JPH0544647B2 - - Google Patents
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- JPH0544647B2 JPH0544647B2 JP59182392A JP18239284A JPH0544647B2 JP H0544647 B2 JPH0544647 B2 JP H0544647B2 JP 59182392 A JP59182392 A JP 59182392A JP 18239284 A JP18239284 A JP 18239284A JP H0544647 B2 JPH0544647 B2 JP H0544647B2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】
(発明の分野)
本発明はガルバノメータミラーを駆動するガル
バノメータミラー駆動装置に関し、特に詳細には
1台のガルバノメータミラーを、互いに異なる複
数の駆動基準信号を選択的に使用するガルバノメ
ータミラー駆動装置に関するものである。
バノメータミラー駆動装置に関し、特に詳細には
1台のガルバノメータミラーを、互いに異なる複
数の駆動基準信号を選択的に使用するガルバノメ
ータミラー駆動装置に関するものである。
(発明の技術的背景および先行技術)
従来より各種光ビーム走査装置において、光ビ
ームを走査させるための光偏向器としてガルバノ
メータミラーが広く使用されている。このガルバ
ノメータミラーは通常、波形発生回路によつて形
成されたのこぎり波あるいは三角波等からなる駆
動基準信号が入力される制御回路により、上記駆
動基準信号の周期、振幅に対応した周期、振幅で
往復動するように駆動制御される。
ームを走査させるための光偏向器としてガルバノ
メータミラーが広く使用されている。このガルバ
ノメータミラーは通常、波形発生回路によつて形
成されたのこぎり波あるいは三角波等からなる駆
動基準信号が入力される制御回路により、上記駆
動基準信号の周期、振幅に対応した周期、振幅で
往復動するように駆動制御される。
一方、上述の光ビーム走査装置を用いた走査記
録装置や走査読取装置にあつては、走査記録ある
いは走査読取りに供せられる記録媒体のサイズが
変更されたり、記録速度あるいは読取速度が変更
されることがあり、そのような場合には光偏向器
として用いられるガルバノメータミラーの周期や
振幅が変更することが必要となる。また例えば同
一の走査記録装置または走査読取装置において、
ガルバノメターミラーの往復動双方を利用して記
録または読取りを行なうモードと、ガルバノメー
タミラーの往動のみを利用して記録または読取り
を行なうモードとが選択的に切換えられることが
あり、そのような場合にはガルバノメータミラー
の往動的のパターンを変更する必要がある。
録装置や走査読取装置にあつては、走査記録ある
いは走査読取りに供せられる記録媒体のサイズが
変更されたり、記録速度あるいは読取速度が変更
されることがあり、そのような場合には光偏向器
として用いられるガルバノメータミラーの周期や
振幅が変更することが必要となる。また例えば同
一の走査記録装置または走査読取装置において、
ガルバノメターミラーの往復動双方を利用して記
録または読取りを行なうモードと、ガルバノメー
タミラーの往動のみを利用して記録または読取り
を行なうモードとが選択的に切換えられることが
あり、そのような場合にはガルバノメータミラー
の往動的のパターンを変更する必要がある。
上記のようにガルバノメータミラーの周期、振
幅、往復動のパターンを変更するには、ガルバノ
メータミラー制御回路に入力する駆動基準信号の
周期、振幅、波形を変えればよいので、互いに異
なる波形の駆動基準信号を発生する波形発生回路
を複数設け、各波形発生回路が発生する駆動基準
信号をスイツチング手段によつて切り換えて、選
択的にガルバノメータミラー制御回路に入力する
ことが考えられている。
幅、往復動のパターンを変更するには、ガルバノ
メータミラー制御回路に入力する駆動基準信号の
周期、振幅、波形を変えればよいので、互いに異
なる波形の駆動基準信号を発生する波形発生回路
を複数設け、各波形発生回路が発生する駆動基準
信号をスイツチング手段によつて切り換えて、選
択的にガルバノメータミラー制御回路に入力する
ことが考えられている。
ところがガルバノメータミラー制御回路におい
て、上記駆動基準信号に基づいてガルバノメータ
ミラーの駆動を制御するに当たつては、各種制御
条件が設定されるようになつており、これらの制
御条件として最適条件を設定しておいても、使用
される駆動基準信号が切り換えられると、その新
たな駆動基準信号に対しては制御条件が不適なも
のとなつてしまう不具合が生じる。例えば駆動基
準信号が比較的低周波数(周期大)のときには、
駆動基準信号の山あるいは谷に近い部分のうねり
がガルバノメータミラー駆動に影響しないよう
に、駆動基準信号の高周波数成分に追随しないよ
うな制御の時定数が設定されるが、このような時
定数が比較的高周波数(周期小)の駆動基準信号
に対して設定されると、ガルバノメータミラーが
駆動基準信号に追随できなくなることがある。ま
た、ある駆動基準信号の所定の線形部分に対応し
てガルバノメータミラー回転角が必ず線形に応答
するように制御条件を設定しても、振幅が小さな
他の駆動基準信号に対してはそれだけの所定線形
部分を設定し得なかつたり、反対に、大きな走査
幅を得る振幅大の駆動基準信号に対して上記のよ
うな制御条件を設定すると、走査端部においてガ
ルバノメータミラーの線形応答が得られなくなる
こともある。
て、上記駆動基準信号に基づいてガルバノメータ
ミラーの駆動を制御するに当たつては、各種制御
条件が設定されるようになつており、これらの制
御条件として最適条件を設定しておいても、使用
される駆動基準信号が切り換えられると、その新
たな駆動基準信号に対しては制御条件が不適なも
のとなつてしまう不具合が生じる。例えば駆動基
準信号が比較的低周波数(周期大)のときには、
駆動基準信号の山あるいは谷に近い部分のうねり
がガルバノメータミラー駆動に影響しないよう
に、駆動基準信号の高周波数成分に追随しないよ
うな制御の時定数が設定されるが、このような時
定数が比較的高周波数(周期小)の駆動基準信号
に対して設定されると、ガルバノメータミラーが
駆動基準信号に追随できなくなることがある。ま
た、ある駆動基準信号の所定の線形部分に対応し
てガルバノメータミラー回転角が必ず線形に応答
するように制御条件を設定しても、振幅が小さな
他の駆動基準信号に対してはそれだけの所定線形
部分を設定し得なかつたり、反対に、大きな走査
幅を得る振幅大の駆動基準信号に対して上記のよ
うな制御条件を設定すると、走査端部においてガ
ルバノメータミラーの線形応答が得られなくなる
こともある。
(発明の目的)
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたも
のであり、前述のように複数の駆動基準信号を選
択的に使用してガルバノメータミラーを駆動する
ガルバノメータミラー駆動装置において、どの駆
動基準信号を用いる場合でも、その駆動基準信号
にとつて最適な条件でガルバノメータミラー駆動
制御がなされうるガルバノメータミラー駆動装置
を提供することを目的とするものである。
のであり、前述のように複数の駆動基準信号を選
択的に使用してガルバノメータミラーを駆動する
ガルバノメータミラー駆動装置において、どの駆
動基準信号を用いる場合でも、その駆動基準信号
にとつて最適な条件でガルバノメータミラー駆動
制御がなされうるガルバノメータミラー駆動装置
を提供することを目的とするものである。
(発明の構成)
本発明のガルバノメータミラー駆動装置は、ガ
ルバノメータミラーを、駆動基準信号に基づき
各々独自の制御条件の下に駆動制御する複数の制
御回路を、複数の駆動基準信号それぞれに対応さ
せて設け、スイツチング手段により、これらの制
御回路が出力する駆動制御信号のうちの1つが選
択的にガルバノメータミラー駆動回路に入力され
るようにしたことを特徴とするものである。
ルバノメータミラーを、駆動基準信号に基づき
各々独自の制御条件の下に駆動制御する複数の制
御回路を、複数の駆動基準信号それぞれに対応さ
せて設け、スイツチング手段により、これらの制
御回路が出力する駆動制御信号のうちの1つが選
択的にガルバノメータミラー駆動回路に入力され
るようにしたことを特徴とするものである。
(実施態様)
以下、図面に示す実施態様に基づいて本発明を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施態様によるガルバノメ
ータミラー駆動装置の構成を示すものである。ガ
ルバノメータミラー1は駆動回路2から駆動電流
を供給させて、ミラー1aを矢印Aで示すように
往復回転させる。ミラー1aには光ビームLが入
射され、この光ビームLはミラー1aによつて偏
向され、記録媒体10上を走査する。上記駆動回
路2はスイツチ3を介して、4つの制御回路4
a,4b,4c,4dのうちの1つと選択的に接
続されるようになつている。各制御回路4a,4
b,4c,4dはそれぞれ波形発生回路5a,5
b,5c,5dに接続されている。そしてガルバ
ノメータミラー1の回転角は角度検出器6によつ
て検出され、該角度検出器6が出力する角度信号
S1は、増幅器7によつて増幅されて、制御回路
4a,4b,4c,4dのそれぞれに入力される
ようになつている。
ータミラー駆動装置の構成を示すものである。ガ
ルバノメータミラー1は駆動回路2から駆動電流
を供給させて、ミラー1aを矢印Aで示すように
往復回転させる。ミラー1aには光ビームLが入
射され、この光ビームLはミラー1aによつて偏
向され、記録媒体10上を走査する。上記駆動回
路2はスイツチ3を介して、4つの制御回路4
a,4b,4c,4dのうちの1つと選択的に接
続されるようになつている。各制御回路4a,4
b,4c,4dはそれぞれ波形発生回路5a,5
b,5c,5dに接続されている。そしてガルバ
ノメータミラー1の回転角は角度検出器6によつ
て検出され、該角度検出器6が出力する角度信号
S1は、増幅器7によつて増幅されて、制御回路
4a,4b,4c,4dのそれぞれに入力される
ようになつている。
上記波形発生回路5a,5b,5c,5dはそ
れぞれ一例として、第2図のa,b,c,dに示
すような波形(電圧波形)の駆動基準信号Sa,
Sb,Sc,Sdを発生する。これらの駆動基準信号
Sa,Sb,Sc,Sdはそれぞれ制御回路4a,4
b,4c,4dにおいて前記角度信号S1と比較
され、双方の間の偏差を解消する制御量を加えた
駆動制御信号Ta,Tb,Tc,Tdがスイツチ3に
送出される。そしてスイツチ3により、記録媒体
10のサイズ等の条件に応じて上記駆動制御信号
Ta,Tb,Tc,Tdのうちの1つが選択され、そ
の選択された駆動制御信号が前記駆動回路2に入
力される。駆動回路2は入力された駆動制御信号
の周期、振幅、波形に対応した駆動特性で、ガル
バノメータミラー1を駆動する。すなわち例えば
駆動基準信号Saが用いられる場合と、駆動基準
信号Sbが用いられる場合では、ガルバノメータ
ミラー1の振幅は同じとなるが、駆動基準信号
Sbを用いる場合の方がガルバノメータミラー1
の往復動周期、すなわち光ビームLの走査周期は
短くなる。また駆動基準信号Sbが用いられる場
合と、駆動基準信号Scが用いられる場合では、
ガルバノメータミラー1の往復動周期は同じであ
るが、駆動基準信号Scを用いる場合の方がガル
バノメータミラー1の振幅、すなわち光ビームL
の走査幅は長くなる。またのこぎり波である駆動
基準信号Sa,SbあるいはScが用いられる場合に
は、ガルバノメータミラー1の復動は瞬時になさ
れ、該復動を光ビーム走査に利用することはでき
ないが、三角波である駆動基準信号Sdを用いれ
ばガルバノメータミラー1の往動の周期が揃い、
この復動も往動と同じように光ビーム走査に利用
できるようになる。
れぞれ一例として、第2図のa,b,c,dに示
すような波形(電圧波形)の駆動基準信号Sa,
Sb,Sc,Sdを発生する。これらの駆動基準信号
Sa,Sb,Sc,Sdはそれぞれ制御回路4a,4
b,4c,4dにおいて前記角度信号S1と比較
され、双方の間の偏差を解消する制御量を加えた
駆動制御信号Ta,Tb,Tc,Tdがスイツチ3に
送出される。そしてスイツチ3により、記録媒体
10のサイズ等の条件に応じて上記駆動制御信号
Ta,Tb,Tc,Tdのうちの1つが選択され、そ
の選択された駆動制御信号が前記駆動回路2に入
力される。駆動回路2は入力された駆動制御信号
の周期、振幅、波形に対応した駆動特性で、ガル
バノメータミラー1を駆動する。すなわち例えば
駆動基準信号Saが用いられる場合と、駆動基準
信号Sbが用いられる場合では、ガルバノメータ
ミラー1の振幅は同じとなるが、駆動基準信号
Sbを用いる場合の方がガルバノメータミラー1
の往復動周期、すなわち光ビームLの走査周期は
短くなる。また駆動基準信号Sbが用いられる場
合と、駆動基準信号Scが用いられる場合では、
ガルバノメータミラー1の往復動周期は同じであ
るが、駆動基準信号Scを用いる場合の方がガル
バノメータミラー1の振幅、すなわち光ビームL
の走査幅は長くなる。またのこぎり波である駆動
基準信号Sa,SbあるいはScが用いられる場合に
は、ガルバノメータミラー1の復動は瞬時になさ
れ、該復動を光ビーム走査に利用することはでき
ないが、三角波である駆動基準信号Sdを用いれ
ばガルバノメータミラー1の往動の周期が揃い、
この復動も往動と同じように光ビーム走査に利用
できるようになる。
