JPH0557216B2 - - Google Patents

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JPH0557216B2
JPH0557216B2 JP17428987A JP17428987A JPH0557216B2 JP H0557216 B2 JPH0557216 B2 JP H0557216B2 JP 17428987 A JP17428987 A JP 17428987A JP 17428987 A JP17428987 A JP 17428987A JP H0557216 B2 JPH0557216 B2 JP H0557216B2
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Japan
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glass
generators
deposited
deposition
burners
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Ryozo Yamauchi
Akira Wada
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Fujikura Ltd
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Fujikura Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/42Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/50Multiple burner arrangements
    • C03B2207/52Linear array of like burners

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

この発明は、光フアイバ母材の製造方法に関す
る。
The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform.

【従来の技術】[Conventional technology]

光フアイバ、特に石英ガラスを主成分とする光
フアイバは、完全な実用段階にあり、現在、世界
中で商用に使われている。しかも、その需要は
年々増加しており、それにともなつて、高品質の
光フアイバを大量にかつ安価に供給することが求
められている。 この光フアイバの母材となるガラスプリフオー
ムを製造する方法として、従来より、たとえば第
3図に示すように、あらかじめ準備した耐火物製
のマンドレルやガラス棒よりなるターゲツト棒1
を回転させつつ、酸水素バーナ4をトラバースさ
せ、ターゲツト棒1の側面に透明なガラスもしく
はガラス微粒子を吹き付けてガラス堆積層2を形
成する方法が知られている。この場合、酸水素バ
ーナ4の酸素/水素火炎中に、ガラスの原料であ
る四塩化珪素を導入し、生成されるガラス微粒子
を堆積させる。なお、原料ガスは四塩化珪素に限
られず、酸化することによりガラス微粒子を生成
するものであれば何でもよい。 この製造方法において、多量のガラスを堆積さ
せるには、多量のガラスを発生する装置を用いれ
ばよいようにも考えられる。しかし、堆積すべき
ターゲツトであるマンドレル、ガラス棒もしくは
ガラス微粒子堆積棒は、通常余り太くないので、
多量のガラスを発生する装置を用いても、堆積収
率は大きくならない。たとえば、酸水素火炎内に
四塩化珪素などの金属ハロゲン化物を導入して酸
化させる場合を考えると、直径5mm程度のマンド
レル上に酸水素火炎の直径が50mm程度のバーナを
使用しても、その堆積収率はせいぜい数%にしか
ならないことが知られている。すなわち、ある程
度高い収率を確保するには、ガラス発生装置から
のガラス微粒子の流れの太さ、もしくは、金属酸
化物の蒸気の流れの太さが、ターゲツトの太さに
比べて余り細くならないことが必要であるが、太
くしても上記のように堆積収率は上がらない。 そこで、別の方法として、複数のガラス発生装
置を用いてガラスを堆積することが行われる。た
とえば、第4図に示すように複数本(ここでは2
本)のバーナ4,5を垂直に配置されたターゲツ
ト棒1に平行にトラバースさせ、回転するターゲ
ツト棒1上にガラス堆積層2を形成する。このバ
ーナ4,5は、第3図と同様な酸水素バーナで、
酸水素火炎内に珪素、ゲルマニウム、アルミニウ
ム、ボロン、燐などの金属ハロゲン化物を導入し
てガラス微粒子を発生させる。このように複数の
バーナを用いる場合、バーナの1本、1本の太さ
はそれほど太いものである必要はなく、全体とし
てガラス堆積速度を高くでき、全体としての堆積
収率を高めることができる。 また、これらの酸水素バーナ4,5だけでな
く、第5図に示すような複数本の高周波誘導プラ
ズマトーチ9,10を用いてターゲツト棒1の側
面にガラス堆積層2を形成するようにして、堆積
速度を速くすることも行われている。
Optical fibers, especially those based on fused silica glass, are fully operational and are currently being used commercially throughout the world. Moreover, the demand for optical fibers is increasing year by year, and along with this, there is a need to supply high quality optical fibers in large quantities and at low cost. Conventionally, as shown in FIG. 3, a method for manufacturing a glass preform, which is the base material of this optical fiber, involves a target rod 1 made of a refractory mandrel or a glass rod prepared in advance.
A known method is to form a glass deposit layer 2 by traversing the oxyhydrogen burner 4 while rotating the target rod 1 and spraying transparent glass or glass fine particles onto the side surface of the target rod 1. In this case, silicon tetrachloride, which is a raw material for glass, is introduced into the oxygen/hydrogen flame of the oxyhydrogen burner 4, and the generated glass particles are deposited. Note that the raw material gas is not limited to silicon tetrachloride, and may be any gas that produces glass fine particles by oxidation. In this manufacturing method, it may be possible to deposit a large amount of glass by using an apparatus that generates a large amount of glass. However, the targets to be deposited, such as mandrels, glass rods, or glass fine particle deposition rods, are usually not very thick.
Using equipment that generates large amounts of glass does not increase the deposition yield. For example, if we consider introducing a metal halide such as silicon tetrachloride into an oxyhydrogen flame for oxidation, even if a burner with an oxyhydrogen flame diameter of about 50 mm is used on a mandrel with a diameter of about 5 mm, the It is known that the deposition yield is only a few percent at most. In other words, in order to ensure a reasonably high yield, the thickness of the flow of glass particles from the glass generator or the thickness of the flow of metal oxide vapor must not be too thin compared to the thickness of the target. is necessary, but increasing the thickness does not increase the deposition yield as described above. Therefore, another method is to deposit glass using a plurality of glass generators. For example, as shown in Figure 4, there are multiple
The burners 4 and 5 of the present invention are traversed parallel to the vertically arranged target rod 1, and a glass deposit layer 2 is formed on the rotating target rod 1. These burners 4 and 5 are oxyhydrogen burners similar to those shown in Fig. 3.
Metal halides such as silicon, germanium, aluminum, boron, and phosphorus are introduced into an oxyhydrogen flame to generate glass particles. When multiple burners are used in this way, the thickness of each burner does not need to be so large, and the overall glass deposition rate can be increased, increasing the overall deposition yield. . Furthermore, in addition to these oxyhydrogen burners 4 and 5, a plurality of high frequency induction plasma torches 9 and 10 as shown in FIG. 5 are used to form a glass deposit layer 2 on the side surface of the target rod 1. , attempts have also been made to increase the deposition rate.

【発明が解決しようとする問題点】[Problems to be solved by the invention]

しかしながら、複数のガラス発生装置を用いる
場合、確かに単一のガラス発生装置しか用いない
場合に比べて多量のガラスの堆積をより短時間に
行うことができるが、複数のガラス発生装置は通
常相対的な位置関係を固定してトラバースさせる
ので、トラバースの両端では、1つのガラス発生
装置しか堆積に寄与せず、そのため、両端部付近
のガラス堆積層の厚さが薄くなり、堆積層の両端
において傾斜部が形成される。このように傾斜部
が形成されるということは、この部分ではガラス
母材が所望の直径になつていないということであ
り、有効長の短いガラス母材しか得られないこと
になる。すなわち、両端の傾斜部でのガラス堆積
は無駄なものとなり、堆積収率が低くなる。 この傾斜部分の長さを減少させるためには複数
のガラス発生装置間の間隔を短くすることが考え
られるが、バーナの火炎同士が互いに干渉し合う
ので、ガラスの堆積を安定に行えない。 この発明は、ガラス堆積速度が速く、しかも高
い堆積収率でかつ安定にガラス堆積を行うことが
できる、光フアイバを大量生産するのに好適な光
フアイバ母材の製造方法を提供することを目的と
する。
However, while it is true that multiple glass generators can deposit larger amounts of glass in a shorter amount of time than a single glass generator, multiple glass generators are usually relatively Since the traverse is performed with a fixed positional relationship, only one glass generating device contributes to the deposition at both ends of the traverse, and as a result, the thickness of the glass deposited layer near both ends becomes thinner, and the thickness of the glass deposited layer near both ends becomes thinner. A sloped portion is formed. The formation of such an inclined portion means that the glass preform does not have the desired diameter in this portion, and only a glass preform with a short effective length can be obtained. That is, glass deposition on the sloped portions at both ends becomes wasteful, resulting in a low deposition yield. In order to reduce the length of this sloping portion, it is conceivable to shorten the distance between the plurality of glass generators, but since the flames of the burners interfere with each other, glass cannot be deposited stably. An object of the present invention is to provide a method for producing an optical fiber base material, which is suitable for mass production of optical fibers, and allows stable glass deposition with a high glass deposition rate and high deposition yield. shall be.

【問題点を解決するための手段】[Means to solve the problem]

この発明によれば、同じ原料が供給される複数
のガラス発生装置を順次ターゲツト棒の軸に平行
な一方向にトラバースさせるとともに終端に到達
したら始端に戻して再びトラバースさせることを
繰り返し、その一方向にトラバースさせられてい
る期間のみ上記複数のガラス発生装置の各々より
上記ターゲツト棒上への実質的なガラス堆積を行
うようにした光フアイバ母材の製造方法におい
て、上記複数のガラス発生装置を互いに独立に移
動可能に構成し、これらガラス発生装置の1つが
ガラス堆積すべき範囲の終端に到達したとき他の
ガラス発生装置とは独立に移動させてガラス堆積
すべき範囲の始端に戻して再び上記と同一の方向
にトラバースさせるようにするとともに、上記複
数のガラス発生装置がともに同一の方向にトラバ
ースさせられているときにはそれらの間隔を互い
にその動作が干渉し合わない程度の距離に保つて
移動させるようにしたことを特徴とする。
According to this invention, a plurality of glass generators supplied with the same raw material are sequentially traversed in one direction parallel to the axis of the target rod, and when they reach the terminal end, they are returned to the starting end and traversed again. In the method for manufacturing an optical fiber base material, the glass generating devices are substantially deposited onto the target rod from each of the plurality of glass generating devices only during a period when the glass generating devices are traversed by the target rod. When one of these glass generators reaches the end of the range where glass is to be deposited, it is moved independently from the other glass generators and returned to the beginning of the range where glass is to be deposited, and then the glass generator is moved again. traverse in the same direction, and when the plurality of glass generators are traversing in the same direction, the distance between them is kept at a distance that prevents their operations from interfering with each other. It is characterized by the following.

【作用】[Effect]

複数のガラス発生装置の互いに独立に移動可能
な構成とし、これらを一方向にトラバースさせ、
1つのガラス発生装置がガラス堆積すべき範囲の
終端に到達したとき他のガラス発生装置とは独立
にガラス堆積すべき範囲の始端に戻して再び上記
と同一の方向にトラバースさせ、この一方向にト
ラバースさせられている期間のみターゲツト棒上
への実質的なガラス堆積を行うようにしているた
め、ターゲツト棒上のどの位置でも複数のガラス
発生装置で次々に堆積が行われることになり、ガ
ラス堆積速度は非常に速くなる。 また、各ガラス発生装置はそれぞれ、ガラス堆
積すべき範囲の始端から終端にいたる全工程の間
でガラス堆積を行うため、両端付近においても複
数のガラス発生装置によつて次々に堆積が行われ
ることになるので、堆積層の両端付近で長い傾斜
部が形成されることがなく、均一な厚さに堆積さ
れた部分での長さを長くでき、堆積収率が向上す
る。 さらに複数のガラス発生装置を一方向にトラバ
ースさせてガラス堆積を実質的に行つているとき
は、これらのガラス発生装置は所定の間隔をおい
ているので、それらの動作が相互に干渉し合うこ
とを避けることができ、安定なガラス堆積を行う
ことができる。
A plurality of glass generators are configured to be movable independently of each other, and they are traversed in one direction.
When one glass generating device reaches the end of the range where glass is to be deposited, it is returned to the starting end of the range where glass is to be deposited independently of the other glass generating devices and is traversed again in the same direction as above, and in this one direction. Since glass is substantially deposited on the target rod only during the traversal period, multiple glass generators are used to deposit glass at any position on the target rod one after another. The speed will be very fast. In addition, since each glass generator performs glass deposition during the entire process from the beginning to the end of the range where glass is to be deposited, multiple glass generators perform deposition one after another even near both ends. Therefore, long slope parts are not formed near both ends of the deposited layer, and the length of the part deposited to a uniform thickness can be increased, improving the deposition yield. Furthermore, when glass deposition is actually performed by traversing multiple glass generators in one direction, these glass generators are spaced apart by a predetermined distance, so their operations do not interfere with each other. can be avoided and stable glass deposition can be achieved.

