JPH0554330A - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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Publication number
JPH0554330A
JPH0554330A JP21844191A JP21844191A JPH0554330A JP H0554330 A JPH0554330 A JP H0554330A JP 21844191 A JP21844191 A JP 21844191A JP 21844191 A JP21844191 A JP 21844191A JP H0554330 A JPH0554330 A JP H0554330A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic layer
coil
layer
increased
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP21844191A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Kusano
豊 草野
Norifumi Makino
憲史 牧野
Toru Matsuda
徹 松田
Fujihiro Itou
富士弘 伊藤
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH0554330A publication Critical patent/JPH0554330A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain good magnetic efficiency and S/N and to prevent soft magnetic characteristics from being impaired as well as to substantially prevent the generation of magnetic saturation. CONSTITUTION:At least two magnetic contact projecting parts 3 which magnetically connect an upper magnetic layer 4 and a lower magnetic layer 2 are provided between these two layers and coils 6 are formed around the respective magnetic contact projecting parts 3 as center.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、磁気記録再生を行う
磁気ヘッド、特に磁気回路の構造を改良した磁気ヘッド
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for magnetic recording and reproduction, and more particularly to a magnetic head having an improved magnetic circuit structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、磁気記録密度の向上にはめざまし
いものがあり、記録媒体の高保磁力化がそのための主流
の技術となりつつある。このため、磁気ヘッドについて
も、高飽和磁束密度の磁性材料を用いた磁性層の開発が
盛んになっている。特に高周波で用いられる磁気ヘッド
の分野では、これを薄膜で形成する技術が主流になって
おり、特性及び生産面で薄膜プロセスが有望とされてい
る。
2. Description of the Related Art In recent years, there have been remarkable improvements in magnetic recording density, and increasing the coercive force of recording media is becoming the mainstream technology for that purpose. Therefore, also for magnetic heads, the development of magnetic layers using magnetic materials having a high saturation magnetic flux density has become active. Particularly in the field of magnetic heads used at high frequencies, a technique for forming the thin film with a thin film has become mainstream, and a thin film process is promising in terms of characteristics and production.

【0003】しかし、薄膜磁気ヘッドでは、その構造
上、記録時に磁性層の磁気飽和がおきやすく、磁性層周
辺の構造に工夫を必要とする。
However, in the thin film magnetic head, magnetic saturation of the magnetic layer is likely to occur during recording due to its structure, and a structure around the magnetic layer needs to be devised.

【0004】この点を考慮した磁気ヘッドとしては、た
とえば、図3に示す構造のものがある。この磁気ヘッド
は、同図に示すように、基板1上に薄膜プロセスによっ
て下部磁性層2とコイル6を形成し、その上に、磁気ギ
ャップ5を介して上部磁性層4と保護板9とを実装ブロ
セスでつき合わせて接合することにより構成されてい
る。
As a magnetic head in consideration of this point, there is, for example, one having a structure shown in FIG. In this magnetic head, as shown in the figure, a lower magnetic layer 2 and a coil 6 are formed on a substrate 1 by a thin film process, and an upper magnetic layer 4 and a protective plate 9 are formed on the lower magnetic layer 2 and a coil 6 via a magnetic gap 5. It is configured by joining and joining with the mounting process.

【0005】なお、3は上部磁性層4と下部磁性層2を
磁気的に結合する磁気コンタクト凸部、8は下部磁性層
2に薄膜プロセスで形成されたトラック幅に相当する凸
部である。上記磁気ギャップ5は凸部8と上部磁性層4
との間に形成されている。
Reference numeral 3 is a magnetic contact convex portion for magnetically coupling the upper magnetic layer 4 and the lower magnetic layer 2, and 8 is a convex portion corresponding to the track width formed in the lower magnetic layer 2 by a thin film process. The magnetic gap 5 includes the convex portion 8 and the upper magnetic layer 4.
It is formed between and.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例には、次のような問題点があった。
However, the above-mentioned conventional example has the following problems.

【0007】(1)コイル6のターン数を多くすると、
上部磁性層4等の磁路長が長くなり、磁気効率が悪くな
る。
(1) When the number of turns of the coil 6 is increased,
The magnetic path length of the upper magnetic layer 4 and the like becomes long, and the magnetic efficiency deteriorates.

【0008】(2)コイル6のターン数を多くすると、
コイル長が増大し、コイル抵抗が大きくなり、インピー
ダンスノイズが発生し、S/Nが悪化する。
(2) When the number of turns of the coil 6 is increased,
The coil length increases, the coil resistance increases, impedance noise occurs, and the S / N deteriorates.

【0009】(3)上記(1),(2)を解決するため
に、コイル6の多層化を進めると、製造工程が増えコス
トが上昇する。
(3) If the number of layers of the coil 6 is increased in order to solve the above (1) and (2), the number of manufacturing steps increases and the cost increases.

【0010】(4)コイル6の多層化を進めると、コイ
ル6の層厚が厚くなり、上部磁性層4等の乗り越え段差
が高くなる。その段差部で磁性層のステップカバレージ
が悪化し、膜形成時の結晶成長の乱れや応力の集中によ
り軟磁気特性が著しく損なわれ、効率の低下を招きやす
い。
(4) When the number of layers of the coil 6 is increased, the layer thickness of the coil 6 becomes thicker, and the step over which the upper magnetic layer 4 and the like are crossed over becomes higher. The step coverage of the magnetic layer is deteriorated at the step portion, and the soft magnetic characteristics are significantly impaired due to the disorder of crystal growth and the concentration of stress during the film formation, and the efficiency is likely to be lowered.

【0011】この発明は、このような従来の問題点に着
目してなされたもので、(1)磁気効率が良く、(2)
S/Nが良く、(3)軟磁気特性が損なわれず、(4)
磁気飽和が発生しにくい、磁気ヘッドを提供することを
目的とする。
The present invention has been made by paying attention to such conventional problems, and (1) magnetic efficiency is good, and (2)
Good S / N, (3) Soft magnetic properties are not impaired, (4)
An object of the present invention is to provide a magnetic head in which magnetic saturation hardly occurs.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明が提供する磁気
ヘッドは、上部磁性層と下部磁性層の間に、両磁性層を
磁気的に接続する磁気コンタクト部を少なくとも2つ設
け、各磁気コンタクト部を中心にしてその周囲にコイル
を形成したものである。
A magnetic head provided by the present invention is provided with at least two magnetic contact portions for magnetically connecting both magnetic layers between an upper magnetic layer and a lower magnetic layer. A coil is formed around the part around the part.

【0013】[0013]

【作用】この発明によれば、磁性層等の磁路長の増大を
抑えることができるし、コイル抵抗を小さくしてインピ
ーダンスの発生を抑えることができる。また、磁性層の
乗り越え段差が高くならない。さらに、磁気コンタクト
部の面積が増大するので、磁気飽和が発生しにくい。
According to the present invention, an increase in the magnetic path length of the magnetic layer or the like can be suppressed, and the coil resistance can be reduced to suppress the generation of impedance. Further, the step over the magnetic layer is not increased. Further, since the area of the magnetic contact portion is increased, magnetic saturation hardly occurs.

【0014】[0014]

【実施例】以下、この発明の実施例を図1によって説明
する。図1において、1は基板、2は基板1に形成され
た下部磁性層で、その上には後述の2つの磁気コンタク
ト凸部3を中心にして、その周囲に、コイル6がそれぞ
れ3ターン(この実施例の場合)で渦巻状に形成されて
いる。上記磁気コンタクト凸部3は、下部磁性層2に設
けられたもので、下部磁性層2と後述する上部磁性層4
の磁気的結合をとるためのものである。7は、このコイ
ル6の上側を通り、それぞれのコイル6の中心部に接続
されている導体である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 is a substrate, 2 is a lower magnetic layer formed on the substrate 1, and two magnetic contact convex portions 3 to be described later are centered on the lower magnetic layer, and a coil 6 is provided around each of them three turns ( In the case of this embodiment), it is formed in a spiral shape. The magnetic contact protrusions 3 are provided on the lower magnetic layer 2, and are formed on the lower magnetic layer 2 and the upper magnetic layer 4 described later.
It is for magnetic coupling of. Reference numeral 7 denotes a conductor which passes above the coils 6 and is connected to the center of each coil 6.

【0015】4は、上部磁性層で、その一端は、渦巻状
のコイル6の中心部に位置する磁気コンタクト凸部3側
に固定され、下部磁性層2と磁気的に結合がとられてい
る。上部磁性層4の他端は、磁気記録媒体摺動面側に導
かれ、下部磁性層2に形成されトラツク幅に相当する凸
部8の上に固定されている。5はトラック幅に相当する
凸部8の先端部と上部磁性層4との間に形成された磁気
ギャップ、9は保護板である。
Reference numeral 4 denotes an upper magnetic layer, one end of which is fixed to the magnetic contact convex portion 3 side located at the center of the spiral coil 6 and is magnetically coupled to the lower magnetic layer 2. . The other end of the upper magnetic layer 4 is guided to the sliding surface side of the magnetic recording medium and is fixed on the convex portion 8 formed in the lower magnetic layer 2 and corresponding to the track width. Reference numeral 5 is a magnetic gap formed between the tip of the protrusion 8 corresponding to the track width and the upper magnetic layer 4, and 9 is a protective plate.

【0016】上述した構造を持つ磁気ヘッドは、薄膜堆
積法,フォトリソグラフィ技術および実装プロセス技術
によってつくられている。また、この実施例にあって
は、基板1の材質として、ガラス,セラミック,フェラ
イト等の非磁性材を用い、コイル6として、Cu,A
l,AuあるいはTiなどの導電性材料を用い、下部磁
性層2および上部磁性層4として、パーマロイ系金属,
センダスト系金属,CoZr系アモルファス材料等の磁
性材料を用いた。導体7の材質は、コイル6と同一であ
る。
The magnetic head having the above-mentioned structure is manufactured by the thin film deposition method, the photolithography technology and the mounting process technology. In this embodiment, the substrate 1 is made of a non-magnetic material such as glass, ceramic or ferrite, and the coil 6 is made of Cu or A.
A conductive material such as 1, Au or Ti is used, and the lower magnetic layer 2 and the upper magnetic layer 4 are made of a permalloy-based metal,
A magnetic material such as a sendust-based metal or a CoZr-based amorphous material was used. The material of the conductor 7 is the same as that of the coil 6.

【0017】下部磁性層2と上部磁性層4を磁気的に結
合する磁気コンタクト凸部3は、1トラックあたり2個
形成され、上述のように、それぞれを中心としてその周
囲にコイル6が形成してある。また、上部磁性層4は、
保護板9の上に上部磁性層4を薄膜ブロセスで形成して
なるヘッド半体を実装ブロセスで突合わせて接合する
か、コイル6等を形成完了した基板1の上に、上部磁性
層4となる磁性膜を薄膜ブロセスで形成し、フォトリソ
グラフィ技術により所定の形状に形成するなどの方法で
形成される。
Two magnetic contact protrusions 3 for magnetically coupling the lower magnetic layer 2 and the upper magnetic layer 4 are formed per track. As described above, the coils 6 are formed around each of them as a center. There is. In addition, the upper magnetic layer 4 is
A head half formed by forming the upper magnetic layer 4 by a thin film process on the protective plate 9 is butt-joined by a mounting process, or the upper magnetic layer 4 and Is formed by a thin film process and is formed into a predetermined shape by a photolithography technique.

【0018】実施例の磁気ヘッドは、以上のように構成
されているので、コイル抵抗を増大させることなく、コ
イル6の巻き数を増加させることができる。また、コイ
ル6の巻き数を増加させているにもかかわらず、上,下
部磁性層4,2等の磁路長の増加を最小限に抑えること
ができる。さらに、磁性層の乗り越え段差が高くならな
いので、ステップカバレージを悪化させることが無い。
このため、磁性層形成時の結晶成長の乱れや応力の集中
により、軟磁気特性が損なわれることがない。
Since the magnetic head of the embodiment is constructed as described above, the number of turns of the coil 6 can be increased without increasing the coil resistance. Further, although the number of turns of the coil 6 is increased, the increase in the magnetic path length of the upper and lower magnetic layers 4 and 2 can be suppressed to the minimum. Furthermore, since the step over the magnetic layer does not increase, the step coverage is not deteriorated.
Therefore, the soft magnetic characteristics are not impaired by the disorder of crystal growth and the concentration of stress when the magnetic layer is formed.

【0019】図2はこの発明の他の実施例を示す。図1
と同一部分または相当部分には、同一符号を付し、その
説明は省略する。
FIG. 2 shows another embodiment of the present invention. Figure 1
The same or corresponding parts are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0020】この実施例は、トラック幅に相当する凸部
8と磁気コンタクト凸部3a,3bの位置関係が図1の
実施例と異なっている。すなわち、図1と図2を比較し
て明らかなように、この実施例においては、図2に示す
ように、トラック幅に相当する凸部8と磁気コンタクト
凸部3aが同一中心線上C1 上に形成され、かつ磁気コ
ンタクト凸部3aと磁気コンタクト凸部3bも同一中心
線C2 上に形成されている。
This embodiment differs from the embodiment of FIG. 1 in the positional relationship between the protrusion 8 corresponding to the track width and the magnetic contact protrusions 3a and 3b. That is, as is clear from comparison between FIG. 1 and FIG. 2, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the protrusion 8 corresponding to the track width and the magnetic contact protrusion 3a are on the same center line C 1 The magnetic contact protrusion 3a and the magnetic contact protrusion 3b are also formed on the same center line C 2 .

【0021】したがって、この実施例の場合は、凸部8
を形成するための方法に自由度が増す。このため、機械
加工あるいはエッチング等の手法により凸部8を形成す
ることができ、実装プロセスによる切削等の生産性の高
い加工方法の利用が可能となる。作用効果は図1の実施
例の場合と同じである。
Therefore, in the case of this embodiment, the convex portion 8
There is more freedom in the method for forming the. Therefore, the convex portion 8 can be formed by a method such as machining or etching, and a highly productive processing method such as cutting by a mounting process can be used. The function and effect are the same as in the case of the embodiment shown in FIG.

【0022】なお、上述した各実施例においては、トラ
ック幅に相当する凸部8および磁気的結合を目的とした
磁気コンタクト凸部3は、台形状に形成したが、この形
状はフォトリソグラフィ技術,エッチング技術および実
装プロセス技術によって異なり、製造方法によって形状
が変化してもよいのはもちろんである。
In each of the above-described embodiments, the protrusion 8 corresponding to the track width and the magnetic contact protrusion 3 for magnetic coupling are formed in a trapezoidal shape. It goes without saying that the shape may vary depending on the etching technique and the mounting process technique and may vary depending on the manufacturing method.

【0023】また、上述した各実施例においては、磁気
的結合を目的とした磁気コンタクト凸部3は2箇所に形
成したが、その数および配置は、図1,図2に示すもの
に限られない。より最適な数,配置に変更してもよいの
はもちろんである。
Further, in each of the above-mentioned embodiments, the magnetic contact convex portions 3 for the purpose of magnetic coupling are formed at two places, but the number and arrangement are not limited to those shown in FIGS. Absent. Of course, you may change to a more optimal number and arrangement.

【0024】さらに、上述した各実施例においては、磁
気コンタクト凸部3を中心にして形成されるコイル6
は、3ターンとして形成し、各コイル6の中心部を導体
7で接続しコイルとしているが、この形状および接続方
法は、磁気コンタクト凸部の数と配置により異なり、ま
た製造方法によって形状が変化してもよいのはもちろん
である。
Further, in each of the above-mentioned embodiments, the coil 6 formed with the magnetic contact protrusion 3 as the center.
Is formed as 3 turns, and the central portion of each coil 6 is connected by the conductor 7 to form a coil. The shape and connection method differ depending on the number and arrangement of the magnetic contact protrusions, and the shape changes depending on the manufacturing method. Of course you can.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明によれば、上部磁性層と下部磁性層を磁気的に結合す
る磁気コンタクト部を少なくとも2つ設け、各磁気コン
タクト部を中心にしてその周囲にコイルを形成するよう
にしたので、次の効果を得ることができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, at least two magnetic contact portions for magnetically coupling the upper magnetic layer and the lower magnetic layer are provided, and each magnetic contact portion is centered. Since the coil is formed around it, the following effects can be obtained.

【0026】(1)コイルのターン数を増加したにもか
かわらず、磁性層等の磁路長の増大が抑えられ、磁気効
率が良くなる。
(1) Although the number of turns of the coil is increased, the increase in the magnetic path length of the magnetic layer or the like is suppressed, and the magnetic efficiency is improved.

【0027】(2)コイルのターン数を増加したにもか
かわらず、コイル抵抗の増加が僅少であるためインピー
ダンスノイズの発生が抑えられ、S/Nが良くなる。
(2) Although the number of turns of the coil is increased, the increase of the coil resistance is small, so that the generation of impedance noise is suppressed and the S / N ratio is improved.

【0028】(3)コイルのターン数を増加したにもか
かわらず、コイルの層厚が厚くならず、磁性層等の乗り
越え段差の寸法に変化が無い。したがって、段差部での
磁性層のステップカバレージが悪化せず、膜形成時の結
晶成長の乱れや応力の集中が無く、軟磁気特性が損なわ
れることが無い。
(3) Although the number of turns of the coil is increased, the layer thickness of the coil is not increased, and the dimension of the step over the magnetic layer or the like is not changed. Therefore, the step coverage of the magnetic layer at the step portion is not deteriorated, the crystal growth is not disturbed during the film formation, the stress is not concentrated, and the soft magnetic characteristics are not deteriorated.

【0029】(4)磁気コンタクト部の面積が増大し、
磁気飽和が発生しにくい。
(4) The area of the magnetic contact portion increases,
Magnetic saturation hardly occurs.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 実施例の斜視図FIG. 1 is a perspective view of an embodiment.

【図2】 他の実施例の斜視図FIG. 2 is a perspective view of another embodiment.

【図3】 従来の磁気ヘッドの斜視図FIG. 3 is a perspective view of a conventional magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 下部磁性層 3,3a,3b 磁気コンタクト凸部 4 上部磁性層 5 磁気ギャップ 6 コイル 7 導体 8 トラック幅に相当する凸部 9 保護板 1 substrate 2 lower magnetic layer 3, 3a, 3b magnetic contact convex portion 4 upper magnetic layer 5 magnetic gap 6 coil 7 conductor 8 convex portion corresponding to track width 9 protective plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 富士弘 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Fujihiro Ito 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 上部磁性層と下部磁性層の間に、両磁性
層を磁気的に接続する磁気コンタクト部を少なくとも2
つ設け、各磁気コンタクト部を中心にしてその周囲にコ
イルを形成したことを特徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic contact portion for magnetically connecting both upper and lower magnetic layers to at least two magnetic layers.
A magnetic head characterized in that one coil is provided and a coil is formed around each magnetic contact portion.
JP21844191A 1991-08-29 1991-08-29 Magnetic head Withdrawn JPH0554330A (en)

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