JPH0548168A - Piezoelectric element - Google Patents
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- JPH0548168A JPH0548168A JP3204236A JP20423691A JPH0548168A JP H0548168 A JPH0548168 A JP H0548168A JP 3204236 A JP3204236 A JP 3204236A JP 20423691 A JP20423691 A JP 20423691A JP H0548168 A JPH0548168 A JP H0548168A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は圧電素子に係り、特に圧
電薄板の間に介装される内部電極と外部電極とを容易に
接続することを可能とした圧電素子に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric element, and more particularly to a piezoelectric element which can easily connect an internal electrode and an external electrode interposed between piezoelectric thin plates.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、超音波モータ等の分野でこの
超音波モータを駆動するために圧電素子が用いられてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, piezoelectric elements have been used to drive ultrasonic motors in the field of ultrasonic motors and the like.
【０００３】この圧電素子には、複数枚の圧電薄板を積
層するとともに、これら各圧電薄板の間に内部電極を介
設し、外部電極を介して前記内部電極に電圧を印加させ
ることにより、電歪効果を利用して前記圧電薄板を変形
させるようにした積層型の圧電素子が多く用いられてい
る。In this piezoelectric element, a plurality of piezoelectric thin plates are laminated, an internal electrode is provided between each of these piezoelectric thin plates, and a voltage is applied to the internal electrode via the external electrode to generate an electric current. A laminated piezoelectric element is often used in which the piezoelectric thin plate is deformed by utilizing a strain effect.
【０００４】図６および図７はこのような従来の圧電素
子を示したもので、この圧電素子１は、複数枚積層され
た圧電薄板２，２…を有しており、これら各圧電薄板２
の間には、それぞれ（＋）および（−）の内部電極３，
３…が交互に介設されている。前記各内部電極３は、
（＋）の内部電極３が圧電薄板２の一側面に、（−）の
内部電極３が圧電薄板２の他側面にそれぞれ露出するよ
うに形成されており、前記圧電薄板２の両側面には、前
記（＋）および（−）の内部電極３にそれぞれ独立して
接続される（＋）および（−）の外部電極４，４が固着
されている。FIGS. 6 and 7 show such a conventional piezoelectric element. The piezoelectric element 1 has a plurality of laminated piezoelectric thin plates 2, 2, ...
In between, the (+) and (-) internal electrodes 3,
3 ... are alternately provided. The internal electrodes 3 are
The (+) internal electrode 3 is formed on one side surface of the piezoelectric thin plate 2 and the (−) internal electrode 3 is formed on the other side surface of the piezoelectric thin plate 2, respectively. , (+) And (−) inner electrodes 3 are independently connected to (+) and (−) outer electrodes 4 and 4, respectively.
【０００５】しかし、前記従来の圧電素子１において
は、前記（＋）および（−）の各内部電極３が圧電薄板
２の全面に形成されていないため、各内部電極３の重な
り部分が圧電薄板２の全面積より小となり、圧電薄板２
の周辺部において各内部電極３が重ならない部分が生じ
てしまう。そのため、前記外部電極４に電圧を印加した
場合に、圧電薄板２の周辺部分の電界強度が弱くなって
しまい、この周辺部分における変形が適正に行なわれな
くなり、しかも、材料固有の歪み量を得ることができな
い等の問題があった。However, in the conventional piezoelectric element 1, since the (+) and (-) internal electrodes 3 are not formed on the entire surface of the piezoelectric thin plate 2, the overlapping portion of each internal electrode 3 is a piezoelectric thin plate. Piezoelectric thin plate 2
In the peripheral portion, there will be a portion where the internal electrodes 3 do not overlap. Therefore, when a voltage is applied to the external electrode 4, the electric field strength in the peripheral portion of the piezoelectric thin plate 2 becomes weak, the deformation in the peripheral portion is not properly performed, and the amount of strain peculiar to the material is obtained. There was a problem such as not being able to do it.
【０００６】図８は前記従来の問題を解決した特公昭６
３−１７３５４号公報に開示されている圧電素子を示し
たもので、この圧電素子１においては、複数枚の圧電薄
板２を積層するとともに、これら各圧電薄板２の間に圧
電薄板２の全面にわたって内部電極３を介設するように
なされている。また、前記圧電薄板２の２つの側面に
は、（＋）の内部電極３部分および（−）の内部電極３
部分にそれぞれ接続される銀ペースト等からなる接続板
５が形成されており、これら各接続板５部分には、
（＋）および（−）のワイヤ状の外部電極４が接続され
ている。[0006] FIG. 8 is a Japanese Patent Publication No.
3-17354 shows a piezoelectric element disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-17354. In this piezoelectric element 1, a plurality of piezoelectric thin plates 2 are laminated, and the piezoelectric thin plate 2 is entirely covered between the piezoelectric thin plates 2. The internal electrode 3 is provided. On the two side surfaces of the piezoelectric thin plate 2, the (+) internal electrode 3 portion and the (-) internal electrode 3 are provided.
Connection plates 5 made of silver paste or the like are formed to be connected to the respective parts.
The (+) and (-) wire-shaped external electrodes 4 are connected.
【０００７】また、図９および図１０は特開昭５９−１
２２２００号公報に開示された従来の他の圧電素子を示
したもので、内部電極３を介して積層された複数枚の圧
電薄板２の両側面には、（＋）の内部電極３に対応する
位置に孔部６が穿設された絶縁膜７および（−）の内部
電極３に対応する位置に孔部６が穿設された絶縁膜７が
それぞれ形成されており、これら各絶縁膜７の表面に
は、外部電極４が前記各孔部６部分を閉塞するように流
入して形成されている。これにより、前記各内部電極３
と外部電極４とを接続するようになされている。Further, FIGS. 9 and 10 are disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 59-1.
22 shows another conventional piezoelectric element disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 22200, in which both side surfaces of a plurality of piezoelectric thin plates 2 stacked via the internal electrodes 3 correspond to (+) internal electrodes 3. The insulating film 7 having the holes 6 formed at the positions and the insulating film 7 having the holes 6 formed at the positions corresponding to the (−) internal electrodes 3 are formed. The external electrodes 4 are formed on the surface so as to flow into the holes 6 so as to close the holes 6. As a result, each of the internal electrodes 3
And the external electrode 4 are connected.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記特公昭６
３−１７３５４号公報に開示されている従来の圧電素子
１においては、各内部電極３に接続された接続板５にワ
イヤ状の外部電極４を接続するようにしているので、外
部電極４の接続作業が極めて困難であり、容易に製造す
ることができないという問題を有している。このこと
は、少ない印加電圧で効率よく大きな変位を得るため
に、圧電薄板２の厚さを薄く形成した場合に、特に顕著
となってしまう。However, the aforementioned Japanese Patent Publication Sho 6
In the conventional piezoelectric element 1 disclosed in Japanese Patent Publication No. 3-17354, since the wire-shaped external electrode 4 is connected to the connection plate 5 connected to each internal electrode 3, the external electrode 4 is connected. There is a problem that the work is extremely difficult and cannot be easily manufactured. This becomes particularly remarkable when the piezoelectric thin plate 2 is formed to be thin in order to efficiently obtain a large displacement with a small applied voltage.
【０００９】また、特開昭５９−１２２２００号公報に
開示されている従来の圧電素子１においては、圧電薄板
２の両側面に所定位置に孔部６が穿設された絶縁膜７を
形成した後、絶縁膜７の表面に、外部電極４をその孔部
６部分を閉塞するように形成するようにしているので、
絶縁膜７を形成する工程が必要であり、製造が困難であ
り、容易に製造することができないという問題を有して
いる。しかも、上述のように圧電薄板２の厚さを薄く形
成した場合に、外部電極４を流入する絶縁膜７の孔部６
も小さく形成する必要があるため、外部電極４を孔部６
内に完全に流入させることが困難で、内部電極３と外部
電極４との接続不良が生じてしまうという問題をも有し
ている。Further, in the conventional piezoelectric element 1 disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-122200, the insulating film 7 having the holes 6 formed at predetermined positions is formed on both side surfaces of the piezoelectric thin plate 2. After that, since the external electrode 4 is formed on the surface of the insulating film 7 so as to close the hole 6 portion,
There is a problem that the process of forming the insulating film 7 is necessary, the manufacturing is difficult, and the manufacturing is not easy. Moreover, when the piezoelectric thin plate 2 is formed thin as described above, the holes 6 of the insulating film 7 into which the external electrodes 4 flow are introduced.
Since it is necessary to make the external electrode 4 small,
There is also a problem that it is difficult to completely flow into the inside, and a connection failure between the internal electrode 3 and the external electrode 4 occurs.
【００１０】本発明は前記した点に鑑みてなされたもの
で、内部電極と外部電極との接続作業を容易に行なうこ
とができ、容易に製造することのできる圧電素子を提供
することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric element which can easily connect the internal electrode and the external electrode and can be easily manufactured. To do.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明に係る圧電素子は、複数枚積層された圧電薄板の
間にそれぞれ内部電極を介設するとともに、前記各内部
電極にそれぞれ外部電極を接続してなる圧電素子におい
て、外部電極配線とそれらを結ぶ接続配線とを備えた外
部電極部材を配設し、この外部電極部材を前記圧電薄板
の側面に固着することにより前記内部電極と前記外部電
極配線とを接続するようにしたことをその特徴とするも
のである。In order to achieve the above-mentioned object, a piezoelectric element according to the present invention has an internal electrode provided between a plurality of laminated piezoelectric thin plates, and each internal electrode is provided with an external electrode. In the piezoelectric element formed by connecting the external electrodes, the external electrode member having the external electrode wiring and the connection wiring connecting the external electrode wiring is provided, and the external electrode member is fixed to the side surface of the piezoelectric thin plate, thereby the internal electrode and the It is characterized in that the external electrode wiring is connected.
【００１２】[0012]
【作用】本発明によれば、圧電薄板の側面に外部電極配
線が形成された外部電極部材を固着するだけで、容易に
内部電極と外部電極との接続を行なうことができ、しか
も、絶縁膜の形成作業等が不要となるので、圧電素子を
極めて容易に製造することができるものである。According to the present invention, the internal electrode and the external electrode can be easily connected by simply fixing the external electrode member having the external electrode wiring formed on the side surface of the piezoelectric thin plate, and the insulating film is formed. The piezoelectric element can be manufactured extremely easily because the formation work of the above is unnecessary.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図６を参照
して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１４】図１および図２は本発明に係る圧電素子の
一実施例を示したもので、この圧電素子１は、約５００
μｍ程度の厚さを有するセラミック等からなる圧電薄板
２，２…を複数枚積層することにより形成されており、
これら各圧電薄板２の間には、交互にそれぞれ（＋）電
極および（−）電極とされた内部電極３，３…が介設さ
れている。1 and 2 show an embodiment of the piezoelectric element according to the present invention.
It is formed by laminating a plurality of piezoelectric thin plates 2, 2 ...
Internal electrodes 3, 3 ... Which are alternately (+) electrodes and (-) electrodes are interposed between the respective piezoelectric thin plates 2.
【００１５】また、本実施例においては、図２に示すよ
うに、前記圧電薄板２と別個に２つの外部電極部材８，
８が設けられており、一方は、（＋）の外部電極部材８
とされるとともに、他方は、（−）の外部電極部材８と
されている。この外部電極部材８は、ガラス板、ベーク
板あるいはポリイミドフィルム等からなる四角柱状の絶
縁部材９を有しており、この絶縁部材９の３つの側面に
は、銅あるいは銀等からなる外部電極配線１０，１０…
が印刷あるいはスパッタリング等の手段によりコ字状
に、かつ、厚さおよび幅寸法が約３０μｍ程度に形成さ
れている。また、この外部電極配線１０は、（＋）の外
部電極部材８については（＋）の内部電極３に対応する
位置および間隔で形成されるとともに、（−）の外部電
極部材８については（−）の内部電極３に対応する位置
および間隔で形成されている。さらに、前記各外部電気
部材の上側面には、各外部電極配線１０を連結する接続
配線１１，１１が外部電極部材８の長手方向に沿って形
成されている。Further, in this embodiment, as shown in FIG. 2, two external electrode members 8 are provided separately from the piezoelectric thin plate 2.
8 is provided, and one is the (+) external electrode member 8
And the other is the (-) external electrode member 8. The external electrode member 8 has a rectangular columnar insulating member 9 made of a glass plate, a baking plate, a polyimide film or the like, and the external electrode wiring made of copper or silver is provided on three side surfaces of the insulating member 9. 10, 10 ...
Is formed in a U-shape and has a thickness and a width of about 30 μm by means such as printing or sputtering. The external electrode wirings 10 are formed at positions and intervals corresponding to the (+) internal electrodes 3 for the (+) external electrode members 8 and (-) for the (-) external electrode members 8. ) Are formed at positions and intervals corresponding to the internal electrodes 3). Furthermore, on the upper side surface of each external electric member, connection wirings 11, 11 for connecting each external electrode wiring 10 are formed along the longitudinal direction of the external electrode member 8.
【００１６】そして、前記構成の（＋）および（−）の
外部電極部材８を前記圧電薄板２の一側面に接着剤等に
より貼着することにより、各外部電極部材８の外部電極
配線１０と各内部電極３とを接続するようになされてい
る。Then, the (+) and (-) external electrode members 8 having the above structure are attached to one side surface of the piezoelectric thin plate 2 with an adhesive or the like, so that the external electrode wirings 10 of the external electrode members 8 are formed. The internal electrodes 3 are connected to each other.
【００１７】したがって、本実施例においては、圧電薄
板２の側面に外部電極配線１０が形成された外部電極部
材８を固着するだけで、容易に内部電極３と外部電極と
の接続を行なうことができ、しかも、絶縁膜の形成作業
等が不要となるので、圧電素子１を極めて容易に製造す
ることができる。Therefore, in this embodiment, the internal electrode 3 and the external electrode can be easily connected by simply fixing the external electrode member 8 having the external electrode wiring 10 formed on the side surface of the piezoelectric thin plate 2. Moreover, since the work of forming the insulating film is not necessary, the piezoelectric element 1 can be manufactured extremely easily.
【００１８】また、図３は本発明の他の実施例を示した
もので、本実施例においても前記実施例と同様に、
（＋）および（−）の外部電極部材８が圧電薄板２と別
個に設けられており、この外部電極部材８を構成する絶
縁部材９の上面端縁部には、銅あるいは銀等からなる接
続配線１１が形成されている。FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment as well, as in the above embodiment,
The (+) and (-) external electrode members 8 are provided separately from the piezoelectric thin plate 2, and a connection made of copper, silver, or the like is connected to the upper edge portion of the insulating member 9 that constitutes the external electrode member 8. The wiring 11 is formed.
【００１９】本実施例においては、前記各外部電極部材
８を圧電薄板２の両側面上部に面一となるように固着し
た後、前記各内部電極３と接続配線１１とを接続する外
部電極配線１０を形成するようになされている。この外
部電極配線１０は、例えば、導電性ペーストをスクリー
ン印刷により塗布することにより形成するか、あるい
は、マスクを形成して簡易蒸着装置により銅を蒸着する
ことにより形成されるものである。In this embodiment, the external electrode members 8 are fixed to the upper portions of both side surfaces of the piezoelectric thin plate 2 so as to be flush with each other, and then the external electrode wirings for connecting the internal electrodes 3 and the connection wirings 11 to each other. 10 is formed. The external electrode wiring 10 is formed, for example, by applying a conductive paste by screen printing, or by forming a mask and depositing copper by a simple vapor deposition device.
【００２０】したがって、本実施例においても前記実施
例と同様に、容易に内部電極３と外部電極との接続を行
なうことができ、しかも、絶縁膜の形成作業等が不要と
なるので、圧電素子１を極めて容易に製造することがで
きる。Therefore, in this embodiment as well, similarly to the above-described embodiments, the internal electrodes 3 and the external electrodes can be easily connected, and the work of forming an insulating film is not necessary, so that the piezoelectric element is not required. 1 can be manufactured very easily.
【００２１】なお、前記外部電極部材８に外部電極配線
１０をあらかじめ形成しておき、前記圧電薄板２に固着
することにより、内部電極３と外部電極配線１０とを接
続するようにしてもよい。The external electrode wiring 10 may be formed in advance on the external electrode member 8 and fixed to the piezoelectric thin plate 2 to connect the internal electrode 3 and the external electrode wiring 10.
【００２２】さらに、図４および図５は本発明のさらに
他の実施例を示したもので、内部電極３が介装された圧
電薄板２より大きな面積を有する板状の絶縁部材９から
なる外部電極部材８を別個に設け、この外部電極部材８
の上面一側部には、図５に示すように、（＋）の内部電
極３に接続するための（＋）の外部電極配線１０が形成
されており、前記外部電極部材８の外部電極配線１０の
端部には、前記圧電薄板２が重ならない位置において前
記各外部電極配線１０を連結する接続配線１１が形成さ
れている。また、前記外部電極部材８の上面他側部に
は、（−）の内部電極３に接続するための（−）の外部
電極配線１０およびこの外部電極配線１０を連結する接
続配線１１が形成されている。Further, FIGS. 4 and 5 show still another embodiment of the present invention, which is composed of a plate-shaped insulating member 9 having a larger area than the piezoelectric thin plate 2 having the internal electrodes 3 interposed therebetween. The electrode member 8 is provided separately, and the external electrode member 8
As shown in FIG. 5, a (+) external electrode wiring 10 for connecting to the (+) internal electrode 3 is formed on one side of the upper surface of the external electrode member 8. A connection wire 11 is formed at the end of 10 to connect the external electrode wires 10 at a position where the piezoelectric thin plates 2 do not overlap each other. On the other side of the upper surface of the external electrode member 8, (−) external electrode wirings 10 for connecting to the (−) internal electrodes 3 and connection wirings 11 for connecting the external electrode wirings 10 are formed. ing.
【００２３】そして、前記外部電極部材８の上面に、内
部電極３が介設された圧電薄板２を載置固着することに
より、前記内部電極３と外部電極部材８の外部電極配線
１０とを接続するようになされている。Then, by mounting and fixing the piezoelectric thin plate 2 on which the internal electrode 3 is provided on the upper surface of the external electrode member 8, the internal electrode 3 and the external electrode wiring 10 of the external electrode member 8 are connected. It is designed to do.
【００２４】なお、前記外部電極部材８の両側縁部に
は、（＋）および（−）の外部電極配線１０を外部に取
出すための取出し端子１２を形成することができる。In addition, extraction terminals 12 for extracting the (+) and (-) external electrode wirings 10 to the outside can be formed on both side edges of the external electrode member 8.
【００２５】したがって、本実施例においても、前記各
実施例と同様に、圧電薄板２に外部電極配線１０が形成
された外部電極部材８を固着するだけで、容易に内部電
極３と外部電極との接続を行なうことができ、しかも、
絶縁膜の形成作業等が不要となるので、圧電素子１を極
めて容易に製造することができる。さらに、外部電極部
材８が一体であるため、部材点数の低減を図ることがで
き、しかも、（＋）、（−）の外部電極配線１０を同時
に形成することができ、製造工程の高効率化を図ること
ができ、材料コストの低減を図ることができる。Therefore, also in this embodiment, similarly to each of the above-described embodiments, by simply fixing the external electrode member 8 having the external electrode wiring 10 formed on the piezoelectric thin plate 2, the internal electrode 3 and the external electrode can be easily connected. Connection can be made, and
Since the work of forming the insulating film is not necessary, the piezoelectric element 1 can be manufactured extremely easily. Further, since the external electrode member 8 is integrated, it is possible to reduce the number of members, and at the same time, it is possible to simultaneously form the (+) and (-) external electrode wirings 10, thereby improving the efficiency of the manufacturing process. Therefore, the material cost can be reduced.
