JPH0557271A - 廃液の分別回収方法及びその装置 - Google Patents
廃液の分別回収方法及びその装置Info
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- JPH0557271A JPH0557271A JP21881791A JP21881791A JPH0557271A JP H0557271 A JPH0557271 A JP H0557271A JP 21881791 A JP21881791 A JP 21881791A JP 21881791 A JP21881791 A JP 21881791A JP H0557271 A JPH0557271 A JP H0557271A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、簡単な構造で自動的に廃液の分別
回収が出来る方法及びその装置を提案する。 【構成】 本発明では、作業タンク１６、１８からの使
用済溶剤は第１検知手段６６により溶剤の種類が特定さ
れ、溶剤の種類により第１切換弁３０が作動し、廃液は
対応する中間タンクに一時的に貯留される。即ち、廃液
は対応した種類毎の中間廃液タンク２０、２２に貯留さ
れ、洗浄液は中間混合液タンク２４に貯留される。ま
た、中間タンクが廃液で満たされると、廃液は中間タン
クから最終タンクに向けて送られる。最終タンクは、各
溶剤ごとの最終廃液タンク４０、４２と最終混合液タン
ク４４とが設けられ、第２検出手段６８により第２切換
弁５４を切換えて廃液ごとに対応する最終タンクに分別
回収される。
回収が出来る方法及びその装置を提案する。 【構成】 本発明では、作業タンク１６、１８からの使
用済溶剤は第１検知手段６６により溶剤の種類が特定さ
れ、溶剤の種類により第１切換弁３０が作動し、廃液は
対応する中間タンクに一時的に貯留される。即ち、廃液
は対応した種類毎の中間廃液タンク２０、２２に貯留さ
れ、洗浄液は中間混合液タンク２４に貯留される。ま
た、中間タンクが廃液で満たされると、廃液は中間タン
クから最終タンクに向けて送られる。最終タンクは、各
溶剤ごとの最終廃液タンク４０、４２と最終混合液タン
ク４４とが設けられ、第２検出手段６８により第２切換
弁５４を切換えて廃液ごとに対応する最終タンクに分別
回収される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、廃液の分別回収方法及
びその装置に係り、特にクリーンルーム等の半導体製造
設備で使用される廃液の分別回収方法及びその装置に関
する。
びその装置に係り、特にクリーンルーム等の半導体製造
設備で使用される廃液の分別回収方法及びその装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルーム等の半導体設備では、半
導体ウエハ、マスクパターン等の洗浄等の為に種々の溶
剤が用いられる。例えば、このような溶剤として、シン
ナー、イソプロピルアルコール、アセトン、純水等が挙
げられる。従来このような溶剤は、溶剤ごとのタンクを
作業室内に持込み、作業終了後の廃液は各タンク毎に室
外に持ち出して処理していた。
導体ウエハ、マスクパターン等の洗浄等の為に種々の溶
剤が用いられる。例えば、このような溶剤として、シン
ナー、イソプロピルアルコール、アセトン、純水等が挙
げられる。従来このような溶剤は、溶剤ごとのタンクを
作業室内に持込み、作業終了後の廃液は各タンク毎に室
外に持ち出して処理していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな手作業による廃液の回収方法は、大規模な半導体製
造設備には不向きである。また、このような溶剤の廃液
処理を自動的に行おうとすると、異種の廃液の混合を防
止する為に使用済みの溶剤毎に廃液タンクを設け、その
配管系も溶剤毎に設けなければならず装置が大がかりに
なる欠点がある。
うな手作業による廃液の回収方法は、大規模な半導体製
造設備には不向きである。また、このような溶剤の廃液
処理を自動的に行おうとすると、異種の廃液の混合を防
止する為に使用済みの溶剤毎に廃液タンクを設け、その
配管系も溶剤毎に設けなければならず装置が大がかりに
なる欠点がある。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので簡単な構造で自動的に廃液の分別回収が出来る
方法及びその装置を提案することを目的とする。
たもので簡単な構造で自動的に廃液の分別回収が出来る
方法及びその装置を提案することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、２種類以上の廃液容器からの廃液を、種類
ごとに分別して各回収タンクに回収する廃液の分別回収
方法に於いて、洗浄液又は、廃液容器から流下する最初
の廃液により管内の残存液を洗浄すると共に、この洗浄
した液を混合液タンクに回収し、廃液容器からの廃液を
廃液の種類ごとに回収タンクに回収することを特徴とす
る。
成する為に、２種類以上の廃液容器からの廃液を、種類
ごとに分別して各回収タンクに回収する廃液の分別回収
方法に於いて、洗浄液又は、廃液容器から流下する最初
の廃液により管内の残存液を洗浄すると共に、この洗浄
した液を混合液タンクに回収し、廃液容器からの廃液を
廃液の種類ごとに回収タンクに回収することを特徴とす
る。
【０００６】
【作用】本発明では、作業タンクからの使用済溶剤は第
１検知手段により溶剤の種類が特定され、溶剤の種類に
より第１切換弁が作動し、廃液は対応する中間タンクに
一時的に貯留される。即ち、廃液は対応した種類毎の中
間廃液タンクに貯留され、洗浄液は中間混合液タンクに
貯留される。
１検知手段により溶剤の種類が特定され、溶剤の種類に
より第１切換弁が作動し、廃液は対応する中間タンクに
一時的に貯留される。即ち、廃液は対応した種類毎の中
間廃液タンクに貯留され、洗浄液は中間混合液タンクに
貯留される。
【０００７】また、中間タンクが廃液で満たされると、
廃液は中間タンクから最終タンクに向けて送られる。最
終タンクは、各溶剤ごとの最終廃液タンクと最終混合液
タンクとが設けられ、第２検出手段により第２切換弁を
切換えて廃液ごとに対応する最終タンクに分別回収され
る。
廃液は中間タンクから最終タンクに向けて送られる。最
終タンクは、各溶剤ごとの最終廃液タンクと最終混合液
タンクとが設けられ、第２検出手段により第２切換弁を
切換えて廃液ごとに対応する最終タンクに分別回収され
る。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る廃液の分
別回収方法の好ましい実施例を詳説する。図１において
クリーンルームの洗浄エリア１０の下方にはグレーチン
グ床１２を介して床下空間１４が形成されている。清浄
エリア１０の上方には、図示しない天井室のＨＥＰＡフ
イルタを通って清浄エアを吹き出す吹出口が設けられ、
清浄エリア１０に吹き出された清浄エアがグレーチング
床１２を通って床下空間１４に送られ、その後再び天井
室に送られて循環使用される。
別回収方法の好ましい実施例を詳説する。図１において
クリーンルームの洗浄エリア１０の下方にはグレーチン
グ床１２を介して床下空間１４が形成されている。清浄
エリア１０の上方には、図示しない天井室のＨＥＰＡフ
イルタを通って清浄エアを吹き出す吹出口が設けられ、
清浄エリア１０に吹き出された清浄エアがグレーチング
床１２を通って床下空間１４に送られ、その後再び天井
室に送られて循環使用される。
【０００９】清浄エリア１０には複数の作業タンク１
６、１６…、作業タンク１８、１８…が設置される。作
業タンク１６には溶剤Ａ（例えばシンナー）が入ってお
り、作業タンク１８には溶剤Ｂ（例えばイソプロピルア
ルコール）が入っている。これらの溶剤Ａ、Ｂは半導体
ウエハ、マスクパターンの洗浄に用いられる。床下空間
１４には、溶剤Ａを一時的に貯留する中間廃液タンク２
０、溶剤Ｂを一時的に貯留する中間廃液タンク２２、洗
浄液等の混合液を一時的に貯留する中間混合液タンク２
４が配置される。作業タンク１６は、枝管２６、合流管
２８、切換弁３０、枝管３２を介して中間廃液タンク２
０と連通可能となっている。また作業タンク１８は、枝
管３４、合流管２８、切換弁３０、枝管３６を介して中
間廃液タンク２２と連通可能となっている。また、合流
管２８は切換弁３０、枝管３８を介して中間混合液タン
ク２４と連通可能となっている。
６、１６…、作業タンク１８、１８…が設置される。作
業タンク１６には溶剤Ａ（例えばシンナー）が入ってお
り、作業タンク１８には溶剤Ｂ（例えばイソプロピルア
ルコール）が入っている。これらの溶剤Ａ、Ｂは半導体
ウエハ、マスクパターンの洗浄に用いられる。床下空間
１４には、溶剤Ａを一時的に貯留する中間廃液タンク２
０、溶剤Ｂを一時的に貯留する中間廃液タンク２２、洗
浄液等の混合液を一時的に貯留する中間混合液タンク２
４が配置される。作業タンク１６は、枝管２６、合流管
２８、切換弁３０、枝管３２を介して中間廃液タンク２
０と連通可能となっている。また作業タンク１８は、枝
管３４、合流管２８、切換弁３０、枝管３６を介して中
間廃液タンク２２と連通可能となっている。また、合流
管２８は切換弁３０、枝管３８を介して中間混合液タン
ク２４と連通可能となっている。
【００１０】クリーンルームの屋外には、最終廃液タン
ク４０、最終廃液タンク４２、最終混合液タンク４４が
設けられている。中間廃液タンク２０は、枝管４６、合
流管４８、ギアードポンプ５０、逆止弁５２、切換弁５
４、枝管５６を介して最終廃液タンク４０に連通可能と
されている。中間廃液タンク２２は、枝管５８、合流管
４８、ギアードポンプ５０、逆止弁５２、切換弁５４、
枝管６０を介して最終廃液タンク４２に連通可能とされ
ている。
ク４０、最終廃液タンク４２、最終混合液タンク４４が
設けられている。中間廃液タンク２０は、枝管４６、合
流管４８、ギアードポンプ５０、逆止弁５２、切換弁５
４、枝管５６を介して最終廃液タンク４０に連通可能と
されている。中間廃液タンク２２は、枝管５８、合流管
４８、ギアードポンプ５０、逆止弁５２、切換弁５４、
枝管６０を介して最終廃液タンク４２に連通可能とされ
ている。
【００１１】中間混合液タンク２４は、枝管６２、合流
管４８、ギアードポンプ５０、逆止弁５２、切換弁５
４、枝管６４を介して最終混合液タンク４４に連通可能
とされている。更に合流管２８には、液検知センサ６６
が設けられ、液検知センサ６６は液種に応じて切換弁３
０を切換制御する。同様に合流管５６には、液検知セン
サ６８が設けられ、液検知センサ６８は液種に応じて切
換弁54を切換制御する。このような液検知センサ６６、
６８は、濃度センサ、ガスクロマトグラフィ、赤外線波
長分析計、電気伝導計等が用いられる。
管４８、ギアードポンプ５０、逆止弁５２、切換弁５
４、枝管６４を介して最終混合液タンク４４に連通可能
とされている。更に合流管２８には、液検知センサ６６
が設けられ、液検知センサ６６は液種に応じて切換弁３
０を切換制御する。同様に合流管５６には、液検知セン
サ６８が設けられ、液検知センサ６８は液種に応じて切
換弁54を切換制御する。このような液検知センサ６６、
６８は、濃度センサ、ガスクロマトグラフィ、赤外線波
長分析計、電気伝導計等が用いられる。
【００１２】前記の如く構成された本発明に係る廃液の
分別回収方法及びその装置の作用は次の通りである。最
初に合流管２８の洗浄が行われ、合流管２８の洗浄は図
示しない洗浄液タンクからの洗浄水、又は作業タンク１
６、１８からの溶剤ＡまたはＢを流すことによって合流
管２８の残存液を洗浄する。液検知センサ６８は合流管
２８を流れてくる液が洗浄水の場合または溶剤Ａと溶剤
Ｂとの混合液である場合には切換弁３８を切換え、合流
管２８を枝管３８に連通し、洗浄液は中間混合液タンク
２４に送られる。合流管２８内が洗浄され、溶剤Ａ又は
Ｂの純度が高くなると、液検知センサ６６はこれを検知
し、液種に応じて切換弁３０を枝管３２又は枝管３６に
切換えて、中間廃液タンク２０又は中間廃液タンク２２
に溶剤Ａ又はＢを一時的に貯留する。
分別回収方法及びその装置の作用は次の通りである。最
初に合流管２８の洗浄が行われ、合流管２８の洗浄は図
示しない洗浄液タンクからの洗浄水、又は作業タンク１
６、１８からの溶剤ＡまたはＢを流すことによって合流
管２８の残存液を洗浄する。液検知センサ６８は合流管
２８を流れてくる液が洗浄水の場合または溶剤Ａと溶剤
Ｂとの混合液である場合には切換弁３８を切換え、合流
管２８を枝管３８に連通し、洗浄液は中間混合液タンク
２４に送られる。合流管２８内が洗浄され、溶剤Ａ又は
Ｂの純度が高くなると、液検知センサ６６はこれを検知
し、液種に応じて切換弁３０を枝管３２又は枝管３６に
切換えて、中間廃液タンク２０又は中間廃液タンク２２
に溶剤Ａ又はＢを一時的に貯留する。
【００１３】中間廃液タンク２０、２２、中間混合液タ
ンク２４が満たされると、それぞれのタンクから枝管４
６、５８、６２、合流管４８を介してポンプ５０によっ
て引き抜かれる。合流管４８にも液検知センサ６８が設
けられ、洗浄液または合流管４８の残留液を含んだ混合
液に場合には切換弁５４を枝管６４と連通させて最終混
合液タンク４４に洗浄水を貯留する。また合流管４８の
溶剤Ａ又はＢの純度が高くなり、センサ６８がこれを検
知すると切換弁５４を枝管５６又は枝管６０に切換えそ
れぞれ廃液の種類の応じて最終廃液タンク４０、４２に
居留する。最終廃液タンク４０、４２最終混合液タンク
４４から廃液は図示しないタンクローリーなどの手段に
より排出される。
ンク２４が満たされると、それぞれのタンクから枝管４
６、５８、６２、合流管４８を介してポンプ５０によっ
て引き抜かれる。合流管４８にも液検知センサ６８が設
けられ、洗浄液または合流管４８の残留液を含んだ混合
液に場合には切換弁５４を枝管６４と連通させて最終混
合液タンク４４に洗浄水を貯留する。また合流管４８の
溶剤Ａ又はＢの純度が高くなり、センサ６８がこれを検
知すると切換弁５４を枝管５６又は枝管６０に切換えそ
れぞれ廃液の種類の応じて最終廃液タンク４０、４２に
居留する。最終廃液タンク４０、４２最終混合液タンク
４４から廃液は図示しないタンクローリーなどの手段に
より排出される。
【００１４】以上説明したように本発明に係わる実施例
によれば、洗浄液などは混合液タンク４４に貯留し、ま
た廃液は溶剤の種類ごとにそれぞれの最終廃液タンク４
０、４２に居留するので、回収後の廃液は再利用するこ
とができる利点がある。
によれば、洗浄液などは混合液タンク４４に貯留し、ま
た廃液は溶剤の種類ごとにそれぞれの最終廃液タンク４
０、４２に居留するので、回収後の廃液は再利用するこ
とができる利点がある。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る廃液の
分別回収方法及びその装置によれば、簡単な装置で溶剤
毎に廃液を自動的に回収できるので、廃液を再利用等で
きる利点がある。
分別回収方法及びその装置によれば、簡単な装置で溶剤
毎に廃液を自動的に回収できるので、廃液を再利用等で
きる利点がある。
【図１】図１は本発明の次を実施例す配管図である。
１６、１８…作業タンク ２０、２２…中間廃液タンク ２４…中間混合液タンク ３０…切換弁 ４０、４２…最終廃液タンク ４４…最終混合液タンク ５４…切換弁 ６６、６８…液検知センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樫原 稔 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 平 久男 北海道亀田郡七飯町字中島145番地 日立 北海セミコンダクタ株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 ２種類以上の廃液容器からの廃液を、種
