JPS6161123A - ガルバノメ−タミラ−駆動装置 - Google Patents
ガルバノメ−タミラ−駆動装置Info
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- JPS6161123A JPS6161123A JP59182392A JP18239284A JPS6161123A JP S6161123 A JPS6161123 A JP S6161123A JP 59182392 A JP59182392 A JP 59182392A JP 18239284 A JP18239284 A JP 18239284A JP S6161123 A JPS6161123 A JP S6161123A
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- drive
- control
- driving
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明はガルバノメータミラーを駆動するガルバノメー
タミラー駆動装置に関し、特に詳細には１台のガルバノ
メータミラーを、互いに異なる複数の駆動基準信号を選
択的に使用するガルバノメータミラー駆動装置に関する
ものである。
タミラー駆動装置に関し、特に詳細には１台のガルバノ
メータミラーを、互いに異なる複数の駆動基準信号を選
択的に使用するガルバノメータミラー駆動装置に関する
ものである。
（発明の技術的背景および先行技術）
従来より各種光ビーム走査装置において、光ビームを走
査させるだめの光偏向器としてガルバノメータミラーが
広く使用されている。このガルバノメータミラーは通常
、波形発生回路によって形成されたのこぎり波あるいは
三角波等からなる駆動基準信号が入力される制御回路に
より、上記駆動基準信号の周期、振幅に対応した周期、
振幅で往復動するように駆動制御される。
査させるだめの光偏向器としてガルバノメータミラーが
広く使用されている。このガルバノメータミラーは通常
、波形発生回路によって形成されたのこぎり波あるいは
三角波等からなる駆動基準信号が入力される制御回路に
より、上記駆動基準信号の周期、振幅に対応した周期、
振幅で往復動するように駆動制御される。
一方、上述の光ビーム走査装置を用いた走査記録装置や
走査記録装置にあっては、走査記録あるいは走査読取り
に供せられる記録媒体のサイズが変更されたり、記録速
成あるいは読取速度が変史されることがあり、そのよう
な場合には光偏向器として用いられるガルバノメータミ
ラーの周期や振幅を変更することが必要となる。また例
えば同一の走査配録装置または走査読取装置において、
ガルバノメータミラーの往復動双方を利用して記録また
は読取りを行なうモードと、ガルバノメータミラーの往
動のみを利用して記録または読取りを行なうモードとが
選択的に切換えられることがあり、そのような場合には
ガルバノメータミラーの往復動のパターンを変更する必
要がある。
走査記録装置にあっては、走査記録あるいは走査読取り
に供せられる記録媒体のサイズが変更されたり、記録速
成あるいは読取速度が変史されることがあり、そのよう
な場合には光偏向器として用いられるガルバノメータミ
ラーの周期や振幅を変更することが必要となる。また例
えば同一の走査配録装置または走査読取装置において、
ガルバノメータミラーの往復動双方を利用して記録また
は読取りを行なうモードと、ガルバノメータミラーの往
動のみを利用して記録または読取りを行なうモードとが
選択的に切換えられることがあり、そのような場合には
ガルバノメータミラーの往復動のパターンを変更する必
要がある。
上記のようにガルバノメータミラーの周期、振幅、往復
動のパターンを変更するには、ガルバノメータミラー制
御回路に入力する駆動基準信号の周期、振幅、波形を変
えればよいので、互いに異なる波形の駆動基準信号を発
生する波形発生回路を複数設け、各波形発生回路が発生
する駆動基準信号をスイッチング手段によって切り換え
て、選択的にガルバノメータミラー制御回路に入力する
ことが考えられている。
動のパターンを変更するには、ガルバノメータミラー制
御回路に入力する駆動基準信号の周期、振幅、波形を変
えればよいので、互いに異なる波形の駆動基準信号を発
生する波形発生回路を複数設け、各波形発生回路が発生
する駆動基準信号をスイッチング手段によって切り換え
て、選択的にガルバノメータミラー制御回路に入力する
ことが考えられている。
ところがガルバノメータミラー制御回路において、上記
駆動基準信号に基づいてガルバノメータミラーの駆動を
制御するに当たっては、各種制御条件が設定されるよう
になっており、これらの制御糸イ９として最適条件を設
定しておいても、使用される駆動Ｍ単信号が切り換えら
れると、その新たな駆動基準信号に対しては制御条件が
不適なものどなってしまう不具合が生じる。例えば駆動
基準信号が比較的低周波数（周期大）のときには、駆動
基準信号の出あるいは谷に近い部分のうねりがガルバノ
メータミラー駆動に影響しないように、駆動基準信号の
高周波数成分に追随しないような制御の時定数が設定さ
れるが、このような時定数が比較的高周波数（周期小）
の駆動基準信号に対して設定されると、ガルバノメータ
ミラーが駆動基準信号に追随できなくなることがある。
駆動基準信号に基づいてガルバノメータミラーの駆動を
制御するに当たっては、各種制御条件が設定されるよう
になっており、これらの制御糸イ９として最適条件を設
定しておいても、使用される駆動Ｍ単信号が切り換えら
れると、その新たな駆動基準信号に対しては制御条件が
不適なものどなってしまう不具合が生じる。例えば駆動
基準信号が比較的低周波数（周期大）のときには、駆動
基準信号の出あるいは谷に近い部分のうねりがガルバノ
メータミラー駆動に影響しないように、駆動基準信号の
高周波数成分に追随しないような制御の時定数が設定さ
れるが、このような時定数が比較的高周波数（周期小）
の駆動基準信号に対して設定されると、ガルバノメータ
ミラーが駆動基準信号に追随できなくなることがある。
また、ある駆動基準信号の所定の線形部分に対応してガ
ルバノメータミラー回転角が必ず線形に応答するように
制御糸イ１を設定しても、振幅が小ざな他の
）駆動基準信号に対してはそれだ【プの所定線形部分を
設定し得なかったり、反対に、大きな走査幅を得る振幅
大の駆動基準信号に対して上記のような制御条ｆ１を設
定すると、走査端部においてガルバノメータミラーの線
形応答が１ｑられなくなることもある。
ルバノメータミラー回転角が必ず線形に応答するように
制御糸イ１を設定しても、振幅が小ざな他の
）駆動基準信号に対してはそれだ【プの所定線形部分を
設定し得なかったり、反対に、大きな走査幅を得る振幅
大の駆動基準信号に対して上記のような制御条ｆ１を設
定すると、走査端部においてガルバノメータミラーの線
形応答が１ｑられなくなることもある。
（発明の目的）
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、前述のように複数の駆動基準信号を選択的に使用して
ガルバノメータミラーを駆動するガルバノメータミラー
駆動装置において、どの駆動基準信号を用いる場合でも
、その駆動基準信号にとって最適な条件でガルバノメー
タミラー駆動制御がなされうるガルバノメータミラー駆
動装置を提供することを目的とするものである。
、前述のように複数の駆動基準信号を選択的に使用して
ガルバノメータミラーを駆動するガルバノメータミラー
駆動装置において、どの駆動基準信号を用いる場合でも
、その駆動基準信号にとって最適な条件でガルバノメー
タミラー駆動制御がなされうるガルバノメータミラー駆
動装置を提供することを目的とするものである。
（発明の構成）
本発明のガルバノメータミラー駆動装置は、ガルバノメ
ータミラーを、駆動基準信号に基づき各々独自の制御条
ｆ１の下に駆動制御する複数の制御回路を、複数の駆動
基準信号それぞれに対応させて設け、スイッチング手段
により、これらの制御回路が出力する駆動制御信号のう
ちの１つが選択的にガルバノメータミラー駆動回路に入
力されるようにしたことを特徴どするものである。
ータミラーを、駆動基準信号に基づき各々独自の制御条
ｆ１の下に駆動制御する複数の制御回路を、複数の駆動
基準信号それぞれに対応させて設け、スイッチング手段
により、これらの制御回路が出力する駆動制御信号のう
ちの１つが選択的にガルバノメータミラー駆動回路に入
力されるようにしたことを特徴どするものである。
（実施態様）
以下、図面に示す実施態様に基づいて本発明の詳細な説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施態様によるガルバノメータミラ
ー駆動装置の構成を示すものである。ガルバノメータミ
ラー１は駆動回路２から駆動電流を供給されて、ミラー
１ａを矢印へで示すように往復回転させる。ミラー１ａ
には光ビームＬが入射され、この光ビームＬはミラー１
ａによって偏向され、記録媒体１０上を走査する。上記
駆動回路２はスイッチ３を介して、４つの制御回路４ａ
。
ー駆動装置の構成を示すものである。ガルバノメータミ
ラー１は駆動回路２から駆動電流を供給されて、ミラー
１ａを矢印へで示すように往復回転させる。ミラー１ａ
には光ビームＬが入射され、この光ビームＬはミラー１
ａによって偏向され、記録媒体１０上を走査する。上記
駆動回路２はスイッチ３を介して、４つの制御回路４ａ
。
４ｂ１４ｃ、４ｄのうちの１つと選択的に接続されるよ
うになっている。各制御回路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは
それぞれ波形発生回路５ａ、５ｂ。
うになっている。各制御回路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは
それぞれ波形発生回路５ａ、５ｂ。
５Ｇ、５ｄに接続されている。そしてガルバノメータミ
ラー１の回転角は角度検出器６によって検出され、該角
度検出器６が出力する角度信号Ｓ１は、増幅器７によっ
て増幅されて、制御回路４ａ。
ラー１の回転角は角度検出器６によって検出され、該角
度検出器６が出力する角度信号Ｓ１は、増幅器７によっ
て増幅されて、制御回路４ａ。
４ｂ、４ｃ、４ｄのぞれぞれに入力されるようになって
いる。
いる。
上記波形発生回路５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄＬＬ（れぞれ
−例として、第２図の（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）
に示すような波形（電圧波形）の駆動基準信号Ｓａ、Ｓ
ｂ、Ｓｃ、Ｓｄを発生するゎこれらの駆動基準信号Ｓａ
、Ｓｂ、Ｓｃ、Ｓｄはそれぞれ制御回路４ａ、４ｂ、４
Ｇ、４ｄにおいて前記角度信号Ｓ１と比較され、双方の
間の偏差を解消する制御量を加えた駆動制御信号Ｔａ、
Ｔｂ、Ｔｃ、Ｔｄがスイッチ３に送出される。そしてス
イッチ３により、記録媒体１０のサイズ等の条件に応じ
て上記駆動制御信号７’ａ、ｌｂ、７ｃ。
−例として、第２図の（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）、（ｄ）
に示すような波形（電圧波形）の駆動基準信号Ｓａ、Ｓ
ｂ、Ｓｃ、Ｓｄを発生するゎこれらの駆動基準信号Ｓａ
、Ｓｂ、Ｓｃ、Ｓｄはそれぞれ制御回路４ａ、４ｂ、４
Ｇ、４ｄにおいて前記角度信号Ｓ１と比較され、双方の
間の偏差を解消する制御量を加えた駆動制御信号Ｔａ、
Ｔｂ、Ｔｃ、Ｔｄがスイッチ３に送出される。そしてス
イッチ３により、記録媒体１０のサイズ等の条件に応じ
て上記駆動制御信号７’ａ、ｌｂ、７ｃ。
Ｔｄのうらの１つが選択され、その選択された駆動制御
信号が前記駆動回路２に入力される。駆動回路２は入力
された駆動制御信号の周期、振幅、波形に対応した駆動
特性で、ガルバノメータミラー１を駆動する。すなわち
例えば駆動基準信号Ｓａが用いられる場合と、駆動基準
信号ｓｂが用いられる場合では、ガルバノメータミラー
１の振幅は同じとなるが、駆動基準信号ｓｂを用いる場
合の方がガルバノメータミラー１の往復動周期、すなわ
ち光ビームＬの走査周期は短くなる。また駆動基準信号
ｓｂが用いられる場合と、駆動基準信号ＳＣが用いられ
る場合では、ガルバノメータミラー１の往復動周期は同
じとなるが、駆動基準信号ＳＣを用いる場合の方がガル
バノメータミラー１の振幅、すなわち光ビーム士の走査
幅は長くなる。またのこぎり波である駆動Ｍ単信号Ｓａ
、ＳｂあるいはＳｃが用いられる場合には、ガルバノメ
ータミラー１の復動は瞬時になされ、該復動を光ビーム
走査に利用することはできないが、三角波である駆動基
準信号Ｓｄを用いればガルバノメータミラー１の往動と
復動の周期が揃い、この復動も往動と同じように光ビー
ム走査に利用できるようになる。
信号が前記駆動回路２に入力される。駆動回路２は入力
された駆動制御信号の周期、振幅、波形に対応した駆動
特性で、ガルバノメータミラー１を駆動する。すなわち
例えば駆動基準信号Ｓａが用いられる場合と、駆動基準
信号ｓｂが用いられる場合では、ガルバノメータミラー
１の振幅は同じとなるが、駆動基準信号ｓｂを用いる場
合の方がガルバノメータミラー１の往復動周期、すなわ
ち光ビームＬの走査周期は短くなる。また駆動基準信号
ｓｂが用いられる場合と、駆動基準信号ＳＣが用いられ
る場合では、ガルバノメータミラー１の往復動周期は同
じとなるが、駆動基準信号ＳＣを用いる場合の方がガル
バノメータミラー１の振幅、すなわち光ビーム士の走査
幅は長くなる。またのこぎり波である駆動Ｍ単信号Ｓａ
、ＳｂあるいはＳｃが用いられる場合には、ガルバノメ
ータミラー１の復動は瞬時になされ、該復動を光ビーム
走査に利用することはできないが、三角波である駆動基
準信号Ｓｄを用いればガルバノメータミラー１の往動と
復動の周期が揃い、この復動も往動と同じように光ビー
ム走査に利用できるようになる。
次に、以上述べた制御回路４ａ、４ｂ、４ｃ。
４ｄにおける制御条件の設定について詳しく説明する。
第３図に拡大して示すように、比較的低周波数の駆動基
準信号Ｓａにあっては、波形の山、谷に近い部分に周波
数の高いうねりが生じているので、このうねりがガルバ
ノメータミラー１の駆動に影響しないように、制御回路
４ａにおいては、駆動基準信号３ａの高周波数成分に追
随しないような制御の時定数が設定される。比較的高周
波数の駆動基準信号Ｓｂ、ＳＣに基づいて制御を行なう
制御回路４ｂ、４Ｇにおいては、上述のような時定数を
設定すると駆動基準信号５ｂ１ＳＣにガルバノメータミ
ラー１の駆動が追随できないので、それぞれ駆動基準信
号３ｂ、 Ｓｃにガルバノメータミラー１が応答できる
ような時定数が設定される。
準信号Ｓａにあっては、波形の山、谷に近い部分に周波