次に、以上述べた制御回路4a,4b,4c,
4dにおける制御条件の設定について詳しく説明
する。
4dにおける制御条件の設定について詳しく説明
する。
第3図に拡大して示すように、比較的低周波数
の駆動基準信号Saにあつては、波形の山、谷に
近い部分に周波数の高いうねりが生じているの
で、このうねりがガルバノメータミラー1の駆動
に影響しないように、制御回路4aにおいては、
駆動基準信号Saの高周波数成分に追随しないよ
うな制御の時定数が設定される。比較的高周波数
の駆動基準信号Sb,Scに基づいて制御を行なう
制御回路4b,4cにおいては、上述のような時
定数を設定すると駆動基準信号Sb,Scにガルバ
ノメータミラー1の駆動が追随できないので、そ
れぞれ駆動基準信号Sb,Scにガルバノメータミ
ラー1が応答できるような時定数が設定される。
の駆動基準信号Saにあつては、波形の山、谷に
近い部分に周波数の高いうねりが生じているの
で、このうねりがガルバノメータミラー1の駆動
に影響しないように、制御回路4aにおいては、
駆動基準信号Saの高周波数成分に追随しないよ
うな制御の時定数が設定される。比較的高周波数
の駆動基準信号Sb,Scに基づいて制御を行なう
制御回路4b,4cにおいては、上述のような時
定数を設定すると駆動基準信号Sb,Scにガルバ
ノメータミラー1の駆動が追随できないので、そ
れぞれ駆動基準信号Sb,Scにガルバノメータミ
ラー1が応答できるような時定数が設定される。
また第4図のbとcに示す駆動基準信号Sb,
Scのそれぞれの線形部分Vb,Vcにおいては、ガ
ルバノメータミラー1の回転角が必ず線形に応答
するように(単調増大するように)制御をかけ
る。この場合、駆動基準信号Sbを用いてガルバ
ノメータミラー1を駆動する際には比較的短い直
線走査幅が求められ、一方、駆動基準信号Scを
用いてガルバノメータミラー1を駆動する際には
比較的長い直線走査幅が求められるのであるか
ら、上記のような条件設定がなされる線形部分
Vb,Vcの範囲は当然互いに異なつて、Vb<Vc
と設定されている。
Scのそれぞれの線形部分Vb,Vcにおいては、ガ
ルバノメータミラー1の回転角が必ず線形に応答
するように(単調増大するように)制御をかけ
る。この場合、駆動基準信号Sbを用いてガルバ
ノメータミラー1を駆動する際には比較的短い直
線走査幅が求められ、一方、駆動基準信号Scを
用いてガルバノメータミラー1を駆動する際には
比較的長い直線走査幅が求められるのであるか
ら、上記のような条件設定がなされる線形部分
Vb,Vcの範囲は当然互いに異なつて、Vb<Vc
と設定されている。
以上述べたように、各駆動基準信号Sa〜Sdに
基づいてガルバノメータミラー1の駆動を制御す
る場合、その制御の最適条件はそれぞれ異なつて
いるが、各制御回路4a〜4dにおいては各駆動
基準信号Sa〜Sdにそれぞれ対応した最適の制御
条件が設定されているから、どの駆動基準信号
Sa〜Sdが用いられる場合でも、ガルバノメータ
ミラー1は最適制御条件の下で駆動制御されるよ
うになる。
基づいてガルバノメータミラー1の駆動を制御す
る場合、その制御の最適条件はそれぞれ異なつて
いるが、各制御回路4a〜4dにおいては各駆動
基準信号Sa〜Sdにそれぞれ対応した最適の制御
条件が設定されているから、どの駆動基準信号
Sa〜Sdが用いられる場合でも、ガルバノメータ
ミラー1は最適制御条件の下で駆動制御されるよ
うになる。
なお、上記においては各駆動波形を発生する複
数の波形発生回路5a〜5dを用いたが、これを
複数の波形を発生しうる1つの波形発生回路に置
換してもよい。
数の波形発生回路5a〜5dを用いたが、これを
複数の波形を発生しうる1つの波形発生回路に置
換してもよい。
また、制御回路4a〜4dにおいて、上述した
制御条件以外の制御条件が設定されてもよく、そ
のような場合においても各制御条件の最適値を各
駆動基準信号Sa〜Sd毎に求めて、それぞれの制
御回路4a〜4dに設定しておけばよい。また勿
論ながら、ガルバノメータミラーを駆動するため
の駆動基準信号の組合せ(信号数および各信号の
波形)は、以上説明した実施態様におけるものに
限らず、その他の組合せの駆動基準信号か用いら
れてもよい。
制御条件以外の制御条件が設定されてもよく、そ
のような場合においても各制御条件の最適値を各
駆動基準信号Sa〜Sd毎に求めて、それぞれの制
御回路4a〜4dに設定しておけばよい。また勿
論ながら、ガルバノメータミラーを駆動するため
の駆動基準信号の組合せ(信号数および各信号の
波形)は、以上説明した実施態様におけるものに
限らず、その他の組合せの駆動基準信号か用いら
れてもよい。
(発明の効果)
以上詳細に説明した通り本発明のガルバノメー
タミラー駆動装置によれば、ガルバノメータミラ
ー駆動制御は常に最適条件の下に行なわれるよう
になり、ガルバノメータミラーにより光ビーム走
査の精度が十分に高められる。
タミラー駆動装置によれば、ガルバノメータミラ
ー駆動制御は常に最適条件の下に行なわれるよう
になり、ガルバノメータミラーにより光ビーム走
査の精度が十分に高められる。
第1図は本発明の一実施態様装置を示す概略
図、第2図は上記実施態様装置における各ガルバ
ノメータミラー駆動基準信号の波形図、第3図は
上記駆動基準信号の1つを拡大して示す波形図、
第4図は上記実施態様装置におけるガルバノメー
タミラー駆動制御条件設定を説明する説明図であ
る。 1……ガルバノメータミラー、2……駆動回
路、3……スイツチ、4a,4b,4c,4d…
…制御回路、5a,5b,5c,5d……波形発
生回路、Sa,Sb,Sc,Sd……駆動基準信号、
Ta,Tb,Tc,Td……駆動制御信号。
図、第2図は上記実施態様装置における各ガルバ
ノメータミラー駆動基準信号の波形図、第3図は
上記駆動基準信号の1つを拡大して示す波形図、
第4図は上記実施態様装置におけるガルバノメー
タミラー駆動制御条件設定を説明する説明図であ
る。 1……ガルバノメータミラー、2……駆動回
路、3……スイツチ、4a,4b,4c,4d…
…制御回路、5a,5b,5c,5d……波形発
生回路、Sa,Sb,Sc,Sd……駆動基準信号、
Ta,Tb,Tc,Td……駆動制御信号。
Claims (1)
- 1 駆動制御信号に基づいて1台のガルバノメー
タミラーを駆動する駆動回路と、複数の異なつた
波形のガルバノメータミラー駆動基準信号を発生
する波形発生回路と、これらの波形発生回路それ
ぞれに対応させて設けられ、各波形発生回路が発
生する駆動基準信号に基づいて各々独自の制御条
件で前記ガルバノメータミラーの駆動を制御する
駆動制御信号を出力する複数の制御回路と、これ
らの制御回路のうちの1つの出力を選択的に前記
駆動回路に入力するスイツチング手段とからなる
ガルバノメータミラー駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59182392A JPS6161123A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59182392A JPS6161123A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6161123A JPS6161123A (ja) | 1986-03-28 |
JPH0544647B2 true JPH0544647B2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=16117513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59182392A Granted JPS6161123A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6161123A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4555905B2 (ja) * | 1998-01-27 | 2010-10-06 | カール ツアイス マイクロイメージング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | スキャナ駆動部のための方向制御システム |
JP3407715B2 (ja) | 2000-06-06 | 2003-05-19 | 松下電器産業株式会社 | レーザ加工装置 |
DE602007011940D1 (ja) | 2006-07-18 | 2011-02-24 | Nippon Kogaku Kk |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59182392A patent/JPS6161123A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6161123A (ja) | 1986-03-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |