JPH05343596A - Lead frame and manufacture thereof - Google Patents
Lead frame and manufacture thereofInfo
- Publication number
- JPH05343596A JPH05343596A JP4152382A JP15238292A JPH05343596A JP H05343596 A JPH05343596 A JP H05343596A JP 4152382 A JP4152382 A JP 4152382A JP 15238292 A JP15238292 A JP 15238292A JP H05343596 A JPH05343596 A JP H05343596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die pad
- frame
- lead frame
- silver
- lead
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05554—Shape in top view being square
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路チップを搭載
するリードフレームおよびその製造方法に関するもので
あるBACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame for mounting an integrated circuit chip and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】樹脂封止型の半導体装置の組立には図1
に示すようなリードフレームが用いられる。2. Description of the Related Art FIG. 1 is a schematic diagram for assembling a resin-sealed semiconductor device.
A lead frame as shown in is used.
【0003】このリードフレーム1は距形枠からなるフ
レーム枠2を有し、このフレーム枠2の略中央に集積回
路チップを載置固着する距形のダイパッド3を有してい
る。The lead frame 1 has a frame frame 2 which is a distance frame, and has a distance die pad 3 on which an integrated circuit chip is mounted and fixed substantially at the center of the frame frame 2.
【0004】さらにダイパッド3は、タイバー4によっ
てフレーム枠2に支持されている。また、フレーム枠2
の内壁からは多数の細いリード5が前記ダイパッド3に
向かって延在しており、各リード5はレジンモールド時
にレジン流出を防止するダムバー6で支持されている。
このダムバー6は補強部材ともなっている。Further, the die pad 3 is supported on the frame 2 by a tie bar 4. Also, the frame 2
A number of thin leads 5 extend from the inner wall of the die toward the die pad 3, and each lead 5 is supported by a dam bar 6 that prevents resin from flowing out during resin molding.
The dam bar 6 also serves as a reinforcing member.
【0005】また、特に100ピンを越える多ピンリー
ドフレームにおいては、リード側の位置認識に使用され
る半円形の切欠部11が設けられている。Further, particularly in a multi-pin lead frame having more than 100 pins, a semi-circular cutout portion 11 used for position recognition on the lead side is provided.
【0006】図2はタイバー周辺部の拡大図である。リ
ードフレーム1には、インナーリード5と集積回路チッ
プの各電極12をワイヤー8を用いて接続する際に必要
な銀メッキが施される。その銀メッキの種類は、メッキ
を施す部分の違いによって主に次の2つがある。FIG. 2 is an enlarged view of the peripheral portion of the tie bar. The lead frame 1 is subjected to silver plating required when the inner lead 5 and each electrode 12 of the integrated circuit chip are connected using the wire 8. There are mainly the following two types of silver plating depending on the difference in the parts to be plated.
【0007】1)ダイパッド3およびインナーリード5
の先端部にメッキを施す部分銀メッキ。1) Die pad 3 and inner lead 5
Partial silver plating for plating the tip of the.
【0008】2)インナーリード5の先端部にのみメッ
キを施すリング銀メッキ。2) Ring silver plating for plating only the tips of the inner leads 5.
【0009】リング銀メッキにおいては、ダイパッド3
には全体にわたって銀メッキが施されていなかった。In ring silver plating, the die pad 3
Was not silver plated throughout.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
技術におけるリング銀メッキを施したリードフレームで
は、ダイパッド3には銀メッキが施されていないため画
像認識装置がダイパッド3に設けられた切欠部の形状を
認識して内部リード側の位置補正を行う上で、次の問題
が生じるようになった。However, in the above-described conventional lead frame plated with ring silver, since the die pad 3 is not silver plated, the notch portion provided in the die pad 3 with the image recognition device. When recognizing the shape of and correcting the position on the internal lead side, the following problems have come to occur.
【0011】1)ダイパッド3は、リードフレームの素
材がそのまま表面に現れるため、素材そのものの特徴で
ある線状のスジや結晶粒子の影響により、位置補正が確
実に行えない。1) Since the material of the lead frame appears on the surface of the die pad 3 as it is, the position correction cannot be reliably performed due to the influence of linear stripes and crystal grains which are the characteristics of the material itself.
【0012】2)そのために内部リード先端部で位置補
正を行うと、今度は多ピン化された内部リード5には特
徴がなくなるため隣接するリード間で見分けがつきにく
くなり、作業者および作業装置が目的とする内部リード
5を誤って認識し、目的以外の内部リードを認識補正場
所と判断することが起こり大幅に位置ずれを生じたボン
ディングが実施される。2) Therefore, if position correction is performed at the tips of the inner leads, the features of the inner lead 5 having a large number of pins are lost. The target internal lead 5 is erroneously recognized, and the internal lead other than the target is determined to be the recognition correction place, and the bonding is performed with a large displacement.
【0013】したがって、以上の問題を克服し、画像認
識装置がダイパッドに設けられた半円形の切欠部の形状
を認識し内部リード側の位置補正を確実に行うことので
きるリードフレームを提供することが強く望まれた。Accordingly, it is possible to provide a lead frame which overcomes the above problems and is capable of surely correcting the position of the inner lead side by recognizing the shape of the semicircular cutout portion provided in the die pad by the image recognition device. Was strongly desired.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】集積回路チップを搭載す
る略四角形のダイパッドと、ダイパッドの周縁に配置さ
れ、一端をダイパッドに向けたインナーリードによって
構成されるリードフレームにおいて、インナーリード先
端部に加えて、ダイパッドに設けられた半円形の切欠部
周辺に銀メッキを施したことで達成される。In a lead frame composed of a substantially rectangular die pad on which an integrated circuit chip is mounted and an inner lead arranged at the periphery of the die pad and having one end facing the die pad, in addition to the tip of the inner lead, And silver plating is applied to the periphery of the semicircular notch provided in the die pad.
【0015】[0015]
【実施例】以下、本発明の実施例を図4によって説明す
る。EXAMPLE An example of the present invention will be described below with reference to FIG.
【0016】従来のリードフレームの平面図1におい
て、リードフレーム1は集積回路チップ7の各電極(図
示せず)とリード5とをワイヤー8により接続した後、
ダムバー6の近傍の内側のモールド領域9をレジンでモ
ールドして半導体装置の樹脂部10で集積回路チップ
7,ワイヤー8およびリード内端の部分が被われる。さ
らに、モールド領域9の外周とダムバー6の間に介在す
るレジンを抜き落とし、不要となるダムバー6およびフ
レーム枠2を切断除去するとともに、半導体装置の樹脂
部10から突出リード5の外端部を下方に折り曲げて樹
脂封止型半導体装置を製造する。In the plan view 1 of the conventional lead frame, after the lead frame 1 connects each electrode (not shown) of the integrated circuit chip 7 and the lead 5 by the wire 8,
The inner molding region 9 near the dam bar 6 is molded with resin to cover the integrated circuit chip 7, the wires 8 and the inner ends of the leads with the resin portion 10 of the semiconductor device. Further, the resin interposed between the outer periphery of the mold region 9 and the dam bar 6 is removed, the unnecessary dam bar 6 and frame frame 2 are cut and removed, and the outer ends of the protruding leads 5 are removed from the resin portion 10 of the semiconductor device. It is bent downward to manufacture a resin-sealed semiconductor device.
【0017】ダイパッド3には、主に多ピンリードフレ
ームの場合、内部リード側の位置補正の際に用いられる
半円形の切欠部11が設けられている。In the case of a multi-pin lead frame, the die pad 3 is provided with a semi-circular cutout 11 which is mainly used for position correction on the inner lead side.
【0018】図2は、図1の半円形の切欠部11の周辺
部を拡大図示したものであるが、ボンディング時の内部
リード側の位置補正にあたっては、この半円形の切欠部
11の形状を画像認識し、画像認識装置が持つ基準画
像、基準位置に対するX,Y方向のズレ量△X,△Yを
算出し、内部リード全体のボンディング位置補正を行
う。FIG. 2 is an enlarged view of the periphery of the semicircular cutout 11 of FIG. 1. The shape of the semicircular cutout 11 is used to correct the position of the inner lead side during bonding. Image recognition is performed, and the reference image of the image recognition apparatus and the shift amounts ΔX and ΔY in the X and Y directions with respect to the reference position are calculated, and the bonding position of the entire inner lead is corrected.
【0019】ところで、リードフレーム製造工程におけ
る銀メッキ実施工程では、従来技術のところで前述した
部分銀メッキとリング銀メッキの2つのメッキ形状を一
般に用いるが、メッキエリア精度,樹脂と銀メッキとの
密着性が樹脂と素材との密着性に比べるとよくなく、完
成体の半導体装置の品質を著しく低下させる、といった
ことからリング銀メッキを施したリードフレームが多用
される状況にある。By the way, in the silver plating execution step in the lead frame manufacturing process, the two plating shapes of the partial silver plating and the ring silver plating described in the prior art are generally used. Since the adhesiveness is not as good as the adhesion between the resin and the material, and the quality of the completed semiconductor device is remarkably deteriorated, the lead frame plated with ring silver is often used.
【0020】本実施例にあるリング銀メッキを施したリ
ードフレームを半導体装置組立工程で使用する上で、前
述の発明が解決しようとする課題に示したような問題が
生じた。In using the lead frame plated with ring silver according to the present embodiment in the semiconductor device assembling process, the above-mentioned problems to be solved by the invention have been encountered.
【0021】図3は、通常のリング銀メッキを施す範囲
を示したものであるが、ダイパッドのどの部分にも銀メ
ッキ13を施していない。FIG. 3 shows a range in which normal ring silver plating is applied, but silver plating 13 is not applied to any part of the die pad.
【0022】本実施例においては、図4に示すとおりダ
イパッド3に設けられた半円形の切欠部11の周辺に銀
メッキ13bを施している。In this embodiment, as shown in FIG. 4, silver plating 13b is applied around the semi-circular cutout 11 provided in the die pad 3.
【0023】こうしたことにより、ボンディング時の内
部リード側の位置補正において半円形の切欠部11の形
状認識が確実に行われるようになった。As a result, the shape of the semicircular cutout 11 can be reliably recognized in the position correction on the internal lead side during bonding.
【0024】なお、本実施例では切欠部の形状を半円形
のものの例にて説明しているが、この形状はどのような
ものでもよく、切欠部周辺に施すメッキ部の形状も切欠
部を画像認識に支障ない範囲をもつものであればどのよ
うな形状をしていてもよい。In the present embodiment, the shape of the notch is described as an example of a semi-circular shape, but this shape may be any shape, and the shape of the plated portion around the notch is also notched. Any shape may be used as long as it has a range that does not hinder image recognition.
【0025】[0025]
【発明の効果】以上述べたように、本発明は、リードフ
レームにリング銀メッキを施すにあたり、ダイパッド部
に設けられた切欠部周辺にも銀メッキを施すことによっ
て、切欠部の画像認識を確実に行いボンディング認識不
良発生を防止できるので、画像認識装置および作業者の
作業効率を著しく向上させるという優れた効果がある。As described above, according to the present invention, when the ring silver is plated on the lead frame, the periphery of the notch formed in the die pad portion is also silver-plated to ensure the image recognition of the notch. Since it is possible to prevent the occurrence of defective bonding recognition, there is an excellent effect that the working efficiency of the image recognition device and the operator is significantly improved.
【図1】 従来のリードフレーム平面図である。FIG. 1 is a plan view of a conventional lead frame.
【図2】 従来のリードフレームの図1の要部拡大図で
ある。FIG. 2 is an enlarged view of a main part of a conventional lead frame in FIG.
【図3】 リング銀メッキを施した従来のリードフレー
ム図である。FIG. 3 is a diagram of a conventional lead frame plated with ring silver.
【図4】 本発明実施例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of an example of the present invention.
