因がほとんどない。それゆえ、従来に比較して
信頼性や測定精度を著しく向上させることが可能とな
る。また、光学的検出であるので、電磁的ノイズの影響
を受けないことは勿論である。
【0022】第2実施例 図5は本発明の第2実施例の構成を示す部分断面図であ
る。以下、図5を参照にしながら第2実施例を説明す
る。なお、この実施例は直流モータの回転速度検出に本
発明を適用した場合の例である。
る。以下、図5を参照にしながら第2実施例を説明す
る。なお、この実施例は直流モータの回転速度検出に本
発明を適用した場合の例である。
【0023】この実施例では、固定子23の内周に取り
付けられた永久磁石26a,26bの中間部にファイバ
束24aを設け、これら永久磁石26a,26bと、回
転子側の電磁石部25aとでファイバ束24aを切るよ
うに形成される磁界が回転子の回転に伴って周期的に変
化することを利用し、上述の第1実施例と同様にしてこ
の周期的変化をファイバ束4a内を伝送される光の偏光
面の回転角の周期的変化として観測し、回転速度を求め
るようにしたものである。この実施例も第1実施例と同
様の利点を有する。
付けられた永久磁石26a,26bの中間部にファイバ
束24aを設け、これら永久磁石26a,26bと、回
転子側の電磁石部25aとでファイバ束24aを切るよ
うに形成される磁界が回転子の回転に伴って周期的に変
化することを利用し、上述の第1実施例と同様にしてこ
の周期的変化をファイバ束4a内を伝送される光の偏光
面の回転角の周期的変化として観測し、回転速度を求め
るようにしたものである。この実施例も第1実施例と同
様の利点を有する。
【0024】第3実施例 図6は本発明の第3実施例の構成を示す断面図である。
この実施例はプロペラやスクリュー等の回転速度検出に
本発明を適用した例である。
この実施例はプロペラやスクリュー等の回転速度検出に
本発明を適用した例である。
【0025】図6において、固定軸33には翼保持台3
5が軸受37を介して回転自在に取り付けられ、この翼
保持台35に翼38が固定されている。
5が軸受37を介して回転自在に取り付けられ、この翼
保持台35に翼38が固定されている。
【0026】この実施例では、固定軸33にファイバ束
34を設け、回転部たる翼保持台35の内周部に2つの
永久磁石36a,36bを設けたもので、第1及び第2
実施例と同様にして回転速度を求めるものである。
34を設け、回転部たる翼保持台35の内周部に2つの
永久磁石36a,36bを設けたもので、第1及び第2
実施例と同様にして回転速度を求めるものである。
【0027】第4実施例 図7は本発明の第4実施例の構成を示す断面図である。
この実施例は、回転子45に形成された中空部内に、フ
ァイバ束44a,44b、光源48a,48b及び検出
部49a,49bをそれぞれ設けるようにした例であ
る。この場合には、固定子43に、ファイバ束44a,
44bに磁界を形成させる永久磁石46a,46bを設
ける。このような構成によっても回転速度の検出及び記
録等ができる。 なお、以上の各実施例では、本発明を
回転体の回転速度を検出する場合に適用した例を述べた
が、本発明はこれに限られるものでなく、回転数等の他
の回転物理量は勿論、回転体以外の往復運動その他の直
線的移動体の移動物理量、例えば、速度、加速度、変位
等の測定にも適用できる。
この実施例は、回転子45に形成された中空部内に、フ
ァイバ束44a,44b、光源48a,48b及び検出
部49a,49bをそれぞれ設けるようにした例であ
る。この場合には、固定子43に、ファイバ束44a,
44bに磁界を形成させる永久磁石46a,46bを設
ける。このような構成によっても回転速度の検出及び記
録等ができる。 なお、以上の各実施例では、本発明を
回転体の回転速度を検出する場合に適用した例を述べた
が、本発明はこれに限られるものでなく、回転数等の他
の回転物理量は勿論、回転体以外の往復運動その他の直
線的移動体の移動物理量、例えば、速度、加速度、変位
等の測定にも適用できる。
【0028】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明は、一方
の物体に磁界発生手段を取り付け、他方の物体にこの磁
界発生手段によって形成される磁界によってファラデー
効果により通過する光の偏光面を回転させる光ファイバ
を取り付け、前記光ファイバを通過する光の偏光面の回
転角に依存する物理量を観測することにより両物体の相
対的移動物理量を求める構成としたことにより、測定の
ための光をほぼ光ファイバ中を伝送させるだけとして移
動部や固定部に所定の空間的位置関係に配置された光学
部材を介して伝送させる必要をなくし、これにより光学
部材の位置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測定誤
差要因をなくして、信頼性や測定精度を著しく向上させ
ることを可能としたものである。
の物体に磁界発生手段を取り付け、他方の物体にこの磁
界発生手段によって形成される磁界によってファラデー
効果により通過する光の偏光面を回転させる光ファイバ
を取り付け、前記光ファイバを通過する光の偏光面の回
転角に依存する物理量を観測することにより両物体の相
対的移動物理量を求める構成としたことにより、測定の
ための光をほぼ光ファイバ中を伝送させるだけとして移
動部や固定部に所定の空間的位置関係に配置された光学
部材を介して伝送させる必要をなくし、これにより光学
部材の位置関係の変動や伝送路の条件の変動等の測定誤
差要因をなくして、信頼性や測定精度を著しく向上させ
ることを可能としたものである。
【図1】本発明の第1実施例にかかる相対的移動体の移
動物理量検出装置の縦断面図である。
動物理量検出装置の縦断面図である。
【図2】図1のIIーII線断面図である。
【図3】磁力線の方向とファイバイ束を構成する光ファ
イバの主たる軸線方向との関係を示す図である。
イバの主たる軸線方向との関係を示す図である。
【図4】検出部の構成を示す図である。
【図5】第2実施例の部分断面図である。
【図6】第3実施例の構成を示す断面図である。
【図7】第4実施例の構成を示す断面図である。
3,23,43…固定子、4a,4b,4c,4d…フ
ァイバ束、5,25,45…回転子、6a,6b,26
a,26b,36a36b,46a,46b…永久磁
石、7,47…回転軸、8a,8b,8c,8d…光源
部、9a,9b,9c,9d…検出部、33…固定軸、
35…翼支持台、38…翼。
ァイバ束、5,25,45…回転子、6a,6b,26
a,26b,36a36b,46a,46b…永久磁
石、7,47…回転軸、8a,8b,8c,8d…光源
部、9a,9b,9c,9d…検出部、33…固定軸、
35…翼支持台、38…翼。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 互いに相対的に移動する物体の移動物理
量を検出する相対的移動体の移動物理量検出装置であっ
て、一方の物体に磁界発生手段を取り付け、他方の物体
にこの磁界発生手段によって形成される磁界によってフ
ァラデー効果により通過する光の偏光面を回転させる光
ファイバを取り付け、前記光ファイバを通過する光の偏
光面の回転角に依存する物理量を観測することにより両
物体の相対的移動物理量を求める相対的移動体の移動物
理量検出装置。 【請求項2】 請求項1に記載の相対的移動体の移動物
理量検出装置において、前記一方の物体が固定子であ
り、他方の物体が前記固定子に対して回転移動する回転
子であると共に、前記移動物理量が回転物理量であるこ
とを特徴とした相対的移動体の移動物理量検出装置。 【請求項3】 請求項1又は2に記載の相対的移動体の
移動物理量検出装置において、前記光ファイバに入射す
る光を発生する光源と、この光源から前記光ファイバに
入射し、該光ファイバを通過して射出した光を通過させ
る偏光手段と、この偏光手段を通過した光の強度を検出
する光検出器と、この光検出器の出力信号を処理して相
対的移動物理量を求める処理装置とを有することを特徴
とした相対的移動体の移動物理量検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15878191A JPH055746A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 相対的移動体の移動物理量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15878191A JPH055746A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 相対的移動体の移動物理量検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH055746A true JPH055746A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=15679195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15878191A Pending JPH055746A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 相対的移動体の移動物理量検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH055746A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590845A (en) * | 1993-09-24 | 1997-01-07 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Yarn end finding apparatus and method |
JP2009128021A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Ntt Infranet Co Ltd | 回転センサ |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP15878191A patent/JPH055746A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590845A (en) * | 1993-09-24 | 1997-01-07 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Yarn end finding apparatus and method |
JP2009128021A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Ntt Infranet Co Ltd | 回転センサ |
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