JPH05329674A - Method for adjusting optical axis and device therefor - Google Patents
Method for adjusting optical axis and device thereforInfo
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- JPH05329674A JPH05329674A JP4164000A JP16400092A JPH05329674A JP H05329674 A JPH05329674 A JP H05329674A JP 4164000 A JP4164000 A JP 4164000A JP 16400092 A JP16400092 A JP 16400092A JP H05329674 A JPH05329674 A JP H05329674A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は関節型レーザ加工機の光
軸調整方法およびそれに用いる光軸調整装置に関する。
さらに詳しくは、ミラーを用いた内部導光型の関節型レ
ーザ加工機の光軸調整方法およびそれに用いる光軸調整
装置の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical axis adjusting method for an articulated laser beam machine and an optical axis adjusting apparatus used for the method.
More specifically, the present invention relates to an optical axis adjusting method for an internal light guide type articulated laser beam machine using a mirror and an improvement of an optical axis adjusting apparatus used therefor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、関節型レーザ加工機の光軸調
整方法として、レーザ加工装置のマニピユレータに傾き
調整可能なミラーと光軸に対しその位置を調整できる調
整機構とを設け、このミラーの傾きを調整することによ
りレーザからのレーザビームの光軸の傾きを調整し、こ
の調整機構によりさきのマニピュレータの軸をレーザビ
ームの光軸に対して一致させる方法が採られている（特
開昭５６ー６６３９５号参照）。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of adjusting an optical axis of an articulated laser processing machine, a manipulator of a laser processing apparatus is provided with a tilt-adjustable mirror and an adjusting mechanism capable of adjusting its position with respect to the optical axis. A method is adopted in which the tilt of the optical axis of the laser beam from the laser is adjusted by adjusting the tilt, and the axis of the above manipulator is made to coincide with the optical axis of the laser beam by this adjusting mechanism (Japanese Patent Laid-open Publication No. Sho-06-09). 56-66395).
【０００３】ところで、関節型レーザ加工機の光軸調整
においては、回転軸との位置ずれおよび角度ずれを調整
すればよい。一般に、２つの直線を一致させるために
は、２つの平面との交点を一致させればよいから、各関
節について光路長の異なる２点でレーザビートと光軸と
のずれを計測する必要がある。このため、半透明のアク
リル板やピントガラスにより、レーザ発振装置からのレ
ーザビームを２本のビームに分離し、そして、ピントガ
ラスを分離された各ビームの光路中に各光路長が異なる
位置に配置して、ピントガラス上のレーザビームを検出
器により検出することにより各光軸の測定がなされてい
る。By the way, in the adjustment of the optical axis of the articulated laser beam machine, it suffices to adjust the positional deviation and the angular deviation from the rotation axis. Generally, in order to match two straight lines, it is necessary to match the intersections with the two planes, and therefore it is necessary to measure the deviation between the laser beat and the optical axis at two points having different optical path lengths for each joint. .. For this reason, a semitransparent acrylic plate or a focus glass separates the laser beam from the laser oscillator into two beams, and the focus glass is placed at a position where each optical path length is different in the optical path of each separated beam. Each optical axis is measured by arranging and locating the laser beam on the focus glass with a detector.
【０００４】しかしながら、関節型レーザ加工機はその
構造が複雑なところから、同時に２ヵ所に検出器を取り
付けることが困難であること、およびその組立て完成後
においては計測ができないことから、関節型レーザ加工
機を組み立てながら、ミラー直後のフランジ部に１台の
検出器の設置し、変換用フランジによりその位置変換を
行いながら、各関節毎に光軸の計測がなされている。However, since the structure of the articulated laser processing machine is complicated, it is difficult to attach the detectors to two positions at the same time, and it is impossible to measure after the assembly is completed. While assembling the processing machine, one detector is installed on the flange immediately after the mirror, and the optical axis is measured for each joint while the position is converted by the conversion flange.
【０００５】したがって、関節型レーザ加工機の光軸調
整は、非常に煩雑な作業となっている。また、光軸調整
は目視による手作業によりなされているため、その信頼
性および精度にも問題がある。Therefore, adjusting the optical axis of the articulated laser beam machine is a very complicated work. Further, since the optical axis adjustment is performed by visual inspection, there is a problem in its reliability and accuracy.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の問題点に鑑みなされたものであって、関節型レーザ
加工機の組立て後において、光軸の調整が自動的になし
うる光軸調整方法およびそれに用いる光軸調整装置を提
供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems of the prior art, and the optical axis can be automatically adjusted after the articulated laser beam machine is assembled. It is an object of the present invention to provide a method and an optical axis adjusting device used therefor.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の光軸調整方法
は、第１関節から最終関節までの光軸の調整を順次行う
関節型レーザ加工機の光軸調整方法であって、前記各関
節における光軸の調整が、レーザ発振機よりレーザビー
ムを第１関節のレーザビーム入力口に照射する工程と、
測定対称の関節のみを所定方向に回転させる工程と、関
節型レーザ加工機の最終関節の出力口からレーザビーム
を取り出す工程と、出力口から取り出された前記レーザ
ビームを２つのビームに分離し、光路長の異なる検出器
に入力する工程と、前記検出器に入力されたビームの各
々を画像処理装置へ導き、画像表示装置に表示する工程
と、前記画像表示装置に表示された画像により、レーザ
ビームの光軸を求める工程と、前記求められた光軸にレ
ーザビームを一致させるようミラーの姿勢制御を行う工
程との組合せによりなされることを特徴としている。The optical axis adjusting method of the present invention is an optical axis adjusting method for a joint type laser beam machine, which sequentially adjusts the optical axis from the first joint to the final joint. Adjusting the optical axis in the step of irradiating the laser beam from the laser oscillator to the laser beam input port of the first joint,
A step of rotating only a joint having a measurement symmetry in a predetermined direction; a step of extracting a laser beam from an output port of a final joint of a joint type laser beam machine; and a step of separating the laser beam extracted from the output port into two beams, The step of inputting to the detectors having different optical path lengths, the step of guiding each of the beams input to the detector to the image processing device and displaying it on the image display device, and the image displayed on the image display device, the laser It is characterized by a combination of the step of obtaining the optical axis of the beam and the step of controlling the attitude of the mirror so that the laser beam coincides with the obtained optical axis.
【０００８】また、本発明の光軸調整装置は、姿勢制御
が可能な所定数のミラーが備えられてなる所定数の関節
を有する関節型レーザ加工機の光軸調整装置であって、
最終関節の出力口に配設されたレーザビームを２つのレ
ーザビームに分離するレーザビーム分離手段と、前記分
離されたレーザビームを検出する相互に光路長の異な
る、２つの検出手段と、前記検出手段により検出された
レーザビームを画像処理手段に導く接続手段と、前記接
続手段により導かれた各レーザビームを表示できる画像
表示部を有する画像処理制御手段と、前記画像処理制御
手段により算出された制御量により前記ミラーの姿勢を
制御するミラー姿勢制御手段とからなることを特徴とし
ている。Further, the optical axis adjusting device of the present invention is an optical axis adjusting device for a joint type laser beam machine having a predetermined number of joints provided with a predetermined number of mirrors capable of controlling posture.
Laser beam separating means for separating the laser beam disposed at the output port of the final joint into two laser beams, two detecting means for detecting the separated laser beams having mutually different optical path lengths, and the detecting means. Connection means for guiding the laser beam detected by the means to the image processing means, image processing control means having an image display unit capable of displaying each laser beam guided by the connection means, and the image processing control means It is characterized by comprising mirror attitude control means for controlling the attitude of the mirror according to a control amount.
【０００９】[0009]
【作用】本発明の関節型レーザ加工機の光軸調整方法に
おいては、最終関節から取り出されたレーザビームを、
レーザビーム分離手段により２つのビームに分離して、
その各々を相互に光路長の異なる検出器を介して画像処
理装置に導き、画像表示装置に表示して、その表示され
た画像に基づいてミラーの姿勢制御量を算出して、ミラ
ーの姿勢を調整することにより光軸の調整を行ってい
る。したがって、関節型レーザ加工機の組立て後におい
ても光軸の調整が自動的に精度よく行える。In the optical axis adjusting method for the joint type laser beam machine of the present invention, the laser beam extracted from the final joint is
Laser beam separation means separates into two beams,
Each of them is guided to the image processing device via the detectors having different optical path lengths, displayed on the image display device, and the attitude control amount of the mirror is calculated based on the displayed image to determine the attitude of the mirror. The optical axis is adjusted by adjusting. Therefore, the optical axis can be automatically and accurately adjusted even after the joint-type laser beam machine is assembled.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、添付図面を参照しながら本発明を実施
例に基づいて説明するが、本発明はかかる実施例のみに
限定されるものではない。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on embodiments with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such embodiments.
【００１１】図１は本発明の関節型レーザ加工機の光軸
調整方法に用いる光軸調整装置の概略図、図２は検出器
の概略図である。図において、１はレーザ発振機、２は
ビームスプリッタ、３は画像処理制御手段、Ｓ１，Ｓ２
は検出器、Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ４，Ｊ５は関節、Ｍ０
０，Ｍ０，Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６はミラ
ーを示す。FIG. 1 is a schematic view of an optical axis adjusting device used in an optical axis adjusting method of an articulated laser beam machine of the present invention, and FIG. 2 is a schematic view of a detector. In the figure, 1 is a laser oscillator, 2 is a beam splitter, 3 is image processing control means, and S1 and S2.
Is a detector, J1, J2, J3, J4, J5 are joints, M0
Reference numerals 0, M0, M1, M2, M3, M4, M5 and M6 denote mirrors.
【００１２】画像処理制御手段３は、画像処理装置３
１，３１と画像表示装置３２からなっている。画像処理
装置３１，３１は、検出器Ｓ１，Ｓ２から入力されたレ
ーザビームの映像信号を処理して画像表示装置３２に出
力する機能、入力されたレーザビームの映像信号より光
軸の位置を算出する機能、算出された光軸の位置とレー
ザビームとのずれを算出しミラーの操作量を算出する機
能、および算出されたミラーの操作量をミラー姿勢制御
装置（図示せず）へ出力する機能を有する。この各種機
能は、マイコン制御技術等を用いることにより容易に実
現することができる。The image processing control means 3 includes an image processing device 3
1, 31 and an image display device 32. The image processing devices 31 and 31 have a function of processing the video signals of the laser beams input from the detectors S1 and S2 and outputting the processed video signals to the image display device 32, and calculating the position of the optical axis from the video signals of the input laser beams. Function, a function for calculating the displacement between the calculated optical axis position and the laser beam to calculate the operation amount of the mirror, and a function for outputting the calculated operation amount of the mirror to the mirror attitude control device (not shown). Have. These various functions can be easily realized by using microcomputer control technology or the like.
【００１３】検出器Ｓは、図２に示すごとく、検出部４
と撮像部５とからなっている。検出部４には、すりガラ
ス（ピントガラス）４１、ＮＤフィルタ４２および対物
レンズ（凸レンズ）４３が、ビームスプリッタ２からの
レーザビームの入射側からこの順で配設されている。Ｎ
Ｄフィルタ４２としては、レーザビームの強度、レーザ
光源からピントガラス４１までの距離を考慮して適当な
透過率を有するものが用いられる。撮像部５には、通常
のテレビカメラ、例えば、ソニー（株）製、型式ＸＣ−
７７が用いられる。The detector S includes a detector 4 as shown in FIG.
And the imaging unit 5. A ground glass (focus glass) 41, an ND filter 42, and an objective lens (convex lens) 43 are arranged in the detection unit 4 in this order from the incident side of the laser beam from the beam splitter 2. N
As the D filter 42, one having an appropriate transmittance in consideration of the intensity of the laser beam and the distance from the laser light source to the focus glass 41 is used. The image pickup unit 5 includes a normal TV camera, for example, Sony Corporation, model XC-
77 is used.
【００１４】関節Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ４，Ｊ５は、明
瞭には図示されていないが、電動モータ、ギア、ベアリ
ングなどにより、その軸回りに回転可能とされている。Although not clearly shown, the joints J1, J2, J3, J4 and J5 are rotatable about their axes by an electric motor, gears, bearings and the like.
【００１５】ミラーＭ００，Ｍ０，Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，
Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６は、図４に示すごとく、ｚ軸方向に移
動可能であり、θ軸およびφ軸に関して回転可能な構成
とされている。かかる構成は、スライド機構に２軸のジ
ンバル機構を付加することによりなしうる。Mirrors M00, M0, M1, M2, M3
As shown in FIG. 4, M4, M5, and M6 are configured to be movable in the z-axis direction and rotatable about the θ axis and the φ axis. Such a structure can be achieved by adding a biaxial gimbal mechanism to the slide mechanism.
【００１６】以下、この様に構成された光軸調整装置に
よる、関節型レーザ加工機の光軸調整方法について説明
する。An optical axis adjusting method of the articulated laser beam machine using the optical axis adjusting device thus constructed will be described below.
【００１７】ステップ１：レーザ発振機１、画像処理制
御装置３、関節駆動装置、ミラー姿勢制御装置を起動す
る。Step 1: The laser oscillator 1, the image processing control device 3, the joint drive device, and the mirror attitude control device are activated.
【００１８】ステップ２：ミラー姿勢制御装置を作動さ
せ、最終関節Ｊ５のレーザ出力口より射出され、ビーム
スプリッタ２により分離された各ビームが、検出器Ｓ
１，Ｓ２に入力されるようミラーＭ００，Ｍ０，Ｍ１，
Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５，Ｍ６の姿勢を調整する。Step 2: The mirror attitude control device is operated, and each beam emitted from the laser output port of the final joint J5 and separated by the beam splitter 2 is detected by the detector S.
1, so that mirrors M00, M0, M1,
Adjust the postures of M2, M3, M4, M5 and M6.
【００１９】ステップ３：第１関節Ｊ１を回転する。Step 3: Rotate the first joint J1.
【００２０】ステップ４：検出器Ｓ１，Ｓ２により検出
された、ビームスプリッタ２により分離されたビームを
画像処理装置３１，３１に導入する。Step 4: The beams detected by the detectors S1 and S2 and separated by the beam splitter 2 are introduced into the image processing devices 31 and 31.
【００２１】ステップ５：画像処理装置３１，３１は、
導入されたそれぞれのビームを同一の画像表示装置３２
に同時に表示する。第１関節Ｊ１が回転しているので、
画像表示装置３２に表示されるビームの軌跡は、図４に
示すように円を描く。なお、図４において、Ｃ１，Ｃ２
はそれぞれの円の中心を示す。Step 5: The image processing devices 31, 31
Each of the introduced beams has the same image display device 32.
To be displayed at the same time. Since the first joint J1 is rotating,
The trajectory of the beam displayed on the image display device 32 draws a circle as shown in FIG. In addition, in FIG. 4, C1, C2
Indicates the center of each circle.
【００２２】ステップ６：ビームが中心Ｃ１，Ｃ２を同
時に通過するようミラーＭ０，Ｍ１を調整する。このミ
ラーＭ０，Ｍ１の調整は画像処理装置３１，３１により
現在のミラー位置から所望位置への所要移動量を算出し
て、ミラー姿勢制御装置を作動させることによりなされ
る。ミラーＭ０，Ｍ１の調整は、ミラーＭ０，Ｍ１を微
小量動かして画像上の光点の移動方向および移動量を計
測して、所望の位置までの調整移動量を算出して調整し
てもよい。この手順をより具体的に説明すれば、以下の
とおりである。Step 6: Adjust the mirrors M0 and M1 so that the beams pass through the centers C1 and C2 at the same time. The adjustment of the mirrors M0 and M1 is performed by calculating the required movement amount from the current mirror position to the desired position by the image processing devices 31 and 31 and operating the mirror attitude control device. The adjustment of the mirrors M0 and M1 may be performed by moving the mirrors M0 and M1 by a small amount to measure the moving direction and the moving amount of the light spot on the image, and calculating and adjusting the adjusted moving amount to a desired position. .. This procedure will be described more specifically as follows.
【００２３】ステップ６Ａ：回転軸を回転させ、検出器
Ｓ１，Ｓ２からの光点の軌跡を記録する。Step 6A: The rotation axis is rotated and the loci of light spots from the detectors S1 and S2 are recorded.
【００２４】ステップ６Ｂ：検出器Ｓ１，Ｓ２からの光
点の軌跡の中心を求める。この中心の座標をＸ0＝（ｘ
10，ｙ10，ｘ20，ｙ20）とする。ここで、（ｘ10，
ｙ10）は、検出器Ｓ１からの光点の軌跡の中心座標、
（ｘ20，ｙ20）は検出器Ｓ２からの光点の軌跡の中心座
標であり、Ｘ0は４次元ベクトルとして扱われる。Step 6B: The center of the locus of the light spots from the detectors S1 and S2 is obtained. The coordinates of this center are X 0 = (x
10 , y 10 , x 20 , y 20 ). Where (x 10 ,
y 10 ) is the center coordinate of the locus of the light spot from the detector S1,
(X 20 , y 20 ) is the center coordinate of the locus of the light spot from the detector S2, and X 0 is treated as a four-dimensional vector.
【００２５】ステップ６Ｃ：ミラーＭ０のθ軸を△θ
（１度程度）だけ移動させ、検出器Ｓ１，Ｓ２からの光
点の移動ベクトル △Ｘ1＝（△ｘ11，△ｙ11，△ｘ21，△ｙ21） を求め、θ軸をもとに戻す。Step 6C: The θ axis of the mirror M0 is Δθ
Is moved by (about 1 degree), the detector S1, the light spot from S2 movement vector △ X 1 = (△ x 11 , △ y 11, △ x 21, △ y 21) to seek, based on θ-axis Return to.
【００２６】ステップ６Ｄ：ミラーＭ０のφ軸を△φ
（１度程度）だけ移動させ、検出器Ｓ１，Ｓ２からの光
点の移動ベクトル △Ｘ2＝（△ｘ12，△ｙ12，△ｘ22，△ｙ22） を求め、φ軸をもとに戻す。Step 6D: The φ axis of the mirror M0 is Δφ
(About 1 degree) is moved by the detector S1, S2 of the light spot from movement vector △ X 2 = (△ x 12 , △ y 12, △ x 22, △ y 22) to seek, based on φ axis Return to.
【００２７】ステップ６Ｅ：ミラーＭ１のθ軸およびφ
軸についても同様にして△Ｘ3，△Ｘ4を求める。Step 6E: The θ axis and φ of the mirror M1
Similarly for the axes, ΔX 3 and ΔX 4 are obtained.
【００２８】ステップ６Ｆ：現在の検出器Ｓ１，Ｓ２か
らの光点の現在位置をＸ＝（ｘ1，ｙ1，ｘ2，ｙ2）と
し、微小変動内（調整範囲内）では光点の移動は線形で
あるとすると、以下の方程式を満たすＫ＝（ｋ1，ｋ2，
ｋ3，ｋ4）を求めればよいことになる。 Ｘ0−Ｘ＝ｋ1・△Ｘ1＋ｋ2・△Ｘ2＋ｋ3・△Ｘ3＋ｋ4・
△Ｘ4 ここで、 〔△Ｘ1，△Ｘ2，△Ｘ3，△Ｘ4〕＝Ａ とおくと、前記方程式は、 Ｘ0−Ｘ＝Ａ・Ｋ のように簡略化される。よって、調整量Ｋは、 Ｋ＝Ａ-1・（Ｘ0−Ｘ） により求めればよい。このほかに、ミラーの幾何学的な
配置によりＫを求めてもよい。Step 6F: The current position of the light spot from the current detectors S1 and S2 is set to X = (x 1 , y 1 , x 2 , y 2 ), and the light spot of the light spot is set within the minute fluctuation (within the adjustment range). If the movement is linear, K = (k 1 , k 2 ,
It is only necessary to calculate k 3 , k 4 ). X 0 −X = k 1 · ΔX 1 + k 2 · ΔX 2 + k 3 · ΔX 3 + k 4 ·
ΔX 4 Here, if [ΔX 1 , ΔX 2 , ΔX 3 , ΔX 4 ] = A is set, the above equation is simplified as X 0 −X = A · K. Therefore, the adjustment amount K may be obtained by K = A −1 · (X 0 −X). Alternatively, K may be obtained by the geometrical arrangement of the mirrors.
【００２９】ステップ７：第２関節Ｊ２を回転させミラ
ーＭ２の調整を行う。この際の調整量は、ステップ６に
おけるミラーＭ１の調整と同様に行うが、ミラーＭ２の
θ軸あるいはφ軸の代わりに、ｚ軸を△ｚ（１ｍｍ程
度）移動させ、検出器Ｓ１，Ｓ２からの光点の移動ベク
トル△Ｚ1を求めることにより、ステップ６と同様にし
て求めることができる。Step 7: The second joint J2 is rotated to adjust the mirror M2. The adjustment amount at this time is the same as the adjustment of the mirror M1 in step 6, but instead of the θ axis or the φ axis of the mirror M2, the z axis is moved by Δz (about 1 mm) and the detectors S1 and S2 are moved. It is possible to obtain the light spot movement vector ΔZ 1 in the same manner as in step 6.
【００３０】ステップ８：第３関節Ｊ３を回転させミラ
ーＭ３，Ｍ４の調整をミラーＭ０，Ｍ１の調整と同様に
して行う。Step 8: The third joint J3 is rotated to adjust the mirrors M3 and M4 in the same manner as the adjustment of the mirrors M0 and M1.
【００３１】ステップ９：第４関節Ｊ４を回転させミラ
ーＭ５の調整をミラーＭ２の調整と同様にして行う。Step 9: The fourth joint J4 is rotated to adjust the mirror M5 in the same manner as the adjustment of the mirror M2.
【００３２】ステップ10：最終関節Ｊ５を回転させミラ
ーＭ６の調整をミラーＭ２の調整と同様にして行う。Step 10: The final joint J5 is rotated to adjust the mirror M6 in the same manner as the adjustment of the mirror M2.
【００３３】この様にして、実機について光軸の調整を
行ったところ、３０分という短時間で光軸の調整が精度
よく行えた。In this way, when the optical axis of the actual machine was adjusted, the optical axis could be adjusted accurately in a short time of 30 minutes.
【００３４】以上、５関節を有する関節型レーザ加工機
を例にとり本発明の光軸調整方法について説明してきた
が、本発明が適用される関節型レーザ加工機は、かかる
ものに限定されるものではなく、６関節以上の関節を有
するレーザ加工機についても好適に適用することができ
る。Although the optical axis adjusting method of the present invention has been described above by taking the joint type laser beam machine having five joints as an example, the joint type laser beam machine to which the present invention is applied is not limited to this. Instead, it can be suitably applied to a laser processing machine having 6 or more joints.
【００３５】[0035]
【発明の効果】以上説明してきたように本発明の光軸調
整方法によれば、関節型レーザ加工機の組立て完了後に
おいて、自動的に精度よく光軸の調整が行える。したが
って、関節型レーザ加工機の光軸調整に要する時間を大
幅に短縮することができる。As described above, according to the optical axis adjusting method of the present invention, the optical axis can be automatically and accurately adjusted after the assembly of the joint type laser beam machine is completed. Therefore, the time required to adjust the optical axis of the articulated laser beam machine can be significantly reduced.
【００３６】また、本発明の光軸調整装置によれば、関
節型レーザ加工機の光軸調整を自動的になしうるので、
本発明の光軸調整方法に好適に用いることができる。Further, according to the optical axis adjusting device of the present invention, the optical axis of the joint type laser beam machine can be automatically adjusted.
It can be suitably used in the optical axis adjusting method of the present invention.
【図１】本発明の関節型レーザ加工機の光軸調整方法に
用いる光軸調整装置に概略図である。FIG. 1 is a schematic view of an optical axis adjusting device used in an optical axis adjusting method of an articulated laser beam machine according to the present invention.
【図２】検出器の概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of a detector.
【図３】ミラーの動作方向の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a movement direction of a mirror.
【図４】画像表示装置に表示されたレーザビームの軌跡
の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a trajectory of a laser beam displayed on the image display device.
１ レーザ発振機 ２ ビームスプリッタ ３ 画像処理制御手段 Ｓ１，Ｓ２ 検出器 1 Laser oscillator 2 Beam splitter 3 Image processing control means S1, S2 Detector
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 敏史 神戸市中央区東川崎町３丁目１番１号 川 崎重工業株式会社神戸工場内 (72)発明者 田中 秀幸 神戸市中央区東川崎町３丁目１番１号 川 崎重工業株式会社神戸工場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Toshifumi Matsumoto 3-1-1 Higashikawasaki-cho, Chuo-ku, Kobe City Kawasaki Saki Heavy Industries, Ltd. Kobe factory (72) Inventor Hideyuki Tanaka 3-chome, Higashikawasaki-cho, Chuo-ku, Kobe No. 1 Kawasaki Heavy Industries Ltd. Kobe factory
Claims (2)
を順次行う関節型レーザ加工機の光軸調整方法であっ
て、前記各関節における光軸の調整が、 レーザ発振機よりレーザビームを第１関節のレーザビー
ム入力口に照射する工程と、測定対称の関節のみを所定
方向に回転させる工程と、関節型レーザ加工機の最終関
節の出力口からレーザビームを取り出す工程と、出力口
から取り出された前記レーザビームを２つのビームに分
離し、光路長の異なる検出器に入力する工程と、前記検
出器に入力されたビームの各々を画像処理装置へ導き、
画像表示装置に表示する工程と、前記画像表示装置に表
示された画像により、レーザビームの光軸を求める工程
と、前記求められた光軸にレーザビームを一致させるよ
うミラーの姿勢制御を行う工程との組合せによりなされ
ることを特徴とする光軸調整方法。1. A method for adjusting an optical axis of a joint-type laser beam machine, which sequentially adjusts an optical axis from a first joint to a final joint, wherein the optical axis of each joint is adjusted by a laser beam from a laser oscillator. To the laser beam input port of the first joint, rotating only the measurement-symmetrical joint in a predetermined direction, extracting the laser beam from the output port of the final joint of the articulated laser beam machine, and outputting port Separating the laser beam extracted from the two beams into two beams and inputting them into detectors having different optical path lengths; and guiding each of the beams inputted into the detector to an image processing device,
A step of displaying on an image display device, a step of obtaining an optical axis of a laser beam based on an image displayed on the image display device, and a step of controlling a mirror attitude so that the laser beam coincides with the obtained optical axis. An optical axis adjusting method characterized by being combined with
られてなる所定数の関節を有する関節型レーザ加工機の
光軸調整装置であって、最終関節の出力口に配設された
レーザビームを２つのレーザビームに分離するレーザビ
ーム分離手段と、前記分離されたレーザビームを検出す
る相互に光路長の異なる、２つの検出手段と、前記検出
手段により検出されたレーザビームを画像処理手段に導
く接続手段と、前記接続手段により導かれた各レーザビ
ームを表示できる画像表示部を有する画像処理制御手段
と、前記画像処理制御手段により算出された制御量によ
り前記ミラーの姿勢を制御するミラー姿勢制御手段とか
らなることを特徴とする光軸調整装置。2. An optical axis adjusting device of a joint type laser processing machine having a predetermined number of joints, which is provided with a predetermined number of mirrors capable of posture control, wherein the laser is arranged at the output port of the final joint. Laser beam separating means for separating the beam into two laser beams, two detecting means for detecting the separated laser beams having mutually different optical path lengths, and an image processing means for the laser beam detected by the detecting means. Image processing control means having an image display unit capable of displaying each laser beam guided by the connection means, and a mirror for controlling the attitude of the mirror by a control amount calculated by the image processing control means. An optical axis adjusting device comprising an attitude control means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4164000A JPH05329674A (en) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | Method for adjusting optical axis and device therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4164000A JPH05329674A (en) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | Method for adjusting optical axis and device therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05329674A true JPH05329674A (en) | 1993-12-14 |
Family
ID=15784858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4164000A Pending JPH05329674A (en) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | Method for adjusting optical axis and device therefor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05329674A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4838289A (en) * | 1982-08-03 | 1989-06-13 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for edge cleaning |
| US5186760A (en) * | 1987-11-17 | 1993-02-16 | Slt Labinstruments Gesellschaft M.B.H. | Cleaning device for cuvettes |
| JPH08236847A (en) * | 1995-02-23 | 1996-09-13 | Shinozaki Seisakusho:Kk | Laser oscillation light autoalignment equipment |
| JP2013121612A (en) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Star Techno Co Ltd | Laser beam processing apparatus for resin molded product |
| US10442032B2 (en) | 2014-03-31 | 2019-10-15 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Processing device and processing method |
| US10792759B2 (en) | 2014-02-28 | 2020-10-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Laser processing method and laser processing apparatus |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP4164000A patent/JPH05329674A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4838289A (en) * | 1982-08-03 | 1989-06-13 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for edge cleaning |
| US5186760A (en) * | 1987-11-17 | 1993-02-16 | Slt Labinstruments Gesellschaft M.B.H. | Cleaning device for cuvettes |
| JPH08236847A (en) * | 1995-02-23 | 1996-09-13 | Shinozaki Seisakusho:Kk | Laser oscillation light autoalignment equipment |
| JP2013121612A (en) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Star Techno Co Ltd | Laser beam processing apparatus for resin molded product |
| US10792759B2 (en) | 2014-02-28 | 2020-10-06 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Laser processing method and laser processing apparatus |
| US10442032B2 (en) | 2014-03-31 | 2019-10-15 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Processing device and processing method |
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