JPH05339607A - 金属超微粒子を捕集し易くする方法 - Google Patents
金属超微粒子を捕集し易くする方法Info
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- JPH05339607A JPH05339607A JP4145792A JP14579292A JPH05339607A JP H05339607 A JPH05339607 A JP H05339607A JP 4145792 A JP4145792 A JP 4145792A JP 14579292 A JP14579292 A JP 14579292A JP H05339607 A JPH05339607 A JP H05339607A
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- Japan
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- metal
- arc discharge
- coating layer
- ceramic coating
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- Pending
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- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 アーク放電により生成された超微粒子を単独
で容易に捕集し得るようにする。 【構成】 アーク放電により金属Ｍを溶かして超微粒子
を生成するに当たって、アーク放電にさらされるアーク
炉本体１の内壁にセラミックコーティング層４を形成
し、アーク放電中において金属Ｍとセラミックコーティ
ング層４とを一緒に溶かすようにしている。
で容易に捕集し得るようにする。 【構成】 アーク放電により金属Ｍを溶かして超微粒子
を生成するに当たって、アーク放電にさらされるアーク
炉本体１の内壁にセラミックコーティング層４を形成
し、アーク放電中において金属Ｍとセラミックコーティ
ング層４とを一緒に溶かすようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、アーク放電により生
成される金属超微粒子を捕集し易くする方法に関するも
のである。
成される金属超微粒子を捕集し易くする方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】金属超微粒子は、表面積が極めて大きく
なること、磁気的性質の向上、低温度での焼結が可能に
なること、融点が下がること等のようにもとの金属には
見られない性質を示すところから、新素材としての利用
方法が模索されている。
なること、磁気的性質の向上、低温度での焼結が可能に
なること、融点が下がること等のようにもとの金属には
見られない性質を示すところから、新素材としての利用
方法が模索されている。
【０００３】この金属超微粒子は、アーク放電を利用し
て金属を蒸発させることにより得られるが、個々の超微
粒子の表面形状等を確認するためには、得られた金属超
微粒子を小さいままで１個づつ単独状態で捕集して電子
顕微鏡で観察する必要がある。
て金属を蒸発させることにより得られるが、個々の超微
粒子の表面形状等を確認するためには、得られた金属超
微粒子を小さいままで１個づつ単独状態で捕集して電子
顕微鏡で観察する必要がある。
【０００４】ところが、アーク放電によって生成された
金属超微粒子は、バッファガスによって運ばれ、距離に
応じて成長する。そのとき、いかに冷えるまで粒子同士
が結合せずに運ばれるかによってその粒子の大きさが左
右される。しかしながら、冷えてからも運動エネルギー
により粒子がくっつくのでなかなか１粒で捕集すること
が難しかった。
金属超微粒子は、バッファガスによって運ばれ、距離に
応じて成長する。そのとき、いかに冷えるまで粒子同士
が結合せずに運ばれるかによってその粒子の大きさが左
右される。しかしながら、冷えてからも運動エネルギー
により粒子がくっつくのでなかなか１粒で捕集すること
が難しかった。
【０００５】また、数nmの超微粒子を電子顕微鏡により
観察するためには、照射する電子線の電圧を相当に高く
しなければならないが、そのエネルギーによってターゲ
ットである超微粒子が飛ばされてしまって観察できない
場合が生ずるという不具合もあった。
観察するためには、照射する電子線の電圧を相当に高く
しなければならないが、そのエネルギーによってターゲ
ットである超微粒子が飛ばされてしまって観察できない
場合が生ずるという不具合もあった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本願発明は、上記の点
に鑑みてなされたもので、アーク放電により生成された
超微粒子を単独で容易に捕集し得るようにすることを目
的とするものである。
に鑑みてなされたもので、アーク放電により生成された
超微粒子を単独で容易に捕集し得るようにすることを目
的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願発明では、上記課題
を解決するための手段として、図面に示すように、アー
ク放電により金属Ｍを溶かして超微粒子を生成するに当
たって、アーク放電にさらされるアーク炉本体１の内壁
にセラミックコーティング層４を形成し、アーク放電中
において金属Ｍとセラミックコーティング層４とを一緒
に溶かすようにしている。
を解決するための手段として、図面に示すように、アー
ク放電により金属Ｍを溶かして超微粒子を生成するに当
たって、アーク放電にさらされるアーク炉本体１の内壁
にセラミックコーティング層４を形成し、アーク放電中
において金属Ｍとセラミックコーティング層４とを一緒
に溶かすようにしている。
【０００８】
【作用】本願発明では、上記手段によって次のような作
用が得られる。
用が得られる。
【０００９】即ち、アーク放電中に金属Ｍとセラミック
コーティング層４とを一緒に溶かすことにより、金属超
微粒子をセラミックが取り囲むこととなり、金属超微粒
子同士がくっつくことがなくなって、１粒１粒の状態で
容易に捕集することができるとともに、高電圧の電子線
照射時にもターゲットである金属超微粒子が飛びにくく
なる。
コーティング層４とを一緒に溶かすことにより、金属超
微粒子をセラミックが取り囲むこととなり、金属超微粒
子同士がくっつくことがなくなって、１粒１粒の状態で
容易に捕集することができるとともに、高電圧の電子線
照射時にもターゲットである金属超微粒子が飛びにくく
なる。
【００１０】
【発明の効果】本願発明によれば、アーク放電により金
属Ｍを溶かして超微粒子を生成するに当たって、アーク
放電にさらされるアーク炉本体１の内壁にセラミックコ
ーティング層４を形成し、アーク放電中において金属Ｍ
とセラミックコーティング層４とを一緒に溶かすように
して、生成された金属超微粒子をセラミックが取り囲む
ようにしたので、金属超微粒子同士がくっつくことがな
くなって、１粒１粒の状態で容易に捕集することができ
るとともに、高電圧の電子線照射時にもターゲットが飛
びにくくなり、電子顕微鏡による観察が容易となるとい
う優れた効果がある。
属Ｍを溶かして超微粒子を生成するに当たって、アーク
放電にさらされるアーク炉本体１の内壁にセラミックコ
ーティング層４を形成し、アーク放電中において金属Ｍ
とセラミックコーティング層４とを一緒に溶かすように
して、生成された金属超微粒子をセラミックが取り囲む
ようにしたので、金属超微粒子同士がくっつくことがな
くなって、１粒１粒の状態で容易に捕集することができ
るとともに、高電圧の電子線照射時にもターゲットが飛
びにくくなり、電子顕微鏡による観察が容易となるとい
う優れた効果がある。
【００１１】
【実施例】以下、添付の図面を参照して、本願発明の好
適な実施例を説明する。
適な実施例を説明する。
【００１２】図１に示すアーク炉においては、炉本体１
内に陽極２と陰極３とが相対向させて配置されており、
両電極２,３間に金属超微粒子の母材である金属Ｍが配
置されている。
内に陽極２と陰極３とが相対向させて配置されており、
両電極２,３間に金属超微粒子の母材である金属Ｍが配
置されている。
【００１３】そして、本実施例の場合、前記炉本体１内
において放電にさらされる内壁には、セラミックコーテ
ィング層４が形成されている。本実施例の場合、前記セ
ラミックコーティング層４はＳiＯ2により構成されてい
る。
において放電にさらされる内壁には、セラミックコーテ
ィング層４が形成されている。本実施例の場合、前記セ
ラミックコーティング層４はＳiＯ2により構成されてい
る。
【００１４】図面中、符号５は陽極２を冷却するための
冷却水の入口、６は陽極２を冷却するための冷却水の出
口、７は陰極３を冷却するための冷却水の入口、８は陰
極３を冷却するための冷却水の出口、９は生成された金
属超微粒子を運ぶためのバッファガス(例えば、アルゴ
ン等)の入口、１０は前記バッファガスの出口である。
冷却水の入口、６は陽極２を冷却するための冷却水の出
口、７は陰極３を冷却するための冷却水の入口、８は陰
極３を冷却するための冷却水の出口、９は生成された金
属超微粒子を運ぶためのバッファガス(例えば、アルゴ
ン等)の入口、１０は前記バッファガスの出口である。
【００１５】上記のように構成されたアーク炉において
は、アーク放電中において金属Ｍとセラミックコーティ
ング層４とが一緒に溶かされて、生成された金属超微粒
子をセラミックが取り囲むようになるため、金属超微粒
子同士がくっつくことがなくなって、１粒１粒の状態で
容易に捕集することができるのである。
は、アーク放電中において金属Ｍとセラミックコーティ
ング層４とが一緒に溶かされて、生成された金属超微粒
子をセラミックが取り囲むようになるため、金属超微粒
子同士がくっつくことがなくなって、１粒１粒の状態で
容易に捕集することができるのである。
【００１６】電子顕微鏡で観察する場合、金属とセラミ
ックとは容易に区別できるので、上記のようにして捕集
された金属超微粒子の個々の表面状態や真の形状等を確
認できるのである。
ックとは容易に区別できるので、上記のようにして捕集
された金属超微粒子の個々の表面状態や真の形状等を確
認できるのである。
【００１７】また、電子顕微鏡では、倍率を上げるほど
照射する電子線の電圧が高くなって従来はターゲットで
ある金属超微粒子が飛ばされ易かったが、本実施例の方
法によれば、金属超微粒子の回りを取り囲むセラミック
が電子線のエネルギーをある程度吸収するため、高電圧
の電子線照射時にもターゲットが飛びにくくなり、電子
顕微鏡による観察が容易となる。
照射する電子線の電圧が高くなって従来はターゲットで
ある金属超微粒子が飛ばされ易かったが、本実施例の方
法によれば、金属超微粒子の回りを取り囲むセラミック
が電子線のエネルギーをある程度吸収するため、高電圧
の電子線照射時にもターゲットが飛びにくくなり、電子
顕微鏡による観察が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の実施例にかかる方法に用いられるア
ーク炉の断面図である。
ーク炉の断面図である。
１は炉本体、２は陽極、３は陰極、４はセラミックコー
ティング層、Ｍは金属塊。
ティング層、Ｍは金属塊。
Claims (1)
- 【請求項１】 アーク放電により金属(Ｍ)を溶かして超
微粒子を生成するに当たって、アーク放電にさらされる
アーク炉本体(１)の内壁にセラミックコーティング層
(４)を形成し、アーク放電中において金属(Ｍ)とセラミ
ックコーティング層(４)とを一緒に溶かすことを特徴と
する金属超微粒子を捕集し易くする方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4145792A JPH05339607A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 金属超微粒子を捕集し易くする方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4145792A JPH05339607A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 金属超微粒子を捕集し易くする方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05339607A true JPH05339607A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=15393270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4145792A Pending JPH05339607A (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | 金属超微粒子を捕集し易くする方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05339607A (ja) |
-
1992
- 1992-06-05 JP JP4145792A patent/JPH05339607A/ja active Pending
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Legal Events
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