類ごとに分別して各回収タンクに回収する廃液の分別回
収方法に於いて、 洗浄液又は、廃液容器から流下する最初の廃液により管
内の残存液を洗浄すると共に、この洗浄した液を混合液
タンクに回収し、 廃液容器からの廃液を廃液の種類ごとに回収タンクに回
収することを特徴とする廃液の分別回収方法。 - 【請求項２】 クリーンルーム等の室内作業域に溶剤を
種類ごとに貯留する作業タンクと、 クリーンルームの床下空間等に配置され、一時的に各廃
液が種類ごとに貯留される中間廃液タンクと、 クリーンルームの床下空間等に配置され、一時的に各廃
液の混合液が貯留される中間混合液タンクと、 作業タンクと中間廃液タンク並びに中間混合液タンクと
の間の配管系に設けられ、各作業タンクからの廃液と混
合液を対応する各中間廃液タンクと中間混合液タンクと
に振り分ける第１切換弁と、 各作業タンクからの廃液の種類、混合液を検知して第１
切換弁の作動をコントロールする第１検知手段と、 各廃液の種類ごとに対応して設けられた最終廃液タンク
と、 各廃液の混合液を貯留する最終混合液タンクと、 中間廃液タンク並びに中間混合液タンクと、最終廃液タ
ンク並びに最終混合液タンクとの間の配管系に設けら
れ、中間廃液タンクからの廃液並びに中間混合液タンク
からの混合液を、対応する各最終回収タンクと最終混合
液タンクとに振り分ける第２切換弁と、 中間廃液タンクからの廃液の種類、中間混合液タンクか
らの混合液を検知して第２切換弁の作動をコントロール
する第２検知手段と、 から成る廃液の分別回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21881791A JP2893654B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 廃液の分別回収方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21881791A JP2893654B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 廃液の分別回収方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0557271A true JPH0557271A (ja) | 1993-03-09 |
| JP2893654B2 JP2893654B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=16725814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21881791A Expired - Fee Related JP2893654B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 廃液の分別回収方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2893654B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008251584A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| US7682066B2 (en) | 2002-12-02 | 2010-03-23 | Sony Corporation | Method for recycling waste sulfuric acid |
| CN114200070A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-18 | 嘉兴市唯真生物科技有限公司 | 一种液相色谱分析装置 |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP21881791A patent/JP2893654B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7682066B2 (en) | 2002-12-02 | 2010-03-23 | Sony Corporation | Method for recycling waste sulfuric acid |
| JP2008251584A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| US8206548B2 (en) | 2007-03-29 | 2012-06-26 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| CN114200070A (zh) * | 2021-12-14 | 2022-03-18 | 嘉兴市唯真生物科技有限公司 | 一种液相色谱分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2893654B2 (ja) | 1999-05-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |