JPH0545301A - Defect inspecting apparatus - Google Patents
Defect inspecting apparatusInfo
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- JPH0545301A JPH0545301A JP3206043A JP20604391A JPH0545301A JP H0545301 A JPH0545301 A JP H0545301A JP 3206043 A JP3206043 A JP 3206043A JP 20604391 A JP20604391 A JP 20604391A JP H0545301 A JPH0545301 A JP H0545301A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産上の利用分野】本発明は、ラインＣＣＤカメラなど
のセンサで読み取った画像に含まれる異物、汚れ、キ
ズ、黒点、ピンホール、フィッシュアイなどの欠陥数の
カウント、サイズの測定を、高速で行う欠陥検査装置に
関し、特に、検査領域と非検査領域を判別しながら欠陥
の測定が必要な分野で利用する、例えば、複数個の印刷
パターンに含まれるピンホール検査などの分野で利用す
る欠陥検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is capable of counting the number of defects such as foreign matter, stains, scratches, black spots, pinholes, fisheyes, etc. contained in an image read by a sensor such as a line CCD camera and measuring the size at high speed. In particular, the defect inspection apparatus for use in the field where the defect needs to be measured while discriminating between the inspection area and the non-inspection area, for example, the defect used in the field such as a pinhole inspection included in a plurality of print patterns. Regarding inspection equipment.
【０００２】[0002]
【従来の技術】画像データに含まれる欠陥を測定する装
置として、以下に示すラベリングの処理手段を用いる画
像処理装置（例えば、通産省の電子技術総合研究所で開
発された画像処理パッケージ「ＳＰＩＤＥＲ」など）が
ある。このラベリング処理は、まず、２値化画像に対し
て、「１」が見つかるまでスキャンし、「１」が検出さ
れたら、その値をまだ使用されていない最小の値Ｌに変
更する。次に、Ｌの近傍にある「１」をＬに変更する。
Ｌと離れた「１」については新しいラベルを付けること
を繰り返す。スキャンが終了した時点のラベルの値が、
「１」のパターンの数とするものである。2. Description of the Related Art As an apparatus for measuring defects contained in image data, an image processing apparatus using the following labeling processing means (for example, an image processing package "SPIDER" developed by the Institute of Electronics Technology, Ministry of International Trade and Industry) ). In this labeling process, first, the binary image is scanned until "1" is found, and when "1" is detected, the value is changed to the minimum value L which has not been used yet. Then, "1" near L is changed to L.
A new label is repeated for "1" apart from L. The value of the label at the end of the scan is
This is the number of "1" patterns.
【０００３】次いで、ランレングス符号化と連結性処理
と行って、欠陥を測定する装置（例えば、日本電気
（株）製画像処理装置「ＳＣ４ＫＭ」など）がある。Next, there is an apparatus (for example, an image processing apparatus "SC4KM" manufactured by NEC Corporation) for measuring defects by performing run-length coding and connectivity processing.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のラベリングの処
理手段を用いる画像処理装置では、（ａ）ラベリング用
の多値メモリが必要であること、（ｂ）上記処理装置の
メモリにより、カウントできる最大値が決定されること
（例えば、８ビット／画素であれば、２５６個までしか
カウントできないこと）、（ｃ）画像データに含まれる
欠陥を測定するために、画像メモリを複数回参照するこ
とが必要となることなどの不都合がある。The image processing apparatus using the conventional labeling processing means requires (a) a multi-valued memory for labeling, and (b) the maximum countable by the memory of the processing apparatus. The value is determined (for example, 8 bits / pixel can only count up to 256), and (c) the image memory can be referred to multiple times in order to measure defects contained in the image data. There is an inconvenience such as being necessary.
【０００５】また、従来技術のランレングス符号化と連
結性処理と行って欠陥を測定する装置では、上述の問題
はないが、検査領域と非検査領域の判別ができないとい
う不都合がある。Further, the conventional apparatus for measuring defects by performing run-length coding and connectivity processing does not have the above-mentioned problem, but has a disadvantage that the inspection area and the non-inspection area cannot be discriminated.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、ランレングス
符号化技術を利用した１パス連結性処理を行って、欠陥
測定の前処理として、検査領域と非検査領域の判別を行
う手段を付加するすれば、この発明の課題解決に有効で
あることを見い出しこの発明を完成するに至った。According to the present invention, a means for performing a one-pass connectivity process using a run-length coding technique and discriminating an inspection region from a non-inspection region is added as a pre-process for defect measurement. By doing so, they have found that they are effective in solving the problems of the present invention, and completed the present invention.
【０００７】すなわち、この発明の欠陥検査装置は、ラ
インＣＣＤカメラにより、移動する検査対象物の画像を
読み取ったアナログ画像データを、２値化して２値化画
像データから該検査対象物の欠陥を測定する欠陥検査装
置であって、２値化画像データの変化点アドレスを得て
ランレングス符号とするランレングス符号化手段と、ラ
ンレングス符号の連結性処理を行い、非検査領域と検査
領域を判別する判別手段と、判別手段で検査領域と判別
されたランレングス符号について連結性処理を行い欠陥
を測定する手段とを備えていることを特徴とするもので
ある。That is, the defect inspection apparatus of the present invention binarizes analog image data obtained by reading an image of a moving inspection object by a line CCD camera, and detects defects of the inspection object from the binarized image data. A defect inspection apparatus for measuring, wherein a run-length encoding means for obtaining a change point address of binary image data to obtain a run-length code and a connectivity process of the run-length code are performed, and a non-inspection area and an inspection area are formed. It is characterized in that it is provided with a discriminating means for discriminating and a means for measuring a defect by performing connectivity processing on the run-length code discriminated as an inspection area by the discriminating means.
【０００８】[0008]
【作用】この発明の欠陥検査装置では、ラインＣＣＤカ
メラにより、移動する検査対象物の画像を読み取ったア
ナログ画像データを２値化し、２値化画像データの変化
点アドレスを得てランレングス符号化手段でランレング
ス符号とし、ランレングス符号の連結性処理を行い、非
検査領域と検査領域を判別し、検査領域と判別されたラ
ンレングス符号について連結性処理を行い検査対象物の
欠陥を測定する。In the defect inspection apparatus of the present invention, the line CCD camera binarizes analog image data obtained by reading an image of a moving inspection object, obtains a change point address of the binarized image data, and performs run-length encoding. The run length code is processed by the means, the connectivity processing of the run length code is performed, the non-inspection area and the inspection area are discriminated, and the connectivity processing is performed on the run length code discriminated as the inspection area to measure the defect of the inspection object. .
【０００９】[0009]
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
る。図１は、本発明の装置構成の一例を示すブロック図
である。The present invention will be described in detail below with reference to examples. FIG. 1 is a block diagram showing an example of a device configuration of the present invention.
【００１０】１は、ラインＣＣＤカメラであり、素子数
が８１９２素子以下のものが接続可能である。２は、画
像処理回路である。３は、Ａ／Ｄコンバータであり、Ｃ
ＣＤカメラの信号を、８ビットでＡ／Ｄ変換する。Reference numeral 1 denotes a line CCD camera to which 8192 or less elements can be connected. Reference numeral 2 is an image processing circuit. 3 is an A / D converter, C
The signal of the CD camera is A / D converted with 8 bits.
【００１１】１２は、基準値メモリであり、ラインＣＣ
Ｄカメラ１の画像データを、１行分記録するメモリであ
る。１１は、閾値メモリであり、ラインＣＣＤカメラ１
の素子毎の閾値を設定する。例えば、固定値を指定する
場合は、同一値を閾値メモリ１１に記憶させる。また、
ラインＣＣＤカメラ１の素子間バラツキ、照明の斑、レ
ンズの歪みなどを補正する場合は、閾値を透過率、ある
いは、反射率として指定する。このときは、基準値メモ
リ１２に透過率、あるいは、反射率が均一である被写体
を読み取った画像データを記憶させ、この画像データと
透過率、あるいは、反射率の積を閾値メモリ１１に記録
する。Reference numeral 12 is a reference value memory, which is a line CC.
This is a memory for recording one line of image data of the D camera 1. Reference numeral 11 denotes a threshold memory, which is a line CCD camera 1
The threshold value for each element is set. For example, when a fixed value is designated, the same value is stored in the threshold memory 11. Also,
When correcting variations between elements of the line CCD camera 1, illumination spots, lens distortion, etc., the threshold value is designated as the transmittance or the reflectance. At this time, the reference value memory 12 stores image data obtained by reading a subject having uniform transmittance or reflectance, and the product of this image data and the transmittance or reflectance is recorded in the threshold memory 11. ..
【００１２】４は、コンパレータであり、Ａ／Ｄコンバ
ータ３の出力を、閾値メモリ１１の値により、論理指定
７に合わせて２値化する。Reference numeral 4 is a comparator, which binarizes the output of the A / D converter 3 according to the logic designation 7 by the value of the threshold memory 11.
【００１３】５は、ランレングス符号化回路であり、コ
ンパレータ４から出力された２値化データを、ランレン
グス符号化する。６は、画像処理回路２内のメモリであ
り、ＣＰＵの主メモリと同様に使用できる。７は、論理
指定であり、白を検出する場合は０、黒を検出する場合
は１をセットする。８は、ライン数指定であり、ランレ
ングス符号化回路５の処理ライン数の単位をセットす
る。Reference numeral 5 is a run-length coding circuit, which performs run-length coding on the binarized data output from the comparator 4. Reference numeral 6 denotes a memory in the image processing circuit 2, which can be used similarly to the main memory of the CPU. 7 is a logical designation, and 0 is set when white is detected, and 1 is set when black is detected. Reference numeral 8 designates the number of lines, and sets the unit of the number of processing lines of the run length encoding circuit 5.
【００１４】９は、ランレングスバッファであり、容量
は、１２８ＫＢで２系列あり、交互に使用する。ランレ
ングス符号は２バイト／個であるため、１２８Ｋ／４個
の欠陥数まで記憶できる。１０は、ランレングスバッフ
ァ切替指定であり、ランレングス符号化回路５が使用す
るランレングスバッファ９を切り替える。なお、これと
反対の系列が、連結性処理で使用するランレングスバッ
ファ９である。Numeral 9 is a run length buffer having a capacity of 128 KB and two series, which are used alternately. Since the run length code is 2 bytes / piece, it is possible to store up to 128K / 4 defects. Reference numeral 10 designates run-length buffer switching, which switches the run-length buffer 9 used by the run-length encoding circuit 5. The series opposite to this is the run-length buffer 9 used in the connectivity processing.
【００１５】１３はＲＡＭ（１ＭＢ）、１４はＲＯＭ
（６４ＫＢ）、１５はＣＰＵである。１６はＲＳ−２３
２Ｃインターフェイスであり、ホストＣＰＵ１７と、検
査条件、検査結果のデータ転送を行う。ホストＣＰＵ１
７では、画像処理回路２に対する検査条件の設定、検査
結果の表示などを行う。13 is a RAM (1 MB), 14 is a ROM
(64 KB), 15 is a CPU. 16 is RS-23
It is a 2C interface and transfers data of inspection conditions and inspection results with the host CPU 17. Host CPU1
At 7, the inspection conditions are set for the image processing circuit 2 and the inspection results are displayed.
【００１６】欠陥測定の流れを示す図２に示す。図２
（ａ）は、本発明の特徴が発揮できる検査物であり、透
明なフィルム、ガラスなどの上に複数個の範囲で印刷が
施されている。この図では、４個の印刷部内のうち、２
個に欠陥であるピンホールが含まれている。FIG. 2 shows the flow of defect measurement. Figure 2
(A) is an inspection product that can exhibit the features of the present invention, and is printed in a plurality of ranges on a transparent film, glass, or the like. In this figure, 2 out of 4 printing units
Each of them contains a defective pinhole.
【００１７】図２（ｂ）は、図２（ａ）に示した読取位
置の１行分のＣＣＤ出力波形を示している。印刷部は低
出力であり、ピンホールと非印刷部が高出力となってい
る。FIG. 2B shows a CCD output waveform for one row at the reading position shown in FIG. 2A. The print section has low output, and the pinhole and non-print section have high output.
【００１８】図２（ｃ）は、図２（ｂ）に示した閾値で
２値化したデータを示している。白部分が「１」、黒部
分が「０」である。この段階では、ピンホールと非印刷
部の判別はできていない。FIG. 2 (c) shows data binarized with the threshold values shown in FIG. 2 (b). The white part is "1" and the black part is "0". At this stage, the pinhole and the non-printed part cannot be discriminated.
【００１９】以下に、図２の例でのランレングス符号化
した前処理データを示す。この前処理データにより、Ｃ
ＣＤカメラで読み取ったランレングス符号が、検査領域
にあるか否かを判別する。 n-1行（d1s,d1e,d1a,d1c,.....dls,dle,dla,
dlc,.....） n 行（c1s,c1e,c1a,c1c,.....cls,cle,cla,
clc,.....）The run-length encoded preprocessed data in the example of FIG. 2 is shown below. With this pre-processed data, C
It is determined whether or not the run length code read by the CD camera is in the inspection area. line n-1 (d 1s , d 1e , d 1a , d 1c , ..... d ls , d le , d la ,
d lc , .....) n lines (c 1s , c 1e , c 1a , c 1c , ..... c ls , c le , c la ,
c lc , .....)
【００２０】上記の前処理データは、ｎ−１行目とｎ行
目の２行分ランレングス符号からなる。ｎ−１行目を
ｄ、ｎ行目をｃで示している。ｎ−１行目の各ランレン
グス符号の意味は下記の通りである。 ｄls：n-1行目のl番目のランレングス符号の始点 ｄle：n-1行目のl番目のランレングス符号の終点 ｄla：n-1行目のl番目のランレングス符号の（終点−始
点）であり、連結性処理でこの値を加算することによ
り、欠陥の面積が測定できる。 ｄlc：n-1行目のl番目のランレングス符号が、検査領域
か非検査領域かの判別結果を示している。「０」が検査
領域、「１」が非検査領域である。The above-mentioned preprocessed data consists of run length codes for the n-1th row and the nth row for the second row. The n-1th line is indicated by d, and the nth line is indicated by c. The meaning of each run length code in the (n-1) th row is as follows. d ls : start point of l-th run length code on the n-1th line d le : end point of l-th run length code on the n-1th line d la : of l-th run length code on the n-1st line (End point-start point), and the area of the defect can be measured by adding this value in the connectivity processing. d lc : The l-th run length code on the (n-1) th row indicates the determination result of the inspection area or the non-inspection area. “0” is the inspection area, and “1” is the non-inspection area.
【００２１】次に、前処理後の検査領域と非検査領域が
判別された欠陥測定データを示す。ここで、検査領域の
ランレングス符号のみについて測定を行う。 n-1行（a1s,a1e,a1a,a1c,.....ais,aie,aia,
aic,.....） n 行（b1s,b1e,b1a,b1c,.....bjs,bje,bja,
bjc,.....）Next, the defect measurement data in which the inspection area and the non-inspection area after the pretreatment are discriminated are shown. Here, the measurement is performed only for the run length code in the inspection area. line n-1 (a 1s , a 1e , a 1a , a 1c , ..... a is , a ie , a ia ,
a ic , .....) n lines (b 1s , b 1e , b 1a , b 1c , ..... b js , b je , b ja ,
b jc , .....)
【００２２】なお、印刷部の下部に凹がある部分は、上
記の前処理では、検査領域と判別される。このため、検
査領域の白部分が非検査領域と連結している場合は欠陥
として測定しない。上述に説明した画像処理で、印刷部
の周辺形状に凹凸がある場合でも、印刷部内にあるピン
ホールを測定することができる。Incidentally, the concave portion at the lower part of the printing portion is discriminated as the inspection area in the above-mentioned preprocessing. Therefore, if the white portion of the inspection area is connected to the non-inspection area, it is not measured as a defect. With the image processing described above, even if the peripheral shape of the printing unit has irregularities, pinholes in the printing unit can be measured.
【００２３】図３は、本発明の画像処理例を説明するた
めのパターンを示している。このパターンは非印刷部、
印刷部、印刷部内のピンホールが含まれている基本的な
パターンであり、７素子、７ライン分の画像データから
なる。FIG. 3 shows a pattern for explaining an image processing example of the present invention. This pattern is the non-printed part,
It is a basic pattern that includes a print section and pinholes in the print section, and consists of image data for 7 elements and 7 lines.
【００２４】表１は、図３の画像処理を行った場合のラ
ンレングス符号の流れを示している。Table 1 shows the flow of run length codes when the image processing of FIG. 3 is performed.
【００２５】[0025]
【表１】 [Table 1]
【００２６】ランレングス符号は、４個で１組のデータ
となっている。以下の手順により、画像処理を行う。Four run length codes form one set of data. Image processing is performed by the following procedure.
【００２７】（イ） 初期値は、次の２点である。 （ａ） 前処理データのｎ−１行目は、全て非印刷部と
するため（１，８，７，１）とする。 （ｂ） 欠陥測定データのｎ−１行目は、欠陥が含まれ
ない状態とするため（８，８，０，０）とする。一般的
には、（ｎ＋１，ｎ＋１，０，０）とする。ここで、ｎ
は、使用しているＣＣＤカメラの素子数である。 （ロ） ライン１で、ＣＣＤカメラのデータが入力され
る。 前処理データのｎ行目は、全て「１」であるため（１，
８，７，０）である。 （ハ） ライン１で、検査領域と非検査領域の判別を行
う。 上記（ロ）は、ｎ−１行目と連結しているため、検査領
域と判別され（１，８，７，１）として、欠陥測定デー
タのｎ行目、および、ライン２の前処理データのｎ−１
行目に移動する。 （ニ） ライン１の欠陥を測定する。 ｎ行目のデータは、非検査領域であるため、欠陥測定は
行わない。次に、ライン２以降について（ロ）〜（ハ）
と同様の画像処理を行う。(A) The initial values are the following two points. (A) The (n-1) th line of the preprocessed data is (1, 8, 7, 1) because it is the non-printed portion. (B) The (n-1) th row of the defect measurement data is set to (8,8,0,0) so that no defect is contained. Generally, it is set to (n + 1, n + 1,0,0). Where n
Is the number of elements of the CCD camera used. (B) In line 1, data from the CCD camera is input. Since the nth row of the preprocessed data is all "1" (1,
8, 7, 0). (C) In line 1, the inspection area and the non-inspection area are discriminated. Since the above (b) is connected to the n-1th line, it is determined as the inspection area (1, 8, 7, 1), and the preprocessed data of the nth line of the defect measurement data and the line 2 is determined. N-1
Move to the line. (D) The defect in line 1 is measured. Since the data in the nth row is a non-inspection area, no defect measurement is performed. Next, regarding line 2 and after (b) to (c)
Perform the same image processing as.
【００２８】ライン５では、検査領域のピンホールのラ
ンレングス符号がｎ−１行目で（４，５，１，０）とな
っており、ｎ行目に欠陥データがないため、面積１のピ
ンホールとして測定されることになる。ライン７でも、
前記と同様、ランレングス符号がｎ−１行目で（４，
５，１，０）となっているが、ｎ行目の非検査領域であ
る（１，８，７，１）と連結しているため、欠陥測定は
行わない。In line 5, the run length code of the pinhole in the inspection area is (4,5,1,0) in the n-1th row, and there is no defective data in the nth row. It will be measured as a pinhole. Even on line 7,
Similar to the above, the run-length code is (n-4) th line (4,
5, 1, 0), but the defect is not measured because it is connected to the non-inspection area (1, 8, 7, 7,) in the n-th row.
【００２９】以上の画像処理を繰り返すことにより、非
検査領域と、検査領域にある欠陥の判別を行いながら測
定することが可能となる。By repeating the above image processing, it is possible to perform measurement while discriminating between the non-inspection area and the defect in the inspection area.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明は、検査領域と非検査領域を判別
しながら欠陥の測定が可能であり、例えば、複数個の印
刷パターンに含まれるピンホール検査などの分野で、検
査装置としての有効である。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is capable of measuring defects while discriminating between an inspection area and a non-inspection area. For example, it is effective as an inspection device in the field of pinhole inspection included in a plurality of print patterns. Is.
【図１】図１は、本発明の装置構成の一例を示すブロッ
ク図である。FIG. 1 is a block diagram showing an example of a device configuration of the present invention.
【図２】図２は、欠陥測定の流れを示す概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a flow of defect measurement.
【図３】図３は、本発明の画像処理例を説明するための
パターンを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a pattern for explaining an image processing example of the present invention.
１ ラインＣＣＤカメラ ２ 画像処理回路 ３ Ａ／Ｄコンバータ ４ コンパレータ ５ ランレングス符号化回路 ６ メモリ ７ 論理指定 ８ ライン数指定 ９ ランレングスバッファ １０ ランレングスバッファ切替指定 １１ 閾値メモリ １２ 基準値メモリ １３ ＲＡＭ １４ ＲＯＭ １５ ＣＰＵ １６ ＲＳ２３２Ｃ １７ ホストＣＰＵ 1 line CCD camera 2 image processing circuit 3 A / D converter 4 comparator 5 run length encoding circuit 6 memory 7 logical designation 8 line number designation 9 run length buffer 10 run length buffer switching designation 11 threshold memory 12 reference value memory 13 RAM 14 ROM 15 CPU 16 RS232C 17 Host CPU
Claims (1)
査対象物の画像を読み取ったアナログ画像データを、２
値化して２値化画像データから該検査対象物の欠陥を測
定する欠陥検査装置において、 前記２値化画像データの変化点アドレスを得てランレン
グス符号とするランレングス符号化手段と、前記ランレ
ングス符号の連結性処理を行い、非検査領域と検査領域
を判別する判別手段と、前記判別手段で検査領域と判別
されたランレングス符号について連結性処理を行い欠陥
を測定する手段とを備えていることを特徴とする欠陥検
査装置。1. Analog image data obtained by reading an image of a moving inspection object by a line CCD camera
In a defect inspection apparatus for binarizing and measuring a defect of the inspection object from the binarized image data, a run length encoding means for obtaining a change point address of the binarized image data to obtain a run length code, and the run And a means for performing a connectivity process on the length code to determine a non-inspection region and an inspection region, and a unit for performing a connectivity process on the run-length code determined to be the inspection region by the determination device and measuring a defect. Defect inspection device characterized by being
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3206043A JPH0545301A (en) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | Defect inspecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3206043A JPH0545301A (en) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | Defect inspecting apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545301A true JPH0545301A (en) | 1993-02-23 |
Family
ID=16516944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3206043A Pending JPH0545301A (en) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | Defect inspecting apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0545301A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06148100A (en) * | 1992-10-30 | 1994-05-27 | Central Glass Co Ltd | Method for inspecting wire glass |
| JP2007271445A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Meidensha Corp | Instrument for measuring abrasion of trolley wire by imaging processing |
-
1991
- 1991-08-16 JP JP3206043A patent/JPH0545301A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06148100A (en) * | 1992-10-30 | 1994-05-27 | Central Glass Co Ltd | Method for inspecting wire glass |
| JP2007271445A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Meidensha Corp | Instrument for measuring abrasion of trolley wire by imaging processing |
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