JPH0537292A

JPH0537292A - 弾性表面波素子

Info

Publication number: JPH0537292A
Application number: JP3194128A
Authority: JP
Inventors: Kouichi Egara; 光一江柄; Norihiro Mochizuki; 規弘望月; Kenji Nakamura; 憲司中村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1991-08-02
Filing date: 1991-08-02
Publication date: 1993-02-12

Abstract

(57)【要約】【目的】基板裏面を傾斜させてバルク波の出力信号へ
の影響を抑制する弾性表面波素子において、基板の厚さ
を薄くする。【構成】基板の弾性表面波が伝搬される第１の面に対
向する第２の面を、弾性表面波の伝搬方向に直交する方
向に沿って傾斜した面とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電体基板上で２つの
弾性表面波を互いに反対方向に伝搬させ、基板の物理的
非線形効果を利用して、これらの弾性表面波の相互作用
によって生じた信号を取り出すようにした弾性表面波素
子に関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波は、スペクトラム拡散通信を
行なうにあたってのキーデバイスとして、近年、その重
要性が増大しつつある。また、実時間信号処理デバイス
としての応用も多く、盛んに研究されている。

【０００３】このような弾性表面波素子としては、図１
６に示すような弾性表面波コンボルバが知られている。
この素子は、Ｙカット（Ｚ伝搬）ニオブ酸リチウムなど
の圧電性基板１５上に櫛型入力電極１２，１３及び出力
電極１４を設けることによって構成されている。入力電
極１２，１３に電気信号が入力されると、圧電性基板１
５に弾性表面波が励振され、これが出力電極１４でコン
ボリューション信号として取り出される。これらの電極
は通常、アルミニウムなどの導電性材料を用いて、フォ
トリソグラフィーによるパターニングによって形成され
る。

【０００４】このような弾性表面波コンボルバを用い
て、コンボリューション出力を取り出す場合には、ま
ず、櫛型入力電極１２，１３に各々、搬送角周波数ωの
２つの信号を入力し、これらの電気信号を弾性表面波信
号に変換する。そして、これらの弾性表面波を、圧電体
基板１５の表面で互いに反対方向に伝搬させ、基板の物
理的非線形効果を利用して、出力電極１４より搬送角周
波数２ωのコンボリューション信号をとり出す。

【０００５】すなわち、２つの弾性表面波を

【０００６】

【外１】とすると、基板上にはこの基板の非線形効果により、そ
の積である

【０００７】

【外２】の表面波が発生する。この信号は、一様な出力電極を設
けることにより、電極領域内で積分され、相互作用領域
長をｌとすると、

【０００８】

【外３】で表わされる信号として取出される。ここで、積分範囲
は相互作用長が信号長より大きいとき実質上±∞として
よく、

【０００９】

【外４】とすると、（１）式は、

【００１０】

【外５】となり、前記信号は２つの弾性表面波のコンボリューシ
ョンとなる。

【００１１】このようなコンボリューションのメカニズ
ムは、たとえば「柴山、“弾性表面波の応用”テレビジ
ョン、３０４５７（１９７６）」などに詳述されてい
る。

【００１２】一方、上述のように基板表面を２つの表面
波が互いに反対方向に伝搬するとき、基板の物理的非線
形効果により、基板表面に垂直な方向に進行する搬送角
周波数２ωのバルク波が発生することが、ジャーナル・
オブ・アプライド・フィジックス（Ｊｏｕｒｎａｌｏ
ｆＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ）第４９巻、第１
２号、第５９２４〜５９２７頁、１９７８年に記載され
ている。

【００１３】このようなバルク波は、基板１５の裏面で
反射し、再び基板１５の表面へもどってきて、一部は出
力電極１４より取り出される。更に一部は、基板１５の
表面で反射し、基板裏面方向へ伝搬し、再び裏面で反射
してもどってくる。

【００１４】このように、基板の裏面方向へ発生したバ
ルク波は裏面で何度も反射をくり返し、その反射波の信
号は出力電極１４よりとりだされるため、コンボリュー
ション信号に悪影響をおよぼしていた。

【００１５】一方、上述のようなバルク波の基板裏面で
の反射による影響を抑えるために、基板を弾性表面波の
伝搬方向にテーパー状となるように形成した弾性表面波
素子が、アプライド・フィジックス・レターズ（Ａｐｐ
ｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ）第１５巻、
第９号、第３００〜３０２頁、１９６９年において提案
されている。

【００１６】このような従来の素子の例を図１７に示
す。図１７において図１６と同一の部材には同一の符号
を付し、詳細な説明は省略する。

【００１７】図１７の素子において、圧電性基板１６
は、弾性表面波の伝搬方向に沿って、その厚さが変化し
ている。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１７
の素子では、基板の厚さを弾性表面波の伝搬方向に変化
させたテーパ状に素子を形成しているため、基板の表裏
面が平行である従来の弾性表面波素子に比べ、基板の厚
さが厚くなる欠点があった。すなわち、弾性表面波を伝
搬させるためには、伝搬する弾性表面波の波長をλとす
ると、数λ以上の基板の厚さが最低必要である。このた
め、基板をテーパ状にした場合、従来の基板表裏面が平
行な弾性表面波素子に比べ、一方の側で基板の厚さがか
なり厚くなってしまう問題点が生じた。

【００１９】本発明の目的は、バルク波の出力信号への
影響を抑制するため基板裏面を傾斜させた弾性表面波素
子において、基板の厚さが厚くなる問題点を改善するこ
とにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、圧
電体基板と、該基板の第１の面に形成され、所定方向に
伝搬する第１の弾性表面波を励振する第１の入力電極
と、前記基板の第１の面に形成され、所定方向と反対方
向に伝搬する第２の弾性表面波を励振する第２の入力電
極と、第１及び第２の弾性表面波の相互作用によって生
じた信号を取り出す出力電極とから成る弾性表面波素子
において、前記第１の面に対向する基板の第２の面の少
なくとも一部を、前記所定方向と直交する方向に沿って
傾斜した面とすることによって達成される。

【００２１】

【実施例】図１は、本発明の弾性表面波素子の第１実施
例を示す概略斜視図である。また。、図２は、図１の素
子の線分Ａ−Ａ′に沿った略断面図である。

【００２２】図１及び図２において、符号１は、Ｙカッ
ト（Ｚ伝搬）ニオブ酸リチウムなどから成る圧電体基板
を示す。また、符号２および３は、それぞれ基板１上に
形成された第１および第２の櫛形入力電極を示す。符号
４は基板１上の入力電極２および３の間に設けられた出
力電極を示す。入力電極２，３及び出力電極４は通常、
アルミニウムなどの導電性材料を用いて、フォトリソグ
ラフィーによるパターニングによって形成される。

【００２３】本実施例の素子において、基板裏面、即
ち、入力電極などが形成された基板１の第１の面１−１
に対向する基板１の第２の面は１−２、弾性表面波の伝
搬方向と直交する方向に沿って傾斜している。

【００２４】このような構成の弾性表面波素子におい
て、第１の入力電極２に搬送角周波数ωの第１の信号を
入力すると、この電極２から第１の入力信号に対応した
第１の弾性表面波が発生する。一方、第２の入力電極３
に搬送角周波数ωの第２の信号を入力すると、この電極
３から第２の入力信号に対応した第２の弾性表面波が発
生する。これら第１及び第２の弾性表面波は、互いに反
対方向に伝搬し、出力電極４が設けられた領域におい
て、相互作用を起こす。そして、基板１の物理的非線形
効果によって、出力電極４から第１及び第２の入力信号
のコンボリューション信号に対応する、搬送角周波数２
ωの電気信号が取り出される。

【００２５】上記のように電極４から信号を取り出して
いるとき、同時に弾性表面波の相互作用領域において、
搬送角周波数２ωのバルク波が生じ、第１の面１−１と
垂直方向に伝搬する。第１の面に対する第２の面の傾斜
角をθとすると、バルク波は、第２の面１−２によって
２θの角度で斜めに反射され、出力電極に戻らない。従
って、電極４の出力信号に対するバルク波の影響が抑制
される。

【００２６】弾性表面波素子は、弾性表面波の相互作用
長を長くするため、弾性表面波の伝搬方向に長い形状を
有している。このため、図１７のように伝搬方向に沿っ
て基板裏面を傾斜させた場合、バルク波の影響を十分に
抑制しようとすると、傾斜角を大きくしなくてはなら
ず、基板の最も厚い所の厚さを厚くしなくてはならな
い。本発明は、弾性表面波の伝搬方向に比べて短い、伝
搬方向と直交する方向に基板裏面を傾斜させているの
で、その傾斜角θをそれほど大きくしなくても、バルク
波の信号出力への影響を抑制することができ、図１７の
ような従来の素子に比べ、基板の厚さを薄くすることが
できる。

【００２７】図３は、本発明の弾性表面波素子の第２の
実施例を示す概略斜視図である。図３において、図１及
び図２と同一の部材は同一の符号を付し、詳細な説明は
省略する。

【００２８】本実施例は、第１の実施例において、更
に、入力電極２，３と出力電極４との間に、それぞれ入
力電極２及び３より励振される弾性表面波のビーム幅を
圧縮して出力電極４に導くためのホーン型導波路５及び
６を設けたものである。

【００２９】このような構成とすることで、第１の実施
例の素子に比べ、出力電極４の幅を狭めることができ
る。本実施例では、ホーン型導波路５，６により、第１
実施例の素子に対し、出力電極４の幅を１／３にするこ
とができた。このように出力電極の幅を狭くすると、基
板１の裏面の傾斜角を小さくしても、出力信号へのバル
ク波の影響を抑制することができるため、基板１の厚さ
を更に薄くすることができる。

【００３０】なお、本実施例では、ビーム幅圧縮器とし
てホーン型導波路を用いたが、代わりにマルチストリッ
プカラップを用いたり、入力電極を円弧型櫛形電極とし
たりしても、同様の効果が得られる。

【００３１】図４は、本発明の弾性表面波素子の第３の
実施例を示す概略斜視図である。また、図５は、図４の
素子の線分Ｂ−Ｂ′の沿った略断面図である。図４及び
図５において、図１及び図２と同一の部材には同一の符
号を付し、詳細な説明は省略する。

【００３２】本実施例は、基板１１の裏面、即ち、入力
電極などが形成された基板１１の第１の面１１−１に対
向する第２の面が、弾性表面波の伝搬方向に直交する方
向に沿って互いに反対の傾斜を持った２つの傾斜面１１
−２及び１１−３から構成されている点で、第１の実施
例と異なる。この２つの傾斜面は、弾性表面波の伝搬方
向に直交する方向における基板１１のほぼ中央部（ｂ
部）を境に、この中央部から離れるにしたがって、基板
の厚さが厚くなるような逆テーパー状に形成されてい
る。第１の面１１−１に対する傾斜面１１−２及び１１
−３の傾斜角を各々θ及びθ′とすると、通常θ＝θ′
に形成されるが、θ及びθ′が互いに異なるように形成
しても構わない。また、２つの傾斜面の境界（ｂ部）
は、基板の中央からいずれかの端部に偏って形成しても
良い。

【００３３】このような構成の弾性表面波素子におい
て、第１の入力電極２に搬送角周波数ωの第１の信号を
入力すると、この電極２から第１の入力信号に対応した
第１の弾性表面波が発生する。一方、第２の入力電極３
に搬送角周波数ωの第２の信号を入力すると、この電極
３から第２の入力信号に対応した第２の弾性表面波が発
生する。これら第１及び第２の弾性表面波は、互いに反
対方向に伝搬し、出力電極４が設けられた領域におい
て、相互作用を起こす。そして、基板１の物理的非線形
効果によって、出力電極４から第１及び第２の入力信号
のコンボリューション信号に対応する、搬送角周波数２
ωの電気信号が取り出される。

【００３４】上記のように電極４から信号を取り出して
いるときに、同時に弾性表面波の相互作用領域におい
て、搬送角周波数２ωのバルク波が生じ、第１の面１１
−１と垂直方向に伝搬する。このバルク波の内、ａ部か
らｂ部の間で発生した波は、傾斜面１１−２に入射す
る。この傾斜面１１−２は、第１の面に対してθの角度
を有しているので、バルク波は第１の面の法線に対して
２θの角度で反射され、電極４から取り出される出力信
号への影響が抑制される。同様に、ｂ部からｃ部の間で
発生したバルク波は、傾斜面１１−３において第１の面
の法線に対して２θ′の角度で反射され、電極４から取
り出される出力信号への影響が減少する。

【００３５】このように、本実施例の素子は、基板裏面
を２つの傾斜面に分割して構成したので、傾斜角を小さ
くしてもバルク波の出力信号への影響を抑制することが
でき、第１の実施例より更に厚さを薄くすることができ
る。

【００３６】図６は、本発明の弾性表面波素子の第４の
実施例を示す概略斜視図である。図６において、図４及
び図５と同一の部材は同一の符号を付し、詳細な説明は
省略する。

【００３７】本実施例は、第３の実施例において、更
に、入力電極２，３と出力電極４との間に、それぞれ入
力電極２及び３より励振される弾性表面波のビーム幅を
圧縮して出力電極４に導くためのホーン型導波路５及び
６を設けたものである。

【００３８】このような構成とすることで、第１の実施
例の素子に比べ、出力電極４の幅を狭めることができ
る。本実施例ではホーン型導波路５，６により、第１の
実施例の素子に対し、出力電極４の幅を１／３にするこ
とができた。このような出力電極の幅を狭くすると、基
板１１の裏面の傾斜角を小さくしても、出力信号へのバ
ルク波の影響を抑制することができるため、基板１の厚
さを更に薄くすることができる。

【００３９】なお、本実施例では、ビーム幅圧縮器とし
てホーン型導波路を用いたが、代わりにマルチストリッ
プカップラを用いたり、入力電極を円弧型櫛形電極とし
たりしても、同様の効果が得られる。

【００４０】図７は、本発明の弾性表面波素子の第５の
実施例を示す概略斜視図である。また、図８は、図７の
素子の線分Ｃ−Ｃ′の沿った略断面図である。図７及び
図８において、図１及び図２と同一の部材には同一の符
号を付し、詳細な説明は省略する。

【００４１】本実施例は、基板２１の裏面、即ち、入力
電極などが形成された基板２１の第１の面２１−１に対
向する第２の面が、弾性表面波の伝搬方向に直交する方
向に沿って互いに反対の傾斜を持った２つの傾斜面２１
−２，２１−３及び第１の面２１−１と平行な面２１−
４，２１−５から構成されている点で、第１の実施例と
異なる。この２つの傾斜面は、弾性表面波の伝搬方向に
直交する方向における基板１１のほぼ中央部（ｂ部）を
境に、この中央部から離れるにしたがって、基板の厚さ
が厚くなるような逆テーパー状に形成されている。第１
の面２１−１に対する傾斜面２１−２及び２１−３の傾
斜角を各々θ及びθ′とすると、通常θ＝θ′に形成さ
れるが、θ及びθ′が互いに異なるように形成しても構
わない。また、２つの傾斜面の境界（ｂ部）は、基板の
中央からいずれかの端部に偏って形成しても良い。傾斜
面２１−２，２１−３は、第１の面２１−１の出力電極
が形成された領域に対向する位置に設けられている。そ
して、上記領域以外の領域に対向する基板裏面は、第１
の面２１−１と平行に形成されている。

【００４２】このような構成とすることによって、本実
施例は、第３の実施例と同じ効果を保ちながら基板の厚
さを更に薄くすることが可能である。

【００４３】図９は、本発明の弾性表面波素子の第６の
実施例を示す概略斜視図である。また、図１０は、図９
の素子の線分Ｄ−Ｄ′の沿った略断面図である。図９及
び図１０において、図１及び図２と同一の部材には同一
の符号を付し、詳細な説明は省略する。

【００４４】本実施例は、基板３１の裏面、即ち、入力
電極などが形成された基板３１の第１の面３１−１に対
向する第２の面が、弾性表面波の伝搬方向に直交する方
向に沿って傾斜した面３１−２及び第１の面３１−１と
平行な面３１−３，３１−４から構成される点で、第１
の実施例と異なる。傾斜面３１−２は、第１の面３１−
１に対して、θの角度で傾斜している。そして、傾斜面
３１−２は、第１の面３１−１の出力電極４が形成され
た領域に対向する位置に設けられている。そして、上記
領域以外の領域に対向する基板裏面は、第１の面３１−
１と平行に形成されている。

【００４５】このような構成とすることによって、本実
施例は、第１の実施例と同じ効果を保ちながら、基板の
厚さを更に薄くすることが可能である。

【００４６】また、上記第５及び第６の実施例は、基板
の端部において表裏面が互いに平行であるので、第１〜
第４実施例に対して、更に以下の効果が得られる。

【００４７】１）基板をステムに固定し易い。

【００４８】２）基板をステムに固定した場合に、基板
表面がステムの固定面と平行になるため、ワイヤボンデ
ィングなどの歩留りが向上する。

【００４９】３）通常のフォトリソグラフィー技術の露
光工程を用いて、基板表面の入力電極及び出力電力を形
成することができる。

【００５０】図１１は、以上説明したような弾性表面波
素子をコンボルバとして用いた通信システムの一例を示
すブロック図である。図１１において、符号１２５は送
信機を示す。この送信機は、送信すべき信号をスペクト
ラム拡散して、アンテナ１２６より送信する。送信され
た信号は、受信機１２４のアンテナ１２０で受信され、
受信信号１０１は周波数変換回路１０２に入力される。
周波数変換回路１０２で弾性表面波コンボルバの入力周
波数に合う周波数に変換されたＩＦ信号１０３は、図１
〜図１０に示したような本発明の弾性表面波素子から成
るコンボルバ１０４に入力される。ここでＩＦ信号１０
３は、コンボルバの一方の入力励振電極、例えば図１の
電極２に入力される。

【００５１】一方、参照信号発生回路１０５から出力さ
れる参照信号１０６は、弾性表面波コンボルバ１０４の
他方の入力励振電極例えば図１の電極３に入力される。
そして、コンボルバ１０４では、先に説明したようにＩ
Ｆ信号１０３と参照信号１０６とのコンボリューション
演算（相関演算）が行われ、出力トランスデューサ、例
えば図１の出力電極４より、出力信号（コンボリューシ
ョン信号）１０９が出力される。

【００５２】この出力信号１０９は、同期回路１０８に
入力される。同期回路１０８では、弾性表面波コンボル
バ１０４の出力信号１０９より同期信号１１１および１
１２が作られてそれぞれ参照信号発生回路１０５および
逆拡散回路１０７に入力される。参照信号発生回路１０
５では、同期信号１１１を用いて参照信号１０６をその
タイミングを調整して出力する。逆拡散回路１０７では
同期信号１１２を用いてＩＦ信号１０３をスペクトラム
拡散される前の信号に戻す。この信号は復調回路１１０
にて情報信号に変換されて出力される。図１２に逆拡散
回路１０７の構成例を示す。図１２において、１２１は
符号発生器、１２３は乗算器である。符号発生器１２１
には、同期回路１０８から出力される同期信号１１２が
入力され、この同期信号１１２によってタイミングを調
節された符号１２２が出力される。乗算器１２３にはＩ
Ｆ信号１０３と符号１２２が入力され、ＩＦ信号１０３
と符号１２２との乗算結果が出力される。この時、ＩＦ
信号１０３と符号１２２とのタイミングが合っていれ
ば、ＩＦ信号１０３はスペクトラム拡散される前の信号
に変換されて出力される。

【００５３】尚、受信信号１０１の周波数が弾性表面波
コンボルバ１０４の入力周波数に合っている場合には、
周波数変換回路１０２は不要であり、受信信号１０１を
増幅器およびフィルタを通して直接、弾性表面波コンボ
ルバ１０４に入力して良い。また、図１１では説明をわ
かりやすくするために増幅器やフィルタを省略して記し
たが、必要に応じて各ブロックの前段あるいは後段に増
幅器やフィルタを挿入しても良い。更に、本実施例では
送信信号をアンテナ１２０にて受信しているが、アンテ
ナ１２０を用いずに送信機と受信機とをケーブルなどの
有線系で直接接続しても良い。

【００５４】図１３は、図１１の通信システムにおける
受信機１２４の第１の変形例を示すブロック図である。
図１３において、図１１と同一の部材には同一の符号を
付し、詳細な説明は省略する。

【００５５】本例は、同期追従回路１１３が設けられ、
ＩＦ信号１０３が同期追従回路１１３にも入力されてい
る。また、同期回路１０８から出力される同期信号１１
２は同期追従回路１１３に入力され、同期追従回路１１
３から出力される同期信号１１４が逆拡散回路１０７に
入力されている。これらの点で図１１の例と異なる。同
期追従回路としては、タウ・ディザループ回路や遅延ロ
ックループ回路などがあるが、そのいずれを用いても良
い。

【００５６】本実施例においても図１１の例と同様の作
用効果が得られるが、更に本実施例では同期回路１０８
にて大まかな同期を取った後に、同期追従回路１１３に
より更に精度よく同期を取り、同期追従を行うので、同
期はずれが起こりにくくなり、誤り率を下げることがで
きる。

【００５７】図１４は、図１１の通信システムにおける
受信機１２４の第２の変形例を示すブロック図である。
図１４において、図１１と同一の部材には同一の符号を
付し、詳細な説明は省略する。

【００５８】本例では、弾性表面波コンボルバ１０４か
らの出力を検波回路１１５に入力し、検波回路１１５の
出力により復調を行なっている。検波回路１１５として
は、同期検波回路や遅延検波回路、包絡線検波回路があ
り、信号の変調方式などにより使い分けることができ
る。

【００５９】今、受信信号１０１が位相変調、周波数変
調、振幅変調などのある変調がなされた信号とすると、
弾性表面波コンボルバ１０４からの出力１０９には、そ
れらの変調情報が反映されている。特に、弾性表面波コ
ンボルバ１０４の導波路の長さｄが、受信信号１０１デ
ータ１ビット当たりの時間をＴ、弾性表面波速度をｖと
して、ｄ＝ｖＴを満たすならば、出力１０９に変調情報
がそのまま現れる。例えば、位相変調された信号ｆ
（ｔ）ｅｘｐ（ｊθ）が送信され、この信号を受信信号
１０１として受信したとする。

【００６０】この際、参照信号ｇ（ｔ）１０６を弾性表
面波素子１０４に入力すると、その出力１０９は、ｆ（ｔ）ｅｘｐ（ｊθ）ｇ（τ−ｔ）ｄｔ＝ｅｘｐ（ｊθ）ｆ（ｔ）ｇ（τ− ｔ）ｄｔ …（３）となり、位相変調の情報が現れる。したがって、弾性表
面波素子１０４の出力１０９を適切な検波回路１１５に
通すことにより復調することができる。

【００６１】図１５は、図１１の通信システムにおける
受信機１２４の第３の変形例を示すブロック図である。
図１５において、図１４と同一の部材には同一の符号を
付し、詳細な説明は省略する。

【００６２】本例では、同期回路１０８が設けられ、弾
性表面波コンボルバ１０４の出力１０９が同期回路１０
８にも入力されている。また、同期回路１０８から同期
信号１１１が出力されて参照信号発生回路１０５に入力
されている。これらの点で図１４の例と異なる。

【００６３】本実施例においても図１４の例と同様の作
用効果が得られるが、本実施例では同期回路１０８を設
け、同期回路１０８から出力される同期信号１１１によ
って参照信号発生回路１０５を制御しているので、同期
を安定に取ることができる。

【００６４】本発明は、以上説明した実施例の他にも種
々の応用が可能である。

【００６５】例えば、上記第１〜第６実施例における櫛
型入力電極２，３をダブル電極（スプリット電極）とす
ることにより、これらの入力電極２，３における弾性表
面波の反射を抑圧でき、素子の特性をより一層良好なも
のにすることができる。

【００６６】さらに、本発明において、基板はニオブ酸
リチウム等の圧電体単結晶に限定されるものではなく、
例えば半導体やガラス基板上に圧電膜を付加した構造
等、パラメトリック・ミキシング効果がある材料及び構
造であればよい。

【００６７】また、上記第１〜第６の実施例ではエラス
テック型コンボルバを用いたがＡＥ型や、分割導波路型
でも同様の効果が得られる。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように本発明の弾性表面波
素子は、基板の弾性表面波が伝搬される第１の面に対向
する第２の面を、弾性表面波の伝搬方向に直交する方向
に沿って傾斜した面としたので、弾性表面波から生ずる
バルク波の出力信号への影響を抑制し、且つ、基板の厚
さを薄くできる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の弾性表面波素子の第１実施例を示す概
略斜視図である。

【図２】図１の素子の線分Ａ−Ａ′に沿った略断面図で
ある。

【図３】本発明の弾性表面波素子の第２実施例を示す概
略斜視図である。

【図４】本発明の弾性表面波素子の第３実施例を示す概
略斜視図である。

【図５】図４の素子の線分Ｂ−Ｂ′に沿った略断面図で
ある。

【図６】本発明の弾性表面波素子の第４実施例を示す概
略斜視図である。

【図７】本発明の弾性表面波素子の第５実施例を示す概
略斜視図である。

【図８】図７の素子の線分Ｃ−Ｃ′に沿った略断面図で
ある。

【図９】本発明の弾性表面波素子の第６実施例を示す概
略斜視図である。

【図１０】図９の素子の線分Ｄ−Ｄ′に沿った略断面図
である。

【図１１】本発明の弾性表面波素子を用いた通信システ
ムの一例を示すブロック図である。

【図１２】図１１の逆拡散回路の具体的構成例を示すブ
ロック図である。

【図１３】図１１の受信機の変形例を示すブロック図で
ある。

【図１４】図１１の受信機の変形例を示すブロック図で
ある。

【図１５】図１１の受信機の変形例を示すブロック図で
ある。

【図１６】従来の弾性表面波素子の第１の例を示す概略
斜視図である。

【図１７】従来の弾性表面波素子の第２の例を示す概略
斜視図である。

【符号の説明】

１圧電体基板２第１の入力電極３第２の入力電極４出力電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電体基板と、該基板の第１の面に形成
され、所定方向に伝搬する第１の弾性表面波を励振する
第１の入力電極と、前記基板の第１の面に形成され、所
定方向と反対方向に伝搬する第２の弾性表面波を励振す
る第２の入力電極と、第１及び第２の弾性表面波の相互
作用によって生じた信号を取り出す出力電極とから成る
弾性表面波素子において、前記第１の面に対向する基板
の第２の面の少なくとも一部を、前記所定方向と直交す
る方向に沿って傾斜した面としたことを特徴とする弾性
表面波素子。
【請求項２】前記出力電極は、第１の入力電極と第２
の入力電極との間の基板の第１の面上に設けられ、前記
傾斜面が、出力電極が設けられた領域に対向する第２の
面の一部に設けられ、第２の面の傾斜面以外の部分が第
１の面と平行に形成された請求項１の弾性表面波素子。
【請求項３】前記第２の面の少なくとも一部が、所定
方向と直交する方向に沿って互いに反対の傾斜を持った
２つの面から構成された請求項１の弾性表面波素子。
【請求項４】前記出力電極は、第１の入力電極と第２
の入力電極との間の基板の第１の面上に設けられ、前記
２つの傾斜面が、出力電極が設けられた領域に対向する
第２の面の一部に設けられ、第２の面の傾斜面以外の部
分が第１の面と平行に形成された請求項３の弾性表面波
素子。