JPH0542391B2 - - Google Patents
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- JPH0542391B2 JPH0542391B2 JP59185133A JP18513384A JPH0542391B2 JP H0542391 B2 JPH0542391 B2 JP H0542391B2 JP 59185133 A JP59185133 A JP 59185133A JP 18513384 A JP18513384 A JP 18513384A JP H0542391 B2 JPH0542391 B2 JP H0542391B2
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はセラミツク生シートを高周波により連
続乾燥するセラミツクシートの高周波連続乾燥装
置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a high-frequency continuous drying device for ceramic sheets that continuously dries raw ceramic sheets using high-frequency waves.
（従来技術）
一般に、各種電子部品に使用されているセラミ
ツク基板は、成型機の金型から押し出されるセラ
ミツク生シートを乾燥して所定の形状にパンチン
グした後、焼成炉で焼成することにより製造され
ている。(Prior art) Ceramic substrates used in various electronic components are generally manufactured by extruding a raw ceramic sheet from a mold of a molding machine, drying it and punching it into a predetermined shape, and then firing it in a firing furnace. ing.
従来、成型機の金型から連続的に押し出される
セラミツク生シートを乾燥する乾燥装置として
は、ベルト等により連続搬送されるセラミツク生
シートに熱風、赤外線もしくは遠赤外線を照射し
て乾燥するものが一般に知られている。 Conventionally, drying equipment for drying raw ceramic sheets that are continuously extruded from a mold of a molding machine has generally been one that irradiates hot air, infrared rays, or far infrared rays to dry ceramic raw sheets that are continuously conveyed by a belt, etc. Are known.
ところで、熱風や赤外線を使用する乾燥装置で
は、セラミツク生シートの厚みやその他の条件に
よつてセラミツク生シートの内部と表面とで含水
率差を生じ、乾燥シートに反りや亀裂が生じる。
このような反りや亀裂のない均一な乾燥シートを
得るには、セラミツク生シートの乾燥速度を遅く
する必要があるが、乾燥速度を遅くすると、乾燥
時間が長くなるうえ、この乾燥時間に比例して乾
燥設備が長大となり、セラミツク基板の生産効率
が低下するという問題があつた。 By the way, in drying equipment that uses hot air or infrared rays, a difference in moisture content occurs between the inside and the surface of the raw ceramic sheet depending on the thickness of the raw ceramic sheet and other conditions, causing warping and cracks in the dried sheet.
In order to obtain a uniform dried sheet without warping or cracking, it is necessary to slow down the drying speed of the raw ceramic sheet, but slowing down the drying speed increases the drying time, and the drying time is proportional to the drying time. There was a problem that the drying equipment became long and the production efficiency of ceramic substrates decreased.
また、遠赤外線を使用する乾燥装置では、セラ
ミツク生シートを高速度で連続乾燥するとき、初
期の乾燥が甘くなるため、セラミツク生シートに
引張り力による変形が生じ易く、乾燥シートのシ
ート幅や厚みにばらつきが発生するという問題が
あつた。 In addition, with drying equipment that uses far infrared rays, when raw ceramic sheets are continuously dried at high speed, the initial drying is slow, and the raw ceramic sheets are likely to be deformed due to tensile force, causing the sheet width and thickness of the dried sheets to deteriorate. There was a problem that variations occurred.
ところで、近年、乾燥させる物を比較的短時間
でしかも均一に加熱することのできる高周波やマ
イクロ波を使用した乾燥装置が木材の乾燥等に実
用化されており、セラミツク生シートの乾燥にも
このような乾燥装置を使用することが考えられて
いる。 By the way, in recent years, drying equipment that uses high frequency waves or microwaves that can uniformly heat the material to be dried in a relatively short period of time has been put into practical use for drying wood, etc., and this type of drying equipment is also used for drying raw ceramic sheets. The use of drying equipment such as
しかしながら、この種の乾燥装置はバツチ処理
のものであり、成型機の金型から連続的に押し出
されてくるセラミツク生シートを連続乾燥させる
ものには適用することはできなかつた。 However, this type of drying apparatus is for batch processing and cannot be applied to continuous drying of raw ceramic sheets that are continuously extruded from a mold of a molding machine.
（発明の目的）
本発明はセラミツク生シートの乾燥における上
記問題点に鑑みてなされたものであつて、高周波
を使用してセラミツク生シートを高速度で連続的
に乾燥するとともに、安定した含水率を有する乾
燥シートを得るようにしたセラミツクシートの高
周波連続乾燥装置を提供することを目的としてい
る。(Object of the Invention) The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in drying raw ceramic sheets. An object of the present invention is to provide a high-frequency continuous drying apparatus for ceramic sheets, which is capable of obtaining dry sheets having the following properties.
（発明の構成）
このため、本発明は、セラミツク生シートを載
置して連続走行するベルトの下部に配置された高
周波電極の形状をセラミツク生シートの幅方向の
中央部の高周波電界が端部の高周波電界よりも強
くなるような形状を有していることを特徴として
いる。すなわち、本発明はセラミツク生シートを
搬送するベルトの下面に搬送方向にほゞ一定の間
隔をおいて配置された各高周波電極に高周波発振
器から高周波を供給し、この高周波による誘電加
熱を利用してセラミツク生シートを乾燥させるに
際して、高周波電極の形状に工夫を加えてセラミ
ツク生シートの端部への高周波エネルギーの集中
を避けるようにしたものであり、本発明によれ
ば、ベルト上を搬送されるセラミツクシートを高
周波により均一に連続乾燥させることができる。(Structure of the Invention) For this reason, the present invention has a shape of a high-frequency electrode disposed at the bottom of a belt that continuously runs with a raw ceramic sheet placed thereon so that the high-frequency electric field at the center in the width direction of the raw ceramic sheet is at the edge. It is characterized by having a shape that makes it stronger than the high frequency electric field of. That is, the present invention supplies high frequency waves from a high frequency oscillator to the respective high frequency electrodes arranged at approximately constant intervals in the conveyance direction on the lower surface of a belt conveying raw ceramic sheets, and utilizes dielectric heating caused by the high frequency waves. When drying a raw ceramic sheet, the shape of the high-frequency electrode is devised to avoid concentration of high-frequency energy on the edges of the raw ceramic sheet. Ceramic sheets can be uniformly and continuously dried using high frequency.
（実施例）
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説
明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
本発明に係るセラミツクシートの高周波連続乾
燥装置の一実施例の全体構成を第１図に示す。 FIG. 1 shows the overall structure of an embodiment of a high-frequency continuous drying apparatus for ceramic sheets according to the present invention.
上記高周波連続乾燥装置は、上から順にトンネ
ル状の上段乾燥室１、中段乾燥室２および下段乾
燥室３がベース４上に配置された３段式のもので
ある。上段乾燥室１の内部には、その入口１ａの
外部から出口１ｂの外部にかけて、セラミツク生
シート５を載置してこのセラミツク生シート５を
搬送する上段ベルト６が設けられている。この上
段ベルト６は、上段乾燥室１の入口１ａの外部に
て支持体７ａにより回転可能に支持されたローラ
８ａと、上段乾燥室１の出口１ｂの外部にて支持
体７ｂにより回転可能に支持されたローラ８ｂと
の間に張り渡されている。上段ベルト６には、図
示しない成型機の金型から押し出されたセラミツ
ク生シート５が、上段乾燥室１の入口１ａの外部
にて支持体７ｃにより回転可能に支持されたロー
ラ８ｃと上記ローラ８ａとの間に張り渡されたベ
ルト６ａにより、搬送される。 The high-frequency continuous drying apparatus is of a three-stage type in which a tunnel-shaped upper drying chamber 1, a middle drying chamber 2, and a lower drying chamber 3 are arranged on a base 4 in order from the top. Inside the upper drying chamber 1, an upper belt 6 is provided from the outside of the inlet 1a to the outside of the outlet 1b, on which a raw ceramic sheet 5 is placed and for conveying the raw ceramic sheet 5. The upper belt 6 includes a roller 8a rotatably supported by a support 7a outside the entrance 1a of the upper drying chamber 1, and a roller 8a rotatably supported by a support 7b outside the outlet 1b of the upper drying chamber 1. It is stretched between the roller 8b and the roller 8b. On the upper belt 6, a raw ceramic sheet 5 extruded from a mold of a molding machine (not shown) is attached to a roller 8c rotatably supported by a support 7c outside the entrance 1a of the upper drying chamber 1, and the roller 8a. It is conveyed by a belt 6a stretched between.
同様に、中段乾燥室２の内部には、上段乾燥室
１の出口１ｂの下部に位置する入口２ａの外部か
ら上段乾燥室１の入口１ａの下部に位置する出口
２ｂの外部にかけて、上段乾燥室１から送り込ま
れたセラミツク生シート５を搬送する中段ベルト
９が設けられている。この中段ベルト９は、中段
乾燥室２の入口２ａの外部にて支持体１０ａによ
り回転可能に支持されたローラ１１ａと、中段乾
燥室２の出口２ｂの外部にて支持体１０ｂにより
回転可能に支持されたローラ１１ｂとの間に張り
渡されている。 Similarly, inside the middle drying chamber 2, from the outside of the inlet 2a located below the outlet 1b of the upper drying chamber 1 to the outside of the outlet 2b located below the inlet 1a of the upper drying chamber 1, the upper drying chamber A middle belt 9 is provided for conveying the raw ceramic sheet 5 fed in from 1. The middle belt 9 includes a roller 11a rotatably supported by a support 10a outside the entrance 2a of the middle drying chamber 2, and a roller 11a rotatably supported by a support 10b outside the outlet 2b of the middle drying chamber 2. It is stretched between the roller 11b and the roller 11b.
また、下段乾燥室３の内部には、中段乾燥室２
の出口２ｂの下部に位置する入口３ａの外部から
出口３ｂにかけて、中段乾燥室２から送り込まれ
たセラミツク生シート５を搬送する下段ベルト１
２が設けられている。この下段ベルト１２は、下
段乾燥室３の入口３ａの外部にて支持体１３ａに
回転可能に支持されたローラ１４ａと、下段乾燥
室３の出口３ｂの外部にて支持体１３ｂにより回
転可能に支持されたローラ１４ｂとの間に張り渡
されている。 In addition, inside the lower drying chamber 3, there is a middle drying chamber 2.
The lower belt 1 conveys the raw ceramic sheet 5 fed from the middle drying chamber 2 from the outside of the inlet 3a located at the lower part of the outlet 2b to the outlet 3b.
2 is provided. This lower belt 12 is rotatably supported by a roller 14a rotatably supported by a support 13a outside the entrance 3a of the lower drying chamber 3, and by a support 13b outside the outlet 3b of the lower drying chamber 3. It is stretched between the roller 14b and the roller 14b.
上記上段ベルト６、中段ベルト９および下段ベ
ルト１２の下部には、第２図ａおよび第２図ｂに
夫々正面図および平面図を示すように、矢印A1
およびA2で示す上段ベルト６、下段ベルト１２
および中段ベルト９の走行方向に、ほゞ一定の間
隔ｄをおいて、棒状の正（プラス）の高周波電極
１５と棒状の負（マイナス）の高周波電極１６と
が交互に配置されている。 At the lower part of the upper belt 6, the middle belt 9, and the lower belt 12, arrows A 1
and upper belt 6 and lower belt 12 shown by A 2
Rod-shaped positive (plus) high-frequency electrodes 15 and rod-shaped negative (minus) high-frequency electrodes 16 are alternately arranged at substantially constant intervals d in the running direction of the middle belt 9.
上記高周波電極１５および１６のうち、一部の
ものには、次のような電極を使用している。 Among the high frequency electrodes 15 and 16, the following electrodes are used for some of them.
たとえば第３図に示すように、高周波電極１５
および１６は、その先端部１５ａおよび１６ａま
での距離がセラミツク生シート５の巾w1の1/2よ
りもやゝ大きな位置に、直径が他の部分よりも大
きな長さw2（＜w1）の大径部１７を有する。上記
大径部１７の両側部１７ａおよび１７ｂは、テフ
ロン等の絶縁体１８ａおよび１８ｂにより被覆さ
れている。 For example, as shown in FIG.
and 16 are located at a position where the distance to the tip portions 15a and 16a is slightly larger than 1/2 of the width w 1 of the raw ceramic sheet 5, and the diameter is larger than the other portions at a length w 2 (< w 1 ) has a large diameter portion 17. Both sides 17a and 17b of the large diameter portion 17 are covered with insulators 18a and 18b such as Teflon.
上記高周波電極１５および１６は、第４図に示
すように、その各大径部１７の位置を揃えて配置
され、高周波電極１５の後端部１５ｂおよび高周
波電極１６の後端部１６ｂは夫々上段ベルト６、
中段ベルト９および下段ベルト１２の各一側およ
び各他側から引き出され（第２図ｂ参照）、図示
しない高周波発振器の正（プラス）側の出力端子
および負（マイナス）側の出力端子に夫々接続さ
れている。上記高周波電極１５および１６の大径
部１７はいずれも上段ベルト６、中段ベルト９お
よび下段ベルト１２の下面に接触している。 As shown in FIG. 4, the high-frequency electrodes 15 and 16 are arranged with their large diameter portions 17 aligned, and the rear end 15b of the high-frequency electrode 15 and the rear end 16b of the high-frequency electrode 16 are located in the upper stage, respectively. belt 6,
They are pulled out from one side and the other side of the middle belt 9 and the lower belt 12 (see FIG. 2b), and are respectively connected to the positive (plus) side output terminal and negative (minus) side output terminal of a high frequency oscillator (not shown). It is connected. The large diameter portions 17 of the high frequency electrodes 15 and 16 are all in contact with the lower surfaces of the upper belt 6, middle belt 9, and lower belt 12.
上段乾燥室１、中段乾燥室２および下段乾燥室
３はいずれも電波漏洩を防止するため、シールド
されている。 The upper drying chamber 1, the middle drying chamber 2, and the lower drying chamber 3 are all shielded to prevent leakage of radio waves.
上記のような構成を有する高周波連続乾燥装置
では、図示しない成型機の金型から連続的に押し
出されたセラミツク生シート５は、第１図に示す
ように、ベルト６ａにより上段ベルト６上に供給
され、上段乾燥室１内に送り込まれる。この上段
乾燥室１内では、セラミツク生シート５は上段ベ
ルト６の下面に接触して配置された高周波電極１
５，１６により発生される高周波電界中を通過
し、誘電加熱による乾燥が行なわれる。セラミツ
ク生シート５は上段乾燥室１の入口１ａから入つ
て出口１ｂから出るまで上記高周波電界中を通過
し、従つて、この間でセラミツク生シート５は連
続的に乾燥される。 In the high-frequency continuous drying apparatus having the above-mentioned configuration, raw ceramic sheets 5 continuously extruded from a mold of a molding machine (not shown) are supplied onto the upper belt 6 by a belt 6a, as shown in FIG. and sent into the upper drying chamber 1. In this upper drying chamber 1, the raw ceramic sheet 5 is connected to a high frequency electrode 1 disposed in contact with the lower surface of the upper belt 6.
5 and 16, and drying is performed by dielectric heating. The raw ceramic sheet 5 enters the upper drying chamber 1 through the inlet 1a and passes through the high-frequency electric field until it exits through the outlet 1b, so that the raw ceramic sheet 5 is continuously dried during this period.
上段乾燥室１の出口１ｂから出たセラミツク生
シート５は、中段ベルト９上に供給され、中段乾
燥室２に移送され、この中段乾燥室２中において
も、上記と同様に、連続的に乾燥された後、中段
乾燥室２の出口２ｂから下段ベルト１２上に供給
される。 The raw ceramic sheet 5 coming out of the outlet 1b of the upper drying chamber 1 is supplied onto the middle belt 9 and transferred to the middle drying chamber 2, where it is continuously dried in the same manner as above. After that, it is supplied onto the lower belt 12 from the outlet 2b of the middle drying chamber 2.
セラミツク生シート５は、下段乾燥室３中にお
いても上記と同様に、高周波電界中を通過して乾
燥され、下段乾燥室３の出口３ｂから乾燥シート
５ａとして送出される。 The raw ceramic sheet 5 is dried by passing through a high frequency electric field in the lower drying chamber 3 in the same manner as described above, and is sent out from the outlet 3b of the lower drying chamber 3 as a dry sheet 5a.
第１図の高周波連続乾燥装置では、第３図に示
す高周波電極１５および１６の大径部１７がその
両側部１７ａおよび１７ｂよりもセラミツク生シ
ート５に近く、このセラミツク生シート５の横巾
方向のほゞ中央部分に高周波電界が集中し、セラ
ミツク生シート５の両端部では逆に高周波電界が
分散される。これにより、高周波による誘電加熱
によつても乾燥が遅れる傾向のあるセラミツク生
シート５の横巾の中央部の乾燥が促進され、セラ
ミツク生シート５をより均一に乾燥させるこがで
きる。 In the high frequency continuous drying apparatus shown in FIG. 1, the large diameter portions 17 of the high frequency electrodes 15 and 16 shown in FIG. The high-frequency electric field is concentrated approximately at the center of the ceramic sheet 5, and conversely, the high-frequency electric field is dispersed at both ends of the raw ceramic sheet 5. This accelerates the drying of the central portion of the width of the green ceramic sheet 5, where drying tends to be delayed even by dielectric heating by high frequency, and the green ceramic sheet 5 can be dried more uniformly.
上記高周波電極１５および１６は、第５図に示
すように、一定の直径を有するアルミニウム等の
金属材料からなる電極棒２１を、その先端部２１
ａまでの距離がセラミツク生シート５の巾w1の
１／２よりもやゝ大きな位置にて、セラミツク生シ
ート５までの距離が最小となるように湾曲もしく
は折曲し、外部を絶縁樹脂２２により絶縁するよ
うにしたものを使用することもできる。 As shown in FIG. 5, the high-frequency electrodes 15 and 16 include an electrode rod 21 made of a metal material such as aluminum having a constant diameter, and
At a position where the distance to a is slightly larger than 1/2 of the width w1 of the raw ceramic sheet 5, it is bent or bent so that the distance to the raw ceramic sheet 5 is minimized, and the outside is covered with insulating resin 22. It is also possible to use one that is insulated by.
また、第６図に示すように、正（プラス）の高
周波電極１５として棒状の電極棒２３を絶縁樹脂
２４でモールドしたものを使用し、負（マイナ
ス）の高周波電極１６として、第３図において説
明したものを使用することもできる。 In addition, as shown in FIG. 6, a rod-shaped electrode rod 23 molded with insulating resin 24 is used as the positive high-frequency electrode 15, and as the negative high-frequency electrode 16, as shown in FIG. You can also use the one described.
次に、本発明の具体的な実施例について説明す
る。 Next, specific examples of the present invention will be described.
実施例 １
第１図の高周波連続乾燥装置において、上段ベ
ルト６、中段ベルト９および下段ベルト１２の下
部に高周波電極１５，１６が配置されている部分
の全長が4.7メートルで、上段乾燥室１の入口１
ａ、中段乾燥室２の入口２ａ、および下段乾燥室
３の入口３ａから１ｍと２ｍとの間の範囲の高周
波電極１５および１６を、第３図において説明し
たものに取り替えた。この高周波電極１５および
１７の有効長は220mm、大径部１７の長さおよび
径は夫々80mmおよび12mmφで、その両側部の径は
７mmφである。これらの高周波電極１５および１
６には40MHzの高周波を、残りのもには30MHzの
高周波を印加した。セラミツク生シート５として
はチタン酸バリウムを用いシート厚み0.40mm、ベ
ルトスピード12ｍ／分で乾燥をおこなつた。その
結果、波打ちのないセラミツク乾燥シートが得ら
れた。また含水率としてはシート中央部が4.5％、
シート端部が4.8％と、ほとんど差異のない含水
率が得られた。シートの厚み変動はほとんどなか
つた。Example 1 In the high-frequency continuous drying apparatus shown in FIG. Entrance 1
The high frequency electrodes 15 and 16 in the range between 1 m and 2 m from the entrance 2a of the middle drying chamber 2 and the entrance 3a of the lower drying chamber 3 were replaced with those explained in FIG. The effective length of the high-frequency electrodes 15 and 17 is 220 mm, the length and diameter of the large diameter portion 17 are 80 mm and 12 mmφ, respectively, and the diameters of both sides thereof are 7 mmφ. These high frequency electrodes 15 and 1
A high frequency of 40 MHz was applied to No. 6, and a high frequency of 30 MHz was applied to the remaining portions. Barium titanate was used as the raw ceramic sheet 5, and the sheet thickness was 0.40 mm, and drying was performed at a belt speed of 12 m/min. As a result, a ceramic dry sheet without waviness was obtained. In addition, the moisture content is 4.5% in the center of the sheet,
The moisture content at the sheet edge was 4.8%, which was almost the same. There was almost no variation in sheet thickness.