1 リードフレーム 2 リードフレーム枠 3 ダイパッド 4 タイバー 5 リード 6 ダムバー 7 集積回路チップ 8 ワイヤー 9 モールド領域 10 樹脂封止型半導体装置樹脂部 11 切欠部 12 集積回路チップの電極 13a 銀メッキ 13b 銀メッキ 1 Lead Frame 2 Lead Frame Frame 3 Die Pad 4 Tie Bar 5 Lead 6 Dam Bar 7 Integrated Circuit Chip 8 Wire 9 Mold Area 10 Resin-sealed Semiconductor Device Resin Part 11 Notch 12 Integrated Circuit Chip Electrode 13a Silver Plated 13b Silver Plated
Claims (2)
イパッドと、前記ダイパッドの周縁に配置され、一端を
ダイパッドに向けたインナーリードによって構成される
リードフレームにおいて、前記インナーリード先端部に
加えて、前記ダイパッドに設けられた切欠部周辺に銀メ
ッキを施したことを特徴とするリードフレーム。1. A lead frame, comprising: a substantially square die pad on which an integrated circuit chip is mounted; and an inner lead disposed on the periphery of the die pad and having one end facing the die pad, in addition to the inner lead tip portion, A lead frame, characterized in that a silver plating is applied around a cutout portion provided in the die pad.
イパッドと、前記ダイパッドの周縁に配置され、一端を
ダイパッドに向けたインナーリードによって構成される
リードフレームにおいて、メッキマスクの開口部を前記
ダイパッドに設けられた切欠部と前記インナーリードの
先端位置に設け、その部分にのみ銀メッキを施したこと
を特徴とするリードフレームの製造方法。2. A lead frame constituted by a substantially square die pad on which an integrated circuit chip is mounted and an inner lead arranged at a peripheral edge of the die pad and having one end facing the die pad, wherein an opening of a plating mask is formed on the die pad. A method for manufacturing a lead frame, characterized in that the notch is provided and the tip of the inner lead is provided, and only that portion is silver-plated.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4152382A JPH05343596A (en) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | Lead frame and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4152382A JPH05343596A (en) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | Lead frame and manufacture thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05343596A true JPH05343596A (en) | 1993-12-24 |
Family
ID=15539307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4152382A Pending JPH05343596A (en) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | Lead frame and manufacture thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05343596A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011087119A1 (en) * | 2010-01-18 | 2011-07-21 | ローム株式会社 | Semiconductor device and method for manufacturing same |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP4152382A patent/JPH05343596A/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011087119A1 (en) * | 2010-01-18 | 2011-07-21 | ローム株式会社 | Semiconductor device and method for manufacturing same |
US8779569B2 (en) | 2010-01-18 | 2014-07-15 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US9142494B2 (en) | 2010-01-18 | 2015-09-22 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US9406591B2 (en) | 2010-01-18 | 2016-08-02 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US9859194B2 (en) | 2010-01-18 | 2018-01-02 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100275660B1 (en) | Lead frame with increased strengh and manufacture of semiconductor device | |
JP4030200B2 (en) | Semiconductor package and manufacturing method thereof | |
US6777262B2 (en) | Method of packaging a semiconductor device having gull-wing leads with thinner end portions | |
WO2001003186A1 (en) | Semiconductor device, method of manufacturing the same, and structure for mounting semiconductor device | |
JPH05226564A (en) | Semiconductor device | |
JP3634757B2 (en) | Lead frame | |
JPH08125097A (en) | Lead frame | |
JPH0730037A (en) | Lead frame | |
JPH09129808A (en) | Plastic molded semiconductor device and its manufacture | |
JPH05343596A (en) | Lead frame and manufacture thereof | |
JP3036339B2 (en) | Semiconductor device | |
JPS63131557A (en) | Lead frame for resin seal type semiconductor device and resin type semiconductor device | |
JP2528192B2 (en) | Semiconductor device | |
KR100191859B1 (en) | A leadframe and method for forming a package of semiconductor device mounted on the leadframe | |
JP2707659B2 (en) | Resin-sealed semiconductor device | |
JPH1012802A (en) | Lead frame and semiconductor device using the same | |
JPH02170454A (en) | Lead frame | |
JPH04211142A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
KR0119759Y1 (en) | Bottom Leaded Semiconductor Package | |
JP2004200719A (en) | Semiconductor device | |
JPS5882543A (en) | Resin mold type semiconductor device | |
JPH04346257A (en) | Manufacture of lead frame for semiconductor | |
JPH02139954A (en) | Lead frame and resin-sealed semiconductor device using same | |
JPH03219663A (en) | Lead frame for semiconductor device | |
JPH04162466A (en) | Lead frame for semiconductor device |