JPH05334618A - Magnetic head and its prodcution - Google Patents

Magnetic head and its prodcution

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Publication number
JPH05334618A
JPH05334618A JP14300192A JP14300192A JPH05334618A JP H05334618 A JPH05334618 A JP H05334618A JP 14300192 A JP14300192 A JP 14300192A JP 14300192 A JP14300192 A JP 14300192A JP H05334618 A JPH05334618 A JP H05334618A
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JP
Japan
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track width
magnetic head
recording medium
groove
magnetic
Prior art date
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Pending
Application number
JP14300192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shintaro Nagatsuka
伸太郎 永塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPH05334618A publication Critical patent/JPH05334618A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide the magnetic head with which a narrow track width is obtainable with good accuracy without impairing the contact characteristic with a recording medium. CONSTITUTION:The magnetic head 20 has a head core 21 constituted of a pair of base bodies 21a and magnetic metallic films 24a, 24b are inserted between the respective base bodies 21a. The respective butt parts of the magnetic metallic films 24a, 24b form the track width regulating parts corresponding to the track of the recording medium cooperatively with each other and the width size Tw of the track width regulating parts is so regulated by a pair of track width regulating grooves 26 as to be equal to the prescribed track width. The respective track width regulating grooves are formed on the sliding face 21b. The cross sectional shape of the respective track width regulating grooves 26 is rectangular and the width size of the respective track width regulating grooves 26 is W. The depth size D thereof is larger than a gap depth d.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスク装置、
フロッピーディスク装置、VTRなどの磁気記録装置に
用いられる磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a hard disk device,
The present invention relates to a magnetic head used in a magnetic recording device such as a floppy disk device and a VTR, and a manufacturing method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、処理される情報量の増加に伴い大
きな記憶容量を有する磁気記録装置が出現し、この磁気
記録装置には、記憶容量を大きくするために、高い抗磁
力Hcを有する磁性材料からなる高密度記録媒体が用い
られている。
2. Description of the Related Art In recent years, a magnetic recording device having a large storage capacity has appeared with an increase in the amount of information to be processed, and this magnetic recording device has a magnetic property having a high coercive force Hc in order to increase the storage capacity. A high-density recording medium made of material is used.

【0003】しかし、フェライト磁気ヘッドでは、その
本体を構成するヘッドコアの材質がフェライト材である
ことから、飽和磁束密度が比較的小さく、前記高密度記
録媒体に対し十分な書込磁界強度を得ることができず、
高密度記録媒体を搭載する磁気記録装置に用いることが
できない。また、トラック幅がトラック幅規制溝の溝加
工によって規制されているから、この溝加工によってト
ラック幅をより狭くすることは困難である。よって、フ
ェライト磁気ヘッドに代えて、高密度記録媒体に対する
磁気ヘッドとして、複合型ヘッドが用いられる。
However, in the ferrite magnetic head, since the material of the head core constituting the main body is a ferrite material, the saturation magnetic flux density is relatively small and a sufficient write magnetic field strength can be obtained for the high density recording medium. Can't
It cannot be used in a magnetic recording device equipped with a high-density recording medium. Further, since the track width is regulated by the groove processing of the track width regulating groove, it is difficult to further narrow the track width by the groove processing. Therefore, instead of the ferrite magnetic head, a composite type head is used as a magnetic head for a high density recording medium.

【0004】この複合型ヘッドは、図9に示すように、
互いに対向する一対の基体1aで構成され、記録媒体と
の摺動面1bが形成されているヘッドコア1を備える。
各基体1aはフェライト材からなる。基体1aの一方に
は、摺動面1bに平行に伸びる巻線用溝2が形成されて
いる。
This composite type head, as shown in FIG.
The head core 1 is composed of a pair of bases 1a facing each other and having a sliding surface 1b with a recording medium.
Each base 1a is made of a ferrite material. A winding groove 2 extending parallel to the sliding surface 1b is formed on one side of the base body 1a.

【0005】ヘッドコア1には、互いに対向する一対の
トラック幅規制溝3が形成されている。各トラック幅規
制溝3は、巻線用溝2に直交するように基体1aの一方
と他方との間に配置されている。トラック幅規制溝3は
ほぼ三角形状の断面形状を有し、該トラック幅規制溝3
には基体1aの一方と他方とを接合するためのガラス材
7が充填されている。トラック幅規制溝3の側部の角度
θは、30度から60度の範囲内に設定されている。
The head core 1 is formed with a pair of track width regulating grooves 3 facing each other. Each track width regulation groove 3 is arranged between one side and the other side of the base body 1a so as to be orthogonal to the winding groove 2. The track width regulation groove 3 has a substantially triangular cross-sectional shape.
Is filled with a glass material 7 for joining one side and the other side of the base body 1a. The angle θ of the side portion of the track width regulation groove 3 is set within the range of 30 degrees to 60 degrees.

【0006】各基体1aの対向面には、高飽和磁束密度
を有する金属磁性膜4がスパッタリングなどの薄膜形成
手段で形成されている。金属磁性膜4の厚さ寸法Sは、
数μmから数10μmまでの範囲内の寸法に設定されて
いる。金属磁性膜4のトラック幅規制溝3に挟まれてい
る部位のそれぞれは互いに突き合わされ、ぞれぞれの間
にはギャップ5が形成されている。金属磁性膜4の突き
合わせ部位のそれぞれは互いに共働して記録媒体のトラ
ックに対応するトラック幅規定部位を形成し、そのトラ
ック幅規定部位の幅寸法Twは一対のトラック幅規制溝
3によって所定のトラック幅に等しくなるように規制さ
れている。
A metal magnetic film 4 having a high saturation magnetic flux density is formed on the facing surface of each substrate 1a by a thin film forming means such as sputtering. The thickness S of the metal magnetic film 4 is
The size is set within the range of several μm to several tens of μm. The portions of the metal magnetic film 4 sandwiched by the track width regulating grooves 3 are butted against each other, and a gap 5 is formed between each of them. Each of the abutting portions of the metal magnetic film 4 cooperates with each other to form a track width defining portion corresponding to the track of the recording medium, and the width dimension Tw of the track width defining portion is predetermined by the pair of track width regulating grooves 3. It is regulated to be equal to the track width.

【0007】トラックピッチがP、トラック幅がT、ガ
ードバンドがΔTである記録媒体に上述の複合型磁気ヘ
ッドを用いるとき、図10に示すように、VTRでは、
Pが10〜20μmの範囲内になるように、TがPにほ
ぼ等しくなるように、ΔTが0になるように、金属磁性
膜4の厚さ寸法Sが2〜10μmの範囲内になるように
設定されている。フロッピーディスク装置では、Pが5
0〜100μmの範囲内になるように、Tが20〜50
μmの範囲内になるように、ΔTが30〜50μmの範
囲内になるように、Sが1〜5μmの範囲内になるよう
に設定されている。ハードディスク装置では、Pが20
〜50μmの範囲内になるように、Tが10〜20μm
の範囲内になるように、ΔTが10〜30μmの範囲内
になるように、Sが1〜10μmの範囲内になるように
設定されている。
When the above composite magnetic head is used for a recording medium having a track pitch of P, a track width of T, and a guard band of ΔT, as shown in FIG.
The thickness dimension S of the metal magnetic film 4 is in the range of 2 to 10 μm, P is in the range of 10 to 20 μm, T is substantially equal to P, ΔT is 0. Is set to. In the floppy disk device, P is 5
T is 20 to 50 so that it is in the range of 0 to 100 μm.
It is set such that ΔT falls within the range of 30 μm, ΔT falls within the range of 30 to 50 μm, and S falls within the range of 1 to 5 μm. In the hard disk device, P is 20
T is 10 to 20 μm so that it falls within the range of ˜50 μm
, ΔT is in the range of 10 to 30 μm, and S is in the range of 1 to 10 μm.

【0008】また、さらに高密度化される磁気記録媒体
に対応するために、Pを5μm、Tを10μm、ΔTを
5μm、Sを1〜10μmの範囲内とするシステムが研
究されているが、このような狭いトラック幅の設定に対
しては、金属磁性膜のトラック幅を規制するための溝加
工に高い精度が要求される。しかし、トラックの位置決
め精度、トラックピッチ、ガードバンドなどから前記溝
加工に対する精度として±1μm以下が要求され、この
精度を量産時に保持することは難しい。よって、前記溝
加工に対する精度が低下すると、隣接トラックからのク
ロストーク信号によってC/N比が悪化する。
Further, in order to cope with a magnetic recording medium having a higher density, a system in which P is 5 μm, T is 10 μm, ΔT is 5 μm, and S is in the range of 1 to 10 μm has been studied. In order to set such a narrow track width, high precision is required for groove processing for regulating the track width of the metal magnetic film. However, from the track positioning accuracy, track pitch, guard band, etc., an accuracy of ± 1 μm or less is required for the groove processing, and it is difficult to maintain this accuracy during mass production. Therefore, if the accuracy of the groove processing is lowered, the C / N ratio is deteriorated by the crosstalk signal from the adjacent track.

【0009】例えば、図11を参照するに、前記溝加工
には先端角が(180°−2θ)である砥石8が用いら
れ、機械精度の垂直方向の変化分をΔZとし、トラック
幅Twの変化量をΔTwとすると、垂直方向の変化分Δ
Zとトラック幅Twの変化量ΔTwとの関係は次の
(1)式を満足する。
For example, referring to FIG. 11, a grindstone 8 having a tip angle of (180 ° -2θ) is used for the groove processing, the vertical variation of the mechanical precision is ΔZ, and the track width Tw is If the amount of change is ΔTw, the amount of change in the vertical direction Δ
The relationship between Z and the change amount ΔTw of the track width Tw satisfies the following expression (1).

【0010】[0010]

【数1】 ΔTw=2×ΔZ/(tanθ) (1) よって、θ=45°、ΔZ=1μmとすると、ΔTw=
2μmとなり、精度±1μmを保持することは難しい。
ΔTw = 2 × ΔZ / (tan θ) (1) Therefore, if θ = 45 ° and ΔZ = 1 μm, ΔTw =
It becomes 2 μm, and it is difficult to maintain the accuracy of ± 1 μm.

【0011】これに対し、金属磁性膜のトラック幅を規
制するためのトラック幅規制溝3の底部3aがギャップ
5の対向面に直角であるとき、図12に示すように、Z
方向への変動に対しトラック幅の変動はなく、トラック
幅に対する精度を保持することは容易であるが、金属磁
性膜を薄膜形成手段で形成するときに、粒子の入射角の
関係から金属磁性膜のトラック幅を規定する部位の端部
は丸みを帯びる。この丸みを帯びた部分がトラック間の
ガードバンドを越えて隣接トラックにかかり、クロスト
ークが多くなる。
On the other hand, when the bottom portion 3a of the track width regulating groove 3 for regulating the track width of the metal magnetic film is perpendicular to the facing surface of the gap 5, as shown in FIG.
The track width does not change with respect to the change in the direction, and it is easy to maintain the accuracy with respect to the track width. The end of the part that defines the track width of is rounded. This rounded portion crosses over the guard band between tracks and is applied to the adjacent tracks, resulting in increased crosstalk.

【0012】他方、ハードディスク装置に用いられる複
合型磁気ヘッドでは、図13および図14に示すよう
に、スライダ10にヘッドコア11が埋め込まれ、ヘッ
ドコア11は低融点ガラス材12でスライダ10に接合
されている。ヘッドコア11に挟み込まれている金属磁
性膜13のトラック幅は、図15に示すように、ヘッド
コア11の一部を切断することによって規制されている
から、トラック幅に対する加工精度は高いが、トラック
幅が狭いことから、機械的強度が弱く、記録媒体との接
触面積の小ささに起因する接触性が不安定になる。よっ
て、図14に示すように、ガラス材12でスライダ10
とヘッドコア11とを接合する必要がある。
On the other hand, in the composite type magnetic head used in the hard disk device, as shown in FIGS. 13 and 14, a head core 11 is embedded in a slider 10, and the head core 11 is bonded to the slider 10 with a low melting point glass material 12. There is. The track width of the metal magnetic film 13 sandwiched between the head cores 11 is regulated by cutting a part of the head core 11 as shown in FIG. Is narrow, the mechanical strength is weak, and the contact property due to the small contact area with the recording medium becomes unstable. Therefore, as shown in FIG.
And the head core 11 need to be joined.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の複合型磁気ヘッドでは、記録媒体との接触性を損なう
ことなく、狭トラック幅を精度良く得ることは困難であ
る。
As described above, in the conventional composite magnetic head, it is difficult to obtain a narrow track width with high precision without impairing the contact property with the recording medium.

【0014】本発明は、上述の問題を解決すべく、記録
媒体との接触性を損なうことなく、狭トラック幅を精度
良く得ることができる磁気ヘッドおよびその製造方法を
提供することを目的とする。
In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a magnetic head capable of obtaining a narrow track width with high accuracy without impairing the contact property with a recording medium, and a manufacturing method thereof. ..

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る磁気ヘッ
ドは、互いに対向する一対の基体で構成され、記録媒体
との摺動面にこれに垂直な側部およびギャップデプスよ
り深い寸法を有するトラック幅規制溝が設けられたヘッ
ドコアと、前記ヘッドコアの基体間に挟み込まれ、前記
トラック幅規制溝によって所定のトラック幅に等しくな
るように規制されたトラック幅規定部位を有した磁性膜
とを備える。
A magnetic head according to a first aspect of the present invention comprises a pair of bases facing each other, and has a dimension deeper than a side portion and a gap depth perpendicular to a sliding surface with respect to a recording medium. A head core provided with a track width regulating groove; and a magnetic film sandwiched between the bases of the head core and having a track width defining portion regulated by the track width regulating groove to be equal to a predetermined track width. ..

【0016】請求項2に係る磁気ヘッドの製造方法は、
スパッタリングなどの薄膜形成手段で一対の基体の内の
少なくとも一方に磁性膜を形成する工程と、前記基体の
一方と他方とをその間に磁性膜が配置されるように接合
することによって接合ブロックを形成する工程と、前記
接合ブロックの記録媒体との摺動面を規定する面に、そ
れに垂直な側部およびギャップデプスより深い寸法を有
するトラック幅規制溝を形成し、該トラック幅規制溝の
形成により前記磁性膜のトラック幅規定部を設定する工
程とを備える。
A method of manufacturing a magnetic head according to claim 2 is
A step of forming a magnetic film on at least one of the pair of substrates by a thin film forming means such as sputtering, and a joining block is formed by joining one and the other of the substrates so that the magnetic film is arranged therebetween. And a track width regulating groove having a dimension deeper than a side portion and a gap depth perpendicular to the surface defining the sliding surface of the joint block with the recording medium, and the track width regulating groove is formed. And a step of setting a track width defining portion of the magnetic film.

【0017】[0017]

【作 用】請求項1に係る磁気ヘッドでは、前記磁性膜
のトラック幅規定部位を所定のトラック幅に等しくなる
ように規制する溝として、記録媒体との摺動面に垂直な
側部およびギャップデプスより深い寸法を有するトラッ
ク幅規制溝が前記記録媒体との摺動面に形成される。
According to a first aspect of the present invention, in the magnetic head according to the first aspect, as a groove for restricting a track width defining portion of the magnetic film to be equal to a predetermined track width, a side portion and a gap perpendicular to a sliding surface with a recording medium are provided. A track width regulating groove having a dimension deeper than the depth is formed on the sliding surface with respect to the recording medium.

【0018】前記トラック幅規制溝が前記記録媒体との
摺動面を規定する面に垂直な側部およびギャップデプス
より深い寸法を有するから、該トラック幅規制溝の形成
精度は高くなり、該トラック幅規制溝の形成によって規
制される前記トラック幅規定部位を所定のトラック幅に
等しくなるように精度良く形成することができ、ひいて
は狭トラック幅を精度良く得ることができる。また、前
記トラック幅規制溝の幅を小さくすることによって、前
記記録媒体と前記摺動面との接触性が損なわれることを
防止することができる。
Since the track width regulating groove has a dimension deeper than the side portion and the gap depth perpendicular to the surface defining the sliding surface with respect to the recording medium, the track width regulating groove is formed with high accuracy, and the track width regulating groove is formed. The track width defining portion regulated by the formation of the width regulation groove can be accurately formed so as to be equal to a predetermined track width, and thus a narrow track width can be accurately obtained. Further, by reducing the width of the track width regulating groove, it is possible to prevent the contact property between the recording medium and the sliding surface from being impaired.

【0019】請求項2に係る磁気ヘッドの製造方法で
は、前記基体間に磁性膜が挟み込まれている接合ブロッ
クを形成した後に、前記接合ブロックの摺動面を規定す
る面に前記トラック幅規制溝を形成することによって、
記録媒体との接触性が損なわれる恐れがなく、かつ狭ト
ラック幅が精度良く形成された磁気ヘッドを得ることが
できる。
In the method of manufacturing a magnetic head according to a second aspect of the present invention, after forming a joining block in which a magnetic film is sandwiched between the bases, the track width regulating groove is formed on a surface defining a sliding surface of the joining block. By forming
It is possible to obtain a magnetic head in which the contact property with the recording medium is not impaired and the narrow track width is formed with high accuracy.

【0020】[0020]

【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0021】図1は本発明の磁気ヘッドの一実施例を示
す斜視図、図2は図1の磁気ヘッドのギャップの周囲を
拡大して示す平面図、図3は図2のA−A線に沿って得
られた断面図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the magnetic head of the present invention, FIG. 2 is an enlarged plan view showing the periphery of the gap of the magnetic head of FIG. 1, and FIG. 3 is a line AA of FIG. It is sectional drawing obtained along with.

【0022】磁気ヘッド20は、図1〜図3に示すよう
に、互いに対向する一対の基体21aで構成され、記録
媒体との摺動面21bが形成されているヘッドコア21
を備える。各基体21aはフェライト材からなる。基体
21aの一方には、摺動面21bに平行に伸びる巻線用
溝22が形成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the magnetic head 20 is composed of a pair of bases 21a opposed to each other, and a head core 21 on which a sliding surface 21b with a recording medium is formed.
Equipped with. Each base 21a is made of a ferrite material. A winding groove 22 extending parallel to the sliding surface 21b is formed on one side of the base body 21a.

【0023】ヘッドコア21には、互いに対向する一対
のトラック幅規制溝23が形成されている。各トラック
幅規制溝23は、巻線用溝22に直交するように基体2
1aの一方と他方との間に配置されている。各トラック
幅規制溝23には、基体21aの一方と他方とを接合す
るためのガラス材27が充填されている。
The head core 21 is formed with a pair of track width regulating grooves 23 facing each other. Each track width regulation groove 23 is formed in the base 2 so as to be orthogonal to the winding groove 22.
It is arranged between one side and the other side of 1a. Each track width regulation groove 23 is filled with a glass material 27 for joining one side and the other side of the base body 21a.

【0024】各基体21a間には、高飽和磁束密度を有
する金属磁性膜24a,24bが挟み込まれている。金
属磁性膜24aはスパッタリングなどの薄膜形成手段で
一方の基体21aの対向面に形成され、同様に、金属磁
性膜24bは他方の基体21aの対向面に形成されてい
る。金属磁性膜24a,24bの厚さ寸法は、数μmか
ら数10μmまでの範囲内の寸法に設定されている。金
属磁性膜24a,24bのトラック幅規制溝23に挟ま
れている部位のそれぞれは互いに突き合わされ、それぞ
れの間にはギャップ25が形成されている。なお、ギャ
ップ25のギャップデプスはdである。
Metal magnetic films 24a and 24b having a high saturation magnetic flux density are sandwiched between the bases 21a. The metal magnetic film 24a is formed on the facing surface of one base 21a by a thin film forming means such as sputtering, and similarly, the metal magnetic film 24b is formed on the facing surface of the other base 21a. The thickness of the metal magnetic films 24a and 24b is set within the range of several μm to several tens of μm. The portions of the metal magnetic films 24a and 24b sandwiched by the track width regulating grooves 23 are butted against each other, and a gap 25 is formed between them. The gap depth of the gap 25 is d.

【0025】金属磁性膜24a,24bのそれぞれの突
き合わせ部位は互いに共働して記録媒体のトラックに対
応するトラック幅規定部位を形成し、そのトラック幅規
定部位の幅寸法Twは一対のトラック幅規制溝26によ
って所定のトラック幅に等しくなるように規制されてい
る。
The abutting portions of the metal magnetic films 24a and 24b cooperate with each other to form a track width defining portion corresponding to the track of the recording medium, and the width dimension Tw of the track width defining portion has a pair of track width regulation. The groove 26 regulates the width to be equal to a predetermined track width.

【0026】各トラック幅規制溝26は互いに平行にか
つ金属磁性膜24a,24bを経て基体21aの一方か
ら他方に向けて伸びる溝であり、該溝はヘッドコア21
の摺動面21bに形成されている。各トラック幅規制溝
26は矩形状の横断面形状を有する。各トラック幅規制
溝26の幅寸法はWであり、その深さ寸法Dはギャップ
デプスdより大きい。
Each track width regulating groove 26 is a groove extending parallel to each other and extending from one side of the base 21a to the other side via the metal magnetic films 24a and 24b, and the groove is the head core 21.
Is formed on the sliding surface 21b. Each track width regulation groove 26 has a rectangular cross-sectional shape. The width dimension of each track width regulation groove 26 is W, and the depth dimension D thereof is larger than the gap depth d.

【0027】なお、記録媒体との接触性を良好に保持す
るために、トラック幅Twとトラック幅規制溝26の幅
寸法Wとの関係が、次の(2)式を満足することが好ま
しい。
In order to maintain good contact with the recording medium, it is preferable that the relationship between the track width Tw and the width dimension W of the track width regulating groove 26 satisfies the following expression (2).

【0028】[0028]

【数2】 W≦10・Tw (2) ただし、上述の関係は記録媒体と磁気ヘッド20との相
対速度、記録媒体のテンションなどに応じて若干異な
る。
## EQU00002 ## W.ltoreq.10.Tw (2) However, the above relationship is slightly different depending on the relative speed between the recording medium and the magnetic head 20, the tension of the recording medium, and the like.

【0029】以上により、磁気ヘッド20では、金属磁
性膜24a,24bで形成されるトラック幅規定部位の
幅寸法がトラック幅規制溝26によって規制されるか
ら、金属磁性膜24a,24bで形成されるトラック幅
規定部位の幅寸法を高い精度でトラック幅Twに一致さ
せることができ、狭いトラック幅を精度良く得ることが
できる。
As described above, in the magnetic head 20, since the width dimension of the track width defining portion formed by the metal magnetic films 24a and 24b is regulated by the track width regulating groove 26, it is formed by the metal magnetic films 24a and 24b. The width dimension of the track width defining portion can be matched with the track width Tw with high accuracy, and a narrow track width can be obtained with high accuracy.

【0030】なお、本実施例では、トラック幅規制溝2
6の幅寸法Wとトラック幅Twとの関係が上述の(2)
式を満足するように設定されているが、この関係式を満
足しないとき、磁気テープ、フロッピーディスクなどの
柔軟性を有する磁気記録媒体との接触性を低下させる恐
れがある。この記録媒体との接触性の低下を防止するた
めに、図8に示すように、トラック幅規制溝26にガラ
ス材28を充填することが好ましい。また、トラック幅
規制溝26にガラス材28が充填されている磁気ヘッド
をハードディスク装置に用いることができる。この磁気
ヘッドを用いることによって、ヘッドコアのスライダへ
の埋め込みにガラス材を用いる必要がなく、ヘッドコア
とスライダとの固定に有機接着剤を使用することができ
る。
In this embodiment, the track width regulating groove 2
The relationship between the width dimension W of 6 and the track width Tw is as described in (2) above.
Although it is set so as to satisfy the equation, if the equation is not satisfied, the contact property with a flexible magnetic recording medium such as a magnetic tape or a floppy disk may be lowered. In order to prevent the deterioration of the contact property with the recording medium, it is preferable to fill the track width regulating groove 26 with a glass material 28 as shown in FIG. Further, a magnetic head in which the track width regulation groove 26 is filled with the glass material 28 can be used in a hard disk device. By using this magnetic head, it is not necessary to use a glass material for embedding the head core in the slider, and an organic adhesive can be used for fixing the head core and the slider.

【0031】また、本実施例では、金属磁性膜が設けら
れている複合型磁気ヘッドを例にあげて説明したが、こ
のトラック幅規制溝26によってトラック幅を規制する
方法をフェライト磁気ヘッド、メタルインギャップヘッ
ド(いわゆるMIGヘッド)、磁性膜界面とギャップと
が非平行であるいわゆるTSSタイプの磁気ヘッドなど
に適用することができる。
In this embodiment, the composite type magnetic head provided with the metal magnetic film has been described as an example. However, the method of regulating the track width by the track width regulating groove 26 is a ferrite magnetic head or metal. The present invention can be applied to an in-gap head (so-called MIG head), a so-called TSS type magnetic head in which a magnetic film interface and a gap are non-parallel.

【0032】次に、磁気ヘッド20の製造方法について
図面を参照しながら説明する。図4ないし図7は図1の
磁気ヘッドの製造方法を説明するための図であって、そ
れぞれその第1の工程ないし第4の工程を示す。
Next, a method of manufacturing the magnetic head 20 will be described with reference to the drawings. 4 to 7 are views for explaining a method of manufacturing the magnetic head of FIG. 1, and show first to fourth steps thereof, respectively.

【0033】まず、図4(a),(b)に示すように、
巻線用溝30が形成されているブロック31と、ブロッ
ク32とが準備される。
First, as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b),
A block 31 in which the winding groove 30 is formed and a block 32 are prepared.

【0034】ブロック31には、図5(a)に示すよう
に、巻線用溝30に直角に伸びる複数のトラック幅規制
溝33が形成され、各トラック幅規制溝33は互いに所
定の間隔をおいて平行に配置されている。ブロック31
の溝33形成面には、スパッタリングなどの薄膜形成手
段によって金属磁性膜(図示せず)が形成される。ブロ
ック32には、図5(b)に示すように、複数のトラッ
ク幅規制溝34が形成され、各トラック幅規制溝34は
互いに所定の間隔をおいて平行に配置されている。ブロ
ック32のトラック幅規制溝34形成面には、ブロック
31と同様に、スパッタリングなどの薄膜形成手段によ
って金属磁性膜(図示せず)が形成される。
As shown in FIG. 5A, a plurality of track width regulating grooves 33 extending at right angles to the winding groove 30 are formed in the block 31, and the track width regulating grooves 33 are spaced from each other by a predetermined distance. Are arranged in parallel. Block 31
A metal magnetic film (not shown) is formed on the surface where the groove 33 is formed by thin film forming means such as sputtering. As shown in FIG. 5B, a plurality of track width regulating grooves 34 are formed in the block 32, and the track width regulating grooves 34 are arranged in parallel with each other at a predetermined interval. Similar to the block 31, a metal magnetic film (not shown) is formed on the surface of the block 32 on which the track width regulating groove 34 is formed by thin film forming means such as sputtering.

【0035】各トラック幅規制溝33,34および金属
磁性膜の形成後、図6に示すように、ブロック31とブ
ロック32とはそれぞれのトラック幅規制溝33,34
が互いに対向するように突き合わされ、かつガラス材
(図示せず)で一体的に接合される。ブロック31の金
属磁性膜とブロック32の金属磁性膜との間には、ギャ
ップ35を形成するための絶縁膜が挟み込まれる。前記
絶縁膜は二酸化けい素からなる。ギャップ35を介して
突き合わされている金属磁性膜の部位のそれぞれは互い
に共働して記録媒体のトラックに対応するトラック幅規
定部位を形成する。
After forming the track width regulating grooves 33 and 34 and the metal magnetic film, as shown in FIG. 6, the block 31 and the block 32 respectively have track width regulating grooves 33 and 34.
Are butted so as to face each other, and are integrally joined by a glass material (not shown). An insulating film for forming the gap 35 is sandwiched between the metal magnetic film of the block 31 and the metal magnetic film of the block 32. The insulating film is made of silicon dioxide. Each of the portions of the metal magnetic film that are butted against each other through the gap 35 cooperate with each other to form a track width defining portion corresponding to a track of the recording medium.

【0036】ブロック31とブロック32とを接合する
ことによって得られる接合ブロック36には、図7に示
すように、金属磁性膜のトラック幅規定部位の幅寸法が
トラック幅に一致させるための複数のトラック幅規制溝
37が形成される。各トラック幅規制溝37は互いに平
行であり、金属磁性膜のギャップ35近傍部位を挟み込
む溝37の一方と他方との間の間隔は所定のトラック幅
に等しい。
In the joint block 36 obtained by joining the block 31 and the block 32, as shown in FIG. 7, a plurality of tracks for adjusting the width dimension of the track width defining portion of the metal magnetic film to the track width. The track width regulation groove 37 is formed. The track width regulating grooves 37 are parallel to each other, and the distance between one and the other of the grooves 37 that sandwich the metal magnetic film near the gap 35 is equal to a predetermined track width.

【0037】トラック幅規制溝37の形成後、接合ブロ
ック36は所定の切断線(図示せず)に沿って切断さ
れ、ヘッド基材が得られる。ヘッド基材に所定の機械加
工を施した後、図1に示すように、磁気ヘッド20が得
られる。
After the track width regulating groove 37 is formed, the joining block 36 is cut along a predetermined cutting line (not shown) to obtain a head base material. After subjecting the head base material to predetermined machining, the magnetic head 20 is obtained as shown in FIG.

【0038】以上により、トラック幅規制溝37の形成
によって金属磁性膜のトラック幅規定部位の幅寸法が規
制されるから、高い精度で所定のトラック幅が形成され
た磁気ヘッドをを得ることができ、ひいては高密度化磁
気記録媒体に対応するための狭トラック幅が精度良く形
成されている磁気ヘッドを得ることができる。
As described above, since the width of the track width defining portion of the metal magnetic film is restricted by the formation of the track width restricting groove 37, it is possible to obtain a magnetic head having a predetermined track width with high accuracy. As a result, it is possible to obtain a magnetic head in which a narrow track width is formed with high precision to accommodate a high-density magnetic recording medium.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の磁気ヘ
ッドによれば、記録媒体との接触性を損なうことなく、
高密度化記録媒体に対応するための狭トラック幅を精度
良く得ることができる。
As described above, according to the magnetic head of the present invention, the contact property with the recording medium is not impaired.
It is possible to obtain a narrow track width with high accuracy for a high density recording medium.

【0040】本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、
記録媒体との接触性が安定し、かつさらに高密度化され
る記録媒体に対応するための狭トラック幅が精度良く形
成された磁気ヘッドを得ることができる。
According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention,
It is possible to obtain a magnetic head in which the contact property with a recording medium is stable and a narrow track width is formed with high precision to accommodate a recording medium having a higher density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気ヘッドの一実施例を示す斜視図で
ある。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a magnetic head of the present invention.

【図2】図1の磁気ヘッドのギャップの周囲を拡大して
示す平面図である。
FIG. 2 is an enlarged plan view showing the periphery of the gap of the magnetic head of FIG.

【図3】図2のA−A線に沿って得られた断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図4】図1の磁気ヘッドの製造方法の第1の工程を説
明するための図である。
FIG. 4 is a diagram for explaining a first step of the method of manufacturing the magnetic head of FIG.

【図5】図1の磁気ヘッドの製造方法の第2の工程を説
明するための図である。
5A and 5B are views for explaining a second step of the method of manufacturing the magnetic head of FIG.

【図6】図1の磁気ヘッドの製造方法の第3の工程を説
明するための図である。
6A and 6B are views for explaining a third step of the method of manufacturing the magnetic head of FIG.

【図7】図1の磁気ヘッドの製造方法の第4の工程を説
明するための図である。
7 is a diagram for explaining a fourth step of the method of manufacturing the magnetic head of FIG. 1. FIG.

【図8】本発明の磁気ヘッドの他の実施例を示す斜視図
である。
FIG. 8 is a perspective view showing another embodiment of the magnetic head of the present invention.

【図9】従来の複合型磁気ヘッドを示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a conventional composite magnetic head.

【図10】図9の磁気ヘッドのギャップの周囲を拡大し
て示す平面図である。
10 is an enlarged plan view showing the periphery of the gap of the magnetic head of FIG. 9. FIG.

【図11】図9の磁気ヘッドのトラック幅規制溝を形成
する工程を説明するための図である。
FIG. 11 is a diagram for explaining a step of forming a track width regulating groove of the magnetic head of FIG.

【図12】従来の他の磁気ヘッドのギャップの周囲を拡
大して示す平面図である。
FIG. 12 is an enlarged plan view showing the periphery of a gap of another conventional magnetic head.

【図13】従来のハードディスク装置に用いられている
磁気ヘッドを示す斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view showing a magnetic head used in a conventional hard disk device.

【図14】図13の磁気ヘッドのヘッドコアとスライダ
との接合状態を示す平面図である。
FIG. 14 is a plan view showing a bonded state of the head core and the slider of the magnetic head of FIG.

【図15】図13の磁気ヘッドのヘッドコアを示す斜視
図である。
15 is a perspective view showing a head core of the magnetic head of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 磁気ヘッド 21 ヘッドコア 21a,21b 基体 22,30 巻線用溝 24a,24b 金属磁性膜 25 ギャップ 26,37 トラック幅規制溝 28 ガラス材 31,32 基板 36 接合ブロック 20 magnetic head 21 head core 21a, 21b substrate 22, 30 winding groove 24a, 24b metal magnetic film 25 gap 26, 37 track width regulating groove 28 glass material 31, 32 substrate 36 joint block

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】互いに対向する一対の基体で構成され、記
録媒体との摺動面にこれに垂直な側部およびギャップデ
プスより深い寸法を有するトラック幅規制溝が設けられ
たヘッドコアと、 前記ヘッドコアの基体間に挟み込まれ、前記トラック幅
規制溝によって所定のトラック幅に等しくなるように規
制されたトラック幅規定部を有した磁性膜とを備えたこ
とを特徴とする磁気ヘッド。
1. A head core comprising a pair of bases facing each other, and a track width regulating groove having a dimension deeper than a side portion and a gap depth perpendicular to the pair, formed on a sliding surface with respect to a recording medium, and the head core. And a magnetic film having a track width defining portion which is sandwiched between the bases and is regulated by the track width regulating groove to be equal to a predetermined track width.
【請求項2】スパッタリングなどの薄膜形成手段で一対
の基体の内の少なくとも一方に磁性膜を部位を形成する
工程と、 前記基体の一方と他方とをその間に磁性膜が配置される
ように接合することによって接合ブロックを形成する工
程と、 前記接合ブロックの記録媒体との摺動面を規定する面
に、それに垂直な側部およびギャップデプスより深い寸
法を有するトラック幅規制溝を形成し、該トラック幅規
制溝の形成により前記磁性膜のトラック幅規定部を設定
する工程とを備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造
方法。
2. A step of forming a magnetic film portion on at least one of a pair of bases by means of thin film forming means such as sputtering, and joining one and the other of the bases so that the magnetic film is disposed therebetween. A step of forming a junction block by forming a track width regulating groove having a dimension deeper than a side portion and a gap depth perpendicular to the side surface defining the sliding surface of the junction block with the recording medium, And a step of setting a track width defining portion of the magnetic film by forming a track width restricting groove.
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