JPH05346517A - レーザ融着接続装置及び方法 - Google Patents
レーザ融着接続装置及び方法Info
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- JPH05346517A JPH05346517A JP4155210A JP15521092A JPH05346517A JP H05346517 A JPH05346517 A JP H05346517A JP 4155210 A JP4155210 A JP 4155210A JP 15521092 A JP15521092 A JP 15521092A JP H05346517 A JPH05346517 A JP H05346517A
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- fusion splicing
- laser
- fusion
- optical
- silica
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の石英系光導波路と複数の光ファイバを
同時に、低損失に、且つばらつき無く、再現性良く融着
接続する。 【構成】 ＣＯ2 レーザ発振器１，２から出射されたレ
ーザビーム３，４を各々複数に分岐させて複数の石英系
光導波路２７〜３０と複数の光ファイバ３１〜３４との
各融着接続部３５〜３８へ導く。それぞれのレーザビー
ム７〜１０を複数の集光レンズ２３〜２６によって別々
に集光して各融着接続部３５〜３８へ照射する。また、
全ての融着接続部３５〜３８の温度が等しくなるように
２本以上のＣＯ2 レーザビームを重ね合せて照射する方
法もとる。
同時に、低損失に、且つばらつき無く、再現性良く融着
接続する。 【構成】 ＣＯ2 レーザ発振器１，２から出射されたレ
ーザビーム３，４を各々複数に分岐させて複数の石英系
光導波路２７〜３０と複数の光ファイバ３１〜３４との
各融着接続部３５〜３８へ導く。それぞれのレーザビー
ム７〜１０を複数の集光レンズ２３〜２６によって別々
に集光して各融着接続部３５〜３８へ照射する。また、
全ての融着接続部３５〜３８の温度が等しくなるように
２本以上のＣＯ2 レーザビームを重ね合せて照射する方
法もとる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＯ2 レーザ光を用い
て、同一平面上に形成された複数の石英系光導波路と複
数の光ファイバとを同時に融着接続するレーザ融着接続
装置及び方法に関するものである。
て、同一平面上に形成された複数の石英系光導波路と複
数の光ファイバとを同時に融着接続するレーザ融着接続
装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】石英を材料に用いた光部品は、リン、ボロ
ン、ゲルマニウム、チタン、フッソ等の不純物をドーパ
ントとして用いることにより、光に対する屈折率を任意
に制御できるため、低損失な光導波路が作製できる。最
近では、ホトリソグラフィーにより光導波路を高精度、
高密度に加工した、光分岐器、波長合分波器、光フィル
ター等の通信用光部品の開発が盛んに行われている。こ
れらの光部品は、同一基板上に光導波路を介して複数の
素子が集積されているため、基板内では光信号を低損失
に伝送し、処理することができる。しかし、通信システ
ムに実用する場合は、他の光部品との光信号の授受が必
要となる。一般に、光信号の伝送は光ファイバによって
行われており、実用上、各々の光部品には光ファイバピ
ッグテイルが取り付けられ、光ファイバどうしは高性能
コネクタにより低損失で簡単に脱着することができるよ
うになっている。光部品と光ファイバとの接続には、光
導波路とファイバとの間に一定の空隙を設け、光軸を機
械的に高精度に調整して各々を固定する方式と、光ファ
イバを光導波路の端面に直接融着接続する方式とがあ
り、それぞれ検討が進められている。各々の方式とも特
長を有しているが、融着接続方式は、光ファイバと光導
波路の端面とを溶融により一体化して永久接続するた
め、マッチングオイル等を必要とせず接続部での反射が
極めて小さい、軸ずれの恐れがなく長期信頼性に優れて
いる等の利点を有している。
ン、ゲルマニウム、チタン、フッソ等の不純物をドーパ
ントとして用いることにより、光に対する屈折率を任意
に制御できるため、低損失な光導波路が作製できる。最
近では、ホトリソグラフィーにより光導波路を高精度、
高密度に加工した、光分岐器、波長合分波器、光フィル
ター等の通信用光部品の開発が盛んに行われている。こ
れらの光部品は、同一基板上に光導波路を介して複数の
素子が集積されているため、基板内では光信号を低損失
に伝送し、処理することができる。しかし、通信システ
ムに実用する場合は、他の光部品との光信号の授受が必
要となる。一般に、光信号の伝送は光ファイバによって
行われており、実用上、各々の光部品には光ファイバピ
ッグテイルが取り付けられ、光ファイバどうしは高性能
コネクタにより低損失で簡単に脱着することができるよ
うになっている。光部品と光ファイバとの接続には、光
導波路とファイバとの間に一定の空隙を設け、光軸を機
械的に高精度に調整して各々を固定する方式と、光ファ
イバを光導波路の端面に直接融着接続する方式とがあ
り、それぞれ検討が進められている。各々の方式とも特
長を有しているが、融着接続方式は、光ファイバと光導
波路の端面とを溶融により一体化して永久接続するた
め、マッチングオイル等を必要とせず接続部での反射が
極めて小さい、軸ずれの恐れがなく長期信頼性に優れて
いる等の利点を有している。
【０００３】一般に、光導波路と光ファイバとの融着接
続には、エネルギー源としてＣＯ2 レーザ光が用いられ
ている。波長が10.6μｍのＣＯ2 レーザ光は石英系材料
に効率よく吸収されるため、融着接続用熱源としては最
適である。しかも、レンズで集光することにより、微小
なスポットで任意の部位に照射し、選択的に溶融させる
ことが可能である。
続には、エネルギー源としてＣＯ2 レーザ光が用いられ
ている。波長が10.6μｍのＣＯ2 レーザ光は石英系材料
に効率よく吸収されるため、融着接続用熱源としては最
適である。しかも、レンズで集光することにより、微小
なスポットで任意の部位に照射し、選択的に溶融させる
ことが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】単芯の光ファイバと石
英系光導波路は、ＣＯ2 レーザ光を用いて、1.0 dB以下
の損失で再現性良く接続できる。しかし、ＣＯ2 レーザ
融着接続は、融着接続部の適当な位置に一定のパワー密
度を有するレーザビームを照射して溶融させるため、融
着接続部では石英の流動により軸方向でのコアの伸縮及
び、クラッド表面の隆起が発生する。このため、融着接
続する第１の導波路の近辺に他の第２の導波路がある
と、第１の導波路にファイバを融着接続するときの熱の
影響により第２の導波路のコア、クラッドの変形や、導
波路端面のだれが発生し、第２の導波路とファイバの低
損失融着が困難となってしまう。
英系光導波路は、ＣＯ2 レーザ光を用いて、1.0 dB以下
の損失で再現性良く接続できる。しかし、ＣＯ2 レーザ
融着接続は、融着接続部の適当な位置に一定のパワー密
度を有するレーザビームを照射して溶融させるため、融
着接続部では石英の流動により軸方向でのコアの伸縮及
び、クラッド表面の隆起が発生する。このため、融着接
続する第１の導波路の近辺に他の第２の導波路がある
と、第１の導波路にファイバを融着接続するときの熱の
影響により第２の導波路のコア、クラッドの変形や、導
波路端面のだれが発生し、第２の導波路とファイバの低
損失融着が困難となってしまう。
【０００５】同一平面上に形成された複数の石英系光導
波路に多芯のテープファイバ等を接続する場合に、各々
のファイバを１本づつ、順番に融着接続すると、あとか
ら融着接続する導波路の端面にだれが生じ、コアに歪み
が発生するため、ファイバとの光軸調整が困難になり融
着接続後の損失が増加する。このように１本のＣＯ2 レ
ーザビームを用いる方式では各々の融着接続部の損失に
0.5〜3dB のばらつきが発生し、均一な接続ができなか
った。
波路に多芯のテープファイバ等を接続する場合に、各々
のファイバを１本づつ、順番に融着接続すると、あとか
ら融着接続する導波路の端面にだれが生じ、コアに歪み
が発生するため、ファイバとの光軸調整が困難になり融
着接続後の損失が増加する。このように１本のＣＯ2 レ
ーザビームを用いる方式では各々の融着接続部の損失に
0.5〜3dB のばらつきが発生し、均一な接続ができなか
った。
【０００６】また、融着接続に用いられるＣＯ2 レーザ
ビームはシングルモードであり、図６に示すようにガウ
ス型のパワー分布になっている。例えば、４本の光ファ
イバが0.25mm間隔で配置された４芯テープファイバと、
0.25mm間隔で形成された４つの石英系光導波路を夫々融
着接続するために、ビーム径を 2mmに制御したシングル
モードＣＯ2 レーザビームを照射すると、照射部の温度
分布は中心が高く、周辺に向かって低くなる凸分布とな
る。溶融した石英は温度の高い方向に向かって流動する
ため、中心から離れた融着接続部の光導波路及びファイ
バのクラッドは中心に向かって引っ張られ、照射前に調
整したコアの光軸にずれが生じる。このため中央付近で
は0.1 〜0.5dB の接続損失で接続できるのに対し、周辺
の融着接続部では損失が1 〜3dB と非常に大きくなって
しまい、大きなばらつきが生じる。照射するＣＯ2 レー
ザのビーム径を大きくして、融着接続部の範囲でほぼパ
ワー分布が最大、同一に制御すると、融着接続部以外に
照射されるパワーが大きくなり過ぎ、ファイバの変形
や、素子全体の急激な加熱をひき起こし、実用的でな
い。
ビームはシングルモードであり、図６に示すようにガウ
ス型のパワー分布になっている。例えば、４本の光ファ
イバが0.25mm間隔で配置された４芯テープファイバと、
0.25mm間隔で形成された４つの石英系光導波路を夫々融
着接続するために、ビーム径を 2mmに制御したシングル
モードＣＯ2 レーザビームを照射すると、照射部の温度
分布は中心が高く、周辺に向かって低くなる凸分布とな
る。溶融した石英は温度の高い方向に向かって流動する
ため、中心から離れた融着接続部の光導波路及びファイ
バのクラッドは中心に向かって引っ張られ、照射前に調
整したコアの光軸にずれが生じる。このため中央付近で
は0.1 〜0.5dB の接続損失で接続できるのに対し、周辺
の融着接続部では損失が1 〜3dB と非常に大きくなって
しまい、大きなばらつきが生じる。照射するＣＯ2 レー
ザのビーム径を大きくして、融着接続部の範囲でほぼパ
ワー分布が最大、同一に制御すると、融着接続部以外に
照射されるパワーが大きくなり過ぎ、ファイバの変形
や、素子全体の急激な加熱をひき起こし、実用的でな
い。
【０００７】本発明の目的は、前期した従来技術の問題
点を解決し、同一平面上に形成された複数の石英系光導
波路と複数の光ファイバとを低損失で、ばらつき無く、
再現性良く融着接続することができるレーザ融着接続装
置並びにレーザ融着接続方法を提供することにある。
点を解決し、同一平面上に形成された複数の石英系光導
波路と複数の光ファイバとを低損失で、ばらつき無く、
再現性良く融着接続することができるレーザ融着接続装
置並びにレーザ融着接続方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のレーザ融着接続装置は、ＣＯ2 レーザ発振器か
ら出射されたＣＯ2 レーザビームを複数に分岐させて、
複数の石英系光導波路と複数の光ファイバとの各融着接
続部へ導くための光学系と、その光学系からのＣＯ2 レ
ーザビームを別々に集光して各融着接続部へ照射するた
めの複数の集光レンズとを備えたことを特徴とし、ま
た、本発明のレーザ融着接続方法は、複数の石英系光導
波路と複数の光ファイバとの融着接続部に、全ての融着
接続部の温度が等しくなるように２本以上のＣＯ2 レー
ザビームを重ね合わせて照射するようにしたことを特徴
とする。
本発明のレーザ融着接続装置は、ＣＯ2 レーザ発振器か
ら出射されたＣＯ2 レーザビームを複数に分岐させて、
複数の石英系光導波路と複数の光ファイバとの各融着接
続部へ導くための光学系と、その光学系からのＣＯ2 レ
ーザビームを別々に集光して各融着接続部へ照射するた
めの複数の集光レンズとを備えたことを特徴とし、ま
た、本発明のレーザ融着接続方法は、複数の石英系光導
波路と複数の光ファイバとの融着接続部に、全ての融着
接続部の温度が等しくなるように２本以上のＣＯ2 レー
ザビームを重ね合わせて照射するようにしたことを特徴
とする。
【０００９】
【作用】上記構成による本発明のレーザ融着接続装置に
よれば、融着接続する石英系光導波路の数に合わせてＣ
Ｏ2 レーザビームを複数に分岐させ、それらを複数の集
光レンズで別々に集光することによって、それぞれの融
着接続部に対して最適となるＣＯ2 レーザビームを同時
に照射することができるので、コアの歪みを抑え低損
失、且つ均一に多芯融着接続を行うことができる。
よれば、融着接続する石英系光導波路の数に合わせてＣ
Ｏ2 レーザビームを複数に分岐させ、それらを複数の集
光レンズで別々に集光することによって、それぞれの融
着接続部に対して最適となるＣＯ2 レーザビームを同時
に照射することができるので、コアの歪みを抑え低損
失、且つ均一に多芯融着接続を行うことができる。
【００１０】また、本発明のレーザ融着接続方法によれ
ば、ＣＯ2 レーザビーム内の低パワー側が照射される部
分に別のＣＯ2 レーザビームを照射して、全ての融着接
続部の温度が等しくなるようにビームを重ね合わせるこ
とによって、外側の融着接続部から中央の融着接続部へ
向かっての導波路クラッドの流動が抑制されるため、コ
アの光軸ずれも抑制され、融着接続部間の接続損失のば
らつきが低減できる。融着接続部の温度分布を均一化す
るためには、２本以上のシングルモードビームの照射位
置を抑制して最適重ね合わせ状態を設定し、均一性を高
めるためには、異なる集光径のビームを用いると効果的
である。
ば、ＣＯ2 レーザビーム内の低パワー側が照射される部
分に別のＣＯ2 レーザビームを照射して、全ての融着接
続部の温度が等しくなるようにビームを重ね合わせるこ
とによって、外側の融着接続部から中央の融着接続部へ
向かっての導波路クラッドの流動が抑制されるため、コ
アの光軸ずれも抑制され、融着接続部間の接続損失のば
らつきが低減できる。融着接続部の温度分布を均一化す
るためには、２本以上のシングルモードビームの照射位
置を抑制して最適重ね合わせ状態を設定し、均一性を高
めるためには、異なる集光径のビームを用いると効果的
である。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例について図１乃至図５
に従って説明する。
に従って説明する。
【００１２】〈実施例１〉図１に示すレーザ融着接続装
置は、２つのＣＯ2 レーザ発振器１，２を備え、これら
から出射されるＣＯ2 レーザ光３，４をそれぞれ２分岐
することで合計４か所に同時にレーザ照射するものであ
る。この場合、それぞれのＣＯ2 レーザ発振器１，２よ
り水平に出射されたレーザビーム３，４は、ＺｎＳｅビ
ームスプリッタ５，６と反射ミラー３９，４０とにより
融着用ビーム７，８及び９，１０に分けられる。各々の
融着用ビーム７〜１０に対して、照射時間を制御するた
めのシャッタ１１〜１４と、レーザパワーを微調整する
アッテネータ１５〜１８と、ビームを鉛直下方へ反射さ
せる反射ミラー１９〜２２とからなる光学系が設けられ
ている。さらに、それぞれの反射ミラー１９〜２２の下
方には、融着用ビーム７〜１０を別々に集光し、石英系
光導波路２７〜３０と0.25mm間隔で配置された光ファイ
バ３１〜３４との融着接続部３５〜３８に独立に照射す
るための集光レンズ２３〜２６が設けられている。石英
系光導波路２７〜３０と光ファイバ３１〜３４との光軸
を調整した後に、この装置によって同時に融着用ビーム
７〜１０を照射して融着接続を行ったところ、融着接続
部３５〜３８の接続損失は、夫々0.6、 0.3、 0.3、 0.
5dBとなり、ばらつきは0.3dB となった。
置は、２つのＣＯ2 レーザ発振器１，２を備え、これら
から出射されるＣＯ2 レーザ光３，４をそれぞれ２分岐
することで合計４か所に同時にレーザ照射するものであ
る。この場合、それぞれのＣＯ2 レーザ発振器１，２よ
り水平に出射されたレーザビーム３，４は、ＺｎＳｅビ
ームスプリッタ５，６と反射ミラー３９，４０とにより
融着用ビーム７，８及び９，１０に分けられる。各々の
融着用ビーム７〜１０に対して、照射時間を制御するた
めのシャッタ１１〜１４と、レーザパワーを微調整する
アッテネータ１５〜１８と、ビームを鉛直下方へ反射さ
せる反射ミラー１９〜２２とからなる光学系が設けられ
ている。さらに、それぞれの反射ミラー１９〜２２の下
方には、融着用ビーム７〜１０を別々に集光し、石英系
光導波路２７〜３０と0.25mm間隔で配置された光ファイ
バ３１〜３４との融着接続部３５〜３８に独立に照射す
るための集光レンズ２３〜２６が設けられている。石英
系光導波路２７〜３０と光ファイバ３１〜３４との光軸
を調整した後に、この装置によって同時に融着用ビーム
７〜１０を照射して融着接続を行ったところ、融着接続
部３５〜３８の接続損失は、夫々0.6、 0.3、 0.3、 0.
5dBとなり、ばらつきは0.3dB となった。
【００１３】また、図２に示すように、外側の融着接続
部３５，３８に融着用ビーム７，１０を照射するための
集光レンズ２３，２６の焦点距離を中央の融着接続部３
６，３７に融着用ビーム８，９を照射するための集光レ
ンズ２４，２５の焦点距離よりも短くし融着用ビーム７
〜１０の照射角度差を小さくして融着接続を行ったとこ
ろ、融着接続部３５〜３８の接続損失は、夫々 0.5、
0.3、 0.3、 0.4dBとなり、ばらつきは0.2dB となっ
た。
部３５，３８に融着用ビーム７，１０を照射するための
集光レンズ２３，２６の焦点距離を中央の融着接続部３
６，３７に融着用ビーム８，９を照射するための集光レ
ンズ２４，２５の焦点距離よりも短くし融着用ビーム７
〜１０の照射角度差を小さくして融着接続を行ったとこ
ろ、融着接続部３５〜３８の接続損失は、夫々 0.5、
0.3、 0.3、 0.4dBとなり、ばらつきは0.2dB となっ
た。
【００１４】〈実施例２〉図３に示す装置は、本発明の
レーザ融着接続方法によって石英系光導波路と光ファイ
バとを多芯融着接続するためのものである。この場合、
４本の石英系光導波路４１，４２、４３、４４が形成さ
れた光部品４５に、o.25mm間隔で配置された４本のシン
グルモード光ファイバ４６、４７、４８、４９のテープ
５０を融着接続するために、ＣＯ2 レーザ発振器５１か
ら出射されたレーザビーム５２をビームスプリッタ５３
で分岐させ、シャッタ５４，５５及びアッテネータ５
６，５７を通した後にミラー５８、５９により鉛直下方
に反射させ、微調位置合わせ機構の付いたレンズ（焦点
距離１５インチ）６０、６１で集光させ、融着接続部６
２〜６５に上方から照射する。このとき、図４に示すよ
うに融着接続部の温度分布が４つの融着接続部６２〜６
５で均一になるように融着レーザビーム６６、６７の位
置をレンズ６０及び６１で調整する。
レーザ融着接続方法によって石英系光導波路と光ファイ
バとを多芯融着接続するためのものである。この場合、
４本の石英系光導波路４１，４２、４３、４４が形成さ
れた光部品４５に、o.25mm間隔で配置された４本のシン
グルモード光ファイバ４６、４７、４８、４９のテープ
５０を融着接続するために、ＣＯ2 レーザ発振器５１か
ら出射されたレーザビーム５２をビームスプリッタ５３
で分岐させ、シャッタ５４，５５及びアッテネータ５
６，５７を通した後にミラー５８、５９により鉛直下方
に反射させ、微調位置合わせ機構の付いたレンズ（焦点
距離１５インチ）６０、６１で集光させ、融着接続部６
２〜６５に上方から照射する。このとき、図４に示すよ
うに融着接続部の温度分布が４つの融着接続部６２〜６
５で均一になるように融着レーザビーム６６、６７の位
置をレンズ６０及び６１で調整する。
【００１５】光ファイバ４６〜４９と石英系光導波路４
１〜４４の光軸を調整した後に、シャッタ５４、５５で
照射時間を制御し、アッテネータ５６、５７で一定パワ
ーに設定した融着用ビーム６６、６７を同時に照射して
融着接続したところ、融着接続部６２〜６５の損失は夫
々、0.3 ，0.4 ，0.4 ，0.3dB となり、ばらつきは0.1d
B であった。
１〜４４の光軸を調整した後に、シャッタ５４、５５で
照射時間を制御し、アッテネータ５６、５７で一定パワ
ーに設定した融着用ビーム６６、６７を同時に照射して
融着接続したところ、融着接続部６２〜６５の損失は夫
々、0.3 ，0.4 ，0.4 ，0.3dB となり、ばらつきは0.1d
B であった。
【００１６】また、図５に示すように、焦点距離20イン
チの集光レンズ６８で集光したレーザビーム６９の両側
に、焦点距離15インチの集光レンズ７０，７１で集光し
たレーザービーム７２、７３を照射して幅 2mmの範囲で
温度分布を均一に保ち、光導波路間隔0.25mmの８本の石
英系光導波路７４〜８１と８芯シングルモードテープフ
ァイバ８２を融着接続したところ、各々の融着接続部で
の損失は、0.4 ，0.3，0.4 ，0.5 ，0.3 ，0.4 ，0.3
，0.5dB となり、ばらつきは 0.2dBとなった。
チの集光レンズ６８で集光したレーザビーム６９の両側
に、焦点距離15インチの集光レンズ７０，７１で集光し
たレーザービーム７２、７３を照射して幅 2mmの範囲で
温度分布を均一に保ち、光導波路間隔0.25mmの８本の石
英系光導波路７４〜８１と８芯シングルモードテープフ
ァイバ８２を融着接続したところ、各々の融着接続部で
の損失は、0.4 ，0.3，0.4 ，0.5 ，0.3 ，0.4 ，0.3
，0.5dB となり、ばらつきは 0.2dBとなった。
【００１７】
【発明の効果】以上要するに、本発明によれば、同一平
面上に形成された複数の石英系光導波路と複数の光ファ
イバを同時に、低損失、かつ小さなばらつきで再現性良
く融着接続することができる。
面上に形成された複数の石英系光導波路と複数の光ファ
イバを同時に、低損失、かつ小さなばらつきで再現性良
く融着接続することができる。
【図１】本発明のレーザ融着接続装置の一実施例を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明のレーザ融着接続装置の他の実施例を示
す構成図である。
す構成図である。
【図３】本発明のレーザ融着接続方法の一実施例を示す
装置構成図である。
装置構成図である。
【図４】図３の場合における融着接続部とその温度分布
曲線とを示す図である。
曲線とを示す図である。
【図５】本発明のレーザ融着接続方法の他の実施例を示
す図である。
す図である。
【図６】シングルモ−ドＣＯ2 レーザ光のパワー分布曲
線を示す図である。
線を示す図である。
１ ＣＯ2 レーザ発振器 ２ ＣＯ2 レーザ発振器 ３ ＣＯ2 レーザ光（レーザビーム） ４ ＣＯ2 レーザ光（レーザビーム） ５ ビームスプリッタ ６ ビームスプリッタ ７ 融着用ビーム ８ 融着用ビーム ９ 融着用ビーム １０ 融着用ビーム １１ シャッタ １２ シャッタ １３ シャッタ １４ シャッタ １５ アッテネータ １６ アッテネータ １７ アッテネータ １８ アッテネータ １９ 反射ミラー ２０ 反射ミラー ２１ 反射ミラー ２２ 反射ミラー ２３ 集光レンズ ２４ 集光レンズ ２５ 集光レンズ ２６ 集光レンズ ２７ 石英系光導波路 ２８ 石英系光導波路 ２９ 石英系光導波路 ３０ 石英系光導波路 ３１ 光ファイバ ３２ 光ファイバ ３３ 光ファイバ ３４ 光ファイバ ３５ 融着接続部 ３６ 融着接続部 ３７ 融着接続部 ３８ 融着接続部 ３９ 反射ミラー ４０ 反射ミラー ４１ 石英系光導波路 ４２ 石英系光導波路 ４３ 石英系光導波路 ４４ 石英系光導波路 ４５ 光部品 ４６ 光ファイバ ４７ 光ファイバ ４８ 光ファイバ ４９ 光ファイバ ５１ ＣＯ2 レーザ発振器 ５２ レーザビーム ５３ ビームスプリッタ ５４ シャッタ ５５ シャッタ ５６ アッテネータ ５７ アッテネータ ５８ ミラー ５９ ミラー ６０ 集光レンズ ６１ 集光レンズ ６２ 融着接続部 ６３ 融着接続部 ６４ 融着接続部 ６５ 融着接続部 ６６ 融着用ビーム ６７ 融着用ビーム ６８ 集光レンズ ６９ レーザビーム ７０ 集光レンズ ７１ 集光レンズで ７２ レーザービーム ７３ レーザービーム ７４ 石英系光導波路 ７５ 石英系光導波路 ７６ 石英系光導波路 ７７ 石英系光導波路 ７８ 石英系光導波路 ７９ 石英系光導波路 ８０ 石英系光導波路 ８１ 石英系光導波路 ８２ ８芯シングルモードテープファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｂ 6/255
Claims (4)
- 【請求項１】 ＣＯ2 レーザ光を用いて、同一平面上に
形成された複数の石英系光導波路と複数の光ファイバと
を融着接続するレーザ融着接続装置において、ＣＯ2 レ
ーザ発振器から出射されたレーザビームを複数に分岐さ
せて上記石英系光導波路と上記光ファイバとの各融着接
続部へ導くための光学系と、その光学系からのレーザビ
ームを別々に集光して各融着接続部へ照射するための複
数の集光レンズとを備えたことを特徴とするレーザ融着
接続装置。 - 【請求項２】 請求項１において、焦点距離が各々異な
る複数の集光レンズを備えたことを特徴とするレーザ融
着接続装置。 - 【請求項３】 ＣＯ2 レーザ光を用いて、同一平面上に
形成された複数の石英系光導波路と複数の光ファイバと
を融着接続するレーザ融着接続方法において、上記石英
系光導波路と上記光ファイバとの融着接続部に、全ての
融着接続部の温度が等しくなるように２本以上のＣＯ2
レーザビームを重ね合わせて照射するようにしたことを
特徴とするレーザ融着接続方法。 - 【請求項４】 請求項３において、上記ＣＯ2 レーザビ
ームを焦点距離が各々異なる複数の集光レンズを用いて
別々に集光し、上記融着接続部へ別々の方向から照射す
るようにしたことを特徴とするレーザ融着接続方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4155210A JPH05346517A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | レーザ融着接続装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4155210A JPH05346517A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | レーザ融着接続装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05346517A true JPH05346517A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15600918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4155210A Pending JPH05346517A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | レーザ融着接続装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05346517A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6520689B2 (en) | 2001-07-17 | 2003-02-18 | Corning Incorporated | Optical fiber splicing method and device |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP4155210A patent/JPH05346517A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6520689B2 (en) | 2001-07-17 | 2003-02-18 | Corning Incorporated | Optical fiber splicing method and device |
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