数の高いうねりが生じているので、このうねりがガルバ
ノメータミラー１の駆動に影響しないように、制御回路
４ａにおいては、駆動基準信号３ａの高周波数成分に追
随しないような制御の時定数が設定される。比較的高周
波数の駆動基準信号Ｓｂ、ＳＣに基づいて制御を行なう
制御回路４ｂ、４Ｇにおいては、上述のような時定数を
設定すると駆動基準信号５ｂ１ＳＣにガルバノメータミ
ラー１の駆動が追随できないので、それぞれ駆動基準信
号３ｂ、 Ｓｃにガルバノメータミラー１が応答できる
ような時定数が設定される。
また第４図の（ｂ）と（Ｃ）に示す駆動基準信号Ｓｂ、
ＳＣのそれぞれの線形部分Ｖｂ１ＶＣにおいては、ガル
バノメータミラー１の回転角が必ず線形に応答するよう
に（−単調増大するように）制御を力弓ノる。この場合
、駆動基準信号ｓｂを用いてガルバノメータミラー１を
駆動する際には比較的短い直線走査幅が求められ、一方
、駆動基準信号ＳＣを用いてガルバノメータミラー１を
駆動する際には比較的長い直線走査幅が求められるので
あるから、上記のような条件設定がなされる線形部分Ｖ
ｂ、ＶＣの範囲は当然互いに異なって、Ｖｂ＜ＶＣと設
定されている。
ＳＣのそれぞれの線形部分Ｖｂ１ＶＣにおいては、ガル
バノメータミラー１の回転角が必ず線形に応答するよう
に（−単調増大するように）制御を力弓ノる。この場合
、駆動基準信号ｓｂを用いてガルバノメータミラー１を
駆動する際には比較的短い直線走査幅が求められ、一方
、駆動基準信号ＳＣを用いてガルバノメータミラー１を
駆動する際には比較的長い直線走査幅が求められるので
あるから、上記のような条件設定がなされる線形部分Ｖ
ｂ、ＶＣの範囲は当然互いに異なって、Ｖｂ＜ＶＣと設
定されている。
以上述べたように、各駆動基準信号３ａ〜Ｓｄに基づい
てガルバノメータミラー１の駆動を制御量る場合、その
制御の最適条件はそれぞれ箕なっているが、各制御回路
４ａ〜４ｄにおいては各駆動基準信号３ａ〜Ｓｄにそれ
ぞれ対応した最適の制御条件が設定されているから、ど
の駆動基準信号Ｓａ〜Ｓｄが用いられる場合でも、ガル
バノメータミラー１は最適制御条件の下で駆動制御され
るようになる。
てガルバノメータミラー１の駆動を制御量る場合、その
制御の最適条件はそれぞれ箕なっているが、各制御回路
４ａ〜４ｄにおいては各駆動基準信号３ａ〜Ｓｄにそれ
ぞれ対応した最適の制御条件が設定されているから、ど
の駆動基準信号Ｓａ〜Ｓｄが用いられる場合でも、ガル
バノメータミラー１は最適制御条件の下で駆動制御され
るようになる。
なお、上記（０おいては各駆動波形を発生する複数の波
形発生回路５８〜５ｄを用いたが、これを複数の波形を
発生しつる１つの波形発生回路に置換してもよい。
形発生回路５８〜５ｄを用いたが、これを複数の波形を
発生しつる１つの波形発生回路に置換してもよい。
また制御回路４ａ〜４ｄにおいて、上述した制御条件以
外の制御条件が設定されてもよく、そのような場合にお
いても各制御条件の最適値を各駆動基準信号５ａ−３ｄ
毎に求めて、それぞれの制御回路４８〜４ｄに設定して
おＧフばよい。また勿論ながら、ガルバノメータミラー
を駆動するための駆動基準信号の組合せく信号数および
各信号の波形）は、以上説明した実施態様にお【Ｊるも
のに限らず、その他の組合せの駆動Ｎ単信号が用いられ
てもよい。
外の制御条件が設定されてもよく、そのような場合にお
いても各制御条件の最適値を各駆動基準信号５ａ−３ｄ
毎に求めて、それぞれの制御回路４８〜４ｄに設定して
おＧフばよい。また勿論ながら、ガルバノメータミラー
を駆動するための駆動基準信号の組合せく信号数および
各信号の波形）は、以上説明した実施態様にお【Ｊるも
のに限らず、その他の組合せの駆動Ｎ単信号が用いられ
てもよい。
〈発明の効果）
以上詳細に説明した通り本発明のガルバノメータミラー
駆動装置によれば、ガルバノメータミラー駆動制御は常
に最適条件の下に行なわれるようになり、ガルバノメー
タミラーによる光ビーム走査の精度が十分に高められる
。
駆動装置によれば、ガルバノメータミラー駆動制御は常
に最適条件の下に行なわれるようになり、ガルバノメー
タミラーによる光ビーム走査の精度が十分に高められる
。
第１図は本発明の一実施態様装置を示ｔｍ略図、第２図
は上記実施態様装置における各ガルバノメータミラー駆
動基準信号の波形図、 第３図は上記駆動基準信号の１つを拡大して示す波形図
、 第４図は上記実施態様装置におけるガルバノメータミラ
ー駆動制御条件設定を説明する説明図である。 １・・・ガルバノメータミラー
は上記実施態様装置における各ガルバノメータミラー駆
動基準信号の波形図、 第３図は上記駆動基準信号の１つを拡大して示す波形図
、 第４図は上記実施態様装置におけるガルバノメータミラ
ー駆動制御条件設定を説明する説明図である。 １・・・ガルバノメータミラー
Claims (1)
- 駆動制御信号に基づいて１台のガルバノメータミラーを
駆動する駆動回路と、複数の異なった波形のガルバノメ
ータミラー駆動基準信号を発生する波形発生回路と、こ
れらの波形発生回路それぞれに対応させて設けられ、各
波形発生回路が発生する駆動基準信号に基づいて各々独
自の制御条件で前記ガルバノメータミラーの駆動を制御
する駆動制御信号を出力する複数の制御回路と、これら
の制御回路のうちの１つの出力を選択的に前記駆動回路
に入力するスイッチング手段とからなるガルバノメータ
ミラー駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182392A JPS6161123A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182392A JPS6161123A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161123A true JPS6161123A (ja) | 1986-03-28 |
| JPH0544647B2 JPH0544647B2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=16117513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59182392A Granted JPS6161123A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | ガルバノメ−タミラ−駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161123A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11231253A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-27 | Carl Zeiss Jena Gmbh | スキャナ駆動部のための方向制御システム |
| EP1162025A3 (en) * | 2000-06-06 | 2003-01-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
| WO2008010311A1 (fr) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Nikon Corporation | Appareil à balayage laser et microscope à balayage laser |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59182392A patent/JPS6161123A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11231253A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-27 | Carl Zeiss Jena Gmbh | スキャナ駆動部のための方向制御システム |
| JP4555905B2 (ja) * | 1998-01-27 | 2010-10-06 | カール ツアイス マイクロイメージング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | スキャナ駆動部のための方向制御システム |
| EP1162025A3 (en) * | 2000-06-06 | 2003-01-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser processing apparatus |
| US6721343B2 (en) | 2000-06-06 | 2004-04-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser processing apparatus with position controller |
| WO2008010311A1 (fr) * | 2006-07-18 | 2008-01-24 | Nikon Corporation | Appareil à balayage laser et microscope à balayage laser |
| US8159744B2 (en) | 2006-07-18 | 2012-04-17 | Nikon Corporation | Laser scanning apparatus and laser scanning microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0544647B2 (ja) | 1993-07-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |