JPH05338782A - Work carrying device - Google Patents
Work carrying deviceInfo
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- JPH05338782A JPH05338782A JP17912992A JP17912992A JPH05338782A JP H05338782 A JPH05338782 A JP H05338782A JP 17912992 A JP17912992 A JP 17912992A JP 17912992 A JP17912992 A JP 17912992A JP H05338782 A JPH05338782 A JP H05338782A
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- magazine
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造ライ
ンに設けられるワーク搬送装置、詳しくは処理速度が速
い前装置と処理速度が遅い後装置との間に設けられるワ
ーク搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a work transfer device provided in a semiconductor device manufacturing line, and more particularly to a work transfer device provided between a front device having a high processing speed and a rear device having a low processing speed.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種のワーク搬送装置について
図５を参照しつつ説明する。この種のワーク搬送装置
は、図５（Ａ）に示すように、前装置Ａと後装置Ｂとの
間に設けられており、リードフレーム等の平板状のワー
クＷを収納する専用マガジン600 と、この専用マガジン
600 を上下動させるバッファエレベーション機構610
と、前装置Ａにおける処理が完了したワークＷを前記専
用マガジン600 に収納させる供給用ベルト駆動機構620
と、専用マガジン600 に収納されたワークＷを引き出し
て後装置Ｂに供給するための搬出用ベルト駆動機構630
とを有している。2. Description of the Related Art A conventional work transfer device of this type will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 5 (A), this type of work transfer device is provided between a front device A and a rear device B, and has a dedicated magazine 600 for storing a flat work W such as a lead frame. , This dedicated magazine
Buffer elevation mechanism 610 that moves 600 up and down
And a supply belt drive mechanism 620 for storing the work W, which has been processed by the front device A, in the dedicated magazine 600.
And a carry-out belt drive mechanism 630 for drawing out the work W stored in the dedicated magazine 600 and supplying it to the rear device B.
And have.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のワーク搬送装置には以下のような問題点があ
る。すなわち、前装置Ａから後装置Ｂに搬送されるワー
クＷは、必ず専用マガジン600 に収納されるため、バッ
ファエレベーション機構610 が故障すると、前装置Ａと
後装置Ｂとの間でのワークＷの搬送がストップする。す
なわち、半導体素子の製造ライン全体がストップするこ
とになる。また、専用マガジン600 は、バッファエレベ
ーション機構610 によって上下動させられるため、供給
用及び搬出用ベルト駆動機構620 、630 との関係で図５
（Ｂ）に示すように底面の両端が広く切りかかれたもの
が用いられる。すなわち、通常の一般的なマガジンとの
互換性に欠けるため、他の工程からワークＷを供給した
り、他の工程或いは装置にワークＷを供給したりするこ
とができない。However, the above-described conventional work transfer device has the following problems. That is, since the work W conveyed from the front device A to the rear device B is always stored in the dedicated magazine 600, when the buffer elevation mechanism 610 fails, the work W between the front device A and the rear device B is lost. The transportation of will stop. That is, the entire manufacturing line of the semiconductor device is stopped. Further, since the dedicated magazine 600 is moved up and down by the buffer elevation mechanism 610, the dedicated magazine 600 is shown in FIG.
As shown in (B), the bottom surface of which both ends are widely cut is used. That is, the work W cannot be supplied from another process, or the work W cannot be supplied to another process or device, because it is not compatible with a normal general magazine.
【０００４】本発明は上記事情に鑑みて創案されたもの
で、バッファエレベーション機構等が故障しても半導体
素子の製造ライン全体をストップさせる必要がなく、一
般的なマガジンを用いることにより、全体として半導体
素子の製造の効率を向上させることができるワーク搬送
装置を提供することを目的としている。The present invention was devised in view of the above circumstances. It is not necessary to stop the entire semiconductor element manufacturing line even if the buffer elevation mechanism or the like fails, and a general magazine can be used. Another object of the present invention is to provide a work transfer device that can improve the efficiency of manufacturing semiconductor elements.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明に係るワーク搬送
装置は、処理速度の速い前装置と処理速度の遅い後装置
との間に設けられ、処理対象たるワークを前装置から後
装置に搬送する装置である。当該ワーク搬送装置は、前
装置から後装置にワークを連続送りするワーク送り機構
と、このワーク送り機構の途中にあるワークをピックア
ップするワークピックアップ機構と、このワークピック
アップ機構によってピックアップされたワークをマガジ
ンに収納するとともに、当該マガジンに収納されたワー
クをワークピックアップ機構に供給するワーク出入機構
とを有している。そして前記ワーク送り機構は後装置が
処理可能状態にある場合にのみ前装置からワークを後装
置に直接搬送し、後装置が処理不可能状態にある場合に
はワーク送り機構の途中にあるワークをワークピックア
ップ機構及びワーク出入機構によってマガジンに収納す
るようになっている。A work transfer device according to the present invention is provided between a front device having a high processing speed and a rear device having a low processing speed, and transfers a work to be processed from the front device to the rear device. It is a device that does. The work transfer device includes a work feed mechanism for continuously feeding a work from a front device to a rear device, a work pickup mechanism for picking up a work in the middle of the work feed mechanism, and a magazine for picking up the work picked up by the work pickup mechanism. And a work loading / unloading mechanism that feeds the work stored in the magazine to the work pickup mechanism. The work feeding mechanism conveys the work directly from the front device to the rear device only when the rear device is in the processable state, and when the rear device is in the unprocessable state, the work in the middle of the work feeding mechanism is operated. It is designed to be stored in a magazine by a work pickup mechanism and a work loading / unloading mechanism.
【０００６】[0006]
【実施例】図１は本発明の一実施例に係るワーク搬送装
置の概略的平面図、図２はこのワーク搬送装置のワーク
出入機構の概略的側面図、図３は図２におけるＡ−Ａ線
断面図、図４はこのワーク搬送装置の動作を説明するた
めのタイミングチャートである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a schematic plan view of a work transfer device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view of a work loading / unloading mechanism of this work transfer device, and FIG. 4 is a timing chart for explaining the operation of the work transfer device.
【０００７】本実施例に係るワーク搬送装置は、処理速
度の速い前装置Ａと処理速度の遅い後装置Ｂとの間に設
けられ、処理対象たるワークＷを前装置Ａから後装置Ｂ
に搬送するものであり、前装置Ａから後装置Ｂにワーク
Ｗを連続送りするワーク送り機構100 と、このワーク送
り機構100 の途中にあるワークＷをピックアップするワ
ークピックアップ機構200 と、このワークピックアップ
機構200 によってピックアップされたワークＷをマガジ
ンＭに収納するとともに、当該マガジンＭに収納された
ワークＷをワークピックアップ機構200 に供給するワー
ク出入機構300とを有している。The work transfer apparatus according to this embodiment is provided between a front apparatus A having a high processing speed and a rear apparatus B having a low processing speed, and transfers a work W to be processed from the front apparatus A to the rear apparatus B.
And a work pick-up mechanism 200 for picking up a work W in the middle of the work feed mechanism 100, and a work pick-up mechanism 200 for picking up the work W in the middle of the work feed mechanism 100. The work W picked up by the mechanism 200 is housed in the magazine M, and the work W is supplied to the work pick-up mechanism 200.
【０００８】前記ワーク送り機構100 、ワークピックア
ップ機構200 、ワーク出入機構300等は基台Ｃに設けら
れており、当該基台Ｃは前装置Ａと後装置Ｂとの間に設
置されている。The work feeding mechanism 100, the work pickup mechanism 200, the work loading / unloading mechanism 300, etc. are provided on a base C, and the base C is installed between a front device A and a rear device B.
【０００９】ワーク送り機構100 は、前装置Ａのワーク
供給部Ａ1 と、後装置Ｂのワーク受取部Ｂ1 との間にか
けわたされる案内レール110 と、この案内レール110 に
沿って往復移動させられる移動ステージ120 とを有して
いる。すなわち、前装置Ａのワーク供給部Ａ1 から１つ
ずつ供給されたワークＷは、受取位置Ｐ1 にある移動ス
テージ120 に載置され、当該移動ステージ120 が受取位
置Ｐ1 から受渡位置Ｐ 2 側に移動することによって後装
置Ｂに搬送されるようになっている。The work feeding mechanism 100 is the work of the front device A.
Supply unit A1And the work receiving section B of the rear device B1Between
The guide rail 110 to be swept away and this guide rail 110
With a moving stage 120 that is reciprocally moved along
There is. That is, the work supply unit A of the front device A1One from
The workpieces W supplied one by one are received at the receiving position P.1Moves
The stage 120 is mounted on the stage 120, and the moving stage 120 is in the receiving position.
Setting P1From delivery position P 2Retrofit by moving to the side
It is designed to be transported to the storage B.
【００１０】一方、ワークピックアップ機構200 は、前
記案内レール110 に対して直交し、かつ当該案内レール
110 の上を跨ぐように設けられた案内レール210 と、こ
の案内レール210 に案内されて往復移動するピックアッ
プ部220 とを有している。また、ピックアップ部220 の
裏面側にはワークＷを真空吸着する吸着部 (図示省略)
が設けられている。かかるピックアップ部220 は、前記
案内レール110 の真上に相当する移載判断位置Ｐ3 と、
マガジンＭ (バッファエレベーション機構400の上に載
置されたもの) とワーク出入機構300 との間に相当する
出入位置Ｐ4 との間を往復移動するようになっている。On the other hand, the work pickup mechanism 200 is orthogonal to the guide rail 110 and
It has a guide rail 210 provided so as to straddle over 110, and a pickup unit 220 which is guided by the guide rail 210 and reciprocates. Further, a suction unit (not shown) for vacuum-sucking the work W is provided on the back side of the pickup unit 220.
Is provided. The pickup unit 220 has a transfer determination position P 3 which is directly above the guide rail 110,
It is adapted to reciprocate between a magazine M (which is placed on the buffer elevation mechanism 400) and an in / out position P 4 corresponding to the work in / out mechanism 300.
【００１１】また、マガジンＭは、基台Ｃに設けられた
バッファエレベーション機構400 の上に載置されて上下
動可能になっている。このマガジンＭの上下動は、ワー
クＷを収納するための収納溝のピッチと等しいピッチで
間欠動するようになっている。The magazine M is placed on a buffer elevation mechanism 400 provided on the base C and is vertically movable. The vertical movement of the magazine M is intermittently moved at a pitch equal to the pitch of the storage grooves for storing the works W.
【００１２】マガジンＭに対してワークＷを出し入れす
るワーク出入機構300 は、図１に示すように、基台Ｃと
後装置Ｂと間にかけわたされるように設置されている。
このワーク出入機構300 は、前記ピックアップ部220 か
らワークＷが移載される移載台310 と、この移載台310
に移載されたワークＷを挟むチャック321 が設けられた
チャック移動ステージ320 とを有している。A work loading / unloading mechanism 300 for loading / unloading a work W into / from the magazine M is installed so as to be stretched between a base C and a rear device B, as shown in FIG.
The work loading / unloading mechanism 300 includes a transfer table 310 on which the work W is transferred from the pickup section 220, and the transfer table 310.
And a chuck moving stage 320 provided with a chuck 321 for sandwiching the workpiece W transferred to.
【００１３】前記移載台310 は、２つの略Ｌ字形状部材
311a、311bから構成されている。この略Ｌ字形状部材31
1a、311bは離れて設けられており、一方の略Ｌ字形状部
材311bには移載台310 の上にワークＷがあるか否かを検
出するワークセンサ312 が設けられている。また、両方
の略Ｌ字形状部材311a、311bには、ワークセンサ312か
らの信号に応じて図３に示す矢印αのように開閉する開
閉蓋313a、313bが設けられている。なお、開閉蓋313a、
313bが開いた状態は実線で、閉じた状態は破線でそれぞ
れ示されている。図面中314a、314bは開閉蓋313a、313b
を開閉させるためのシリンダ、315a、315bはリンク機構
をそれぞれ示している。The transfer table 310 includes two substantially L-shaped members.
It is composed of 311a and 311b. This substantially L-shaped member 31
1a and 311b are provided separately from each other, and one substantially L-shaped member 311b is provided with a work sensor 312 for detecting whether or not there is a work W on the transfer table 310. Further, both the substantially L-shaped members 311a and 311b are provided with opening / closing lids 313a and 313b which are opened and closed as indicated by an arrow α shown in FIG. 3 in response to a signal from the work sensor 312. The opening / closing lid 313a,
The open state of 313b is shown by a solid line, and the closed state is shown by a broken line. In the drawing, 314a and 314b are opening / closing lids 313a and 313b.
Cylinders for opening and closing, and 315a and 315b are link mechanisms, respectively.
【００１４】前記チャック移動ステージ320 は、前記略
Ｌ字形状部材311a、311bの間の隙間を通過することで、
待機位置Ｐ5 と出入位置Ｐ4 との間で往復移動可能にな
っている。このチャック移動ステージ320 は、ボールネ
ジ322 をベルト323aを介して駆動モータ323 によって回
転させることにより往復移動可能に構成されている。な
お、図面中326 はチャック移動ステージ320 の移動を案
内するガイドを示している。The chuck moving stage 320 passes through the gap between the substantially L-shaped members 311a and 311b,
Reciprocating movement is possible between the standby position P 5 and the entry / exit position P 4 . The chuck moving stage 320 is reciprocally movable by rotating a ball screw 322 by a drive motor 323 via a belt 323a. In the drawing, 326 indicates a guide for guiding the movement of the chuck moving stage 320.
【００１５】また、当該チャック移動ステージ320 に
は、ワークＷの端部を挟み込むチャック321 が設けられ
ている。このチャック321 に挟み込まれたワークＷは、
略Ｌ字形状部材311a、311bから若干浮き上がるように設
定されている。なお、このチャック321 は、チャック移
動ステージ320 の上面に設けられたチャック駆動モータ
324 によって回転させられるボールネジ325 によって駆
動されるように構成されている。なお、図面中324aは、
チャック駆動モータ324 の出力をチャック321 に伝達す
るベルトを示している。Further, the chuck moving stage 320 is provided with a chuck 321 for sandwiching the end portion of the work W. The work W sandwiched between the chucks 321 is
It is set so as to be slightly raised from the substantially L-shaped members 311a and 311b. The chuck 321 is a chuck drive motor provided on the upper surface of the chuck moving stage 320.
It is configured to be driven by a ball screw 325 that is rotated by 324. 324a in the drawing is
A belt for transmitting the output of the chuck drive motor 324 to the chuck 321 is shown.
【００１６】バッファエレベーション機構400 は、マガ
ジンＭを載せて上下動する上下動ステージ410 と、この
上下動ステージ410 に新たなマガジンＭを供給するマガ
ジン供給部420 とを有している。前記上下動ステージ41
0 は、マガジンＭの収納溝のピッチと等しいピッチで間
欠動するようになっている。The buffer elevation mechanism 400 has an up-and-down moving stage 410 on which a magazine M is placed and moves up and down, and a magazine supply section 420 for supplying a new magazine M to the up-and-down moving stage 410. The vertical movement stage 41
0 is intermittently moved at a pitch equal to the pitch of the storage grooves of the magazine M.
【００１７】次に、上述した構成によるワーク搬送装置
の動作について図４を参照しつつ説明する。まず、前装
置Ａは図４に示すサイクルＴA でワークＷの処理を行
い、後装置ＢはサイクルＴB でワークＷの処理を行うも
のとする。そして、前装置ＡはワークＷの処理が完了す
ると、供給可能信号ＳA を送出する。一方、後装置Ｂは
ワークＷの処理が完了すると、受取完了信号ＳB2を送出
する。そして、供給可能信号ＳA と受取完了信号ＳB2と
の差、すなわち前装置Ａと後装置ＢとのワークＷの処理
サイクルの差ΔＴ＝ＴB −ＴA 後に後装置ＢがワークＷ
を受け取ることが可能となる受取可能信号ＳB1が送出さ
れる。Next, the operation of the work transfer device having the above-mentioned structure will be described with reference to FIG. First, the front device A processes the work W in the cycle T A shown in FIG. 4, and the rear device B processes the work W in the cycle T B. Then, when the processing of the work W is completed, the front apparatus A sends out the supply enable signal S A. On the other hand, when the rear device B completes the processing of the work W, it sends the reception completion signal S B2 . Then, after the difference between the supply available signal S A and the reception completion signal S B2 , that is, the difference ΔT = T B −T A in the processing cycle of the work W between the front device A and the rear device B, the rear device B outputs the work W.
A receivable signal S B1 is transmitted, which makes it possible to receive
【００１８】まず、前装置Ａによる処理が完了した１個
目のワークＷ1 がワーク供給部Ａ1から受取位置Ｐ1 に
ある移動ステージ120 に移載される。当該移動ステージ
120は、案内レール110 に沿って移載判断位置Ｐ3 にま
で移動する。この時点において、後装置ＢはワークＷの
処理を行っていない、すなわち処理可能状態 (受取可能
信号ＳB1がＯＮ) にあるので、１個目のワークＷ1 は移
載判断位置Ｐ3 から受渡位置Ｐ2 にまで移動し、受渡位
置Ｐ2 において後装置Ｂのワーク受取部Ｂ1 に受け渡さ
れる。後装置Ｂは１個目のワークＷ1 の処理を行う。First, the first work W 1 which has been processed by the front device A is transferred from the work supply unit A 1 to the moving stage 120 at the receiving position P 1 . The moving stage
The 120 moves to the transfer determination position P 3 along the guide rail 110. At this point, the rear device B is not processing the work W, that is, in the processable state (the receivable signal S B1 is ON), so the first work W 1 is delivered from the transfer determination position P 3. moves to the position P 2, is transferred to the workpiece receiving portion B 1 of the rear unit B at the transfer position P 2. The rear device B processes the first work W 1 .
【００１９】１個目のワークＷ1 を後装置Ｂに供給した
移動ステージ120 は、受渡位置Ｐ2から受取位置Ｐ1 に
復帰し、２個目のワークＷ2 を受け取る。当該移動ステ
ージ120 は再び移載判断位置Ｐ3 にまで移動するが、後
装置Ｂは１個目のワークＷ1の処理の途中、すなわち処
理不可能状態 (受取可能信号ＳB1がＯＦＦ) にあるた
め、２個目のワークＷ2 を受け取ることができない。The moving stage 120 which has supplied the first work W 1 to the rear device B returns from the delivery position P 2 to the reception position P 1 and receives the second work W 2 . The moving stage 120 moves to the transfer determination position P 3 again, but the rear device B is in the process of processing the first work W 1 , that is, in the unprocessable state (the receivable signal S B1 is OFF). Therefore, the second work W 2 cannot be received.
【００２０】ここで、２個目のワークＷ2 を載せた移動
ステージ120 は、移載判断位置Ｐ3において停止し、２
個目のワークＷ2 は移載判断位置Ｐ3 にあるピックアッ
プ部220 に吸着される。当該ピックアップ部220 は、移
載判断位置Ｐ3 から出入位置Ｐ4 に移動する。一方、２
個目のワークＷ2 をピックアップ部220 に引き渡した移
動ステージ120 は受取位置Ｐ1 に復帰し、３個目のワー
クＷ3 を受け取る。Here, the movable stage 120 on which the second work W 2 is placed stops at the transfer determination position P 3 ,
The second work W 2 is adsorbed by the pickup unit 220 located at the transfer determination position P 3 . The pickup unit 220 moves from the transfer determination position P 3 to the loading / unloading position P 4 . On the other hand, 2
The moving stage 120 that has delivered the third work W 2 to the pickup section 220 returns to the receiving position P 1 and receives the third work W 3 .
【００２１】出入位置Ｐ4 に移動した２個目のワークＷ
2 は、ピックアップ部220 から移載台310 に移載され
る。すると、ワークセンサ312 が２個目のワークＷ2 を
検出して開閉蓋313a、313bを閉じる。同時に、待機位置
Ｐ5 にあったチャック移動ステージ320 がワークＷ2 の
方に移動し、チャック321 によってワークＷ2 を挟み込
む。The second work W moved to the entrance / exit position P 4
2 is transferred from the pickup unit 220 to the transfer table 310. Then, the work sensor 312 detects the second work W 2 and closes the opening / closing lids 313a and 313b. At the same time, the chuck moving stage 320 that has been in the standby position P 5 is moved toward the workpiece W 2, clamp the workpiece W 2 by the chuck 321.
【００２２】チャック321 によって挟み込まれた２個目
のワークＷ2 は、マガジンＭの１段目の収納溝に収納さ
れる。当該ワークＷ2 のマガジンＭへの収納が完了した
ならば、チャック移動ステージ320 は、待機位置Ｐ5 に
復帰し、次のワークＷを待つ。The second work W 2 sandwiched by the chuck 321 is stored in the first-stage storage groove of the magazine M. When the work W 2 is completely stored in the magazine M, the chuck moving stage 320 returns to the standby position P 5 and waits for the next work W.
【００２３】２個目のワークＷ2 がピックアップ機構20
0 によってワーク出入機構300 側に搬送されている間
に、移動ステージ120 は移載判断位置Ｐ3 から受取位置
Ｐ1 に復帰し、前装置Ａから３個目のワークＷ3 を受け
取る。そして、当該移動ステージ120 は、再び移載判断
位置Ｐ3 に復帰する。The second work W 2 is the pickup mechanism 20.
While being transported to the work loading / unloading mechanism 300 side by 0, the moving stage 120 returns from the transfer determination position P 3 to the receiving position P 1 , and receives the third work W 3 from the front apparatus A. Then, the moving stage 120 returns to the transfer determination position P 3 again.
【００２４】３個目のワークＷ3 を載せた移動ステージ
120 が移載判断位置Ｐ3 に戻った時点では、後装置Ｂは
１個目のワークＷ1 の処理を実行中であるが、受取可能
信号ＳB1がＯＮになっている、すなわち３個目のワーク
Ｗ3 が受渡位置Ｐ2 に達するまでに１個目のワークＷ1
の処理を完了して処理可能状態に復帰するので、移動ス
テージ120 は受渡位置Ｐ2 にまで移動し、処理可能状態
に復帰した後装置Ｂに３個目のワークＷ3 を受け渡す。Moving stage on which a third work W 3 is placed
When 120 returns to the transfer determination position P 3 , the rear device B is executing the process of the first work W 1 , but the receivable signal S B1 is ON, that is, the third work. work W 1 workpiece W 3 is 1 th to reach the delivery position P 2 of
Since the processing is completed and returned to the processable state, the moving stage 120 moves to the delivery position P 2 , and after returning to the processable state, the third work W 3 is delivered to the apparatus B.
【００２５】このようにして、前装置Ａが１ロットのワ
ークＷの処理を完了した時点で、マガジンＭには幾つか
のワークＷが収納されているので、当該ワークＷを後装
置Ｂに送り込んで処理を施す。また、マガジンＭの全て
の収納溝にワークＷが収納されたならば、上下動ステー
ジ410 に載っているマガジンＭは図外のマガジン回収部
によって回収され、新たなマガジンＭがマガジン供給部
420 によって供給される。In this way, when the front device A completes the processing of one lot of works W, several works W are stored in the magazine M, so that the works W are sent to the rear device B. Process. Further, if the works W are stored in all the storage grooves of the magazine M, the magazine M mounted on the vertical movement stage 410 is collected by a magazine collection unit (not shown), and a new magazine M is supplied to the magazine supply unit.
Powered by 420.
【００２６】[0026]
【発明の効果】本発明に係るワーク搬送装置は、上述し
たように、処理速度の異なる前装置と後装置との間に設
置すると、後装置が処理中でありワークの処理ができな
い状態にある場合にはワークはマガジンに収納されるの
で、ワークの処理の効率を向上させることができる。ま
た、機構的に複雑なバッファエレベーション機構が故障
したとしてもある程度のワークの搬送を確保できるた
め、半導体素子の製造ライン全体をストップさせること
がない。さらに、専用マガジンを用いる必要がなく通常
の一般的なマガジンを使用できるため、他の装置或いは
工程からワークを供給したり、他の後装置にワークを供
給したりすることができ、全体として半導体素子の製造
効率を向上させることができる。As described above, when the work transfer apparatus according to the present invention is installed between the front apparatus and the rear apparatus having different processing speeds, the rear apparatus is processing and the work cannot be processed. In this case, since the work is stored in the magazine, the work processing efficiency can be improved. Further, even if the mechanically complicated buffer elevation mechanism fails, it is possible to ensure the transfer of the work to some extent, and thus the entire semiconductor element manufacturing line is not stopped. Furthermore, since it is not necessary to use a dedicated magazine and a normal general magazine can be used, it is possible to supply a work from another device or process, or to supply a work to another post device, and the semiconductor as a whole. The manufacturing efficiency of the device can be improved.
【図１】本発明の一実施例に係るワーク搬送装置の概略
的平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view of a work transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図２】このワーク搬送装置のワーク出入機構の概略的
側面図である。FIG. 2 is a schematic side view of a work loading / unloading mechanism of the work transfer device.
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
【図４】このワーク搬送装置の動作を説明するためのタ
イミングチャートである。FIG. 4 is a timing chart for explaining the operation of the work transfer device.
【図５】従来のワーク搬送装置の説明図であって、同図
（Ａ）はワーク搬送装置の概略的説明図、同図（Ｂ）は
このワーク搬送装置に用いられる専用マガジンの斜視図
である。5A and 5B are explanatory views of a conventional work transfer device, FIG. 5A is a schematic explanatory view of the work transfer device, and FIG. 5B is a perspective view of a dedicated magazine used in this work transfer device. is there.
100 ワーク送り機構 200 ワークピックアップ機構 300 ワーク出入機構 Ａ 前装置 Ｂ 後装置 Ｗ ワーク Ｍ マガジン 100 Work feed mechanism 200 Work pickup mechanism 300 Work loading / unloading mechanism A Front device B Rear device W Work M Magazine
Claims (1)
後装置との間に設けられ、処理対象たるワークを前装置
から後装置に搬送するワーク搬送装置において、前装置
から後装置にワークを連続送りするワーク送り機構と、
このワーク送り機構の途中にあるワークをピックアップ
するワークピックアップ機構と、このワークピックアッ
プ機構によってピックアップされたワークをマガジンに
収納するとともに、当該マガジンに収納されたワークを
ワークピックアップ機構に供給するワーク出入機構とを
具備しており、前記ワーク送り機構は後装置が処理可能
状態にある場合にのみ前装置からワークを後装置に直接
搬送し、後装置が処理不可能状態にある場合にはワーク
送り機構の途中にあるワークをワークピックアップ機構
及びワーク出入機構によってマガジンに収納することを
特徴とするワーク搬送装置。1. A work transfer device provided between a front device having a high processing speed and a rear device having a low processing speed, for transferring a work to be processed from the front device to the rear device, wherein the work is transferred from the front device to the rear device. And a work feed mechanism that continuously feeds
A work pickup mechanism for picking up a work in the middle of the work feeding mechanism, and a work loading / unloading mechanism for storing the work picked up by the work pickup mechanism in a magazine and supplying the work stored in the magazine to the work pickup mechanism. And the work feeding mechanism conveys the work directly from the front device to the rear device only when the rear device is in the processable state, and when the rear device is in the unprocessable state, the work feed mechanism is provided. A work transfer device characterized in that a work in the middle of is stored in a magazine by a work pickup mechanism and a work loading / unloading mechanism.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17912992A JPH05338782A (en) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | Work carrying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17912992A JPH05338782A (en) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | Work carrying device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05338782A true JPH05338782A (en) | 1993-12-21 |
Family
ID=16060500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17912992A Pending JPH05338782A (en) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | Work carrying device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05338782A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100919084B1 (en) * | 2002-01-31 | 2009-09-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Substrate processing apparatus and substrate transferring method |
| CN107539840A (en) * | 2017-07-21 | 2018-01-05 | 谭威 | A kind of raw yarn bucket handling facilities |
| CN109250487A (en) * | 2018-10-29 | 2019-01-22 | 宁波舜宇仪器有限公司 | Automatic blanking device and camera lens defect automatic detection system comprising the device |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPH03145150A (en) * | 1989-10-30 | 1991-06-20 | Nitto Denko Corp | Semiconductor wafer buffer transfer device |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP17912992A patent/JPH05338782A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109250487B (en) * | 2018-10-29 | 2023-10-17 | 宁波舜宇仪器有限公司 | Automatic discharging device and lens defect automatic detection equipment comprising same |
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