JPH0530314B2 - - Google Patents
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- JPH0530314B2 JPH0530314B2 JP62503328A JP50332887A JPH0530314B2 JP H0530314 B2 JPH0530314 B2 JP H0530314B2 JP 62503328 A JP62503328 A JP 62503328A JP 50332887 A JP50332887 A JP 50332887A JP H0530314 B2 JPH0530314 B2 JP H0530314B2
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Description
１ 発明の分野
本発明は、一般的にＱスイツチレーザ共振器に
関係し、特にＱスイツチレーザ共振器及びレーザ
ロツド、染料含浸シート、またはＱスイツチ、及
び出力カプラーが、配列され、一体構造を有する
レーザ共振器に順次共に結合されるＱスイツチレ
ーザ共振器製造方法に関する。 ２ 先行技術の説明 周知のＱスイツチレーザ共振器は、基本的に
は、レーザロツド、Ｑスイツチデバイス及び出力
カプラー並びに高反射率ミラーによつて構成さ
れ、これらは、各々光学台に堅固にに取付けら
れ、光学台は、互いに相対的配列で構成体を支持
する。基本的には、１以上の構成体は、レーザ光
を放射するに必要な適正な配列を得るために、組
立て後に共振器を整列するために必要とするよう
に再配置できるように取付けられる。 理解されているように、そのような方法で組立
てられたＱスイツチレーザ共振器は、いくつかの
固有の欠点を有する。ある欠点は、そのような共
振器が、堅牢な光学台に個々に取付けられる各々
の構成成分による振動に鋭敏であることである。
他の欠点、そのような振動感度から起因して、頻
繁に再調整が必要であること、レーザの保守及び
運転コストが増加することである。さらの欠点
は、光学台が、サイズ、重量、レーザ共振器の複
雑さを増すことであり、そのためそのような構成
のレーザ共振器をコンパクト、低コスト及び振動
に非感応設計を有するＱスイツチレーザ共振器を
必要とする応用にうまく適さなくする。 発明の要約 発明の目的は、周知のＱスイツチレーザ共振器
において、上記及び他の欠点を、克服することで
ある。 発明の他の目的は、構成部分が共に堅固に結合
され、支持光学台を必要としなくなる一体的一固
体構造を有するＱスイツチレーザ共振器を、提供
することにある。 発明のさらに他の目的は、配列を一度だけ必要
とするＱスイツチレーザ共振器を、提供すること
にあり、この配列は、組立て中及び構成部分が、
共に結合される以前に完了され、それによつて、
レーザの構成部分の初期配列を永久に維持する。 発明のさらにその上の目的は、一体Ｑスイツチ
レーザ共振器の配列及び組立の方法を提供するこ
とである。 発明の１実施例に従つて、Ｑスイツチレーザ共
振器は、レーザロツド、染料含浸アセテートシー
トの形態を有するＱスイツチデバイス及び光学カ
プラーによつて構成され、これらは、配列取付け
具内で互いに相対配列される。配列後に、構成体
は、透明接着剤によつて一体構造に共に接合さ
れ、それにより構成体の配列を永久に維持する。
組立後に、レーザ共振器は、取付け具から取外さ
れ、除去できる接着剤が除かれる。密閉材が構成
部分を密閉し、またなおさらに組立品に構造上の
強度を与えるために後に使用される。 発明を特徴付ける新規の種々の特徴は、明細書
に添附され、明細書の一部を形成するクレームに
おける特徴によつて指摘されている。この発明、
その動作利点及びその使用によつて達成した特定
物のよりよい理解のためにこの発明の好ましい実
施例が図示され、説明された添附図面及び説明書
を参照されるべきである。
関係し、特にＱスイツチレーザ共振器及びレーザ
ロツド、染料含浸シート、またはＱスイツチ、及
び出力カプラーが、配列され、一体構造を有する
レーザ共振器に順次共に結合されるＱスイツチレ
ーザ共振器製造方法に関する。 ２ 先行技術の説明 周知のＱスイツチレーザ共振器は、基本的に
は、レーザロツド、Ｑスイツチデバイス及び出力
カプラー並びに高反射率ミラーによつて構成さ
れ、これらは、各々光学台に堅固にに取付けら
れ、光学台は、互いに相対的配列で構成体を支持
する。基本的には、１以上の構成体は、レーザ光
を放射するに必要な適正な配列を得るために、組
立て後に共振器を整列するために必要とするよう
に再配置できるように取付けられる。 理解されているように、そのような方法で組立
てられたＱスイツチレーザ共振器は、いくつかの
固有の欠点を有する。ある欠点は、そのような共
振器が、堅牢な光学台に個々に取付けられる各々
の構成成分による振動に鋭敏であることである。
他の欠点、そのような振動感度から起因して、頻
繁に再調整が必要であること、レーザの保守及び
運転コストが増加することである。さらの欠点
は、光学台が、サイズ、重量、レーザ共振器の複
雑さを増すことであり、そのためそのような構成
のレーザ共振器をコンパクト、低コスト及び振動
に非感応設計を有するＱスイツチレーザ共振器を
必要とする応用にうまく適さなくする。 発明の要約 発明の目的は、周知のＱスイツチレーザ共振器
において、上記及び他の欠点を、克服することで
ある。 発明の他の目的は、構成部分が共に堅固に結合
され、支持光学台を必要としなくなる一体的一固
体構造を有するＱスイツチレーザ共振器を、提供
することにある。 発明のさらに他の目的は、配列を一度だけ必要
とするＱスイツチレーザ共振器を、提供すること
にあり、この配列は、組立て中及び構成部分が、
共に結合される以前に完了され、それによつて、
レーザの構成部分の初期配列を永久に維持する。 発明のさらにその上の目的は、一体Ｑスイツチ
レーザ共振器の配列及び組立の方法を提供するこ
とである。 発明の１実施例に従つて、Ｑスイツチレーザ共
振器は、レーザロツド、染料含浸アセテートシー
トの形態を有するＱスイツチデバイス及び光学カ
プラーによつて構成され、これらは、配列取付け
具内で互いに相対配列される。配列後に、構成体
は、透明接着剤によつて一体構造に共に接合さ
れ、それにより構成体の配列を永久に維持する。
組立後に、レーザ共振器は、取付け具から取外さ
れ、除去できる接着剤が除かれる。密閉材が構成
部分を密閉し、またなおさらに組立品に構造上の
強度を与えるために後に使用される。 発明を特徴付ける新規の種々の特徴は、明細書
に添附され、明細書の一部を形成するクレームに
おける特徴によつて指摘されている。この発明、
その動作利点及びその使用によつて達成した特定
物のよりよい理解のためにこの発明の好ましい実
施例が図示され、説明された添附図面及び説明書
を参照されるべきである。
図１は、発明に従つて組立てられる平二重凹型
の外形を有する一体Ｑ型スイツチレーザ共振器の
断面図である。 図２は、発明に従つてまた組立てられる平面凹
凸型外形を有する一体Ｑ型スイツチレーザ共振器
の断面図である。 図３ａは、発明の方法を実現するために利用さ
れる配列、組立取付け具及び他の機構を示す断面
図である。 図３ｂは、図３ａの配列組立取付け具の平面図
である 図４は、発明の一体Ｑ型スイツチレーザ共振器
を使用するレーザシステムの断面図である。
の外形を有する一体Ｑ型スイツチレーザ共振器の
断面図である。 図２は、発明に従つてまた組立てられる平面凹
凸型外形を有する一体Ｑ型スイツチレーザ共振器
の断面図である。 図３ａは、発明の方法を実現するために利用さ
れる配列、組立取付け具及び他の機構を示す断面
図である。 図３ｂは、図３ａの配列組立取付け具の平面図
である 図４は、発明の一体Ｑ型スイツチレーザ共振器
を使用するレーザシステムの断面図である。
図１は、発明に従つて組立てられ一体構造を有
する平二重凹状Ｑ型スイツチレーザ共振器の組立
て品１０を示す。基本的には、組立て品１０は、
レーザロツド１２、染料含浸アセテートシート１
４の形態を有するＱスイツチデバイス、及び通過
するコヒーレントレーザ放射のパルスビーム１８
を平行にするための出力光学カプラー１６によつ
て構成される。発明に従つてシート１４は、ロツ
ド１２の端面に結合した面、及びカプラー１６に
結合した対向面を有し、各面は、実質的に透明な
接着剤２０の薄い層によつて結合される。理解さ
れるように、接着剤２０は、ロツド１２、シート
１４、及びカプラー１６をともに、一体的堅牢な
組立て品１０に接合する。密閉物質層２２が、組
立て品１０の外面、さらに詳しくは、接着剤２０
を含む組立て品のその部分を覆つている。物質２
２は、下部接着剤２０を周囲の汚染から密閉し、
更に組立て品１０に構造上の強度を与える。 より詳細に、組立て品１０の構成部分を考慮す
れば、レーザロツド１２は、光学的に平面にされ
た対向端面を有する実質上円筒形状を有すること
は、知ることができる。即ち、ロツド１２中心線
は、各端面に垂直である。長さに関してロツド１
２の半径は、公式、即ち、半径＝長さ／（１−
ｇ）によつて求められ、ｇは、技術的に良く知ら
れるように曲率の幾何学的な外形に関係した定数
である。理解されるように、ロツド１２の長さ
は、１つの実施例からある出願の特定要求に依存
する他の実施例に変更してもよく、それによつて
半径を比例的に変えさせる。ロツド１２は、基本
的には、ネオジウム、イツトリウムアルミニユウ
ムガーネツト（Nd：YAG）のような高利得レー
ザ光発生物質で構成されるが、他の同様のレーザ
光発生物質を使用しても良い。レーザ放射のパル
スビーム１８が通過存在する端面に対向するロツ
ド１２の端面は、高反射コーテイング２４によつ
てコートされる。コーテイング２４は、95％より
大きな反射率を基本的に有する。コーテイング２
４に対向するロツド１２の端面は、反射防止膜２
６でコートされてもよく、このコーテイング２６
は、放射エネルギーの99.9％以上をコーテイング
で通過させロツド１２から出力させる。上述した
ようにそのようなレーザロツド端面コーテイング
の使用及び応用の方法は、技術においてよく知ら
れている。発明の好適な実施例において、染料シ
ート１４は、Bis（４−ジメチルアミノジチオベ
ンゼン）、ニツケル（BDN）として知られるイー
ストマンコダツク社で製造されるタイプのような
有機染料で含浸したセルロースアセテートフイル
ムで形成され、この染料は所定の波長範囲に対し
てあるエネルギーレベル以下の電磁放射エネルギ
ーに対して実質的に透過であり、前記エネルギー
レベルを越える放射エネルギーに対して実質的に
不透過である特性を有する。今後、染料シート１
４は、減衰するよう、即ちコーテイング２４と２
８間のレーザ振動を減少するように作用し、それ
によつて高レベル反転がロツド１２において達成
されるまでロツド１２がレーザ発生することを防
止する。達成された反転レベルは、代表的には、
染料シートが存在しないときにロツド１２内に、
レーザ発生作用を生じるために通常必要とされる
レベルよりも大きい。ロツド１２の内の高レベル
エネルギ蓄積によつて特徴づけられたある反転ス
レツシユホールドレベル値にて、シート１４は、
速く透明、即ち漂白となり、それによつてＱ即ち
蓄積エネルギーとロツド１２内のエネルギーの分
散率との関係を素早く増加する。ロツド１２のＱ
の速い増加は、ロツド１２から高出力、短期間パ
ルスのコヒーレントなレーザ放射を発生すること
になり、パルスは、現に実質的に透明な染料シー
ト１４を通過する。そのようなパルスは、一般的
にジヤイアントパルス呼ばれる。理解できるよう
に、染料シート１４は、スイツチ、特にＱスイツ
チであると考えてもよい。この発明の好ましい実
施例のＱスイツチは、ここでは染料シート１４の
形態であるとして記述されているが、多種の適切
なタイプは、電子光学スイツチ、音響光学スイツ
チ、及びウラニウムドープガラスのような“ガラ
ス”スイツチのような種々のタイプが使用できる
ことが実現されるべきである。 組立品１０の第３構成体はカプラー１６であ
り、このカプラーは、この発明の実施例におい
て、ロツド１２から出力し、シート１４を通過す
る放射パルスに対して部分的に反射性を有する。
カプラー１６は適正なコーテング２８をカプラー
１６の内部凹面に付与することによつて部分的に
反射性を作り、この部分反射面はロツド１２のレ
イジングを維持するに必要なエネルギフイードバ
ツク量を与える。内部凹面は、また染料シート１
４の構造的支持体として機能する。更に、この内
面はこの技術において周知のように凹曲率を与え
る。この凹曲率は共振器空洞の全体の安定性を決
定し、空洞はロツド１２及び囲繞構造体（第１図
に示されない）により構成される。カプラー１６
の外部凸面はこの面がパルスビーム１８に対して
実質的に透過となるように非反射コーテング３０
によつて適正に被覆される。更に、この外部凸面
はパルスビーム１８の分散の球状成分を補正する
曲率を有し、これによりこの分散を理想的平面平
面値に修正する。 カプラー１６は適正な光学物質により構成さ
れ、この特定物質は意図するレーザパルス繰返し
率及び他の適用特定パラメータに応じて選ばれ
る。 この発明の目的によると、ロツド１２、シート
１４及びカプラー１６は一体構造のＱスイツチレ
ーザ共振器を形成するために上述した実質的に透
明な接着剤によつて共に接合される。接着剤２０
は劣化なくレーザ放射高電力パルスに耐えること
のできるように特徴づけられ、ハルテルインダス
トリー（Hartel Industries）によつて製造され
るタイプである。更に、接着剤２０はコーテング
２６の光学指数をシート１４のそれに整合し、か
つまたシート１４の光学指数をコーテング２８の
それに整合するために設けられ、それにより染料
シート１４の一般的に、固有に微弱な光学表面品
質を補正する。 先に論じてきたようにより大きな構造的強度を
組立品１０に与えるために密閉物質層２２が接着
剤２０によつて形成される接着剤接合部を覆う組
立品１０の外部表面の一部に付加される。より大
きな強度を得るために更に、物質２２は、また接
着剤２０及び染料シート１４のためのシールとし
て寄与し、それによつて周辺の汚染物の浸入を防
止する。物質２２は任意の適正なタイプであつて
もよく、１つのそのようなタイプはアームストロ
ングコーポレシヨン（Armstrong Corporation）
によつて製造され、Ａ−12として知られている。 第２図を参照すると、一体Ｑスイツチレーザ共
振器組立品１０の第２のタイプが示され、この発
明に従つて構成される。組立品４０は平凸凹タイ
プの構造であり、パルスビーム４８はロツド４２
の端面から出力し、他面は組立品４０の安定性を
増加するように計算される半径を有する。更に、
組立品４０は形状及び機能において第１図の染料
シート１４に類似している染料シート４４により
構成される。反射カプラー４６はシート４４に近
接して設けられる表面を有し、この表面は凹曲率
を有する。カプラー４０の対向面６０は平面であ
り、組立品４０の中心線に垂直である。 ロツド４２、シート４４及びカプラー４６はこ
の発明に従つて第１図の実施例に開示されていた
ものと同様な薄い接着剤層５０によつて共に接合
される。密閉物質コーテング５２はシート４４に
近接して組立品４０の外部表面の一部に形成さ
れ、下部シート４４及び接着剤５０を密閉し、か
つまたより大きな構造強度を与える。 パルスビーム４８を出力するロツド４２の端面
は非反射コーテング層５４によつて被覆され、こ
れに対して接着剤５０に近接する平端面は接着剤
５０の層の光学指数を整合するために光学指数整
合コーテング５６によつて処理される。反射体４
６の凹面は高反射コーテング５８の層によつて被
覆され、これに対してコーテイング５８に対向す
る平面６０は未処理とされても、つや消しにされ
ても、または組立品４０内の放射部が放射の通過
を抽出できるように部分的に未処理されてもよ
い。 組立品４０の動作は第１図の組立品１０のそれ
と類似しており、即ち通常よりも大きいエネルギ
蓄積度がロツド４２内で達成され、このときシー
ト４４が実質的に透明となり、それによつてコヒ
ーレントなレーザ放射パルスをロツド４２から出
力させ、シート４４を通過させるまで、染料シー
ト４４はロツド４２のレイジングを防止する。発
明のこの実施例においては、レーザ放射パルスは
カプラー４６の反射凹面から反射し、シート４４
及びロツド４２をもう一度通過し、密の放射パル
スビーム４８として出射される。 Ｑスイツチ及びカプラーが放射エネルギを通過
出力する端面に対向するレーザロツドの端面に設
けられているＱスイツチレーザ共振器は、代表的
には、レーザビームの出力電力がＱスイツチ物質
またはカプラーの構造上の維持に不利益に影響す
るに十分であるような応用分野に採用される。し
かしながら、実際には、両タイプのＱスイツチレ
ーザ共振器、即ち第１図および第２図に示される
共振器の動作の原理は同じである。更に、従来よ
く知られているように多種多様の構造のＱスイツ
チレーザ共振器が存在し、これらの多様性は、例
えばコーナ反射タイプまたは平面平面タイプのよ
うに利用される出力カプラーまたは反射カプラー
のタイプにおいて一方と他方とは異なる。しかし
ながら、Ｑスイツチレーザ共振器の多様タイプの
各々は発明の方法によつて一体形態の構成に修正
でき、それによつて上述したようにそこから引出
される多くの利点を受けることになることは評価
されるべきである。 第３ａ図及び第３ｂ図に示されるように、配列
組立て取付具７０は一般的にはアルミニユウムに
より形成され、中央に配設されるチヤンネル７２
を備え、チヤンネルはレーザ組立品７３の組立て
中にレーザ組立品７３をこじんまりと含む円筒形
状を呈している。組立品７３はレーザロツド７
４、染料シート７６の形態でのＱスイツチデバイ
ス、及び光学カプラー７８により構成される。取
付具７０の外部表面を介して形成される複数のサ
イドチヤンネル８０はチヤンネル７２と垂直に連
通しており、サイドチヤンネル８０の各々はロツ
ド保持構造体８０が自由に通過し、チヤンネル内
に挿通されるように実質的に矩形形状の外部開口
を有する。実際には、複数の開口８０の１つだけ
が任意の時に支持体８０を含み、支持体８０を含
むどの開口８０が選択されるかはロツド７４の長
さによつて決定される。それ故に、長さの変わる
多数のロツドは簡単でかつコスト的に有効な方法
で取付具７０によつて適応されてもよい。支持体
８２は代表的なマイクロスコープスライドの形状
によく似た、実質的に矩形表面形状及び薄い矩形
断面形状を有する。室７２の直径よりも大きな直
径を有する第２円筒室８４が上部に設けられ、室
７２と連通している。室８４は整列ヘツド８６が
その中に導かれるように設けられる。ヘツド８６
は代表的にはアルミニウムで構成され、ヘツドを
貫通する中央配設孔８８を有する円筒形状を呈し
ている。孔８８はカプラー７８の端部を収納する
ため径の大きい円筒棚８９にて終端している。第
３ａ図に見られるように、室７２は支持体８２の
厚み及び組立品７３の全体長と関連してカプラー
７８は室８４内を上方に伸びており、棚８９内に
設置される。故に、ヘツド８６は下部カプラー７
８、染料シート７６、ロツド７４及び支持体８２
に載置され、保持される。組立品７３の適当な組
立て方法は次に説明する。適正にコートされた端
面を有するレーザロツド７４は最初に取付具７０
の室７２内に挿入される。取付具７０は光学台の
ような水平堅牢作業面９０に保持され、このとき
ロツド７４は作業面に垂直に配設され、ロツド７
４の中心線は水平作業面９０に直交する。粘着性
の堅さを有する接着剤の第１層９２がロツド７４
の上端面に付与され、この層９２は体表的には１
インチの１万分の１から千分の１の厚みを有す
る。それから、染料シート７６は層９２の上に位
置付けされ、シート７６の下方面はロツド７４の
上方面に実質的に並列に設けられる。粘着性接着
剤の第２層９４はシートの上面に付加され、この
第２層９４は第１層９２の厚みに匹敵する厚みを
有する。 次に、出力カプラー７８は接着剤層９４上に配
設される。最後に、ヘツド８６がカプラー７８の
上面上方に配置され、ヘツド７８の重量が下部カ
プラー７８及びシート７６をロツド７４の上端面
に下方に向かつて付勢するよう作用する。 接着剤層９２及び９４は付与されてから略２時
間以内に堅くなり非柔軟となるので、組立品の組
立て完了後直ぐに組立品７３を光学的に整列する
必要がある。光学整列は平面反射ミラー９８と関
連して周知の構成の干渉計を用いて行われる。周
知の干渉計は光学台のような作業面に対して実質
的に水平な面に設けられた時に使用されるように
設計されているのでミラー９８が必要とされる。
取付具７０は組立品７３を作業面９０に対して垂
直面に向けられているので、ミラー９８はこれが
水平配置の干渉計９６から放射される整列ビーム
１００を90度角で反射するように設けられる。そ
れゆえに、ビーム１００はカプラー７８の上面に
入射させられ、このビーム１００はヘツド８６に
設けられた孔を通過する。ビーム１００は組立品
７３を通過横切り、ロツド７４がコートされてい
れば、ロツド７４の反対端面の反射コーテングか
ら、または支持体８２の反射面から反射される。
反射後、ビーム１００は組立品７３を介して戻
り、再度ミラー９８によつて反射され、干渉計９
６に入射するように戻る。 この技術において周知のように干渉計９６の機
能は出力光ビームの波長の位相を戻り光ビーブの
それと比較することであり、それによつて複数の
同心干渉リングを形成する。この発明の方法にお
いて、リングは組立品７３の構成部材の整列度
（アライメント度）を示す。第３図に示すように
配列方法において、干渉計９６で観察される同心
干渉リングの中心がロツド７４の中心からロツド
７４の直径の約10％の距離に存在するとき、組立
品７３は適正に整列されることを考慮される。 この整列度を達成するために複数の小重り１０
２（その２つが第３ａ図に示される）ヘツド８６
の上面の種々の位置に配置されてもよい。各重り
１０２の目的はヘツド８６に下方の力を加えるた
めであり、その力は下部カプラー７８及びシート
７６に伝達される。 理解されるように、接着剤層９２及び９４が設
けられ、または硬化される前には、それらは粘着
状態にある。故に、シート７６及びカプラー７８
がこれら粘着性接着剤層９２および９４の上に
“浮いている”として見なされる。これらの構成
体に１以上の下方向力を加えることによつて、そ
れらの平面方位はロツド７４の端面に対して変化
されるかもしれない。故に、干渉計の操作者は干
渉リングのパターンを観察することによつて組立
品７３の整列が達成されるまで重り１０２の数及
び位置を調整する。適正な整列度が得られると、
接着剤層９２及び９４は乱されることのない固着
プロセスを完了させ、このときシート７６及びカ
プラー７８はロツド７６の近接端面に対して適正
な位置に堅牢に保持され、組立品７３の整列を確
実にする。接着剤の硬化期間が経過した後のいつ
か、組立品７３は取付具７０から取外され、接着
剤層９２及び９４を十分に硬化させるために代表
的には１週間、垂直位置に保持され、それによつ
て最大硬度を達成する。 この硬化期間後に、密閉物質の上述した層（第
３ａ図及び第３ｂ図には示されない）が付加さ
れ、それによつてＱスイツチレーザ組立品７３の
組立てを完了する。 層９２及び９４が組立品７３から出射される放
射光の光学路の一部を形成するかぎり、これらの
層の均一化が組立品７３の組立て中に重要な目標
である。理解されるように、取付具７０の垂直配
置がこの均一化の目標の達示に関して組立品７３
の組立てにおいていくつかの利点を与える。１つ
の利点は粘着状態にある接着剤層９２および９４
が重量によつて均一に作用されることである。故
に、各総９２及び９４の厚みは接着剤の各層上に
均一に作用する重量の水平化効果に関連してヘツ
ド８６の重量によつて加えられる下方向の力によ
り実質的に均一にされる。取付具７０の垂直配置
によつて得られる他の利点は毛細管作用による接
着層９２及び９４の均一拡散が容易であり、それ
によつてロツド７４、シート７６及びカプラー７
８の近接表面と共に層９２及び９４のマイクロコ
ンフオーマンス（microconformance）を確実に
する。 第４図を参照すると、この発明に従つて構成さ
れたＱスイツチレーザ共振器１１２及び励起放射
源を共振器１１２に与えるために共振器１１２に
近接して配設されたフラツシユランプ１１４が示
されている。共振器１１２及びフラツシユランプ
１１４は反射器空洞１１６に収納され、この空洞
１１６は放射光の実質的に全てが共振器１１２を
入射するようにフラツシユランプ１１４から放射
する放射光を反射する。空洞１１６は支持体１１
８によつて各端面で保持され、支持体１１８はレ
ーザ放射光のパルスビーム１２０を通過出力させ
るために形成された開口を更に有する。動作にお
いて、対の電極１２２は適正な電圧を印加するこ
とによつて付勢され、それによつてフラツシユラ
ンプ１１４内のガス（図示せず）をイオン化す
る。付勢電極はフラツシユランプ１１４によつて
放射される電磁放射の高密度曝射または閃光を生
じさせる。放射光の一部はレーザロツド１２２に
入射し、そこに吸収され、この間に反射空洞１１
６の壁に入射する放射光はロツド１２２に反射さ
れ、吸収される。ロツド１２２の物理的特性のた
めに、ロツド１２２は蛍光し始め、それによつて
フラツシユランプ１１４から吸収放射光を再放射
する。再放射光の一部は統計的に共振器１１２の
光学軸１２４と一致する方向に進行し、それによ
つて周知のメカニズムによつて共振器１１２のレ
イジングを初期化する。 理解されるように、この発明のユニツト化Ｑス
イツチレーザ共振器はシステム１１０内に使用さ
れた時に多くの利点を有する。１つの利点は従来
における支持光学台がシステム１１０内に含める
必要がなくなり、コンパクトかつ比較的簡単な構
成を有するシステムが達成されることである。更
に、システム１１０は震動及び機械的衝撃に感応
しなく、それによつて従来の共振器によつて構成
されるシステムにとつて不都合な環境において使
用できる。さらの利点はシステム１１０全体の組
立て及び保守のコストが減ぜられることである。 上記説明はこの発明の装置及び方法の好ましい
実施例を示しているが、種々の変更及び変形はこ
の発明の新の精神及び範囲から逸脱しないで成し
得ることはこの技術に精通するものにとつて明ら
かである。
する平二重凹状Ｑ型スイツチレーザ共振器の組立
て品１０を示す。基本的には、組立て品１０は、
レーザロツド１２、染料含浸アセテートシート１
４の形態を有するＱスイツチデバイス、及び通過
するコヒーレントレーザ放射のパルスビーム１８
を平行にするための出力光学カプラー１６によつ
て構成される。発明に従つてシート１４は、ロツ
ド１２の端面に結合した面、及びカプラー１６に
結合した対向面を有し、各面は、実質的に透明な
接着剤２０の薄い層によつて結合される。理解さ
れるように、接着剤２０は、ロツド１２、シート
１４、及びカプラー１６をともに、一体的堅牢な
組立て品１０に接合する。密閉物質層２２が、組
立て品１０の外面、さらに詳しくは、接着剤２０
を含む組立て品のその部分を覆つている。物質２
２は、下部接着剤２０を周囲の汚染から密閉し、
更に組立て品１０に構造上の強度を与える。 より詳細に、組立て品１０の構成部分を考慮す
れば、レーザロツド１２は、光学的に平面にされ
た対向端面を有する実質上円筒形状を有すること
は、知ることができる。即ち、ロツド１２中心線
は、各端面に垂直である。長さに関してロツド１
２の半径は、公式、即ち、半径＝長さ／（１−
ｇ）によつて求められ、ｇは、技術的に良く知ら
れるように曲率の幾何学的な外形に関係した定数
である。理解されるように、ロツド１２の長さ
は、１つの実施例からある出願の特定要求に依存
する他の実施例に変更してもよく、それによつて
半径を比例的に変えさせる。ロツド１２は、基本
的には、ネオジウム、イツトリウムアルミニユウ
ムガーネツト（Nd：YAG）のような高利得レー
ザ光発生物質で構成されるが、他の同様のレーザ
光発生物質を使用しても良い。レーザ放射のパル
スビーム１８が通過存在する端面に対向するロツ
ド１２の端面は、高反射コーテイング２４によつ
てコートされる。コーテイング２４は、95％より
大きな反射率を基本的に有する。コーテイング２
４に対向するロツド１２の端面は、反射防止膜２
６でコートされてもよく、このコーテイング２６
は、放射エネルギーの99.9％以上をコーテイング
で通過させロツド１２から出力させる。上述した
ようにそのようなレーザロツド端面コーテイング
の使用及び応用の方法は、技術においてよく知ら
れている。発明の好適な実施例において、染料シ
ート１４は、Bis（４−ジメチルアミノジチオベ
ンゼン）、ニツケル（BDN）として知られるイー
ストマンコダツク社で製造されるタイプのような
有機染料で含浸したセルロースアセテートフイル
ムで形成され、この染料は所定の波長範囲に対し
てあるエネルギーレベル以下の電磁放射エネルギ
ーに対して実質的に透過であり、前記エネルギー
レベルを越える放射エネルギーに対して実質的に
不透過である特性を有する。今後、染料シート１
４は、減衰するよう、即ちコーテイング２４と２
８間のレーザ振動を減少するように作用し、それ
によつて高レベル反転がロツド１２において達成
されるまでロツド１２がレーザ発生することを防
止する。達成された反転レベルは、代表的には、
染料シートが存在しないときにロツド１２内に、
レーザ発生作用を生じるために通常必要とされる
レベルよりも大きい。ロツド１２の内の高レベル
エネルギ蓄積によつて特徴づけられたある反転ス
レツシユホールドレベル値にて、シート１４は、
速く透明、即ち漂白となり、それによつてＱ即ち
蓄積エネルギーとロツド１２内のエネルギーの分
散率との関係を素早く増加する。ロツド１２のＱ
の速い増加は、ロツド１２から高出力、短期間パ
ルスのコヒーレントなレーザ放射を発生すること
になり、パルスは、現に実質的に透明な染料シー
ト１４を通過する。そのようなパルスは、一般的
にジヤイアントパルス呼ばれる。理解できるよう
に、染料シート１４は、スイツチ、特にＱスイツ
チであると考えてもよい。この発明の好ましい実
施例のＱスイツチは、ここでは染料シート１４の
形態であるとして記述されているが、多種の適切
なタイプは、電子光学スイツチ、音響光学スイツ
チ、及びウラニウムドープガラスのような“ガラ
ス”スイツチのような種々のタイプが使用できる
ことが実現されるべきである。 組立品１０の第３構成体はカプラー１６であ
り、このカプラーは、この発明の実施例におい
て、ロツド１２から出力し、シート１４を通過す
る放射パルスに対して部分的に反射性を有する。
カプラー１６は適正なコーテング２８をカプラー
１６の内部凹面に付与することによつて部分的に
反射性を作り、この部分反射面はロツド１２のレ
イジングを維持するに必要なエネルギフイードバ
ツク量を与える。内部凹面は、また染料シート１
４の構造的支持体として機能する。更に、この内
面はこの技術において周知のように凹曲率を与え
る。この凹曲率は共振器空洞の全体の安定性を決
定し、空洞はロツド１２及び囲繞構造体（第１図
に示されない）により構成される。カプラー１６
の外部凸面はこの面がパルスビーム１８に対して
実質的に透過となるように非反射コーテング３０
によつて適正に被覆される。更に、この外部凸面
はパルスビーム１８の分散の球状成分を補正する
曲率を有し、これによりこの分散を理想的平面平
面値に修正する。 カプラー１６は適正な光学物質により構成さ
れ、この特定物質は意図するレーザパルス繰返し
率及び他の適用特定パラメータに応じて選ばれ
る。 この発明の目的によると、ロツド１２、シート
１４及びカプラー１６は一体構造のＱスイツチレ
ーザ共振器を形成するために上述した実質的に透
明な接着剤によつて共に接合される。接着剤２０
は劣化なくレーザ放射高電力パルスに耐えること
のできるように特徴づけられ、ハルテルインダス
トリー（Hartel Industries）によつて製造され
るタイプである。更に、接着剤２０はコーテング
２６の光学指数をシート１４のそれに整合し、か
つまたシート１４の光学指数をコーテング２８の
それに整合するために設けられ、それにより染料
シート１４の一般的に、固有に微弱な光学表面品
質を補正する。 先に論じてきたようにより大きな構造的強度を
組立品１０に与えるために密閉物質層２２が接着
剤２０によつて形成される接着剤接合部を覆う組
立品１０の外部表面の一部に付加される。より大
きな強度を得るために更に、物質２２は、また接
着剤２０及び染料シート１４のためのシールとし
て寄与し、それによつて周辺の汚染物の浸入を防
止する。物質２２は任意の適正なタイプであつて
もよく、１つのそのようなタイプはアームストロ
ングコーポレシヨン（Armstrong Corporation）
によつて製造され、Ａ−12として知られている。 第２図を参照すると、一体Ｑスイツチレーザ共
振器組立品１０の第２のタイプが示され、この発
明に従つて構成される。組立品４０は平凸凹タイ
プの構造であり、パルスビーム４８はロツド４２
の端面から出力し、他面は組立品４０の安定性を
増加するように計算される半径を有する。更に、
組立品４０は形状及び機能において第１図の染料
シート１４に類似している染料シート４４により
構成される。反射カプラー４６はシート４４に近
接して設けられる表面を有し、この表面は凹曲率
を有する。カプラー４０の対向面６０は平面であ
り、組立品４０の中心線に垂直である。 ロツド４２、シート４４及びカプラー４６はこ
の発明に従つて第１図の実施例に開示されていた
ものと同様な薄い接着剤層５０によつて共に接合
される。密閉物質コーテング５２はシート４４に
近接して組立品４０の外部表面の一部に形成さ
れ、下部シート４４及び接着剤５０を密閉し、か
つまたより大きな構造強度を与える。 パルスビーム４８を出力するロツド４２の端面
は非反射コーテング層５４によつて被覆され、こ
れに対して接着剤５０に近接する平端面は接着剤
５０の層の光学指数を整合するために光学指数整
合コーテング５６によつて処理される。反射体４
６の凹面は高反射コーテング５８の層によつて被
覆され、これに対してコーテイング５８に対向す
る平面６０は未処理とされても、つや消しにされ
ても、または組立品４０内の放射部が放射の通過
を抽出できるように部分的に未処理されてもよ
い。 組立品４０の動作は第１図の組立品１０のそれ
と類似しており、即ち通常よりも大きいエネルギ
蓄積度がロツド４２内で達成され、このときシー
ト４４が実質的に透明となり、それによつてコヒ
ーレントなレーザ放射パルスをロツド４２から出
力させ、シート４４を通過させるまで、染料シー
ト４４はロツド４２のレイジングを防止する。発
明のこの実施例においては、レーザ放射パルスは
カプラー４６の反射凹面から反射し、シート４４
及びロツド４２をもう一度通過し、密の放射パル
スビーム４８として出射される。 Ｑスイツチ及びカプラーが放射エネルギを通過
出力する端面に対向するレーザロツドの端面に設
けられているＱスイツチレーザ共振器は、代表的
には、レーザビームの出力電力がＱスイツチ物質
またはカプラーの構造上の維持に不利益に影響す
るに十分であるような応用分野に採用される。し
かしながら、実際には、両タイプのＱスイツチレ
ーザ共振器、即ち第１図および第２図に示される
共振器の動作の原理は同じである。更に、従来よ
く知られているように多種多様の構造のＱスイツ
チレーザ共振器が存在し、これらの多様性は、例
えばコーナ反射タイプまたは平面平面タイプのよ
うに利用される出力カプラーまたは反射カプラー
のタイプにおいて一方と他方とは異なる。しかし
ながら、Ｑスイツチレーザ共振器の多様タイプの
各々は発明の方法によつて一体形態の構成に修正
でき、それによつて上述したようにそこから引出
される多くの利点を受けることになることは評価
されるべきである。 第３ａ図及び第３ｂ図に示されるように、配列
組立て取付具７０は一般的にはアルミニユウムに
より形成され、中央に配設されるチヤンネル７２
を備え、チヤンネルはレーザ組立品７３の組立て
中にレーザ組立品７３をこじんまりと含む円筒形
状を呈している。組立品７３はレーザロツド７
４、染料シート７６の形態でのＱスイツチデバイ
ス、及び光学カプラー７８により構成される。取
付具７０の外部表面を介して形成される複数のサ
イドチヤンネル８０はチヤンネル７２と垂直に連
通しており、サイドチヤンネル８０の各々はロツ
ド保持構造体８０が自由に通過し、チヤンネル内
に挿通されるように実質的に矩形形状の外部開口
を有する。実際には、複数の開口８０の１つだけ
が任意の時に支持体８０を含み、支持体８０を含
むどの開口８０が選択されるかはロツド７４の長
さによつて決定される。それ故に、長さの変わる
多数のロツドは簡単でかつコスト的に有効な方法
で取付具７０によつて適応されてもよい。支持体
８２は代表的なマイクロスコープスライドの形状
によく似た、実質的に矩形表面形状及び薄い矩形
断面形状を有する。室７２の直径よりも大きな直
径を有する第２円筒室８４が上部に設けられ、室
７２と連通している。室８４は整列ヘツド８６が
その中に導かれるように設けられる。ヘツド８６
は代表的にはアルミニウムで構成され、ヘツドを
貫通する中央配設孔８８を有する円筒形状を呈し
ている。孔８８はカプラー７８の端部を収納する
ため径の大きい円筒棚８９にて終端している。第
３ａ図に見られるように、室７２は支持体８２の
厚み及び組立品７３の全体長と関連してカプラー
７８は室８４内を上方に伸びており、棚８９内に
設置される。故に、ヘツド８６は下部カプラー７
８、染料シート７６、ロツド７４及び支持体８２
に載置され、保持される。組立品７３の適当な組
立て方法は次に説明する。適正にコートされた端
面を有するレーザロツド７４は最初に取付具７０
の室７２内に挿入される。取付具７０は光学台の
ような水平堅牢作業面９０に保持され、このとき
ロツド７４は作業面に垂直に配設され、ロツド７
４の中心線は水平作業面９０に直交する。粘着性
の堅さを有する接着剤の第１層９２がロツド７４
の上端面に付与され、この層９２は体表的には１
インチの１万分の１から千分の１の厚みを有す
る。それから、染料シート７６は層９２の上に位
置付けされ、シート７６の下方面はロツド７４の
上方面に実質的に並列に設けられる。粘着性接着
剤の第２層９４はシートの上面に付加され、この
第２層９４は第１層９２の厚みに匹敵する厚みを
有する。 次に、出力カプラー７８は接着剤層９４上に配
設される。最後に、ヘツド８６がカプラー７８の
上面上方に配置され、ヘツド７８の重量が下部カ
プラー７８及びシート７６をロツド７４の上端面
に下方に向かつて付勢するよう作用する。 接着剤層９２及び９４は付与されてから略２時
間以内に堅くなり非柔軟となるので、組立品の組
立て完了後直ぐに組立品７３を光学的に整列する
必要がある。光学整列は平面反射ミラー９８と関
連して周知の構成の干渉計を用いて行われる。周
知の干渉計は光学台のような作業面に対して実質
的に水平な面に設けられた時に使用されるように
設計されているのでミラー９８が必要とされる。
取付具７０は組立品７３を作業面９０に対して垂
直面に向けられているので、ミラー９８はこれが
水平配置の干渉計９６から放射される整列ビーム
１００を90度角で反射するように設けられる。そ
れゆえに、ビーム１００はカプラー７８の上面に
入射させられ、このビーム１００はヘツド８６に
設けられた孔を通過する。ビーム１００は組立品
７３を通過横切り、ロツド７４がコートされてい
れば、ロツド７４の反対端面の反射コーテングか
ら、または支持体８２の反射面から反射される。
反射後、ビーム１００は組立品７３を介して戻
り、再度ミラー９８によつて反射され、干渉計９
６に入射するように戻る。 この技術において周知のように干渉計９６の機
能は出力光ビームの波長の位相を戻り光ビーブの
それと比較することであり、それによつて複数の
同心干渉リングを形成する。この発明の方法にお
いて、リングは組立品７３の構成部材の整列度
（アライメント度）を示す。第３図に示すように
配列方法において、干渉計９６で観察される同心
干渉リングの中心がロツド７４の中心からロツド
７４の直径の約10％の距離に存在するとき、組立
品７３は適正に整列されることを考慮される。 この整列度を達成するために複数の小重り１０
２（その２つが第３ａ図に示される）ヘツド８６
の上面の種々の位置に配置されてもよい。各重り
１０２の目的はヘツド８６に下方の力を加えるた
めであり、その力は下部カプラー７８及びシート
７６に伝達される。 理解されるように、接着剤層９２及び９４が設
けられ、または硬化される前には、それらは粘着
状態にある。故に、シート７６及びカプラー７８
がこれら粘着性接着剤層９２および９４の上に
“浮いている”として見なされる。これらの構成
体に１以上の下方向力を加えることによつて、そ
れらの平面方位はロツド７４の端面に対して変化
されるかもしれない。故に、干渉計の操作者は干
渉リングのパターンを観察することによつて組立
品７３の整列が達成されるまで重り１０２の数及
び位置を調整する。適正な整列度が得られると、
接着剤層９２及び９４は乱されることのない固着
プロセスを完了させ、このときシート７６及びカ
プラー７８はロツド７６の近接端面に対して適正
な位置に堅牢に保持され、組立品７３の整列を確
実にする。接着剤の硬化期間が経過した後のいつ
か、組立品７３は取付具７０から取外され、接着
剤層９２及び９４を十分に硬化させるために代表
的には１週間、垂直位置に保持され、それによつ
て最大硬度を達成する。 この硬化期間後に、密閉物質の上述した層（第
３ａ図及び第３ｂ図には示されない）が付加さ
れ、それによつてＱスイツチレーザ組立品７３の
組立てを完了する。 層９２及び９４が組立品７３から出射される放
射光の光学路の一部を形成するかぎり、これらの
層の均一化が組立品７３の組立て中に重要な目標
である。理解されるように、取付具７０の垂直配
置がこの均一化の目標の達示に関して組立品７３
の組立てにおいていくつかの利点を与える。１つ
の利点は粘着状態にある接着剤層９２および９４
が重量によつて均一に作用されることである。故
に、各総９２及び９４の厚みは接着剤の各層上に
均一に作用する重量の水平化効果に関連してヘツ
ド８６の重量によつて加えられる下方向の力によ
り実質的に均一にされる。取付具７０の垂直配置
によつて得られる他の利点は毛細管作用による接
着層９２及び９４の均一拡散が容易であり、それ
によつてロツド７４、シート７６及びカプラー７
８の近接表面と共に層９２及び９４のマイクロコ
ンフオーマンス（microconformance）を確実に
する。 第４図を参照すると、この発明に従つて構成さ
れたＱスイツチレーザ共振器１１２及び励起放射
源を共振器１１２に与えるために共振器１１２に
近接して配設されたフラツシユランプ１１４が示
されている。共振器１１２及びフラツシユランプ
１１４は反射器空洞１１６に収納され、この空洞
１１６は放射光の実質的に全てが共振器１１２を
入射するようにフラツシユランプ１１４から放射
する放射光を反射する。空洞１１６は支持体１１
８によつて各端面で保持され、支持体１１８はレ
ーザ放射光のパルスビーム１２０を通過出力させ
るために形成された開口を更に有する。動作にお
いて、対の電極１２２は適正な電圧を印加するこ
とによつて付勢され、それによつてフラツシユラ
ンプ１１４内のガス（図示せず）をイオン化す
る。付勢電極はフラツシユランプ１１４によつて
放射される電磁放射の高密度曝射または閃光を生
じさせる。放射光の一部はレーザロツド１２２に
入射し、そこに吸収され、この間に反射空洞１１
６の壁に入射する放射光はロツド１２２に反射さ
れ、吸収される。ロツド１２２の物理的特性のた
めに、ロツド１２２は蛍光し始め、それによつて
フラツシユランプ１１４から吸収放射光を再放射
する。再放射光の一部は統計的に共振器１１２の
光学軸１２４と一致する方向に進行し、それによ
つて周知のメカニズムによつて共振器１１２のレ
イジングを初期化する。 理解されるように、この発明のユニツト化Ｑス
イツチレーザ共振器はシステム１１０内に使用さ
れた時に多くの利点を有する。１つの利点は従来
における支持光学台がシステム１１０内に含める
必要がなくなり、コンパクトかつ比較的簡単な構
成を有するシステムが達成されることである。更
に、システム１１０は震動及び機械的衝撃に感応
しなく、それによつて従来の共振器によつて構成
されるシステムにとつて不都合な環境において使
用できる。さらの利点はシステム１１０全体の組
立て及び保守のコストが減ぜられることである。 上記説明はこの発明の装置及び方法の好ましい
実施例を示しているが、種々の変更及び変形はこ
の発明の新の精神及び範囲から逸脱しないで成し
得ることはこの技術に精通するものにとつて明ら
かである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザロツドと、第１及び第２面を有するＱ
スイツチデバイスと、光学カプラと、前記Ｑスイ
ツチデバイスの前記第１面を前記ロツドに結合す
るために前記レーザロツドの端面と前記Ｑスイツ
チデバイスの前記第１面との間に介在される第１
接着物質層と、前記Ｑスイツチデバイスの前記第
２面を前記光学カプラに結合するため前記Ｑスイ
ツチデバイスの前記第２面と前記光学カプラとの
間に介在される第２接着物質層とで構成される一
体構造体により構成され、前記第１及び第２接着
物質層は前記レーザロツドと前記Ｑスイツチデバ
イスと前記光学カプラとを一体的に結合し、周囲
汚染物の侵入を防止するため前記レーザロツド、
前記第１接着物質層、前記Ｑスイツチデバイス、
前記第２接着物質層および前記光学カプラの外周
面を覆う密閉手段が設けられるＱスイツチレーザ
共振器。 ２ 前記密閉手段が前記一体構造体に構造的剛性
を与える特許請求の範囲第１項に記載のＱスイツ
チレーザ共振器。 ３ レーザロツド、Ｑスイツチデバイスおよび光
学カプラの一体構造体により構成されるＱスイツ
チレーザ共振装置を組み立てる方法において、前
記Ｑスイツチレーザ共振装置の組み立て中におい
て前記レーザロツド、前記Ｑスイツチデバイスお
よび前記カプラーを整列して収納するために適し
た整列組み立て取り付け器具を準備するステツプ
と、前記レーザロツドを前記取り付け器具内に配
置するステツプと、前記Ｑスイツチデバイスの第
１面を前記レーザロツドの両端に接合するための
第１接合手段を適用するステツプと、前記Ｑスイ
ツチデバイスの第２面を前記光学カプラに接合す
るための第２接合手段を適用するステツプと、前
記一体構造体が励起放射源に作動的に結合される
ときにコヒーレント放射光を発生するために動作
できるように前記レーザロツド、前記Ｑスイツチ
デバイスおよび前記カプラを互いに整列するステ
ツプとを含むことを特徴とするＱスイツチレーザ
共振器装置の組み立て方法。 ４ 前記整列ステツプは、整列放射波を送信し受
信するために動作でき、整列放射送信波と受信波
との位相差を検出し、指示するために動作できる
干渉計手段を準備するステツプと、前記カプラ及
び前記Ｑスイツチデバイスが互いに及び前記レー
ザロツドの端面に関して移動し、前記整列放射波
を前記共振器装置に通過させ、前記共振器装置か
らの反射整列放射波を通過させるための孔を有す
る可動整列ヘツドをこの可動整列ヘツドが前記共
振器装置の端部を覆うように取り付けるステツプ
と、前記指示される位相差が所定値に等しくな
り、前記ヘツドと前記カプラとが前記レーザロツ
ドに対して整列位置に位置されるまで前記ヘツド
を動かしながら前記送信及び受信整列放射波の指
示された位相差を観察するステツプを含む、特許
請求の範囲第３項に記載の方法。 ５ 前記第１接合手段を適用するステツプ及び前
記第２接合手段を適用するステツプは第１接着層
及び第２接着層を適用するステツプによつて達成
される、特許請求の範囲第４項に記載の方法。 ６ 前記第１接合手段を適用するステツプ及び前
記第２接合手段を適用するステツプは粘着特性を
有する第１接着層を適用するステツプ及び粘着特
性を有する第２接着層を適用するステツプによつ
て達成され、それによつて前記カプラ及び前記ス
イツチデバイスが前記観察ステツプ中に前記整列
ヘツドによつて移動される、特許請求の範囲第５
項に記載の方法。 ７ 前記整列ステツプの後に続けて前記第１接着
層及び前記第２接着層を硬化させるステツプを更
に含め、それによつて前記ヘツド及び前記スイツ
チデバイスを前記整列位置に永久に維持する、特
許請求の範囲第６項に記載の方法。 ８ 周囲汚染物が前記接着層、前記Ｑスイツチデ
バイス、前記カプラ及び前記レーザロツドの端面
に接触することを防止するために前記共振器装置
を密閉するステツプを含む特許請求の範囲第７項
に記載の方法。 ９ 前記位置付ステツプは前記レーザロツドを実
質的に垂直位置に方向付けすることを含む、特許
請求の範囲第３項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/868,381 US4682336A (en) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | Q-switched laser resonator of integral construction |
| US868,381 | 1986-05-29 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63503424A JPS63503424A (ja) | 1988-12-08 |
| JPH0530314B2 true JPH0530314B2 (ja) | 1993-05-07 |
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