【００２６】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて種々変更することができるも
のである。The present invention is not limited to the above embodiment, but various modifications can be made as necessary.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上述べたように本発明に係る圧電素子
は、圧電薄板の側面に外部電極配線が形成された外部電
極部材を固着するだけで、容易に内部電極と外部電極と
の接続を行なうことができ、しかも、絶縁膜の形成作業
等が不要となるので、圧電素子を極めて容易に製造する
ことができる等の効果を奏する。As described above, the piezoelectric element according to the present invention can easily connect the internal electrode and the external electrode only by fixing the external electrode member having the external electrode wiring formed on the side surface of the piezoelectric thin plate. Since it can be performed and the work of forming an insulating film is not necessary, the piezoelectric element can be manufactured very easily.
【図１】本発明に係る圧電素子の一実施例を示す一部の
斜視図FIG. 1 is a partial perspective view showing an embodiment of a piezoelectric element according to the present invention.
【図２】図２（ａ）は図１の外部電極部材を示す一部の
斜視図、図２（ｂ）は図２（ａ）の正面図2 (a) is a partial perspective view showing the external electrode member of FIG. 1, and FIG. 2 (b) is a front view of FIG. 2 (a).
【図３】本発明の他の実施例を示す一部の斜視図FIG. 3 is a partial perspective view showing another embodiment of the present invention.
【図４】本発明の他の実施例を示す一部の斜視図FIG. 4 is a partial perspective view showing another embodiment of the present invention.
【図５】図４の外部電極部材を一部の斜視図5 is a partial perspective view of the external electrode member of FIG.
【図６】従来の圧電素子を示す縦断面図FIG. 6 is a vertical sectional view showing a conventional piezoelectric element.
【図７】図６の平面図7 is a plan view of FIG.
【図８】従来の他の圧電素子を示す斜視図FIG. 8 is a perspective view showing another conventional piezoelectric element.
【図９】従来の他の圧電素子を示す斜視図FIG. 9 is a perspective view showing another conventional piezoelectric element.
【図１０】図９の外部電極を形成した状態を示す斜視図FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the external electrodes of FIG. 9 are formed.
１ 圧電素子 ２ 圧電薄板 ３ 内部電極 ８ 外部電極部材 ９ 絶縁部材 １０ 外部電極配線 １１ 接続配線 1 Piezoelectric element 2 Piezoelectric thin plate 3 Internal electrode 8 External electrode member 9 Insulating member 10 External electrode wiring 11 Connection wiring
Claims (1)
れ内部電極を介設するとともに、前記各内部電極にそれ
ぞれ外部電極を接続してなる圧電素子において、外部電
極配線とそれらを結ぶ接続配線とを備えた外部電極部材
を配設し、この外部電極部材を前記圧電薄板の側面に固
着することにより前記内部電極と前記外部電極配線とを
接続するようにしたことを特徴とする圧電素子。1. A piezoelectric element comprising an internal electrode interposed between a plurality of laminated piezoelectric thin plates, and an external electrode connected to each internal electrode. External electrode wiring and connection wiring connecting them. A piezoelectric element, comprising: disposing an external electrode member having: and fixing the external electrode member to a side surface of the piezoelectric thin plate to connect the internal electrode and the external electrode wiring.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204236A JPH0548168A (en) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | Piezoelectric element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204236A JPH0548168A (en) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | Piezoelectric element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0548168A true JPH0548168A (en) | 1993-02-26 |
Family
ID=16487106
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3204236A Withdrawn JPH0548168A (en) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | Piezoelectric element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0548168A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010164108A (en) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | Diaphragm type actuator, multiple layer diaphragm type actuator, and air spring structure |
-
1991
- 1991-08-14 JP JP3204236A patent/JPH0548168A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010164108A (en) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | Diaphragm type actuator, multiple layer diaphragm type actuator, and air spring structure |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |