JPH05343631A - カラーフィルター用感放射線性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、カラー液晶表示装置や撮像管素子
などに用いられるカラーフィルターを形成するためのカ
ラーフィルター用感放射線性組成物に関し、より詳しく
は、優れた歩留まりで高性能を有するカラーフィルター
を製造しうるカラーフィルター用感光性組成物を提供す
る。 【構成】 本発明に係るカラーフィルター用感放射線性
組成物は、［Ａ］顔料、［Ｂ］バインダーポリマー、
［Ｃ］感放射線性化合物、［Ｄ］溶剤、および［Ｅ］分
子量が１，０００以下であって、分子中に少なくとも１
個の酸基を有する少なくとも１種の有機カルボン酸化合
物からなる。この組成物は、必要に応じて添加剤を含有
していてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置や
撮像管素子などに用いられるカラーフィルターを形成す
るためのカラーフィルター用感放射線性組成物に関し、
より詳しくは、優れた歩留まりで高性能を有するカラー
フィルターを製造しうるカラーフィルター用感放射線性
組成物に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする問題点】従来、感放射線性組
成物を用いてカラーフィルターを製造するに際しては、
アルカリ性水溶液を用いて現像しているが、この際非画
素部の基板表面上に、この感放射線性組成物の未溶解物
が残存することがあった。そしてもし基板上の非画素部
に感放射線性組成物の未溶解物が残存すると、得られる
カラーフィルターは透過率が低下したり、コントラスト
が低下したりすることがあった。またカラーフィルター
は、通常赤・青・緑いずれかの色相の感放射線性組成物
を順次基板上に形成して三色の画素を形成しているが、
ある色画素を形成する際に上記のように非画素部の基板
表面上に感放射線性組成物の未溶解物が残存すると、次
いでこの未溶解物が残存する基板上に形成された他色の
色画素は、基板との密着性に劣るため剥離欠損してしま
う恐れがあった。このように非画素部の基板表面上に感
放射線性組成物の未溶解物が残存することが、カラーフ
ィルター製造の歩留まりを低くする原因の一つでもあっ
た。

【０００３】本発明は、カラーフィルターを製造する際
に、基板上の非画素部に感放射線性組成物の未溶解物が
残存することなく、基板との密着性に優れた色画素をム
ラなく均一に形成しうるようなカラーフィルター用ネガ
型感放射線性組成物を提供することを目的としている。

【０００４】

【問題点を解決するための手段】本発明は、上記のよう
な従来技術における問題点を解消しようとするものであ
り、顔料、バインダーポリマー、感放射線化合物、溶剤
および分子中に少なくとも一個の酸基（カルボキシル
基）を有し、かつ分子量が 1,000以下である少なくとも
一種の特定の有機カルボン酸化合物さらに必要に応じて
添加剤からなるカラーフィルター用感放射線性組成物を
用いて、基板上に画素を形成すると、上記問題点を一挙
に解決できることを発見し、本発明を完成したものであ
る。

【０００５】

【発明の具体的説明】以下本発明に係るカラーフィルタ
ー用感放射線性組成物について具体的に説明する。

【０００６】本発明に係るカラーフィルター用感放射線
性組成物は、［Ａ］顔料、［Ｂ］バインダーポリマー、
［Ｃ］感放射線化合物、［Ｄ］溶剤、および［Ｅ］分子
量が１，０００以下であって、分子中に少なくとも１個
の酸基を有する少なくとも１種の有機カルボン酸化合物
からなり、さらに必要に応じて［Ｆ］添加剤を含有して
いる。

【０００７】以下にこれら成分を詳細に説明する。［Ａ］顔料 本発明では、顔料［Ａ］として、有機顔料または無機顔
料が用いられる。

【０００８】このような有機顔料としては、水または有
機溶剤に不溶性の染料または顔料が挙げられ、具体的に
は、カラーインデックスＣＩ（The Society of Dyers a
nd Colourists 出版）でピグメント（Pigment ）に分類
されている化合物が挙げられる。

【０００９】また無機顔料としては、金属酸化物、金属
錯塩などの金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コ
バルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、
マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属酸
化物または複合酸化物が挙げられる。

【００１０】このような顔料［Ａ］としては、より具体
的には、下記のようなカラーインデックスＣＩ番号の化
合物が挙げられる。 C.I.Pigment Yellow 24, C.I.Pigment Yellow 31, C.
I.Pigment Yellow 53,C.I.Pigment Yellow 83, C.I.Pi
gment Orange 43, C.I.Pigment Red 105,C.I.Pigment
Red 149, C.I.Pigment Red 176, C.I.Pigment Red 17
7,C.I.Pigment Violet 14, C.I.Pigment Violet 29,
C.I.Pigment Blue 15,C.I.Pigment Blue 15:3, C.I.Pi
gment Blue 22, C.I.Pigment Blue 28,C.I.Pigment Gr
een 15, C.I.Pigment Green 25, C.I.Pigment Green
36,C.I.Pigment Brown 28, C.I.Pigment Black 1, C.
I.Pigment Black 7など。

【００１１】本発明では、顔料［Ａ］は、通常バインダ
ーポリマー［Ｂ］１００重量部に対して、１０〜１００
０重量部、好ましくは２０〜５００重量部の量で用いら
れる。

【００１２】［Ｂ］バインダーポリマー 本発明では、バインダーポリマー［Ｂ］として、酸モノ
マー［B-1］と、この酸モノマーと共重合可能なコモノ
マー［B-2］との共重合体が好ましく用いられる。

【００１３】このようなバインダーポリマー［Ｂ］を形
成する際に用いられる酸モノマー［B-1］としては、分
子中に少なくとも１個以上のカルボキシル基を有する不
飽和カルボン酸（例えば、不飽和モノカルボン酸、不飽
和ジカルボン酸）が挙げられる。不飽和カルボン酸とし
ては、具体的に、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、イ
タコン酸、マレイン酸、フマル酸などが挙げられる。

【００１４】これらは、単独であるいは組み合わせて用
いられる。またコモノマー［B-2］としては、具体的
に、スチレン、α- メチルスチレン、ビニルトルエンな
どの芳香族ビニル化合物、メチル（メタ）アクリレー
ト、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アク
リレート、2-ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、
ベンジル（メタ）アクリレートなどの不飽和カルボン酸
アルキルエステル、アミノエチルアクリレートなどの不
飽和カルボン酸アミノアルキルエステル、グリシジル
（メタ）アクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジ
ルエステル、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカ
ルボン酸ビニルエステル（メタ）アクリロニトリル、α
- クロルアクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合
物、1,3-ブタジエン、イソプレンなどの脂肪族共役ジエ
ン、それぞれ末端に（メタ）アクリロイル基を有するポ
リスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリブ
チル（メタ）アクリレート、ポリシリコーンなどのマク
ロモノマーなどが挙げられる。

【００１５】これらは、単独であるいは組み合わせて用
いられる。バインダーポリマー［Ｂ］を形成するに際し
ては、上記のような酸モノマー［B-1］は、モノマー合
計１００重量％に対して、好ましくは１５重量％〜５０
重量％の量で、より好ましくは２０重量％〜４０重量％
の量で用いられる。

【００１６】このようなバインダーポリマー［Ｂ］とし
ては、具体的には、ベンジルメタクリレート／メタクリ
ル酸／スチレン共重合体、メチルメタクリレート／メタ
クリル酸／スチレン共重合体、ベンジルメタクリレート
／メタクリル酸／ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、メチルメタクリレート／メタクリル酸／ポリスチレ
ンマクロモノマー共重合体などが挙げられる。

【００１７】このような酸モノマー［B-1］から誘導さ
れる構成単位を含有するバインダーポリマー［Ｂ］は、
アルカリ溶解性を示す。特に上記のような量で酸モノマ
ー［B-1］を用いて得られるバインダーポリマー［Ｂ］
は、アルカリ現像液への溶解性に優れて未溶解物を発生
しにくく、非画素部基板上に地汚れや膜残りなどを発生
しにくい。またこのバインダーポリマー［Ｂ］から形成
される色画素は、アルカリ現像液中に過剰に溶解してし
まうことがなく、基板との密着性に優れて基板から脱落
しにくい。

【００１８】本発明で用いられるバインダーポリマー
［Ｂ］は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー
（ＧＰＣ；ＴＨＦをキャリヤーとする）で測定されるポ
リスチレン換算重量平均分子量が、好ましくは２０，０
００〜５００，０００であり、より好ましくは３０，０
００〜３００，０００である。

【００１９】このような分子量を有するバインダーポリ
マー［Ｂ］は、現像時に色画素周辺にスカム（浮きカ
ス）を発生しにくく、シャープなパターンエッジを有す
る画素を形成しうるとともに、非画素部基板上に未溶解
物が残存しにくく、地汚れや膜残りなどを発生しにく
い。さらにこのようなバインダーポリマー［Ｂ］を用い
ると、最適条件下で現像しうる現像時間が長くなり、い
わゆる現像時間のマージンが大きくなる。

【００２０】［Ｃ］感放射線化合物 本発明で用いられる感放射線化合物［Ｃ］は、放射線を
照射されるとカルベン、ナイトレンなどのラジカル（活
性分子片）を生じて反応し、バインダーポリマーに三次
元架橋構造を形成させる化合物である。通常下記のよう
な２種類の反応系によって三次元架橋構造が形成され
る。

【００２１】(i) 感放射線化合物に放射線を照射するこ
とによって遊離されるカルベン、ナイトレンなどのラジ
カルが、バインダーポリマーなどに作用して二重結合の
連鎖反応を誘起させ、三次元架橋構造を形成するもの、
(ii)感放射線化合物などの分子に放射線を照射すること
によって遊離されたカルベン、ナイトレンなどのラジカ
ルが、バインダーポリマー中のＣ−Ｃ結合またはＣ−Ｈ
結合に挿入反応して結合し、三次元架橋構造を形成する
もの。

【００２２】前記バインダーポリマー［Ｂ］は、(i) の
反応系により三次元架橋反応する際に絡め込まれるか、
あるいは(ii)の反応系により感放射線化合物［Ｃ］と反
応して架橋構造を形成して、不溶化される。

【００２３】なお本発明で「放射線」という語は、可視
光線、紫外線、電子線、Ｘ線などを含む概念で用いられ
る。このような感放射線化合物［Ｃ］としては、具体的
には、光重合開始剤、光重合性モノマー、光重合性オリ
ゴマー、光架橋剤などが挙げられる。

【００２４】上記のような光重合開始剤としては、たと
えば、ジアセチル、ベンゾインなどのカルボニウム化合
物、アゾビスイソブチロニトリル、ジアゾニウム、アジ
ド化合物などのアゾ化合物またはアジド化合物、メルカ
プタンジスルフィドなどの有機硫黄化合物、エーテルパ
ーオキサイド、カルボン酸パーオキサイドなどの過酸化
物が挙げられる。

【００２５】より具体的には、2-ヒドロキシ-2- メチル
-1- フェニルプロパン-1- オン、1-（4-イソプロピルフ
ェニル)-2-ヒドロキシ-2- メチルプロパン-1- オン、4-
（2-ヒドロキシエトキシ）フェニル-(2-ヒドロキシ-2-
プロピル）ケトン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトン、2,2-ジメトキシ-2- フェニルアセトフェノ
ン、2-メチル（4-メチルチオフェニル）-2- モルフォリ
ノ-1- プロパン-1- オン、2-ベンジル-2- ジメチルアミ
ノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1- オン、ベン
ゾフェノン、4,4'- ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェ
ノン、4,4'- ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、
2,4-ジエチルチオキサントン、3,3-ジメチル-4- メトキ
シベンゾフェノン、4-アジドベンズアルデヒド、4-アジ
ドアセトフェノン、4-アジドベンザルアセトフェノン、
アジドピレン、4-ジアゾジフェニルアミン、4-ジアゾ-
4'-メトキシ- ジフェニルアミン、4-ジアゾ-3- メトキ
シ- ジフェニルアミン、ジベンゾイル（別称ベンジ
ル）、ベンゾインチノイソブチルエーテル、N-フェニル
- チオアクリドン、トリフェニルピリリウムパークロレ
ートなどが挙げられる。

【００２６】これらの中で、2-メチル-(4-メチルチオフ
ェニル)-2-モルフォリノプロパン-1- オン、2-ベンジル
-2- ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタ
ン-1- オンが好ましい。

【００２７】光重合性モノマーまたは光重合性オリゴマ
ーとしては、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリスア
クリロイルオキシエチルフォスフェート、ペンタエリス
リトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサア
クリレートなどの多官能アクリレート、およびこれらの
オリゴマーが挙げられる。

【００２８】これらの中で、トリメチロールプロパント
リアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレートが好ま
しい。

【００２９】光架橋剤としては、具体的に、ジアジドカ
ルコン、2,6-ビス(4'-アジドベンザル）シクロヘキサノ
ン、2,6-ビス(4'-アジドベンザル)-4-メチルシクロヘキ
サノン、1,3-ビス(4'-アジドベンザル)-2-プロパノン、
1,3-ビス(4'-アジドシンナミリデン)-2-プロパノン、4,
4'- ジアジドスチルベン、重クロム酸アンモニウムなど
が挙げられる。

【００３０】本発明では、上記のような光重合開始剤、
光重合性モノマー、光重合性オリゴマーまたは光架橋剤
は単独であるいは組み合わせて用いられるが、光重合開
始剤と、光重合性モノマーまたは光重合性オリゴマーと
を併用することが好ましく、光重合開始剤として放射線
の照射でラジカルを発生する化合物と光重合性モノマー
またはオリゴマーとして多価アクリレートを用いるのが
さらに好ましい。

【００３１】このような感放射線化合物［Ｃ］は、バイ
ンダーポリマー［Ｂ］１００重量部に対して、通常５〜
５００重量部、好ましくは２０〜２００重量部の量で用
いられる。

【００３２】なお光重合開始剤と、光重合性モノマーま
たは光重合性オリゴマーとを併用する場合には、通常、
光重合性モノマーまたは光重合性オリゴマー１００重量
部に対して、光重合開始剤が０．０１〜２００重量部、
好ましくは１〜１２０重量部の量で用いられることが望
ましい。

【００３３】増感剤が用いられる場合には、増感剤は光
重合開始剤１００重量部に対して、０．０１〜２００重
量部、好ましくは５０〜１８０重量部の量で用いられ
る。本発明で用いられる感放射線化合物［Ｃ］は、さら
に上記のような光重合開始剤、光重合性モノマーまたは
光重合性オリゴマー、光架橋剤または増感剤として機能
し得る官能基を主鎖または側鎖中に有する高分子化合物
を含有していてもよい。

【００３４】このような高分子化合物としては、具体的
に、4-アジドベンズアルデヒドとポリビニルアルコール
との縮合物、4-アジドベンズアルデヒドとフェノールノ
ボラック樹脂の縮合物、4-アクリロイルフェニルシンナ
モイルエステルの重合物または共重合物、1,4-ポリブタ
ジエン、1,2-ポリブタジエンなどが挙げられる。

【００３５】［Ｄ］溶剤 本発明で用いられる溶剤［Ｄ］としては、具体的に、メ
チルアルコール、エチルアルコール、n-プロピルアルコ
ール、i-プロピルアルコールなどのアルコール系溶媒、
メトキシアルコール、エトキシアルコールなどのセロソ
ルブ系溶媒、メトキシエトキシエタノール、エトキシエ
トキシエタノールなどのカルビトール系溶媒、酢酸エチ
ル、酢酸ブチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキ
シプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどのエステル系溶
媒、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサ
ノンなどのケトン系溶媒、メトキシエチルアセテート、
エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブアセテー
トなどのセロソルブアセテート系溶媒、メトキシエトキ
シエチルアセテート、エトキシエトキシエチルアセテー
トなどのカルビトールアセテート系溶媒、ジエチルエー
テル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランな
どのエーテル系溶媒、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-
ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドンなどの非プ
ロトン性アミド系溶媒、γ- ブチロラクトンなどのラク
トン系溶媒、ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレ
ンなどの不飽和炭化水素系溶媒、n-ヘプタン、n-ヘキサ
ン、n-オクタンなどの飽和炭化水素系溶媒などの有機溶
媒が挙げられる。

【００３６】これらの溶媒のうち、メトキシエチルアセ
テート、エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブ
アセテートなどのセロソルブアセテート系溶媒、メトキ
シエトキシエチルアセテート、エトキシエトキシエチル
アセテートなどのカルビトールアセテート系溶媒、エチ
レングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジエチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエ
ーテルなどのエーテル系溶媒、メトキシプロピオン酸メ
チル、エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどの
エステル系溶媒が好ましい。

【００３７】本発明では、溶媒［Ｄ］は、通常バインダ
ーポリマー［Ｂ］１００重量部に対して１００〜１００
００重量部、好ましくは５００〜５０００重量部の量で
用いられる。

【００３８】［Ｅ］有機カルボン酸化合物 本発明で用いられる有機カルボン酸化合物［Ｅ］は、分
子量が１，０００以下であって、分子中に少なくとも一
個の酸基（カルボキシル基）を有している。

【００３９】このような有機カルボン酸化合物［Ｅ］と
しては、具体的に、脂肪族カルボン酸またはフェニル基
含有カルボン酸が用いられる。脂肪族カルボン酸として
は、具体的に、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草
酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント
酸、カプリル酸などのモノカルボン酸、シュウ酸、マロ
ン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン
酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル
酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン
酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シクロヘ
キサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレ
イン酸、フマル酸などのジカルボン酸、トリカルバリル
酸、アコニット酸、カンホロン酸などのトリカルボン酸
などが挙げられる。

【００４０】またフェニル基含有カルボン酸としては、
フェニル基に直接カルボキシル基が結合したカルボン酸
およびフェニル基に炭素結合を介してカルボキシル基が
結合したカルボン酸が挙げられる。

【００４１】このようなフェニル基含有カルボン酸とし
ては、具体的に、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘ
メリト酸、メシチレン酸などのモノカルボン酸、フタル
酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリット酸、ト
リメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などのポリ
カルボン酸、フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロ
ケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ
酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シ
ンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸などが挙げら
れる。

【００４２】これらの中で、マロン酸、シトラコン酸、
イタコン酸、メサコン酸、フマル酸、フタル酸などの脂
肪族または芳香族ジカルボン酸が好ましい。上記のよう
な有機カルボン酸化合物［Ｅ］は、単独であるいは組み
合わせて用いられる。

【００４３】本発明に係るカラーフィルター用感放射線
性組成物は、上記のような有機カルボン酸化合物［Ｅ］
を、組成物中に０．００１〜１０重量％、好ましくは
０．０１〜１重量％の量で含有している。

【００４４】カラーフィルター用感放射線性組成物中の
有機カルボン酸の含有量が０．００１重量％未満である
と、基板上の非画素部への未溶解物の残存を充分に防止
できないことがあり、一方１０重量％を超えると、画素
と基板との密着性が低下する恐れが生じてしまうことが
ある。

【００４５】本発明に係るカラーフィルター用感放射線
性組成物は、必要に応じて添加剤を含有していてもよ
い。このような添加剤としては、具体的に、充填剤、他
の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止
剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などが挙げられる。

【００４６】より具体的には、ガラス、アルミナなどの
充填剤、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリ
エチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロ
アルキルアクリレートなどの他の高分子化合物、ノニオ
ン系、カチオン系、アニオン系などの界面活性剤、ビニ
ルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビ
ニルトリス（2-メトキシエトキシ）シラン、N-（2-アミ
ノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、
N-（2-アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシ
ドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプ
ロピルメチルジメトキシシラン、2-（3,4-エポキシシク
ロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、3-クロロプロ
ピルメチルジメトキシシラン、3-クロロプロピルトリメ
トキシシラン、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシ
シラン、3-メルカプトプロピルトリメトキシシランなど
の密着促進剤、2,2-チオビス（4-メチル-6-t- ブチルフ
ェノール）、2,6-ジ-t- ブチルフェノールなどの酸化防
止剤、2-（3-t-ブチル-5- メチル-2- ヒドロキシフェニ
ル)-5-クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフ
ェノンなどの紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム
などの凝集防止剤、ベンゾフェノン、4,4'- ビス（ジエ
チルアミノ）ベンゾフェノン、ニトロピンなどの波長２
００〜４９０ｎｍの光を吸収する有機色素系などの増感
剤が挙げられる。

【００４７】上記のような組成を有する本発明に係るカ
ラーフィルター用感放射線性組成物は、現像時に非画素
部基板表面上に未溶解物を残存することなくカラーフィ
ルタを形成することができる。

【００４８】本発明に係るカラーフィルター用感放射線
性組成物は、基板上好ましくは遮光層パターンが形成さ
れている基板上に、フォトリソグラフ法により色画素を
形成してカラーフィルターを製造するために用いられる
が、このようなカラーフィルター用感放射線性組成物を
用いて画素を形成する際に非画素部に感放射線性組成物
の未溶解物が残存することがなく、したがって形成され
た色画素すなわちカラーフィルターは基板および遮光層
パターンとの密着性に優れている。

【００４９】したがって本発明に係る感放射線性組成物
を用いて形成された画素は基板から剥離する恐れがな
く、また得られるカラーフィルターは、透過率またはコ
ントラストに優れている。

【００５０】このように本発明に係るカラーフィルター
用感放射線性組成物を用いると、高性能のカラーフィル
ターを優れた歩留りで製造することができる。なお本発
明では、カラーフィルター用感放射線性組成物を用いて
画素を形成する際に、現像液としては、炭酸ナトリウ
ム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチル
アンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性溶液
を用いることが好ましい。

【００５１】

【実施例】次に本発明を実施例により具体的に説明する
が、本発明はこれら実施例により限定されるものではな
い。

【００５２】

【実施例１】表面にナトリウムイオンの溶出を防止する
ＳiＯ₂ 膜が形成されたソーダガラス基板表面上に、所
望されるパターン形状の遮光層を形成し、さらに表１に
示すようなカラーフィルター用感放射線性組成物１をス
ピンコーターにより所望厚さに塗布した後、８０℃で十
分間乾燥した。次いで冷却した後、形成されたカラーフ
ィルター層をフォトマスクを通して高圧水銀ランプによ
って４００ｍｊ／cm²の紫外線に露光した。次いで、こ
の基板を０．０５％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬して現
像し、２０μｍ×２０μｍの赤色画素を形成した。

【００５３】

【表１】

【００５４】上記のようにして色画素を製造したとこ
ろ、基板上の非画素部に未溶解物を残存することなくカ
ラーフィルターを形成することができた。このカラーフ
ィルター用感放射線性組成物１を室温で三日間放置した
後、上記と同様にして、赤色画素を形成し、０．０５％
炭酸ナトリウム水溶液に浸漬して現像したところ、基板
上の非画素部に未溶解物を残存することなくカラーフィ
ルターを形成することができた。

【００５５】

【比較例１】実施例１において、カラーフィルター用感
放射線性組成物１に代えて表２に示す組成物２を用いた
以外は、実施例１と同様にして赤色画素を形成した。

【００５６】

【表２】

【００５７】上記のようにして色画素を形成したとこ
ろ、基板上の非画素部に未溶解物を生じた。また炭酸ナ
トリウム水溶液の濃度を０．５％まで高めると、非画素
部の未溶解物は減少したが、形成された画素の一部分が
剥離したり、画素エッジのシャープさが低下した。

【００５８】

【実施例２】実施例１において、カラーフィルター用感
放射線性組成物１に代えて表２に示すカラーフィルター
用感放射線性組成物３を用いた以外は、実施例１と同様
にして青色画素を形成した。

【００５９】

【表３】

【００６０】上記のようにして色画素を形成したとこ
ろ、基板上の非画素部に未溶解物を残存することなくカ
ラーフィルターを形成することができた。実施例１と同
様に室温で三日間放置した後も、基板上の非画素部に未
溶解物を残存することなくカラーフィルターを形成する
ことができた。

【００６１】

【比較例２】実施例１において、カラーフィルター用感
放射線性組成物１に代えて表２に示す組成物２を用いた
以外は、実施例１と同様にした。

【００６２】

【表４】

【００６３】このカラーフィルター用感放射線性組成物
は、安息香酸（有機カルボン酸）を１５重量％と多量に
含んでいるため、炭酸ナトリウム水溶液で現像したとこ
ろ、画素部、非画素部ともに完全に炭酸ナトリウム水溶
液に溶解し、画素を形成することができなかった。

【００６４】炭酸ナトリウム水溶液の濃度を０．００１
％まで下げても同様の結果であった。

【００６５】

【実施例３】実施例１において、カラーフィルター用感
放射線性組成物１に代えて表２に示すカラーフィルター
用感放射線性組成物５を用いた以外は、実施例１と同様
にして緑色画素を形成した。

【００６６】

【表５】

【００６７】上記のようにして色画素を形成したとこ
ろ、基板上の非画素部に未溶解物を残存することなくカ
ラーフィルターを形成することができた。実施例１と同
様に室温で三日間放置した後も、基板上の非画素部に未
溶解物を残存することなくカラーフィルターを形成する
ことができた。

【００６８】

【実施例４】実施例１において、カラーフィルター用感
放射線性組成物１に代えて表２に示すカラーフィルター
用感放射線性組成物６を用いた以外は、実施例１と同様
にして赤色画素を形成した。

【００６９】

【表６】

【００７０】上記のようにして色画素を形成したとこ
ろ、基板上の非画素部に未溶解物を残存することなくカ
ラーフィルターを形成することができた。実施例１と同
様に室温で三日間放置した後も、基板上の非画素部に未
溶解物を残存することなくカラーフィルターを形成する
ことができた。

【００７１】

【実施例５】実施例１において、カラーフィルター用感
放射線性組成物１に代えて表２に示すカラーフィルター
用感放射線性組成物７を用いた以外は、実施例１と同様
にして緑色画素を形成した。

【００７２】

【表７】

【００７３】上記のようにして色画素を形成したとこ
ろ、基板上の非画素部に未溶解物を残存することなくカ
ラーフィルターを形成することができた。実施例１と同
様に室温で三日間放置した後も、基板上の非画素部に未
溶解物を残存することなくカラーフィルターを形成する
ことができた。

【００７４】

【実施例８】実施例１において、カラーフィルター用感
放射線性組成物１に代えて表２に示すカラーフィルター
用感放射線性組成物７を用いた以外は、実施例１と同様
にして緑色画素を形成した。

【００７５】

【表８】

【００７６】上記のようにして色画素を形成したとこ
ろ、基板上の非画素部に未溶解物を残存することなくカ
ラーフィルターを形成することができた。実施例１と同
様に室温で三日間放置した後も、基板上の非画素部に未
溶解物を残存することなくカラーフィルターを形成する
ことができた。

【００７７】

【発明の効果】本発明に係るカラーフィルター用感放射
線性組成物を用いて画素を形成すると、基板上の非画素
部には感放射線性組成物の未溶解物を残存することがな
く、基板との密着性に優れた色画素をムラなく均一に形
成することができる。

【００７８】したがって本発明に係る感放射線性組成物
を用いて形成された色画素は基板から剥離する恐れがな
く、また得られるカラーフィルターは、透過率またはコ
ントラストに優れている。

【００７９】本発明に係るカラーフィルター用感放射線
性組成物を用いると、上記のように高性能のカラーフィ
ルターを、優れた歩留まりで製造することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０９Ｄ 201/08 ＰＤＦ 7415−4Ｊ Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ 7348−2Ｋ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０１ 7/027 ５０１ (72)発明者 別 所 信 夫 東京都中央区築地二丁目11番24号 日本合 成ゴム株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】［Ａ］顔料、 ［Ｂ］バインダーポリマー、 ［Ｃ］感放射線化合物、 ［Ｄ］溶剤、および ［Ｅ］分子量が１，０００以下であって、分子中に少な
   くとも１個の酸基を有する少なくとも１種の有機カルボ
   ン酸化合物 を含有することを特徴とするカラーフィルター用感放射
   線性組成物。