【実施例】【Example】

第1図において、マンドレル、透明ガラス棒、
ガラス微粒子堆積棒などからなるターゲツト棒1
が、その両端をチヤツク32により把持されるこ
とにより、ガラス旋盤3に装着されて、モーター
33によつて回転させられるようになつている。
このようにして装着された1本のターゲツト棒1
に対して、この実施例では2本の酸水素バーナ
4,5が用いられる。これらのバーナ4,5に
は、ガス供給装置8から水素や天然ガスなどの可
燃性ガスと酸素などの酸化剤ガスとが供給されて
燃焼火炎が生じており、さらにこの火炎中に、ガ
ス供給装置8より四塩化珪素などの金属ハロゲン
化物が導入され、酸化反応によつてガラスが生成
される。このガラスは、微粒子状態で、あるいは
透明ガラス状態でターゲツト棒1の側面に付着し
てガラス堆積層2を形成する。なお、ここでは上
記のように酸水素バーナ4,5を用いているが、
高周波誘導プラズマトーチなどの他のガラス発生
装置を用いることも、勿論可能である。 そして、これらのバーナ4,5はそれぞれトラ
バース装置6,7により独立にトラバースさせら
れるようになつている。すなわち、バーナ4,5
は移動ブロツク63,73に固定されているが、
これらの移動ブロツク63,73は、フレーム6
1,62に取り付けられたスクリユーシヤフト6
2,72にそれぞれ螺合しており、これらスクリ
ユーシヤフト62,72がモーター64,74に
よつて回転させられることによつてターゲツト棒
1の軸と平行な方向に移動する。これにより、バ
ーナ4,5とも、ガラス堆積を行う同じ範囲の行
程を、図では左右にトラバースさせられる。 これらのバーナ4,5は、一方向(この例では
図の右方向)にトラバースさせられるときに、実
質的なガラス堆積を行い、その反対方向(左方
向)に移動しているときは実質的にはガラス堆積
を行わないよう構成される。そのため、左方向に
移動している期間は原料ガスの供給を停止しても
よいし、左方向の移動速度が高速であるなら原料
ガスを停止するまでもない。そして、右方向への
移動はバーナ4,5では互いに等しい速度とし、
それらの間の間隔が互いに干渉し合わない程度に
保たれる。ここで、干渉し合わないと言うのはガ
ラスの堆積が互いに全く影響を受けないというこ
とではなくて、ガラス堆積層2を形成するについ
て実質的に障害にならないという意味である。左
方向への戻りの行程は右方向の移動速度に比例し
て十分に速い速度とする。そして、バーナ4,5
によるガラスの吹き付け方向が、互いに10°〜45°
程度の角度をなすようにする。 次にこれらバーナ4,5によるガラス堆積過程
を第2図を参照しながら説明する。まず、第2図
Aのように、バーナ4をガラス堆積すべき範囲の
始端より右方向に移動開始し、この移動中に発生
したガラスをターゲツト棒1の側面に付着してガ
ラス堆積層2を形成する。他のバーナ5はどの位
置においてもよいが、バーナ5によつては実質的
な堆積が行われないようにしておく。 そして、先行するバーナ4が始端からある程度
はなれた距離に到達したとき、第2図Bのように
バーナ5を始端からトラバース開始させて、バー
ナ5によるガラス堆積を開始させる。すると、タ
ーゲツト棒1の各位置では、先行するバーナによ
るガラス堆積が行われた後、すぐ後から移動して
くるバーナ5によるガラス堆積が行われることに
なるので、1本のバーナの2倍の堆積速度とな
る。 先行するバーナ4が、ガラス堆積すべき範囲の
終端に到達したとき、第2図Cのように、バーナ
4は反転し、始端へと戻り始める。この戻りの速
度は右方向のトラバース速度よりも高速にされて
いる。バーナ5は、このバーナ4の動きとは全く
関係なく、等速度で右方向に移動してガラス堆積
を行う。 先行するバーナ4が始端に戻つたら、再び右方
向へのトラバース及びガラス堆積を開始する。後
から移動していくバーナ5も、第2図Dのように
終端に到達したら、反転して高速に左方向に移動
させられ始端に戻される。バーナ4は、バーナ5
のこの動きに無関係に等速度のガラス堆積を行
う。 このように、2つのバーナ4,5は、それぞれ
同じ範囲をトラバースさせられてガラス堆積する
ため、ガラス堆積層2の両端で傾斜部が形成され
ることが避けられ、均一な厚さの部分を長くする
ことができる。 なお、上記では説明の便宜上、2つのバーナを
用いることとしたが、3つ以上でも勿論よい。 次に、この製造方法により具体的にガラス母材
を製造し、さらに光フアイバを作つてみたので、
これについて説明する。まず、あらかじめ、酸化
ゲルマニウムを30重量%含有する透明なガラス棒
を準備した。その外径は10mm、長さ700mmであつ
た。この透明ガラス棒の両端に、同じ太さの純粋
石英ガラス棒を融着してターゲツト棒とした。酸
化ゲルマニウムを含むガラス棒の部分をガラス堆
積すべき部分として、上記のように2本の酸水素
バーナによりガラス堆積を行つた。トラバース範
囲は700mmとし、ガラス堆積時の一方向へのトラ
バース速度は150mm/分、反対方向の戻りのトラ
バース速度は約2000mm/分とした。ガラス堆積中
のバーナ間隔は少なくとも300mm以上となるよう
に設定した。ガラス堆積中に2つのバーナには、 水素 200/分 酸素 20/分 アルゴン 1/分 四塩化珪素 1/分 の流量条件で、ガスを供給し、ガラス堆積を約6
時間行つたところ、外径140mmで、その外径の部
分の長さが650mmのガラス微粒子堆積層を得るこ
とができた。このガラス微粒子堆積層を約1650℃
の加熱炉内で加熱することによつて透明ガラス化
し、全体が透明ガラスとなつているガラス棒を得
た。このガラス棒はいわゆる光フアイバプリフオ
ームであり、このプリフオームを約2100℃の最高
温度を有する加熱炉内で細く引き延ばしてフアバ
化したところ、0.85μmの波長での伝送損失が
3.5dB/Kmの実用的な光フアイバが得られた。
In Figure 1, a mandrel, a transparent glass rod,
Target rod 1 consisting of a glass fine particle deposition rod, etc.
The glass lathe 3 is gripped at both ends by chucks 32 so that it can be mounted on the glass lathe 3 and rotated by a motor 33.
One target rod 1 attached in this way
In contrast, in this embodiment, two oxyhydrogen burners 4 and 5 are used. These burners 4 and 5 are supplied with combustible gas such as hydrogen or natural gas and oxidizing gas such as oxygen from a gas supply device 8 to generate a combustion flame. A metal halide such as silicon tetrachloride is introduced from the device 8, and glass is produced by an oxidation reaction. This glass adheres to the side surface of the target rod 1 in the form of fine particles or transparent glass to form a glass deposit layer 2. In addition, although the oxyhydrogen burners 4 and 5 are used here as mentioned above,
It is of course possible to use other glass generating devices such as high frequency induction plasma torches. These burners 4 and 5 can be independently traversed by traverse devices 6 and 7, respectively. That is, burners 4 and 5
are fixed to moving blocks 63 and 73,
These moving blocks 63, 73 move around the frame 6.
Screw shaft 6 attached to 1,62
2 and 72, respectively, and these screw shafts 62 and 72 are rotated by motors 64 and 74 to move in a direction parallel to the axis of the target rod 1. As a result, both the burners 4 and 5 are allowed to traverse the same range of glass deposition from left to right in the figure. These burners 4, 5 produce substantial glass deposition when traversing in one direction (to the right in the figure in this example) and substantially no glass deposition when traversing in the opposite direction (to the left). is configured so that no glass deposition is performed. Therefore, the supply of raw material gas may be stopped during the period of leftward movement, and if the leftward movement speed is high, there is no need to stop the raw material gas. Then, the rightward movement is made at the same speed for burners 4 and 5,
The distance between them is maintained to such an extent that they do not interfere with each other. Here, saying that they do not interfere with each other does not mean that the glass deposits are not affected by each other at all, but rather that there is no substantial obstacle to forming the glass deposited layer 2. The return stroke to the left should be at a sufficiently high speed in proportion to the speed of movement in the right direction. And burners 4 and 5
The direction of glass blowing is 10° to 45° to each other.
Make a certain angle. Next, the glass deposition process using these burners 4 and 5 will be explained with reference to FIG. First, as shown in FIG. 2A, the burner 4 starts moving rightward from the starting end of the area where glass is to be deposited, and the glass generated during this movement is deposited on the side surface of the target rod 1 to form the glass deposited layer 2. Form. The other burners 5 may be placed in any position, but it is ensured that no substantial deposition takes place in some of the burners 5. When the preceding burner 4 reaches a certain distance from the starting end, the burner 5 is started to traverse from the starting end as shown in FIG. 2B, and glass deposition by the burner 5 is started. Then, at each position of the target rod 1, glass is deposited by the preceding burner, and then glass is deposited by the burner 5 that moves immediately after, so the glass deposition rate is twice that of a single burner. Deposition rate. When the preceding burner 4 reaches the end of the area to be deposited glass, it reverses and begins to return to the starting point, as shown in FIG. 2C. This return speed is made faster than the rightward traverse speed. The burner 5 moves to the right at a constant speed, completely independent of the movement of the burner 4, and performs glass deposition. When the preceding burner 4 returns to the starting point, traverse to the right and glass deposition are started again. When the burner 5 that is moving later reaches the terminal end as shown in FIG. 2D, it is reversed and moved leftward at high speed and returned to the starting end. Burner 4 is burner 5
Glass deposition is carried out at a constant rate regardless of this movement of the glass. In this way, since the two burners 4 and 5 are caused to traverse the same area and deposit glass, it is possible to avoid the formation of sloped portions at both ends of the glass deposited layer 2, and to deposit a portion of uniform thickness. It can be made longer. In addition, although two burners were used above for convenience of explanation, it is of course possible to use three or more burners. Next, I specifically manufactured a glass base material using this manufacturing method, and also tried making an optical fiber.
This will be explained. First, a transparent glass rod containing 30% by weight of germanium oxide was prepared in advance. Its outer diameter was 10 mm and length was 700 mm. Pure silica glass rods of the same thickness were fused to both ends of this transparent glass rod to form a target rod. Glass was deposited using two oxyhydrogen burners as described above, with the portion of the glass rod containing germanium oxide as the portion to be glass-deposited. The traverse range was 700 mm, the traverse speed in one direction during glass deposition was 150 mm/min, and the return traverse speed in the opposite direction was approximately 2000 mm/min. The burner interval during glass deposition was set to be at least 300 mm. During glass deposition, gas was supplied to the two burners at flow rates of hydrogen 200/min, oxygen 20/min, argon 1/min, and silicon tetrachloride 1/min, and the glass deposition was carried out at approximately 6/min.
After some time, it was possible to obtain a glass fine particle deposited layer with an outer diameter of 140 mm and a length of 650 mm at the outer diameter portion. This layer of glass fine particles is heated to approximately 1650°C.
By heating in a heating furnace, the glass rod was turned into transparent glass and the entire glass rod was made of transparent glass. This glass rod is a so-called optical fiber preform, and when this preform was drawn into a fine fiber in a heating furnace with a maximum temperature of approximately 2100°C, the transmission loss at a wavelength of 0.85 μm was observed.
A practical optical fiber of 3.5dB/Km was obtained.