実施例 ２
第１図と同一の高周波連続乾燥装置を使用し、
上段乾燥室１の入口１ａ、中段乾燥室２の入口２
ａ、および下段乾燥室３の入口３ａから１ｍと３
ｍとの間の範囲の正（プラス）の高周波電極１５
を第１実施例において使用したものに取り替え
た。Example 2 Using the same high frequency continuous drying device as in Fig. 1,
Entrance 1a of upper drying chamber 1, entrance 2 of middle drying chamber 2
a, and 1 m from the entrance 3a of the lower drying chamber 3 and 3
positive high frequency electrode 15 in the range between
was replaced with the one used in the first example.
高周波条件、シート条件は実施例１と同様にし
て乾燥をおこなつた。その結果、波打ちのない乾
燥シート５ａが得られ、含水率としてはシート中
央部が５％、シート端部が4.7％と差異の少ない
乾燥シートを得た。連続乾燥をおこなつても含水
率の変動、シートの厚み幅の変動はみられなかつ
た。 Drying was carried out under the same high frequency conditions and sheet conditions as in Example 1. As a result, a dry sheet 5a without waviness was obtained, and the moisture content was 5% at the center of the sheet and 4.7% at the edge of the sheet, with a small difference in moisture content. Even after continuous drying, no change in moisture content or sheet thickness was observed.
実施例 ３
実施例１と同一条件において、高周波電極１５
および１６として第５図のものを使用し、セラミ
ツク生シート５の厚み0.50mm、ベルトスピード10
ｍ／分で乾燥をおこなつた。その結果、波打ちの
ない乾燥シートが得られた。また含水率としては
シート中央部が4.8％、シート端部が4.5％と、ほ
とんど差異のない含水率が得られた。Example 3 Under the same conditions as Example 1, high frequency electrode 15
and 16, the one shown in Figure 5 is used, the thickness of the raw ceramic sheet 5 is 0.50 mm, and the belt speed is 10.
Drying was carried out at m/min. As a result, a dry sheet without waviness was obtained. Furthermore, the moisture content was 4.8% in the center of the sheet and 4.5% at the edge of the sheet, with almost no difference in moisture content.
上記高周波電極１５および１６の電極棒２１の
径は10mmφ、セラミツク生シート５に対する最短
距離部分の長さが80mmで、電極棒２１の先端部２
１ａおよび後端部２１ｂとセラミツク生シート５
との間の距離は７mmである。 The diameter of the electrode rods 21 of the high-frequency electrodes 15 and 16 is 10 mmφ, the length of the shortest distance to the raw ceramic sheet 5 is 80 mm, and the tip end of the electrode rod 21 is 80 mm.
1a and rear end portion 21b and raw ceramic sheet 5
The distance between them is 7mm.
［比較例］
実施例１と同一条件において、高周波電極１５
および１６として第６図の高周波電極１５と同様
の棒状のものをを使用して乾燥を行なつた。その
結果、シート端部に波打ちがみられ消えることは
なかつた。また含水率については、シート中央部
6.5％、シート端部3.0％とシート端部の乾燥がす
すんでいることがわかつた。[Comparative Example] Under the same conditions as Example 1, high frequency electrode 15
A rod-shaped electrode similar to the high-frequency electrode 15 in FIG. 6 was used as 16 for drying. As a result, undulations were observed at the edge of the sheet and did not disappear. Regarding the moisture content, the center of the sheet
It was found that the drying of the sheet edges was progressing at 6.5% and 3.0% at the sheet edges.
本発明は第１図において説明した３段式のもの
に限定されず、１段式のものや任意段数のものに
も適用することができる。 The present invention is not limited to the three-stage type explained in FIG. 1, but can also be applied to a one-stage type or an arbitrary number of stages.
また、本発明における高周波連続乾燥装置の高
周波の意味はマイクロ波領域を含むものであるこ
とを付記しておく。 Additionally, it should be noted that the meaning of the high frequency in the high frequency continuous drying apparatus in the present invention includes the microwave region.
（発明の効果）
以上、詳述したことからも明らかなように、本
発明は、ベルトにより搬送されるセラミツク生シ
ートを高周波による誘電加熱により連続乾燥させ
るに際してセラミツク生シートの幅方向の中央部
に高周波電界が集中するようにしたので、セラミ
ツク生シートはその両端部と同様に幅方向中央部
も乾燥が促進され、安定した乾燥度を有する寸法
精度が良好でシート強度が強く、シートの破断や
湾曲のない良好な乾燥シートを得ることができ
る。(Effects of the Invention) As is clear from the above detailed description, the present invention provides a method for drying a raw ceramic sheet conveyed by a belt in the widthwise center portion of the raw ceramic sheet when continuously drying the raw ceramic sheet by dielectric heating using high frequency waves. By concentrating the high-frequency electric field, drying of the raw ceramic sheet is promoted in the width direction center as well as at both ends, resulting in stable dryness, good dimensional accuracy, strong sheet strength, and no breakage of the sheet. A good dry sheet without curvature can be obtained.
また、本発明によれば、高周波加熱によるセラ
ミツク生シートの連続乾燥が可能となり、各種電
子部品に使用されるセラミツク基板の生産性を大
巾に向上させることができる。 Further, according to the present invention, it is possible to continuously dry ceramic green sheets by high-frequency heating, and the productivity of ceramic substrates used in various electronic components can be greatly improved.
第１図は本発明に係るセラミツクシートの高周
波連続乾燥装置の全体を示す説明図、第２図ａお
よび第２図ｂは夫々第１図のセラミツクシートの
高周波連続乾燥装置のベルトに対する高周波電極
の配置関係を示す正面図および平面図、第３図は
第１図の高周波連続乾燥装置に使用される高周波
電極の断面図、第４図は第３図の高周波電極の配
置説明図、第５図は第３図の高周波電極の変形例
の断面図、第６図は高周波電極配置の変形例の配
置説明図である。
５……セラミツク生シート、５ａ……乾燥シー
ト、６……上段ベルト、９……中段ベルト、１２
……下段ベルト、１５，１６……高周波電極、１
７……大径部、１８，１９……側部、２１，２３
……電極棒。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the entire high-frequency continuous drying device for ceramic sheets according to the present invention, and FIGS. A front view and a plan view showing the arrangement relationship, Fig. 3 is a cross-sectional view of the high frequency electrode used in the high frequency continuous drying device shown in Fig. 1, Fig. 4 is an explanatory diagram of the arrangement of the high frequency electrode shown in Fig. 3, and Fig. 5 is a sectional view of a modification of the high-frequency electrode in FIG. 3, and FIG. 6 is an explanatory diagram of a modification of the high-frequency electrode arrangement. 5... Ceramic raw sheet, 5a... Dry sheet, 6... Upper belt, 9... Middle belt, 12
...Lower belt, 15, 16...High frequency electrode, 1
7... Large diameter part, 18, 19... Side part, 21, 23
...Electrode rod.
Claims (1)
ク生シートを高周波電界中を通過させて連続乾燥
するセラミツクシートの高周波連続乾燥装置であ
つて、上記ベルトの下面に配置されて上記ベルト
の走行方向にほゞ一定間隔をおいて配置されてい
る高周波電極が上記セラミツク生シートの幅方向
の中央部の高周波電界が端部の高周波電界よりも
強くなるような形状を有していることを特徴とす
るセラミツクシートの高周波連続乾燥装置。1. A high-frequency continuous drying device for ceramic sheets that continuously dries raw ceramic sheets placed on a continuously running belt by passing them through a high-frequency electric field, the device being arranged on the lower surface of the belt and extending in the running direction of the belt. The high-frequency electrodes arranged at substantially constant intervals have a shape such that the high-frequency electric field at the center in the width direction of the raw ceramic sheet is stronger than the high-frequency electric field at the ends. High frequency continuous drying equipment for ceramic sheets.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59185133A JPS6163562A (en) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | High frequency continuous drying device for ceramic sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59185133A JPS6163562A (en) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | High frequency continuous drying device for ceramic sheet |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163562A JPS6163562A (en) | 1986-04-01 |
| JPH0542391B2 true JPH0542391B2 (en) | 1993-06-28 |
Family
ID=16165445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59185133A Granted JPS6163562A (en) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | High frequency continuous drying device for ceramic sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6163562A (en) |
-
1984
- 1984-09-03 JP JP59185133A patent/JPS6163562A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6163562A (en) | 1986-04-01 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |