JPH05325851A - X線管用対陰極 - Google Patents

X線管用対陰極

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JPH05325851A
JPH05325851A JP14896592A JP14896592A JPH05325851A JP H05325851 A JPH05325851 A JP H05325851A JP 14896592 A JP14896592 A JP 14896592A JP 14896592 A JP14896592 A JP 14896592A JP H05325851 A JPH05325851 A JP H05325851A
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JP
Japan
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anticathode
ray tube
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rays
ray
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JP14896592A
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English (en)
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Yoshitaka Maeda
善崇 前田
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡易な構造で、異種の特性X線を同時に一定
の強度で放射できるようにして、X線管の製品コストを
安価にすると共に、操作の容易化を図る。 【構成】X線管の対陰極における少なくとも特性X線を
放射する表面部分を、電子ビームの衝突により、材質に
応じた特性X線を放射する複数の材料からなる合金によ
って構成した。これにより、合金部分に電子ビームが衝
突すると、合金に含まれる各種材料に応じた特性X線が
同時に一定の強度で放射される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、X線管の構成部材であ
る対陰極に関し、特に複数種類の特性X線を同時に得る
ことを可能としたX線管用対陰極に関する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、X線管は加熱された陰極
から出る電子ビームを加速して対陰極に衝突させること
により、対陰極表面からX線を放射する装置である。こ
こで、放射される特性X線は、対陰極表面の材質によっ
て決まる。したがって、X線回折装置に使用するX線管
にあっては、検査対象となる試料や測定環境に応じ好適
な特性X線が得られるように、各種の材質からなる対陰
極が用意されている。
【0003】特に、大容量のX線が得られる回転対陰極
X線管では、Cu,Co,Fe,Cr,Mo,W等の各
種材料で表面を形成した各種の回転対陰極が用意されて
おり、試料や測定環境に応じてこの回転対陰極を交換で
きるようになっていた。しかし、X線管の内部は放電防
止のために真空状態とする必要があり、したがって従来
の交換式回転対陰極では、交換の度にX線管内部を真空
びきしなければならないという煩雑さがあった。
【0004】そこで、このような煩雑な真空びき作業を
解消するために、本願出願人は、既に実開平1−861
56号公報(先行例1)及び特開昭 62-186449号公報(先
行例2)に開示したような回転対陰極X線管を提案してい
る。
【0005】先行例1に示された回転対陰極X線管を図
3にもとづき概説すると、回転対陰極20の表面を中央
線20aで二つに分け、両表面21,22を異種の材料
で形成するとともに、各表面と対向する位置に電子ビー
ムを放出する電子銃23,24をそれぞれ設置してあ
る。そして、試料又は測定環境に応じて回転対陰極20
の一方の表面21又は22を選択し、その選択した表面
に対向する電子銃23又は24から電子ビームを放出し
て、同表面から所望の特性X線が得られるようになって
いた。
【0006】また、先行例2に示された回転対陰極X線
管は、図4に示すように、回転対陰極30の表面を周方
向に多分割し、各区画31,32を交互に異種の材料で
形成した構成となっている。この回転対陰極X線管によ
れば、高速回転する回転対陰極30に対し、電子銃33
から放出した電子ビームを衝突させると、パルス状に各
材料特有の特性X線が放射される。そこで、切換器等を
用いて所望の特性X線のみ取り出すことで、試料又は測
定環境に応じた特性X線が得られるようになっていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の技術に
は、次のような問題があった。すなわち、先行例1に示
された回転対陰極X線管では、回転対陰極の分割された
表面に対向して二つの電子銃が必要となるため、製品コ
ストが高価格となるばかりか、構造が複雑で、しかも大
形となる欠点を有していた。電子銃を一つとして、各表
面に対向できるよう移動式にすることも考えられるが、
その場合にも電子銃の移動機構が必要となるため、製品
コスト面及び構造面で上記欠点を解消することはできな
い。
【0008】また、先行例2に示された回転対陰極X線
管では、所望の特性X線はパルス状に放出されるため、
一定強度の特性X線を連続的に得ることができなかっ
た。したがって、X線回折装置において回折X線の放射
角度を検出するゴニオメータとの同期をとるために複雑
な同期回路が必要で、製品コストが高価格となり、しか
も操作が煩雑化するという欠点を有していた。
【0009】本発明は上述したような従来技術の欠点を
解消するためになされたもので、簡易な構造で異種の特
性X線を同時に一定の強度で放射することのできるX線
管用対陰極の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、陰極から放出した電子ビームを表面に衝
突させることにより、材質に応じた特性X線を前記表面
から放射するX線管用対陰極において、少なくとも前記
特性X線を放射する表面部分を、任意の複数種類の材料
からなる合金で形成したことを特徴としている。
【0011】
【作用】本発明のX線管用対陰極では、表面部分の合金
に含まれる各種材料に応じた特性X線が、その表面部分
から同時に放射される。したがって、モノクロメータ等
を用いて、同時に放射された異種特性X線のうち所望の
特性X線のみを取り出すことにより、試料や測定環境に
応じた特性X線を得ることができる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。図1は、本発明の実施例に係るX線管用
対陰極の正面断面図である。図面において、1は円筒状
の周壁1aを備えた対陰極本体である。この対陰極本体
1は、冷却効率の良好な材料、例えばCuで形成されて
いる。この対陰極本体1における周壁1aの表面には、
合金リング2が接合してある。
【0013】合金リング2は、任意の複数材料を溶融
し、所定の比率で混合したものを鋳型に流し込むことで
容易に製造することができる。ここで、混合する複数の
材料は、電子ビームの衝突により特有の特性X線を放射
する各種材料を必要に応じて選択する。選択できる材料
の種類は二種類に限定されず、三種類以上であってもよ
い。また、混合比率は均等が望ましいが、選択する材料
によっては均等比率で混合できない場合もある。その場
合には、混合可能な比率で合金リング2を製造すること
になる。例えば、MoとCrは全率固容体のため、均等
の比率で合金を製造することができる。
【0014】一般に、対陰極材料として用いられる物質
としては、Cu,Co,Fe,Cr,Mo,W等があ
る。このうちCo,Fe,Crは鉄系試料のX線回折測
定に適した特性X線を放射する。また、Cuは鉄系試料
を除く一般的な無機物質及び有機物質のX線回折測定に
適した特性X線を放射する。Moは鉄鋼試料及び透過法
で吸収係数の大きな試料の測定に適した特性X線を放射
し、Wは単結晶によるラウエ写真測定に適した特性X線
を放射する。したがって、これらの材料のうち必要に応
じて複数の材料を選択して合金リング2を製造すればよ
い。
【0015】図2は上述した対陰極を回転対陰極X線管
に適用した例を示す一部断面正面図である。対陰極10
は、対陰極本体1及び合金リング2からなり、対陰極本
体1を回転駆動軸11に連結して、管壁12の内部に配
置されている。回転駆動軸11は、図示しない駆動モー
タから駆動ベルト13を介して回転駆動力を受け、対陰
極本体1を高速回転させる。なお、対陰極本体1の内壁
部分には、水冷構造が付設されており、上述した高速回
転動作と相まって対陰極本体1を冷却する。管壁12の
内部において、合金リング2と対向する所定の位置に
は、電子ビームを放出する電子銃14が設置してある。
また管壁12の内部は、放電防止のために真空となって
いる。
【0016】上述した構成の回転陰極X線管では、電子
銃14から放出された電子ビームが対陰極10の合金リ
ング2に衝突した際、合金リング2を構成する各材料に
特有の特性X線が放射される。したがって、X線回折装
置に使用するときは、合金リング2と試料との間、又は
試料と検出器との間にモノクロメータ等のX線選別器を
設けておけば、特定の特性X線のみによる測定データを
得ることができる。また、同時に二種以上の特性X線を
試料に放射して、複数の波長による強度ピークの測定デ
ータを得ることも可能である。このように、本実施例の
対陰極を用いれば、同時に複数の特性X線が放射される
ので、試料又は測定環境の変更に際しても対陰極の交換
を必要とせず、煩雑な真空びき作業を解消することがで
きる。
【0017】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で、種々
の変形又は応用が可能である。例えば、対陰極の表面部
分に形成する合金は、上記実施例のような合金リングに
限らず、イオンプレーティング等の合金表面処理によっ
て形成してもよく、また、対陰極本体自体を合金で形成
してもよい。さらに、本発明の対陰極の適用対象となる
X線管としては、回転陰極X線管に限らず、固定陰極X
線管であってもよい。すなわち、本発明は回転対陰極に
限らず、固定対陰極としても構成することができる。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のX線管用
対陰極によれば、特性X線を放射する表面部分が複数種
類の材料で形成した合金で構成されているので、それら
各材料に特有な異種の特性X線を同時に一定の強度で放
射でき、その結果、X線回折測定における試料や測定環
境の変更に伴うX線管内の真空引き作業が解消できる。
しかも、本発明の対陰極を使用することで、X線管の構
造が簡易となり、製品コストの低価格化及び操作性の向
上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例に係るX線管用対陰極の正面
断図である。
【図2】 同X線管用対陰極を回転陰極X線管に適用し
た例を示す一部断面正面図である。
【図3】 従来の回転対陰極線管を示す一部断面正面図
である。
【図4】 従来の他の回転対陰極線管を示す一部断面正
面図である。
【符号の説明】
1 対陰極本体 2 合金リング 11 回転駆動軸 12 管壁 13 駆動ベルト 14 電子銃

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陰極から放出した電子ビームを表面に衝
    突させることにより、材質に応じた特性X線を前記表面
    から放射するX線管用対陰極において、少なくとも前記
    特性X線を放射する表面部分を、任意の複数種類の材料
    からなる合金で形成したことを特徴とするX線管用対陰
    極。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004511884A (ja) * 2000-10-06 2004-04-15 ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ − チャペル ヒル 電子電界放出カソードを使用するx線発生機構
JP2008016339A (ja) * 2006-07-06 2008-01-24 Toshiba Corp X線源および蛍光x線分析装置
DE102011078357A1 (de) 2010-06-29 2011-12-29 Rigaku Corp. Vorrichtung für eine Röntgenstrahlanalyse mit klassifizierten Wellenlängen
JP2012138248A (ja) * 2010-12-27 2012-07-19 Futaba Corp 光殺菌装置および紫外線エックス線発生装置
JP2012520543A (ja) * 2009-03-12 2012-09-06 シーエックスアール リミテッド X線スキャナ及びx線スキャナ用x線源
US9442082B2 (en) 2003-04-25 2016-09-13 Rapiscan Systems, Inc. X-ray inspection system and method
US9618648B2 (en) 2003-04-25 2017-04-11 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners
US9638646B2 (en) 2005-12-16 2017-05-02 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners and X-ray sources therefor
US9675306B2 (en) 2003-04-25 2017-06-13 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanning system
US10295483B2 (en) 2005-12-16 2019-05-21 Rapiscan Systems, Inc. Data collection, processing and storage systems for X-ray tomographic images
US10591424B2 (en) 2003-04-25 2020-03-17 Rapiscan Systems, Inc. X-ray tomographic inspection systems for the identification of specific target items

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004511884A (ja) * 2000-10-06 2004-04-15 ザ ユニバーシティ オブ ノース カロライナ − チャペル ヒル 電子電界放出カソードを使用するx線発生機構
US10175381B2 (en) 2003-04-25 2019-01-08 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners having source points with less than a predefined variation in brightness
US10591424B2 (en) 2003-04-25 2020-03-17 Rapiscan Systems, Inc. X-ray tomographic inspection systems for the identification of specific target items
US9618648B2 (en) 2003-04-25 2017-04-11 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners
US11796711B2 (en) 2003-04-25 2023-10-24 Rapiscan Systems, Inc. Modular CT scanning system
US9675306B2 (en) 2003-04-25 2017-06-13 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanning system
US10901112B2 (en) 2003-04-25 2021-01-26 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanning system with stationary x-ray sources
US9442082B2 (en) 2003-04-25 2016-09-13 Rapiscan Systems, Inc. X-ray inspection system and method
US9638646B2 (en) 2005-12-16 2017-05-02 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners and X-ray sources therefor
US10976271B2 (en) 2005-12-16 2021-04-13 Rapiscan Systems, Inc. Stationary tomographic X-ray imaging systems for automatically sorting objects based on generated tomographic images
US10295483B2 (en) 2005-12-16 2019-05-21 Rapiscan Systems, Inc. Data collection, processing and storage systems for X-ray tomographic images
JP2008016339A (ja) * 2006-07-06 2008-01-24 Toshiba Corp X線源および蛍光x線分析装置
JP2012520543A (ja) * 2009-03-12 2012-09-06 シーエックスアール リミテッド X線スキャナ及びx線スキャナ用x線源
GB2479701B (en) * 2009-03-12 2015-12-09 Cxr Ltd X-ray scanners and X-ray sources therefor
US8699665B2 (en) 2010-06-29 2014-04-15 Rigaku Corporation Wavelength-classifying type X-ray diffraction device
US8300767B1 (en) 2010-06-29 2012-10-30 Rigaku Corporation Wavelength-classifying type X-ray diffraction device
DE102011078357A1 (de) 2010-06-29 2011-12-29 Rigaku Corp. Vorrichtung für eine Röntgenstrahlanalyse mit klassifizierten Wellenlängen
JP2012138248A (ja) * 2010-12-27 2012-07-19 Futaba Corp 光殺菌装置および紫外線エックス線発生装置

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