JPH05329679A - Method and device for laser beam machining - Google Patents
Method and device for laser beam machiningInfo
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- JPH05329679A JPH05329679A JP4138442A JP13844292A JPH05329679A JP H05329679 A JPH05329679 A JP H05329679A JP 4138442 A JP4138442 A JP 4138442A JP 13844292 A JP13844292 A JP 13844292A JP H05329679 A JPH05329679 A JP H05329679A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ加工方法及び
装置に係り、さらに詳細には、ワークの切断をより高速
に行なうことのできるレーザ加工方法とその方法に使用
する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing method and apparatus, and more particularly to a laser processing method capable of cutting a workpiece at a higher speed and an apparatus used for the method.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、レーザ加工ヘッドからワークへレ
ーザビームを照射して上記ワークの切断加工を行なう場
合、上記レーザ加工ヘッドからレーザビームと同時にア
シストガスを噴射している。このアシストガスは、切断
加工時に生じた溶融物や蒸発物を速やかに除去する機能
の他に、加工レンズを保護するなど種々の機能がある。2. Description of the Related Art Conventionally, when a laser beam is radiated from a laser processing head onto a work to perform cutting of the work, an assist gas is jetted from the laser processing head at the same time as the laser beam. This assist gas has various functions such as protecting the processed lens in addition to the function of promptly removing the melted material and the evaporated material generated during the cutting processing.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】レーザ加工によりワー
クの切断を行なう場合、切断速度をより高速にすると、
ワークの裏面にドロスが付着すると共に、切断面には湾
曲条痕が生じるようになり、さらに切断速度を高速にす
ると、レーザビームがワークを貫通せずに切断不能にな
る。When cutting a work by laser processing, if the cutting speed is made higher,
When the dross adheres to the back surface of the work and curved streaks are generated on the cut surface, and when the cutting speed is further increased, the laser beam does not penetrate the work and cannot be cut.
【0004】前述のごとくワークの裏面にドロスが付着
することは好ましくないので、上記ドロスが付着しない
ように種々の手段が採られている。Since it is not preferable that the dross adheres to the back surface of the work as described above, various means have been adopted to prevent the dross from adhering.
【0005】例えば、レーザ加工ヘッドの相対的な切断
進行方向の後方にリアノズルを配置し、このリアノズル
からアシストガスをワークの切断位置へ噴射する構成が
ある。上記リアノズルからのアシストガスの噴射目標位
置は、ワークの上面から僅か下方位置の切断面である。
この構成によればリアノズルを使用しない場合に比較し
てドロスの付着は減少するものの、リアノズルから噴射
されるアシストガスは、レーザ加工ヘッドから噴射され
るアシストガスのガス流を遮断する方向(切断面に生じ
る溶融部の条痕に交差する方向)に作用し望ましいもの
ではない。For example, there is a configuration in which a rear nozzle is arranged behind the laser processing head in the relative cutting direction, and the assist gas is jetted from this rear nozzle to the cutting position of the work. The target injection position of the assist gas from the rear nozzle is a cutting surface slightly below the upper surface of the work.
According to this configuration, the adhesion of dross is reduced as compared to the case where the rear nozzle is not used, but the assist gas injected from the rear nozzle is in a direction (cutting surface) that blocks the gas flow of the assist gas injected from the laser processing head. Is not desirable because it acts in the direction that intersects the streak in the fusion zone that occurs in 1).
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上述のごとき従来の問題
に鑑みて、本発明は、レーザ加工ヘッドからワークへレ
ーザビームを照射して上記ワークの切断を行なうとき、
上記レーザ加工ヘッドから噴出されるアシストガスの流
れ方向あるいはレーザ加工ヘッドの相対的な切断進行方
向の前側に配置したフロントノズルから噴出されるアシ
ストガスの流れ方向又は前記両アシストガスの流れの合
成方向を、前記ワークの切断面に生じる湾曲条痕にほぼ
沿う方向に制御して切断加工を行なう方法である。In view of the conventional problems as described above, the present invention provides a laser beam from a laser processing head to a work to cut the work.
The flow direction of the assist gas ejected from the laser processing head or the flow direction of the assist gas ejected from the front nozzle arranged in front of the relative cutting advancing direction of the laser processing head or the combined direction of the both assist gas flows. Is controlled in a direction substantially along the curved streak generated on the cut surface of the work to perform the cutting process.
【0007】また、ワークへレーザビームを照射するレ
ーザ加工ヘッドの相対的な切断進行方向の前側に、上記
ワークのレーザ加工位置付近へアシストガスを噴射する
フロントノズルを配置して設け、上記フロントノズルの
傾斜角を調節可能に設けてなり、フロントノズルの傾斜
角は、ワークの板厚,材質,切断速度,アシストガスの
流量又は圧力に基き、予め設定されたデータテーブルに
基いて制御される構成である。Further, a front nozzle for injecting an assist gas near the laser processing position of the work is arranged and provided in front of the relative cutting direction of the laser processing head for irradiating the work with a laser beam. The tilt angle of the front nozzle is controlled based on the plate thickness of the workpiece, the material, the cutting speed, the flow rate or pressure of the assist gas, and the preset data table. Is.
【0008】[0008]
【作用】上記構成により、レーザ加工ヘッド,フロント
ノズルから噴射されるアシストガスの流れ方向が切断面
に生じる溶融部の条痕に沿う方向となり、切断加工時に
生じた溶融物や蒸発物を、上記条痕に沿う方向へ容易に
吹き飛ばすことができる。この場合、レーザ加工ヘッド
から噴射されるアシストガスとフロントノズルから噴射
されるアシストガスの合成ベクトルが大きくなり、前記
溶融物や蒸発物をより効果的に除去することができるこ
ととなる。With the above construction, the flow direction of the assist gas ejected from the laser processing head and the front nozzle is along the striations of the melted portion formed on the cut surface, and the melted material and the evaporated material generated during the cutting work are It can be easily blown off in the direction along the streak. In this case, the combined vector of the assist gas ejected from the laser processing head and the assist gas ejected from the front nozzle becomes large, and the melted material or the evaporated material can be removed more effectively.
【0009】よって、ワークの裏面へのドロスの付着が
減少すると共に、ワークの切断面の領域が常に清浄な状
態にあり、レーザビームの吸収がより効果的に行なわれ
ることとなり、切断速度のより高速化を図ることができ
る。Therefore, the adhesion of dross to the back surface of the work is reduced, the area of the cutting surface of the work is always in a clean state, the laser beam is absorbed more effectively, and the cutting speed is improved. The speed can be increased.
【0010】[0010]
【実施例】図1を参照するに、切断加工すべきワークW
へレーザビームLBを照射するレーザ加工ヘッド1は、
前記ワークWに対してX,Y,Z軸方向へ相対的に移動
可能に設けられている。レーザ加工ヘッド1を相対的に
X,Y,Z軸方向へ移動する構成は周知であるから、そ
の詳細については説明を省略する。EXAMPLES Referring to FIG. 1, a work W to be cut and processed.
The laser processing head 1 for irradiating the laser beam LB to
It is provided so as to be movable relative to the work W in the X, Y, and Z axis directions. Since the structure for moving the laser processing head 1 relatively in the X, Y, and Z axis directions is well known, its detailed description is omitted.
【0011】上記レーザ加工ヘッド1の支持本体3には
回転筒体5が回転可能に支持されており、この回転筒体
5の下部には、レーザビームLBと同時でアシストガス
を前記ワークWへ噴射する主ノズル7が設けられてい
る。また、上記回転筒体5には外形が四角形状の支持部
9が設けてあり、この支持部9には前記主ノズル7の先
端の下方位置でレーザビームLBの軸心上の所望の位置
Oを中心とする円弧状のノズルサポート11が複数の支
持ローラ13を介して移動可能に支持されている。A rotary cylinder 5 is rotatably supported by a support body 3 of the laser processing head 1. Under the rotary cylinder 5, an assist gas is supplied to the work W at the same time as the laser beam LB. A main nozzle 7 for jetting is provided. Further, the rotary cylinder 5 is provided with a supporting portion 9 having a quadrangular outer shape, and the supporting portion 9 has a desired position O on the axial center of the laser beam LB below the tip of the main nozzle 7. An arc-shaped nozzle support 11 centered on is supported movably via a plurality of support rollers 13.
【0012】上記ノズルサポート11には、レーザ加工
ヘッド1の相対的な切断進行方向(図1においては右方
向)の前側に位置するフロントノズル15が適宜に支持
されている。このフロントノズル15は、前記位置O又
はワークWのレーザ加工位置付近へ向けてアシストガス
を噴射するものである。The nozzle support 11 appropriately supports a front nozzle 15 located on the front side in the relative cutting direction of the laser processing head 1 (rightward in FIG. 1). The front nozzle 15 injects the assist gas toward the position O or the vicinity of the laser processing position of the work W.
【0013】上記フロントノズル15の傾斜角を調節す
るために、前記ノズルサポート11にはラック11Rが
形成してあり、このラック11Rには前記支持部9に装
着したサーボモータ17によって回転駆動されるピニオ
ン19が噛合してある。したがって、上記サーボモータ
17を適宜に制御駆動することにより、フロントノズル
15の傾斜角を任意に制御することができる。In order to adjust the inclination angle of the front nozzle 15, a rack 11R is formed on the nozzle support 11, and the rack 11R is rotationally driven by a servo motor 17 mounted on the support portion 9. The pinion 19 is meshed. Therefore, the tilt angle of the front nozzle 15 can be arbitrarily controlled by appropriately controlling and driving the servo motor 17.
【0014】前記レーザ加工ヘッド1の相対的な切断進
行方向の前側にフロントノズル15を常に位置せしめる
ために、前記回転筒体5の外周面にはギア21が設けて
あり、このギア21には前記支持本体3に装着したサー
ボモータ23によって回転される小径ギア25が噛合し
てある。A gear 21 is provided on the outer peripheral surface of the rotary cylinder 5 in order to always position the front nozzle 15 on the front side in the relative cutting direction of the laser processing head 1. The gear 21 has a gear 21. A small-diameter gear 25 rotated by a servomotor 23 mounted on the support body 3 is meshed.
【0015】したがって、レーザ加工ヘッド1の相対的
な切断進行に従って前記サーボモータ23を適宜に制御
することにより、前記フロントノズル15を切断進行方
向の前側に常に位置するように制御することができる。Therefore, by appropriately controlling the servo motor 23 in accordance with the relative cutting progress of the laser processing head 1, the front nozzle 15 can be controlled so as to be always positioned on the front side in the cutting progress direction.
【0016】前記フロントノズル15は、前記ノズルサ
ポート11に対する傾斜角を調節可能に設けることが望
ましいものである。It is desirable that the front nozzle 15 be provided so that the inclination angle with respect to the nozzle support 11 can be adjusted.
【0017】以上のごとき構成において、ワークWに対
してレーザ加工ヘッド1をX,Y,Z軸方向へ相対的に
移動してワークWの切断加工を行なうとき、レーザ加工
ヘッド1の相対的な切断進行方向に応じてサーボモータ
23を適宜に制御することにより、フロントノズル15
を常に切断進行方向の前側に位置せしめることができ
る。また、サーボモータ17を制御駆動してノズルサポ
ート11を適宜に移動することにより、前記フロントノ
ズル15の傾斜角を任意に制御することができる。In the above structure, when the laser processing head 1 is moved relative to the work W in the X, Y, and Z axis directions to perform the cutting work of the work W, the laser processing head 1 is relatively moved. By appropriately controlling the servo motor 23 according to the cutting direction, the front nozzle 15
Can always be positioned on the front side in the cutting direction. Further, the tilt angle of the front nozzle 15 can be arbitrarily controlled by controlling and driving the servo motor 17 to appropriately move the nozzle support 11.
【0018】すなわち、図2に示すように主ノズル7か
ら噴射されるアシストガスのガス流速に基く動圧ベクト
ルAとフロントノズル15から噴射されるアシストガス
のガス流速に基く動圧ベクトルBとの合成ベクトルCの
方向を、ワークWの切断面に生じる溶融部の条痕M(切
断速度が大きくなると湾曲した条痕になる)にほぼ沿う
方向に制御することができる。That is, as shown in FIG. 2, a dynamic pressure vector A based on the gas velocity of the assist gas injected from the main nozzle 7 and a dynamic pressure vector B based on the gas velocity of the assist gas injected from the front nozzle 15. The direction of the composite vector C can be controlled so as to be substantially along the striation M of the melted portion (which becomes a curved striation when the cutting speed increases) generated on the cut surface of the work W.
【0019】この際、ワークWの板厚,材質,切断速
度,ガス流速,流量(圧力),レーザ出力等と前記湾曲
条痕の所定位置(例えばワークの上面付近又は下面付近
あるいは板厚中間付近)における接線の傾斜角を予め実
験的に求めてデータベース化しておき、このデータベー
スに基いて前記フロントノズル15の傾斜角を制御する
ことにより、前記合成ベクトルCを湾曲条痕Mにほぼ沿
わせることができる。At this time, the plate thickness, material, cutting speed, gas flow rate, flow rate (pressure), laser output and the like of the work W and a predetermined position of the curved striation (for example, near the upper surface or the lower surface of the work or near the middle of the plate thickness). ), The inclination angle of the tangent line is experimentally obtained in advance and stored in a database, and by controlling the inclination angle of the front nozzle 15 based on this database, the composite vector C can be made to substantially follow the curved striation M. You can
【0020】上記合成ベクトルCは、通常は動圧ベクト
ルA,Bより大きくなるものであり、前記主ノズル7お
よびフロントノズル15から噴射されるアシストガスの
流速が比較的大きくない場合であっても、切断加工時に
生じた溶融物や蒸発物を速やかに除去することができ、
ワークWの裏面へのドロスの付着を低減でき、切断速度
のより高速化を図ることが可能になる。The combined vector C is usually larger than the dynamic pressure vectors A and B, and even if the flow velocity of the assist gas injected from the main nozzle 7 and the front nozzle 15 is not relatively high. , It is possible to quickly remove the melted material and evaporated material generated during cutting,
Adhesion of dross to the back surface of the work W can be reduced, and the cutting speed can be increased.
【0021】ドロス付着の低減に関しては、主ノズル7
から噴射されるアシストガスをより高圧にすることによ
ってもドロス付着の低減を図ることも可能であるが、こ
の場合、レーザビームLBを集光する集光レンズを高圧
から保護する構成が必要となるが、本実施例において
は、フロントノズル15の傾斜角を制御し、かつ上記フ
ロントノズル15から噴射されるアシストガスをより高
圧にしても、集光レンズに影響を与えるような問題を生
じることがなく、ドロス付着を効果的に防止することが
できる。Regarding the reduction of dross adhesion, the main nozzle 7
It is also possible to reduce the adhesion of dross by increasing the pressure of the assist gas injected from the device, but in this case, it is necessary to protect the condenser lens for condensing the laser beam LB from the high pressure. However, in the present embodiment, even if the inclination angle of the front nozzle 15 is controlled and the assist gas injected from the front nozzle 15 is made to have a higher pressure, a problem may occur in which the condenser lens is affected. In other words, dross adhesion can be effectively prevented.
【0022】すなわち本実施例によれば、ワークWのよ
り高速切断時にもドロスの付着を効果的に防止できるこ
ととなるものである。That is, according to this embodiment, it is possible to effectively prevent dross from adhering even when the work W is cut at a higher speed.
【0023】図3は第2実施例を示すもので、前記第1
実施例と同一機能を奏する構成部分には同一符号を付す
ることとして説明を省略する。FIG. 3 shows a second embodiment, which is the same as the first embodiment.
The components having the same functions as those in the embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【0024】この第2実施例においては、ノズルサポー
ト11を、支持部9に上下方向へ移動可能に装着し、こ
のノズルサポート11の下部にフロントノズル15を傾
斜角調整可能に枢着したものである。In the second embodiment, the nozzle support 11 is mounted on the support portion 9 so as to be movable in the vertical direction, and the front nozzle 15 is pivotally attached to the lower portion of the nozzle support 11 so that the inclination angle can be adjusted. is there.
【0025】すなわち、この構成によれば、サーボモー
タ17を制御駆動することによりノズルサポート11を
介してフロントノズル15を上下に位置調節でき、かつ
上記ノズルサポート11に装着したサーボモータ27を
適宜に制御駆動することにより、フロントノズル15の
枢着軸(図示省略)を回動でき、フロントノズル15の
傾斜角を調節できるものである。That is, according to this structure, the front nozzle 15 can be vertically adjusted through the nozzle support 11 by controlling and driving the servo motor 17, and the servo motor 27 mounted on the nozzle support 11 can be appropriately adjusted. By controlling and driving, the pivot shaft (not shown) of the front nozzle 15 can be rotated, and the inclination angle of the front nozzle 15 can be adjusted.
【0026】この第2実施例においても前記第1実施例
と同様の効果を奏し得るものである。Also in the second embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.
【0027】図4は第3実施例を示すものである。前記
実施例第1,第2においては回転筒体5,主ノズル7等
がサーボモータ23によって回転される構成の場合につ
いて説明した。この第3実施例は、主ノズル7が回転不
能で固定の場合である。FIG. 4 shows a third embodiment. In the first and second embodiments, the case where the rotary cylinder 5, the main nozzle 7 and the like are rotated by the servo motor 23 has been described. The third embodiment is a case where the main nozzle 7 is non-rotatable and fixed.
【0028】この第3実施例においては、ワークWに対
して主ノズル7がX,Y軸方向へ相対的に移動すると
き、フロントノズル15が進行方向の前側に常に位置す
るように、主ノズル7のストレート部分7Sに回転盤2
9が水平に回転自在に装着してある。そして、この回転
盤29の下面の前側(図4において右側)に設けたブラ
ケットには、フロントノズル15が傾斜角調節可能に枢
着してあると共に、フロントノズル15の傾斜角を調節
するためのシリンダのごときアクチュエータ31が装着
してある。In the third embodiment, when the main nozzle 7 moves relative to the work W in the X and Y axis directions, the front nozzle 15 is always positioned on the front side in the traveling direction. Turntable 2 on the straight part 7S of 7
9 is horizontally rotatably mounted. The front nozzle 15 is pivotally attached to a bracket provided on the front side (right side in FIG. 4) of the lower surface of the turntable 29 so that the tilt angle can be adjusted, and the tilt angle of the front nozzle 15 can be adjusted. An actuator 31 such as a cylinder is attached.
【0029】より詳細には、この実施例においては、フ
ロントノズル15を枢支した枢軸にピニオン33が取付
けてあり、このピニオン33には、前記アクチュエータ
31によって往復動されるラック35が噛合してある。
したがって、上記アクチュエータ31を適宜に制御する
ことにより、フロントノズル15の傾斜角を任意に調節
することができる。なお、フロントノズル15の傾斜を
調節するアクチュエータとして、サーボモータを用いる
ことも可能である。More specifically, in this embodiment, a pinion 33 is attached to a pivot shaft that pivotally supports the front nozzle 15, and a rack 35 reciprocated by the actuator 31 meshes with the pinion 33. is there.
Therefore, by appropriately controlling the actuator 31, the inclination angle of the front nozzle 15 can be arbitrarily adjusted. A servo motor can be used as an actuator that adjusts the inclination of the front nozzle 15.
【0030】また、前記回転盤29の後側(図4におい
て左側)にはワークWの上面まで延びた脚部材37が取
付けてあり、この脚部材37の下部にはワークWの上面
を転動自在なローラ39が回転自在に取付けてある。A leg member 37 extending to the upper surface of the work W is attached to the rear side (left side in FIG. 4) of the turntable 29, and the lower surface of the leg member 37 rolls on the upper surface of the work W. A free roller 39 is rotatably mounted.
【0031】上記構成により、この第3実施例において
は、主ノズル7のX,Y軸方向への相対的な移動に対し
てローラ39が常に追従する態様となり、フロントノズ
ル15は常に相対的な切断進行方向の前側に位置するこ
ととなるものであり、この実施例においても前記実施例
と同様の効果を奏し得るものである。With the above construction, in the third embodiment, the roller 39 always follows the relative movement of the main nozzle 7 in the X and Y axis directions, and the front nozzle 15 is always in the relative direction. It is located on the front side in the cutting proceeding direction, and this embodiment can also achieve the same effect as the above-mentioned embodiment.
【0032】なお、本発明は前述の実施例のみに限るも
のではなく、種々の変更を行なうことにより、さらに別
の態様でも実施し得るものである。例えば第3実施例に
おけるローラ39等を省略し、回転盤29をサーボモー
タを用いて回転制御する構成とすることも可能なもので
ある。The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be implemented in other modes by making various modifications. For example, the roller 39 and the like in the third embodiment may be omitted and the rotary disk 29 may be controlled to rotate by using a servomotor.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、本発明によればフロントノズル15が常に相
対的な切断進行方向の前側に位置し、かつフロントノズ
ル15の傾斜角を調節することにより、アシストガスの
ガス流を切断位置の湾曲条痕に沿って指向することがで
き、切断加工時に生じる溶融物や蒸発物を効果的に除去
することができる。よって、ドロスの付着を防止するこ
とができると共に切断速度のより高速化を図ることがで
きるものである。As will be understood from the above description of the embodiments, according to the present invention, the front nozzle 15 is always located at the front side in the relative cutting advancing direction, and the inclination angle of the front nozzle 15 is adjusted. By doing so, the gas flow of the assist gas can be directed along the curved streak at the cutting position, and the melted material or evaporated material generated during the cutting process can be effectively removed. Therefore, the adhesion of dross can be prevented and the cutting speed can be increased.
【図1】本発明の第1実施例に係る装置の側面説明図で
ある。FIG. 1 is a side view illustrating an apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図2】アシストガスのガス流とワークに生じる湾曲条
痕の説明図である。FIG. 2 is an explanatory view of a gas flow of assist gas and a curved striation generated in a work.
【図3】第2実施例を示す装置の側面説明図である。FIG. 3 is a side view of an apparatus showing a second embodiment.
【図4】第3実施例を示す装置の側面説明図である。FIG. 4 is a side view of an apparatus showing a third embodiment.
1 レーザ加工ヘッド 7 主ノズル 15 フロントノズル W ワーク 1 Laser processing head 7 Main nozzle 15 Front nozzle W work
Claims (3)
ームを照射して上記ワークの切断を行なうとき、上記レ
ーザ加工ヘッドから噴出されるアシストガスの流れ方向
あるいはレーザ加工ヘッドの相対的な切断進行方向の前
側に配置したフロントノズルから噴出されるアシストガ
スの流れ方向又は前記両アシストガスの流れの合成方向
を、前記ワークの切断面に生じる湾曲条痕にほぼ沿う方
向に制御して切断加工を行なうことを特徴とするレーザ
加工方法。1. When cutting a workpiece by irradiating the workpiece with a laser beam from the laser processing head, the flow direction of the assist gas ejected from the laser processing head or the relative cutting progress direction of the laser processing head is measured. Cutting is performed by controlling the flow direction of the assist gas ejected from the front nozzle arranged on the front side or the combined direction of the flows of the both assist gases so as to be substantially along the curved striations formed on the cutting surface of the work. A laser processing method characterized by the above.
加工ヘッドの相対的な切断進行方向の前側に、上記ワー
クのレーザ加工位置付近へアシストガスを噴射するフロ
ントノズルを配置して設け、上記フロントノズルの傾斜
角を調節可能に設けてなることを特徴とするレーザ加工
装置。2. A front nozzle for injecting an assist gas near the laser processing position of the work is arranged and provided in front of a relative cutting direction of a laser processing head for irradiating the work with a laser beam, and the front nozzle is provided. A laser processing apparatus characterized in that the inclination angle of the laser beam is adjustable.
厚,材質,切断速度,アシストガスの流量又は圧力に基
き、予め設定されたデータテーブルに基いて制御される
構成であることを特徴とする請求項2記載のレーザ加工
装置。3. The inclination angle of the front nozzle is configured to be controlled on the basis of a preset data table based on the work thickness, material, cutting speed, assist gas flow rate or pressure. The laser processing apparatus according to claim 2.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04138442A JP3131288B2 (en) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Laser processing method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04138442A JP3131288B2 (en) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Laser processing method and apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05329679A true JPH05329679A (en) | 1993-12-14 |
JP3131288B2 JP3131288B2 (en) | 2001-01-31 |
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ID=15222095
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3131288B2 (en) | 2001-01-31 |
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