JPH053333A - Method for repairing solar battery - Google Patents

Method for repairing solar battery

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Publication number
JPH053333A
JPH053333A JP3153170A JP15317091A JPH053333A JP H053333 A JPH053333 A JP H053333A JP 3153170 A JP3153170 A JP 3153170A JP 15317091 A JP15317091 A JP 15317091A JP H053333 A JPH053333 A JP H053333A
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JP
Japan
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solar cell
conductive paste
solar battery
reverse bias
repairing
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Application number
JP3153170A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Murakami
勉 村上
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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Abstract

PURPOSE:To improve the reliability of a solar battery by impressing a reverse bias upon the solar battery under a condition where the temperature is equal to or higher than the glass transition temperature of the binder used for conductive paste and the relative humidity is >=60%. CONSTITUTION:This solar battery repairing method which remedies the fault of a solar battery, the electrode of which is formed of conductive paste, by impressing a reverse bias impresses the reverse bias upon the solar battery under a condition where the temperature is higher than the glass transition temperature of the binder used for the conductive paste and relative humidity is >=60%. This method is suitable for a solar battery which is constituted by successively forming an amorphous silicon layer having pin structures 3, 4, and 5, transparent electrode 6, grid electrodes 7 made of conductive paste, and resin film on a substrate 1. Therefore, the fault of the solar battery caused by short circuit or shunt can be repaired and the production yield of the solar battery can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、信頼性の高い太陽電池
の製造方法に関する。より詳しくは、本発明は、太陽電
池の製造工程で発生する、ショートやシャントを簡便に
修復する事により太陽電池の初期特性、及び使用時にお
ける劣化を防ぐための方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a highly reliable solar cell. More particularly, the present invention relates to a method for preventing initial characteristics of a solar cell and deterioration during use by simply repairing a short circuit or a shunt that occurs in the manufacturing process of the solar cell.

【0002】[0002]

【従来の技術】太陽光を電気エネルギーに変換する光電
変換素子である太陽電池は、電卓、腕時計などの民生用
の小電力用電源として広く応用されており、また、将
来、石油、石炭などのいわゆる化石燃料の代替電力用と
して実用化可能な技術として注目されている。太陽電池
は半導体のpn接合の光起電力を利用した技術である。
シリコンなどの半導体が太陽光を吸収すると、電子と正
孔の光キャリヤーが生成する。該光キャリヤーはpn接
合部の内部電界に依りドリフトし、外部に取り出され
る。この様な太陽電池はほぼ半導体プロセスを用いるこ
とにより作製される。具体的には、CZ法などの結晶成
長法によりp型、あるいはn型に価電子制御したシリコ
ンの単結晶を作製し、該単結晶をスライスして約300
μmの厚みのシリコンウエハーを作る。さらに前記ウエ
ハーの導電型と反対の導電型となるように、価電子制御
剤の拡散やイオン打込みなどの適当な手段により、異種
の導電型の層を形成することで前記ウエハー内にpn接
合を作る。
2. Description of the Related Art Solar cells, which are photoelectric conversion elements that convert sunlight into electric energy, have been widely applied as a small power source for consumer use such as calculators and wristwatches. It is drawing attention as a technology that can be put to practical use as an alternative power source for so-called fossil fuels. A solar cell is a technology that uses the photovoltaic power of a semiconductor pn junction.
When a semiconductor such as silicon absorbs sunlight, photo carriers of electrons and holes are generated. The optical carrier drifts due to the internal electric field of the pn junction and is taken out to the outside. Such a solar cell is manufactured by using a semiconductor process. Specifically, a p-type or n-type valence electron controlled silicon single crystal is produced by a crystal growth method such as the CZ method, and the single crystal is sliced to obtain about 300
Make a silicon wafer with a thickness of μm. Further, a pn junction is formed in the wafer by forming layers of different conductivity types by an appropriate means such as diffusion of a valence electron control agent and ion implantation so that the wafer has a conductivity type opposite to that of the wafer. create.

【0003】ところで、信頼性や変換効率の観点から、
現在、主に実用化されている太陽電池には、単結晶シリ
コンが使われているが、上述のように太陽電池作製は半
導体プロセスを用いるため、その生産コストは高いもの
となっている。
From the viewpoint of reliability and conversion efficiency,
Currently, single crystal silicon is mainly used for practically used solar cells. However, since the solar cell is manufactured by using the semiconductor process as described above, its production cost is high.

【0004】また、単結晶シリコン太陽電池には、次の
ような欠点もある。単結晶シリコンは間接遷移であるた
め光吸収係数が小さく、必要光量を得るためには、少な
くとも50μm以上の厚さが必要である。これは軽量化
の点から不利である。
The single crystal silicon solar cell also has the following drawbacks. Since single crystal silicon is an indirect transition, it has a small light absorption coefficient, and a thickness of at least 50 μm or more is necessary to obtain the required amount of light. This is disadvantageous in terms of weight saving.

【0005】また、太陽電池として好適なバンドギャッ
プは1.5eVであるが、単結晶シリコンの場合は約
1.1eVである。このため太陽光の短波長成分を有効
に利用できない欠点もある。
The band gap suitable for a solar cell is 1.5 eV, but in the case of single crystal silicon it is about 1.1 eV. Therefore, there is a drawback that the short wavelength component of sunlight cannot be effectively used.

【0006】ここで、仮に単結晶シリコンの代わりに多
結晶シリコンを用いるとすると、生産コストは低下する
が、多結晶シリコンもやはり間接遷移なので太陽電池の
厚さの問題は残る。さらに多結晶シリコンには粒界その
他の問題がある。
If polycrystalline silicon is used instead of single crystal silicon, the production cost will be reduced, but since polycrystalline silicon is also an indirect transition, the problem of solar cell thickness remains. Further, polycrystalline silicon has grain boundaries and other problems.

【0007】また、結晶質シリコンを用いた太陽電池
は、大面積のウエハーを製造することが困難であること
から、単体では大電力を取りだすことができない。従っ
て単位素子を直列化あるいは並列化するための配線技術
が必要となる。また屋外で使用する場合、様々な気象条
件によりもたらされる機械的損傷から太陽電池を保護す
るために、高価な実装が必要になる。
Further, a solar cell using crystalline silicon cannot produce a large amount of electric power by itself because it is difficult to manufacture a large-area wafer. Therefore, a wiring technique for serializing or parallelizing the unit elements is required. Also, when used outdoors, expensive packaging is required to protect the solar cells from mechanical damage caused by various weather conditions.

【0008】以上のように、従来の太陽電池は単位発電
量に対する生産コストが既存の発電方法に比べて割高に
なってしまうという問題点がある。従って、電力用とし
ての太陽電池の実用化を進めるに当たっては、低コスト
化及び大面積化が重要な技術的課題である。前記課題解
決のため現在、様々な検討がなされており、コストの安
い材料、変換効率の安い材料などの材料の探究が行なわ
れている。このような材料としては、非晶質シリコン、
非晶質シリコンゲルマニウム、非晶質炭化珪素などのテ
トラヘドラル系の非晶質半導体もしくはCdS、Cu2
SなどのII−VI族の化合物半導体及びGaAs、GaA
lAsなどの III−V族の化合物半導体等が挙げられ
る。とりわけ、非晶質半導体を光起電力発生層に用いた
薄膜太陽電池は、単結晶太陽電池に比較して大面積の膜
が作製できること、膜厚が薄くて済むこと、及び任意の
基板材料に堆積できることなどの長所があり有望視され
ている。
As described above, the conventional solar cell has a problem that the production cost per unit power generation amount becomes higher than that of the existing power generation method. Therefore, in advancing the practical use of solar cells for electric power, cost reduction and large area are important technical issues. In order to solve the above problems, various investigations are currently being made, and materials such as low cost materials and low conversion efficiency materials are being sought. Such materials include amorphous silicon,
Tetrahedral amorphous semiconductor such as amorphous silicon germanium or amorphous silicon carbide, or CdS, Cu 2
II-VI group compound semiconductors such as S and GaAs, GaA
Examples thereof include III-V group compound semiconductors such as 1As. In particular, a thin-film solar cell using an amorphous semiconductor for the photovoltaic layer is capable of forming a film having a large area as compared with a single-crystal solar cell, has a small film thickness, and can be used as an arbitrary substrate material. It has advantages such as being able to be deposited and is considered promising.

【0009】しかしながら大面積の膜を作製する場合、
製造工程上ピンホールや欠陥が生じ、信頼性の向上の面
で問題が残っている。
However, when producing a large-area film,
Pinholes and defects occur in the manufacturing process, and problems remain in terms of improving reliability.

【0010】このような問題の解決手段として成膜後に
太陽電池をリペアする方法が用いられている。太陽電池
の欠陥のリペア方法としては、米国特許4,166,9
18に於て太陽電池に逆バイアスをかけることによりシ
ョート部分を焼き切る方法が開示されている。前記開示
された方法によれば電極として金属と絶縁物との混合物
であるサーメットを用いた太陽電池に於てショート部分
に存在するサーメットを逆バイアスによって焼き切ると
いうものである。
As a means for solving such a problem, a method of repairing a solar cell after film formation is used. As a method for repairing defects in a solar cell, US Pat.
In 18, there is disclosed a method of burning off a short circuit portion by applying a reverse bias to the solar cell. According to the method disclosed above, in a solar cell using a cermet, which is a mixture of a metal and an insulator, as an electrode, the cermet existing in the short-circuit portion is burned out by reverse bias.

【0011】上記従来例では、電極金属としてサーメッ
トを用いた場合についてのみ開示されているため、他の
構成の太陽電池では同様の効果を得られなかった。例え
ば、基板上に少なくとも1つのpin構造を有する非晶
質シリコン、透明電極、導電性ペーストよりなるグリッ
ド電極を順次設けた後、該グリッド電極の上に樹脂フィ
ルムを積層する太陽電池の製造方法に於ては、従来のリ
ペア方法では、印刷された導電ペーストが、太陽電池使
用時にエンカプシュレーション用の樹脂を通過して侵入
してきた水分と、光で発生した起電力とのためにピンホ
ール内へマイグレーションし、次第にショートが発生す
るという問題があった。
Since the above-mentioned conventional example discloses only the case where cermet is used as the electrode metal, the same effect cannot be obtained in the solar cells having other configurations. For example, a method of manufacturing a solar cell in which a grid electrode made of at least one amorphous silicon having a pin structure, a transparent electrode, and a conductive paste is sequentially provided on a substrate, and then a resin film is laminated on the grid electrode. In the conventional repair method, the printed conductive paste is in the pinhole due to the moisture that has penetrated through the encapsulation resin when the solar cell is used and the electromotive force generated by light. There was a problem that the short circuit occurred gradually after migrating to.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述のごと
き従来の逆バイアス印加リペア方法における諸問題を克
服して、ショート及びシャントに基づく太陽電池の欠陥
をリペアし、製品の歩留まりを向上させる方法を提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention overcomes the problems of the conventional reverse bias application repair method as described above, repairs defects in solar cells due to shorts and shunts, and improves product yield. To provide a method.

【0013】本発明の更に別の目的は、太陽電池特性の
実使用時における信頼性を高める製造方法を提供するこ
とにある。
Still another object of the present invention is to provide a manufacturing method for improving the reliability of solar cell characteristics in actual use.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、電極が導電性ペーストで形成された太陽
電池の逆方向バイアスを印加して欠陥をリペアする方法
に於て、前記導電性ペーストに用いられるバインダーの
ガラス転移点以上の温度で、かつ、相対湿度60%以上
に於て、太陽電池に逆方向バイアスを印加する事であ
る。また、このような方法は、基板上に少なくとも1つ
のpin構造を有する非晶質シリコン、透明電極、導電
性ペーストよりなるグリッド電極、及び樹脂フィルムを
順次形成してなることを特徴とする構造の太陽電池に好
適に用いられる。さらに、前記導電性ペーストはAg、
Pd、Cuの内の少なくともひとつの金属をフィラーと
して含み、バインダーが、ポリエステル、ウレタン、エ
ポキシ、又はポリイミドであり前記樹脂フィルムが少な
くとも、エチレンと酢酸ビニールとの共重合体からなる
フィルム又は、フッソ化エチレンのうちのひとつである
太陽電池に好適に用いられる。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method for repairing defects by applying a reverse bias to a solar cell in which an electrode is formed of a conductive paste. A reverse bias is applied to the solar cell at a temperature not lower than the glass transition point of the binder used in the conductive paste and at a relative humidity of 60% or higher. Further, such a method is characterized in that at least one amorphous silicon having a pin structure, a transparent electrode, a grid electrode made of a conductive paste, and a resin film are sequentially formed on a substrate. It is preferably used for solar cells. Further, the conductive paste is Ag,
A film containing at least one metal of Pd and Cu as a filler, the binder being polyester, urethane, epoxy, or polyimide, and the resin film containing at least a copolymer of ethylene and vinyl acetate, or a fluorinated film. It is preferably used for a solar cell which is one of ethylene.

【0015】本発明者の実験に於て、導電性ペーストで
電極を形成した構造の太陽電池に於ては従来の逆バイア
ス印加法によりショート及びシャントを焼き切ってリペ
アしても太陽電池を長期間使用すると再びシャントが生
じる事がわかった。本発明者による詳細な実験によって
この原因は、高温高湿下でエンカプシュレーション用の
樹脂を通過して侵入してきた水分と光で発生した起電力
のため導電性ペーストの金属がリペアされたショート及
びシャント部分にマイグレーションするという現象が起
こるためである事がわかった。
In the experiment of the inventor of the present invention, in the solar cell having the structure in which the electrodes are formed by the conductive paste, the solar cell is long even if the short circuit and the shunt are burned out and repaired by the conventional reverse bias application method. It turns out that a shunt occurs again when used for a period of time. A detailed experiment conducted by the present inventor showed that the cause was a short circuit in which the metal of the conductive paste was repaired due to the electromotive force generated by moisture and light that had penetrated through the encapsulation resin under high temperature and high humidity. It was also found that the phenomenon of migration to the shunt portion occurs.

【0016】本発明者は、更に検討を加え、逆バイアス
印加リペアの方法を改良する事により前述のようなマイ
グレーションを防ぐ事ができ、太陽電池の信頼性を向上
させるという効果を見い出した。
The present inventor has conducted further studies and found that the above-mentioned migration can be prevented by improving the method of reverse bias application repair and the reliability of the solar cell is improved.

【0017】本発明は以上のような基礎的な知見を基に
完成したものである。
The present invention has been completed based on the above basic knowledge.

【0018】以下に本発明をより詳しく説明するが、本
発明は、以下の具体的説明によって発明の内容が限定さ
れるものではない。
The present invention will be described in more detail below, but the present invention is not limited by the following specific description.

【0019】本発明のリペア方法は非晶質シリコンのp
in型太陽電池でグリッド電極や下部電極を導電性ペー
ストでスクリーン印刷する構造のものに適用できる。ま
た、単結晶シリコン、多結晶シリコンなどの従来の太陽
電池に於ても電極をスクリーン印刷で形成した場合に
は、本発明の方法が好適に用いられる。またCdSなど
の化合物半導体の太陽電池では通常電極をスクリーン印
刷で形成するため本発明が用いられる。これらの太陽電
池の構成例を図5(A)乃至(D)に示した。
The repair method of the present invention uses p of amorphous silicon.
It can be applied to an in-type solar cell having a structure in which a grid electrode or a lower electrode is screen-printed with a conductive paste. Further, the method of the present invention is preferably used when the electrodes are formed by screen printing even in the conventional solar cells such as single crystal silicon and polycrystalline silicon. Further, in a solar cell of a compound semiconductor such as CdS, the present invention is used because the electrodes are usually formed by screen printing. Structural examples of these solar cells are shown in FIGS. 5A to 5D.

【0020】図5(A)は非晶質シリコンのpin型太
陽電池であり、図に於て、51は支持体、52は下部電
極、53はn型半導体層、54はi型半導体層、55は
p型半導体層、56は透明電極、57はグリッド電極で
ありこの順に堆積形成してなる太陽電池である。本太陽
電池では透明電極56の側より光の入射が行なわれるこ
とを前提としている。
FIG. 5A shows a pin type solar cell made of amorphous silicon. In the figure, 51 is a support, 52 is a lower electrode, 53 is an n-type semiconductor layer, 54 is an i-type semiconductor layer, 55 is a p-type semiconductor layer, 56 is a transparent electrode, and 57 is a grid electrode, which is a solar cell formed by depositing in this order. The present solar cell is premised on that light is incident from the transparent electrode 56 side.

【0021】図5(B)は、ガラス基板を用いた太陽電
池で基板51がガラスで形成されていて光は上から照射
される。この場合、下部電極52は導電性ペーストで構
成されている。
FIG. 5B shows a solar cell using a glass substrate, in which the substrate 51 is made of glass, and light is emitted from above. In this case, the lower electrode 52 is made of a conductive paste.

【0022】図5(C)は、薄膜多結晶シリコンを用い
た太陽電池でn型半導体層53が薄膜の多結晶で形成さ
れている。
FIG. 5C shows a solar cell using thin-film polycrystalline silicon in which the n-type semiconductor layer 53 is formed of a thin-film polycrystal.

【0023】図5(D)は、結晶シリコンあるいは多結
晶シリコンを用いた太陽電池で、この場合、透明電極5
6は、導電性でなくても良く、例えばSiO、SiO
2 、Ta25 、Si34 等が用いられる。
FIG. 5D shows a solar cell using crystalline silicon or polycrystalline silicon. In this case, the transparent electrode 5 is used.
6 does not have to be conductive, for example, SiO, SiO
2 , Ta 2 O 5 , Si 3 N 4, etc. are used.

【0024】各太陽電池に於て用いられるグリッド電極
57は、半導体層で発生した電流を外部回路に取り出す
ための集電用として設けられるが、半導体層への光入射
光量が十分に確保されるよう、その形状及び面積が適宜
設計される。
The grid electrode 57 used in each solar cell is provided as a current collector for extracting the current generated in the semiconductor layer to an external circuit, but a sufficient amount of light incident on the semiconductor layer is secured. So that its shape and area are appropriately designed.

【0025】たとえば、その形状は光起電力素子の受光
面に対して一様に広がり、且つ受光面積に対してその面
積は好ましくは15%以下、より好ましくは10%以下
であることが望ましい。
For example, it is desirable that the shape thereof be uniformly spread over the light receiving surface of the photovoltaic element, and that the area of the light receiving area is preferably 15% or less, more preferably 10% or less.

【0026】また、シート抵抗値としては、好ましくは
50Ω/□以下、より好ましくは10Ω/□以下である
ことが望ましい。このような特性を有したグリッド電極
を大面積の太陽電池へ配線する方法としては蒸着やスパ
ッタなどの真空プロセスのほか、メッキや導電性ペース
トを用いたスクリーン印刷法が用いられる。大面積のパ
ターンを得るにはスクリーン印刷法が好適に用いられ
る。電極材料としてはAg、Cr、Ni、Al、Au、
Ti、Pt、Cu、Mo、W等の金属またはこれらの合
金が挙げられる。これらの薄膜は積層させて用いること
ができる。導電性ペーストを用いたスクリーン印刷法の
場合、前記導電性ペーストは前記金属の微粒子とポリマ
ーのバインダーとを溶媒に溶かしたものである。ポリマ
ーとしては架橋型でも非架橋型でも所望に応じて使われ
る。また、ポリマーは、エポキシ、ポリエステル、ポリ
ウレタン、ポリイミドなどの樹脂が接着強度、柔軟性な
どの要求される物性に応じて選択される。
The sheet resistance value is preferably 50 Ω / □ or less, more preferably 10 Ω / □ or less. As a method for wiring a grid electrode having such characteristics to a large area solar cell, a vacuum process such as vapor deposition or sputtering, as well as a screen printing method using plating or a conductive paste is used. A screen printing method is preferably used to obtain a large area pattern. As the electrode material, Ag, Cr, Ni, Al, Au,
Examples include metals such as Ti, Pt, Cu, Mo, W, and alloys thereof. These thin films can be laminated and used. In the case of the screen printing method using a conductive paste, the conductive paste is prepared by dissolving the metal fine particles and the polymer binder in a solvent. The polymer may be crosslinked or non-crosslinked as desired. Further, the polymer is selected from resins such as epoxy, polyester, polyurethane and polyimide according to the required physical properties such as adhesive strength and flexibility.

【0027】次に、本発明の太陽電池のリペアを行なう
に好適な回路例を図1(A)に示す。図1に於て、太陽
電池は図5(A)の構成のもので、8は回路を結線する
ための導線、9は電圧源、10は電流計、11は電圧計
を示す。電圧源9は太陽電池に逆バイアスを印加するた
めのものであるから直流で安定した電圧を発生できるも
のが好ましい。また発生する電圧の範囲は0Vから太陽
電池のブレークダウンが生じない電圧まで、例えば30
V位の電圧が発生できれば良い。また電圧計11は前記
電圧源9で発生した電圧を読みとるもので、分解能とし
ては0.1V位あれば良い。電流計10は、太陽電池の
リーク電流を読みとるもので、太陽電池の面積に応じた
レンジが必要となる。ここで図1(B)は太陽電池のシ
ョート部分を模式的に示す断面図である。
Next, FIG. 1A shows an example of a circuit suitable for repairing the solar cell of the present invention. In FIG. 1, the solar cell has the structure shown in FIG. 5A, 8 is a conducting wire for connecting a circuit, 9 is a voltage source, 10 is an ammeter, and 11 is a voltmeter. Since the voltage source 9 is for applying a reverse bias to the solar cell, a voltage source capable of generating a stable DC voltage is preferable. The range of voltage generated is from 0 V to a voltage at which breakdown of the solar cell does not occur, for example, 30
It suffices if a voltage of V order can be generated. The voltmeter 11 reads the voltage generated by the voltage source 9, and the resolution may be about 0.1V. The ammeter 10 reads the leak current of the solar cell and requires a range according to the area of the solar cell. Here, FIG. 1B is a cross-sectional view schematically showing a short circuit portion of the solar cell.

【0028】逆バイアス印加の方法としては、太陽電池
のp型半導体層5に電圧を0Vから徐々に印加していき
同時にリーク電流を記録する。1V/min 程度の速度で
電圧を上げていき約10V位で電圧印加を止める。
As a method of applying a reverse bias, a voltage is gradually applied from 0 V to the p-type semiconductor layer 5 of the solar cell, and a leak current is recorded at the same time. The voltage is increased at a speed of about 1V / min and the voltage application is stopped at about 10V.

【0029】ところで、これらの条件は、太陽電池の構
成やショートの大きさにもより一概には決定できない。
また、場合によっては以上の逆バイアスを印加しても殆
ど効果が無いこともある。
By the way, these conditions cannot be generally determined depending on the structure of the solar cell and the size of the short circuit.
In some cases, even if the above reverse bias is applied, there is almost no effect.

【0030】本発明者らは、逆バイアス印加時の太陽電
池の環境条件に着目し以下の実験を行なった。[実験]
まず、シャント抵抗及び太陽電池特性がほぼ同様の図5
(A)に示す構造の太陽電池を18個用意した。これら
の太陽電池の暗状態での電圧電流特性を測定し、電圧電
流カーブの原点付近の傾きからシャント抵抗を算出した
後、ソーラーシュミレータを用いてAM 1.5の太陽
光スペクトルの光を100mW/cm2の強度で照射
し、電圧電流特性を求めることにより太陽電池の初期特
性を測定した。
The present inventors have conducted the following experiments focusing on the environmental conditions of the solar cell when a reverse bias is applied. [Experiment]
First, the shunt resistance and solar cell characteristics are almost the same as in FIG.
Eighteen solar cells having the structure shown in (A) were prepared. The voltage-current characteristics of these solar cells in the dark state were measured, and the shunt resistance was calculated from the slope near the origin of the voltage-current curve. Then, using a solar simulator, the light of the sunlight spectrum of AM 1.5 was 100 mW / The initial characteristics of the solar cell were measured by irradiating with an intensity of cm 2 and determining the voltage-current characteristics.

【0031】次に、この太陽電池のひとつをオーブンに
入れて温度40℃、相対湿度50%の条件に保ち逆バイ
アスを印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/mi
n の速度で印加していった。その後この太陽電池をオー
ブンから取り出し室温に戻し前述した方法でシャント抵
抗と太陽電池特性を測定した。次にリペア前のシャント
抵抗とリペア後のシャント抵抗の比を求めこれをRshと
した。次に同様の実験を別の太陽電池で繰り返し行なっ
た。このとき温度および相対湿度をそれぞれ90℃およ
び80%まで変化させた。結果を図2に示した。また、
温度90℃、相対湿度80%でリペアした太陽電池のリ
ペア前後の暗状態での電圧電流特性を図3(A)に示し
た。また、同様にリペア前後の光照射状態での電圧電流
特性を図3(B)に示した。この結果からわかるように
逆バイアス印加時の温度が60℃より高いときに顕著な
効果がありさらに湿度が60%以上で効果が生じること
が判明した。
Next, one of the solar cells was placed in an oven and a reverse bias was applied under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 50%. Voltage is 1V / mi from 0V to 15V
It was applied at a speed of n. Thereafter, the solar cell was taken out of the oven, returned to room temperature, and the shunt resistance and the solar cell characteristics were measured by the methods described above. Next, the ratio of the shunt resistance before repair and the shunt resistance after repair was determined and was taken as Rsh. Next, the same experiment was repeated with another solar cell. At this time, the temperature and the relative humidity were changed to 90 ° C. and 80%, respectively. The results are shown in Fig. 2. Also,
FIG. 3A shows the voltage-current characteristics in the dark state before and after repair of the solar cell repaired at a temperature of 90 ° C. and a relative humidity of 80%. Similarly, FIG. 3 (B) shows the voltage-current characteristics before and after repair in the light irradiation state. As can be seen from these results, it was found that the effect was remarkable when the temperature when the reverse bias was applied was higher than 60 ° C., and the effect was produced when the humidity was 60% or more.

【0032】本発明者は、この理由について、以下のよ
うに考えた。すなわち、導電性ペーストのバインダーの
Tg以上に太陽電池を加熱することでバインダー部の透
湿性が良くなり、太陽電池周囲の相対湿度を高めておく
ことでバインダーを介して水分が侵入する。このような
状態で逆バイアスをかけるとショート部分の銀がグリッ
ド電極側へマイグレーションすることにより除去される
という機構である。なおかつこのように除去された部分
には、Tg以上の温度で軟化溶融したバインダーポリマ
ーが進入し、封止剤の役目を果たす等、2次的な効果が
期待できるので、本発明はきわめて安定したリペア方法
である。また、通常考えられているように逆バイアス印
加によりショート部が、ジュール熱で焼き切れる現象も
同時に起きていることは言うまでもない。
The present inventor has considered the reason for this as follows. That is, the moisture permeability of the binder portion is improved by heating the solar cell above the Tg of the binder of the conductive paste, and the moisture enters through the binder by increasing the relative humidity around the solar cell. When reverse bias is applied in such a state, the silver in the short-circuited portion migrates to the grid electrode side and is removed. In addition, since the binder polymer softened and melted at a temperature of Tg or higher enters the portion thus removed, and the secondary effect such as the role of the sealant can be expected, the present invention is extremely stable. It is a repair method. Needless to say, a phenomenon in which the short-circuit portion is burned out by Joule heat at the same time due to reverse bias application as is usually considered.

【0033】次にこの太陽電池の長期使用特性を以下の
ようにして評価した。
Next, the long-term use characteristics of this solar cell were evaluated as follows.

【0034】前述の方法で温度70℃、相対湿度80%
に於て逆バイアス印加してリペアを施した太陽電池及び
比較例として未処理の太陽電池を用意した。
The temperature is 70 ° C. and the relative humidity is 80% by the above method.
A solar cell repaired by applying a reverse bias and a non-treated solar cell as a comparative example were prepared.

【0035】初期の太陽電池特性を測定し、電圧電流特
性から得られる開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適
負荷を算出し、負荷抵抗をこれらの太陽電池に接続し
た。
The initial solar cell characteristics were measured, the optimum load was calculated from the open circuit voltage V OC and the short circuit current I SC obtained from the voltage-current characteristics, and the load resistance was connected to these solar cells.

【0036】次に負荷抵抗を接続した太陽電池を50
℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置し、
前述と同じAM 1.5光(100mW/cm2 )を連
続照射し一定時間後、再びシャント抵抗を求め、初期の
シャント抵抗で規格化しRshを求めた。この操作を10
0時間の連続照射中に繰り返した。得られた結果を図4
に示した。図4から分かるように、比較試料に対し本発
明を用いて作成した太陽電池の方が光に対し安定である
ことが判明した。
Next, a solar cell with a load resistor connected
Placed on a sample table kept at a constant temperature of 70 ° C and a relative humidity of 70%,
The same AM 1.5 light (100 mW / cm 2 ) as described above was continuously irradiated, and after a fixed time, the shunt resistance was determined again, and normalized by the initial shunt resistance to determine Rsh. Do this operation 10
Repeated during 0 hours of continuous irradiation. Figure 4 shows the results obtained.
It was shown to. As can be seen from FIG. 4, it was found that the solar cell prepared by using the present invention with respect to the comparative sample was more stable to light.

【0037】[0037]

【実施例】実施例1図5(A)に示す層構成の太陽電池
を以下のように作成し、続いて逆バイアス印加リペアを
行なった。
EXAMPLES Example 1 A solar cell having the layer structure shown in FIG. 5A was prepared as follows, and then reverse bias application repair was performed.

【0038】まず、十分に脱脂、洗浄を行なったSUS
430BA製基板(10cm角、厚み1mm)51を不
図示のDCスパッタ装置に入れCrを2000Å堆積し
下部電極52を形成した。基板51を取り出し、不図示
のRFプラズマCVD成膜装置に入れ成膜室内のベース
プレッシャーを10-6Torrの真空度に排気した後、
SiH4 20sccm、PH3 (1%H2 希釈)2sc
cm、H2 200sccmを導入し、内圧を1Torr
に保持し、RF電力を100Wとしてn型半導体層53
の堆積を行なった。その後、成膜室内のベースプレッシ
ャーを10-6Torrの真空度に排気した後、SiH4
50sccm、H2100sccmを導入し、圧力を
1.5Torrに保持した。さらに、RFパワー50W
を投入しi型半導体層54の堆積を行なった。成膜室内
のベースプレッシャーを10-6Torrの真空度に排気
して、SiH4 20sccm、BF3 (1%H2 希釈)
40sccm、H2 600sccmを導入し、内圧を
1.2Torrに保持し、RFパワーを1.0kWとし
p型半導体層55の堆積を行なった。
First, SUS that has been thoroughly degreased and washed
A 430BA substrate (10 cm square, thickness 1 mm) 51 was placed in a DC sputter device (not shown) to deposit 2000 liters of Cr to form a lower electrode 52. The substrate 51 is taken out, placed in an RF plasma CVD film forming apparatus (not shown), and the base pressure in the film forming chamber is evacuated to a vacuum degree of 10 −6 Torr.
SiH 4 20sccm, PH 3 (1% H 2 diluted) 2sc
cm, H 2 200 sccm, and the internal pressure is 1 Torr
The n-type semiconductor layer 53 is maintained at RF power of 100 W.
Was deposited. Then, the base pressure in the film forming chamber was evacuated to a vacuum degree of 10 -6 Torr, and then SiH 4 was added.
50 sccm and H 2 100 sccm were introduced, and the pressure was kept at 1.5 Torr. Furthermore, RF power 50W
Was added to deposit the i-type semiconductor layer 54. The base pressure in the film forming chamber was evacuated to a vacuum degree of 10 -6 Torr, SiH 4 20 sccm, BF 3 (diluted 1% H 2 )
40 sccm and H 2 600 sccm were introduced, the internal pressure was maintained at 1.2 Torr, the RF power was set to 1.0 kW, and the p-type semiconductor layer 55 was deposited.

【0039】次に、基板1を冷却後、成膜室から取り出
し、不図示の抵抗加熱の蒸着装置に入れて、該装置内を
10-7Torr以下に真空排気した後、酸素ガスを導入
し、内圧を0.5mTorrとした後InとSnとの合
金を抵抗加熱により蒸着し、反射防止効果を兼ねた機能
を有する透明導電膜(ITO膜)を700Å堆積し上部
電極56とした。蒸着終了後試料を取り出し不図示のス
クリーン印刷機により幅300μm、長さ7cmのグリ
ッドを間隔1cmで印刷した。このとき導電性ペースト
は、Agフィラー40部、ポリエステルバインダー60
部(体積比)の組成のものを用いた。バインダーのTg
は60℃であった。
Next, after cooling the substrate 1, it was taken out of the film forming chamber, placed in a resistance heating vapor deposition device (not shown), the inside of the device was evacuated to 10 -7 Torr or less, and then oxygen gas was introduced. After setting the internal pressure to 0.5 mTorr, an alloy of In and Sn was vapor-deposited by resistance heating, and 700 Å of a transparent conductive film (ITO film) having a function also as an antireflection effect was deposited to form the upper electrode 56. After completion of the vapor deposition, the sample was taken out and a grid having a width of 300 μm and a length of 7 cm was printed at a distance of 1 cm by a screen printer (not shown). At this time, the conductive paste is composed of 40 parts of Ag filler and 60 parts of polyester binder.
Parts (volume ratio) having a composition were used. Binder Tg
Was 60 ° C.

【0040】次に、得られた太陽電池の暗状態での電圧
電流特性を測定しシャント抵抗を測定したところ約50
0Ωcm2 であり、大きなショートあるいはシャントが
あることがわかった。この太陽電池をソーラーシュミレ
ータを用いてAM 1.5の太陽光スペクトルの光を1
00mW/cm2 の強度で照射し、電圧電流特性を求め
ることにより太陽電池の初期特性を測定した。この太陽
電池の初期のフィルファクター(以下FFと書く)は
0.45であった。
Next, the voltage-current characteristics of the obtained solar cell in the dark state were measured and the shunt resistance was measured to be about 50.
It was 0 Ωcm 2 , and it was found that there was a large short circuit or shunt. This solar cell uses a solar simulator to generate 1 light of the AM 1.5 sunlight spectrum.
The initial characteristics of the solar cell were measured by irradiating with an intensity of 00 mW / cm 2 and determining the voltage-current characteristics. The initial fill factor (hereinafter referred to as FF) of this solar cell was 0.45.

【0041】次に、この太陽電池を温度65℃、相対湿
度70%のオーブンに入れて平衡に達した後逆バイアス
を印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/min の
速度で印加していった。その後この太陽電池をオーブン
から取り出し、室温に戻し前述した方法でシャント抵抗
と太陽電池特性を測定した。シャント抵抗は約2kΩc
2 に増加していた。また、太陽電池特性の内FFは
0.60に向上した。
Next, this solar cell was placed in an oven at a temperature of 65 ° C. and a relative humidity of 70% to reach equilibrium, and then a reverse bias was applied. The voltage was applied from 0 V to 15 V at a rate of 1 V / min. Thereafter, the solar cell was taken out of the oven, returned to room temperature, and the shunt resistance and the solar cell characteristics were measured by the methods described above. Shunt resistance is about 2kΩc
It was increased to m 2 . In addition, FF among the solar cell characteristics was improved to 0.60.

【0042】この太陽電池の長期使用特性としての光劣
化特性を以下のようにして評価した。
Photodegradation characteristics of the solar cell as long-term use characteristics were evaluated as follows.

【0043】前述の電圧電流特性を求めた際に得られる
開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適負荷を算出し、
負荷抵抗を各々の試料に接続した。
The optimum load is calculated from the open circuit voltage V OC and the short circuit current I SC obtained when the above voltage-current characteristics are obtained,
A load resistor was connected to each sample.

【0044】次に負荷抵抗を接続された太陽電池を温度
50℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置
し、前述と同じAM1.5光(100mW/cm2 )を
500hr連続照射した後、再びシャント抵抗を求め
た。この様にして得られた500時間後のシャント抵抗
は1.5kΩcm2 であり、光に対し安定であることが
分かった。 実施例2 次に、図5(B)に示す層構成の太陽電池を以下のよう
に作製し、続いて逆バイアス印加リペアを行なった。
Next, a solar cell connected to a load resistor was placed on a sample table kept at a temperature of 50 ° C. and a relative humidity of 70%, and the same AM1.5 light (100 mW / cm 2 ) as described above was continuously applied for 500 hours. After irradiation, the shunt resistance was measured again. The thus obtained shunt resistance after 500 hours was 1.5 kΩcm 2 and was found to be stable to light. Example 2 Next, a solar cell having the layer structure shown in FIG. 5B was produced as follows, and subsequently, reverse bias application repair was performed.

【0045】太陽電池は実施例1とほぼ同様の方法で作
製した。
A solar cell was manufactured by a method similar to that of Example 1.

【0046】まず、十分に脱脂、洗浄を行なった705
9ガラス基板(10cm角)51を不図示の抵抗加熱の
蒸着装置に入れて、該装置内を10-7Torr以下に真
空排気した後、酸素ガスを導入し、内圧を0.5mTo
rrとした後Snを抵抗加熱により蒸着し、透明導電膜
(SnO2 膜)を8000Å堆積し上部電極56とし
た。基板51を取り出し、不図示のRFプラズマCVD
成膜装置に入れ成膜室内を10-6Torrの真空度に排
気し、SiH4 20sccm、BF3 (1%H2希釈)
40sccm、H2 600sccmを導入し、内圧を
1.2Torrに保持し、RFパワーを1.0kWとし
p型半導体層55の堆積を行なった。その後、成膜室内
を10-6Torrの真空度に排気し、SiH4 50sc
cm、H2 100sccmを導入し、圧力を1.5To
rrに保持した。さらに、RFパワー50Wを投入しi
型半導体層54の堆積を行なった。再び成膜室内を10
-6Torrの真空度に排気し、SiH4 20sccm、
PH3 (1%H2 希釈)2sccm、H2 200scc
mを導入し、内圧を1Torrに保持し、RF電力を1
00Wとしてn型半導体層53の堆積を行なった。
First, 705 that was thoroughly degreased and washed.
The 9 glass substrate (10 cm square) 51 was placed in a resistance heating vapor deposition device (not shown), and the inside of the device was evacuated to 10 -7 Torr or less, and then oxygen gas was introduced to adjust the internal pressure to 0.5 mTo.
After being set to rr, Sn was vapor-deposited by resistance heating, and a transparent conductive film (SnO 2 film) was deposited to 8000Å to form the upper electrode 56. The substrate 51 is taken out and RF plasma CVD (not shown)
The film was placed in a film forming apparatus and the inside of the film forming chamber was evacuated to a vacuum degree of 10 -6 Torr. SiH 4 20 sccm, BF 3 (1% H 2 dilution)
40 sccm and H 2 600 sccm were introduced, the internal pressure was maintained at 1.2 Torr, the RF power was set to 1.0 kW, and the p-type semiconductor layer 55 was deposited. After that, the film forming chamber was evacuated to a vacuum degree of 10 -6 Torr, and SiH 4 50 sc
cm, introduced the H 2 100sccm, the pressure 1.5To
Hold at rr. Furthermore, the RF power of 50 W is input to the i
The type semiconductor layer 54 was deposited. 10 in the film forming chamber again
Evacuated to -6 Torr vacuum, SiH 4 20sccm,
PH 3 (1% H 2 diluted) 2 sccm, H 2 200 scc
Introducing m, keeping the internal pressure at 1 Torr, RF power at 1
The n-type semiconductor layer 53 was deposited at 00W.

【0047】次に、基板51を冷却後、成膜室から取り
出し、不図示のスクリーン印刷装置により下部電極52
を形成した。このとき導電性ペーストは、Cuフィラー
70部、エポキシバインダー30部(体積比)の組成の
ものを用いた。バインダーのTgは90℃であった。
Next, after cooling the substrate 51, it is taken out of the film forming chamber and the lower electrode 52 is removed by a screen printing device (not shown).
Was formed. At this time, the conductive paste used had a composition of Cu filler 70 parts and epoxy binder 30 parts (volume ratio). The Tg of the binder was 90 ° C.

【0048】次に、実施例1と同様の手順で太陽電池の
暗状態での電圧電流特性を測定しシャント抵抗を測定し
たところ約800Ωcm2 であった。この太陽電池をソ
ーラーシュミレータを用いてAM 1.5の太陽光スペ
クトルの光を100mW/cm2 の強度で照射し、電圧
電流特性を求めることにより太陽電池の初期特性を測定
した。この太陽電池の初期のフィルファクター(以下F
Fと書く)は0.55であった。次に、この太陽電池を
オーブンに入れて温度90℃、相対湿度90%の条件で
逆バイアスを印加した。電圧は、0Vから10Vまで
0.5V/min の速度で印加していった。その後この太
陽電池をオーブンから取り出し、室温に戻し前述した方
法でシャント抵抗と太陽電池特性を測定した。シャント
抵抗は約2.5kΩcm2 に増加していた。また、太陽
電池特性の内FFは0.65に向上した。
Next, the voltage-current characteristic of the solar cell in the dark state was measured by the same procedure as in Example 1 to measure the shunt resistance, which was about 800 Ωcm 2 . The initial characteristics of the solar cell were measured by irradiating the solar cell with light of AM 1.5 sunlight spectrum at an intensity of 100 mW / cm 2 using a solar simulator and determining the voltage-current characteristic. The initial fill factor of this solar cell (hereinafter F
(Written as F) was 0.55. Next, this solar cell was placed in an oven and a reverse bias was applied under the conditions of a temperature of 90 ° C. and a relative humidity of 90%. The voltage was applied from 0 V to 10 V at a rate of 0.5 V / min. Thereafter, the solar cell was taken out of the oven, returned to room temperature, and the shunt resistance and the solar cell characteristics were measured by the methods described above. The shunt resistance had increased to about 2.5 kΩcm 2 . In addition, FF of the solar cell characteristics was improved to 0.65.

【0049】この太陽電池の光劣化特性を実施例1と同
様に評価した。
Photodegradation characteristics of this solar cell were evaluated in the same manner as in Example 1.

【0050】500時間後のシャント抵抗は1.9kΩ
cm2 であり光に対し安定であることが分かった。 実施例3 次に、実施例1に示した方法で逆バイアス印加リペアを
行なった太陽電池を用い図6に示す構成の太陽電池モジ
ュールを作製し、長期使用時の安定性を評価した。
The shunt resistance after 500 hours is 1.9 kΩ.
It was found to be cm 2 and stable to light. Example 3 Next, a solar cell module having the configuration shown in FIG. 6 was produced using the solar cell subjected to the reverse bias application repair by the method shown in Example 1, and the stability during long-term use was evaluated.

【0051】太陽電池は実施例1とほぼ同様の方法で作
製した。
A solar cell was manufactured by the same method as in Example 1.

【0052】まず、実施例1と同様に図5(A)の構造
の10cm角の太陽電池を30枚作製した。このときグ
リッド電極57を形成する導電性ペーストは、Agフィ
ラー70部、ウレタン樹脂バインダー30部(体積比)
の組成のものを用いた。バインダーのTgは70℃であ
った。
First, in the same manner as in Example 1, 30 10 cm square solar cells having the structure of FIG. At this time, the conductive paste forming the grid electrode 57 is 70 parts of Ag filler and 30 parts of urethane resin binder (volume ratio).
The composition was used. The Tg of the binder was 70 ° C.

【0053】次に、これらの太陽電池をオーブンに入れ
て温度75℃、相対湿度80%の条件でそれぞれ逆バイ
アスを印加した。電圧は、0Vから15Vまで1V/mi
n の速度で印加していった。その後この太陽電池をオー
ブンから取り出し、室温に戻し前述した方法でシャント
抵抗と太陽電池特性を測定した。シャント抵抗は30枚
の平均が約1.5kΩcm2 であった。また、太陽電池
特性の内FFは30枚の平均が0.62であった。
Next, these solar cells were placed in an oven and reverse bias was applied under the conditions of a temperature of 75 ° C. and a relative humidity of 80%. Voltage is 1V / mi from 0V to 15V
It was applied at a speed of n. Thereafter, the solar cell was taken out of the oven, returned to room temperature, and the shunt resistance and the solar cell characteristics were measured by the methods described above. The average shunt resistance of 30 sheets was about 1.5 kΩcm 2 . The average of 30 FFs of the solar cell characteristics was 0.62.

【0054】次に、これらの太陽電池のグリッド67と
基板61とを錫メッキした銅のテープで接続して直列化
を施した。その後、エチレンビニルアセテート樹脂から
なる封止剤68を耐候性を向上させるためのテフロン樹
脂69によりエンカプシュレーションを施した。
Next, the grid 67 of these solar cells and the substrate 61 were connected with a tin-plated copper tape for serialization. After that, the encapsulant 68 made of ethylene vinyl acetate resin was encapsulated with a Teflon resin 69 for improving weather resistance.

【0055】この太陽電池の光劣化特性を以下のように
して評価した。
The photodegradation characteristics of this solar cell were evaluated as follows.

【0056】前述の電圧電流特性を求めた際に得られる
開放電圧VOC及び短絡電流ISCから最適負荷を算出し、
負荷抵抗を各々の試料に接続した。
The optimum load is calculated from the open circuit voltage V OC and the short circuit current I SC obtained when the above-mentioned voltage-current characteristics are obtained,
A load resistor was connected to each sample.

【0057】次に負荷抵抗を接続された太陽電池を温度
50℃、相対湿度70%一定に保たれた試料台上に配置
し、前述と同じAM1.5光(100mW/cm2 )を
500hr連続照射した後、再び前述と同様にシャント
抵抗を求めた。この様にして得られた500時間後のシ
ャント抵抗は1.5kΩcm2 であり、光に対し安定で
あることが分かった。
Next, a solar cell connected to a load resistor was placed on a sample table kept at a temperature of 50 ° C. and a relative humidity of 70%, and the same AM1.5 light (100 mW / cm 2 ) as described above was continuously applied for 500 hours. After irradiation, the shunt resistance was measured again as described above. The thus obtained shunt resistance after 500 hours was 1.5 kΩcm 2 and was found to be stable to light.

【0058】[0058]

【発明の効果】本発明により、太陽電池特性が向上し、
さらに長期使用時に於ても光劣化が少なく信頼性の高い
太陽電池が得られる。
According to the present invention, the solar cell characteristics are improved,
Furthermore, a solar cell with little photodegradation and high reliability even after long-term use can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(A)本発明の太陽電池のリペア方法を模式的
に示す結線図である。(B)同図(A)の太陽電池のシ
ョート部分を模式的に示す断面図である。
FIG. 1 (A) is a connection diagram schematically showing a method for repairing a solar cell of the present invention. (B) It is sectional drawing which shows typically the short circuit part of the solar cell of the same figure (A).

【図2】本発明の各種条件におけるシャント抵抗と温度
との関係を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between shunt resistance and temperature under various conditions of the present invention.

【図3】(A)本発明のリペア前後の太陽電池の暗時に
おける電圧電流特性を示すグラフである。(B)本発明
のリペア前後の太陽電池の光照射時における電圧電流特
性を示すグラフである。
FIG. 3A is a graph showing voltage-current characteristics of a solar cell before and after repair of the present invention in a dark state. (B) is a graph showing voltage-current characteristics of the solar cell before and after repair of the present invention during light irradiation.

【図4】本発明のリペア前後の太陽電池の実使用状態に
おける経時変化を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing changes with time in actual use of the solar cell before and after repair of the present invention.

【図5】本発明の太陽電池のリペア方法を適用する各種
太陽電池の構成を示す模式図である。 (A)非晶質シリコン太陽電池 (B)ガラス基板太陽電池 (C)薄膜多結晶シリコン太陽電池 (D)単結晶又は多結晶シリコン太陽電池
FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration of various solar cells to which the solar cell repair method of the present invention is applied. (A) Amorphous silicon solar cell (B) Glass substrate solar cell (C) Thin film polycrystalline silicon solar cell (D) Single crystal or polycrystalline silicon solar cell

【図6】本発明の太陽電池のリペア方法を適用する太陽
電池のモジュール構成を模式的に示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a module configuration of a solar cell to which the solar cell repair method of the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,51,61 基板 2,52,62 下部電極 3,53,63 n型半導体層 4,54,64 i型半導体層 5,55,65 p型半導体層 6,56,66 透明電極 7,67 グリッド電極 8 導線 9 電圧源 10 電流計 11 電圧計 12 ショート部分 68,69 樹脂フィルム 1,51,61 substrate 2,52,62 Lower electrode 3,53,63 n-type semiconductor layer 4,54,64 i-type semiconductor layer 5,55,65 p-type semiconductor layer 6,56,66 transparent electrode 7,67 Grid electrode 8 conductors 9 Voltage source 10 ammeter 11 Voltmeter 12 short section 68,69 Resin film

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電極が導電性ペーストで形成された太陽
電池に逆方向バイアスを印加して欠陥をリペアする方法
に於て、前記導電性ペーストに用いられるバインダーの
ガラス転移点以上の温度で、かつ、相対湿度60%以上
に於て、太陽電池に逆方向バイアスを印加する事を特徴
とする太陽電池のリペア方法。
1. A method of repairing defects by applying a reverse bias to a solar cell in which an electrode is formed of a conductive paste, at a temperature equal to or higher than a glass transition point of a binder used for the conductive paste, A method of repairing a solar cell, which comprises applying a reverse bias to the solar cell at a relative humidity of 60% or more.
【請求項2】 太陽電池が基板上に少なくとも1つのp
in構造を有する非晶質シリコン、透明電極、導電性ペ
ーストよりなるグリッド電極及び樹脂フィルムを順次形
成してなることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池
のリペア方法。
2. A solar cell having at least one p on a substrate.
The method for repairing a solar cell according to claim 1, wherein an amorphous silicon having an in structure, a transparent electrode, a grid electrode made of a conductive paste, and a resin film are sequentially formed.
【請求項3】 導電性ペーストがAg、Pd、Cuの内
の少なくともひとつの金属をフィラーとして含むことを
特徴とする請求項1又は2に記載の太陽電池のリペア方
法。
3. The method for repairing a solar cell according to claim 1, wherein the conductive paste contains at least one metal selected from Ag, Pd and Cu as a filler.
【請求項4】 前記導電性ペーストのバインダーが、ポ
リエステル、ウレタン、エポキシ、又はポリイミドであ
ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の
太陽電池のリペア方法。
4. The method for repairing a solar cell according to claim 1, wherein the binder of the conductive paste is polyester, urethane, epoxy, or polyimide.
【請求項5】 前記樹脂フィルムが少なくとも、エチレ
ンと酢酸ビニールとの共重合体からなるフィルム又は、
フッソ化エチレンのうちのひとつであることを特徴とす
る請求項1乃至4のいずれかに記載の太陽電池のリペア
方法。
5. A film in which the resin film comprises at least a copolymer of ethylene and vinyl acetate, or
5. The method for repairing a solar cell according to claim 1, wherein the method is one of fluorine-containing ethylene.
JP3153170A 1991-06-25 1991-06-25 Method for repairing solar battery Pending JPH053333A (en)

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