【発明の効果】【Effect of the invention】

この発明のガラス母材の製造方法によれば、多
量のガラス堆積を非常に短時間に行うことがで
き、しかもその堆積動作を安定に行い、かつ堆積
層の均一厚さの部分の長さを長くして傾斜部を少
なくし、堆積収率を向上させることができる。
According to the method for producing a glass base material of the present invention, a large amount of glass can be deposited in a very short time, the deposition operation can be performed stably, and the length of the portion of the deposited layer with uniform thickness can be reduced. It can be lengthened to reduce slopes and improve deposition yield.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例の斜視図、第2図
A,B,C,Dは動作説明のための、各状態を示
す模式図、第3図、第4図及び第5図はそれぞれ
従来例の模式図である。 1……ターゲツト棒、2……ガラス堆積層、3
……ガラス旋盤、4,5……酸水素バーナ、6,
7……トラバース装置、8……ガス供給装置、
9,10……高周波誘導プラズマトーチ。
FIG. 1 is a perspective view of one embodiment of the present invention, FIGS. 2A, B, C, and D are schematic diagrams showing each state for explaining the operation, and FIGS. 3, 4, and 5 are Each is a schematic diagram of a conventional example. 1...Target rod, 2...Glass deposit layer, 3
...Glass lathe, 4,5...Oxyhydrogen burner, 6,
7... Traverse device, 8... Gas supply device,
9,10...High frequency induction plasma torch.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 同じ原料が供給される複数のガラス発生装置
を順次ターゲツト棒の軸に平行な一方向にトラバ
ースさせるとともに終端に到達したら始端に戻し
て再びトラバースさせることを繰り返し、その一
方向にトラバースさせられている期間のみ上記複
数のガラス発生装置の各々より上記ターゲツト棒
上への実質的なガラス堆積を行うようにした光フ
アイバ母材の製造方法において、上記複数のガラ
ス発生装置を互いに独立に移動可能に構成し、こ
れらガラス発生装置の1つがガラス堆積すべき範
囲の終端に到達したとき他のガラス発生装置とは
独立に移動させてガラス堆積すべき範囲の始端に
戻して再び上記と同一の方向にトラバースさせる
ようにするとともに、上記複数のガラス発生装置
がともに同一の方向にトラバースさせられている
ときにはそれらの間隔を互いにその動作が干渉し
合わない程度の距離に保つて移動させるようにし
たことを特徴とする光フアイバ母材の製造方法。
1 Multiple glass generators supplied with the same raw material are sequentially traversed in one direction parallel to the axis of the target rod, and when they reach the terminal end, they are returned to the starting end and traversed again. In the method for manufacturing an optical fiber base material, the plurality of glass generators are movable independently of each other, in which glass is deposited substantially on the target rod from each of the plurality of glass generators only during a period of time during which the glass generators are used. When one of these glass generators reaches the end of the range where glass is to be deposited, it is moved independently of the other glass generators and returned to the beginning of the range where glass is to be deposited and again in the same direction as above. In addition, when the plurality of glass generators are traversing in the same direction, the distance between them is maintained at a distance that does not interfere with each other's operations. Characteristic method for manufacturing optical fiber base material.
JP17428987A 1987-07-13 1987-07-13 Production of optical fiber preform Granted JPS6418929A (en)

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