JPH05299464A - X-y table - Google Patents
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- JPH05299464A JPH05299464A JP4222267A JP22226792A JPH05299464A JP H05299464 A JPH05299464 A JP H05299464A JP 4222267 A JP4222267 A JP 4222267A JP 22226792 A JP22226792 A JP 22226792A JP H05299464 A JPH05299464 A JP H05299464A
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- yoke
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、搭載物をＸＹ移動せし
めるＸＹテーブルに関するものであり、例えばダイボン
ディング装置やワイヤボンディング装置などのＸＹテー
ブルとして好適に用いられるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an XY table for moving a mounted object in XY, and is preferably used as an XY table for, for example, a die bonding device or a wire bonding device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えばボンディング装置に用いられてい
る従来のＸＹテーブルは、回転モータの駆動力を送りネ
ジ及び送りネジに螺合したナットを介して移動板に伝達
する構造であった。2. Description of the Related Art For example, a conventional XY table used in a bonding apparatus has a structure in which a driving force of a rotary motor is transmitted to a moving plate via a feed screw and a nut screwed with the feed screw.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従って、移動板の大き
さが回転モータと送りネジをカバーするほどの大きさが
あるものでは移動板の下方に回転モータと送りネジを設
ければスペース上の問題は生じないが、ボンディング装
置のように小さな移動板でよいものではその駆動装置に
よりＸＹテーブル全体の大きさが左右される。例えば特
公昭５９−５２５４０号公報に見られる図示例では、移
動台と２つの回転モータを配備するスペースを要してい
る。本発明は従来の上述の問題点を解決しようとするも
ので、駆動装置のスペースの小さい、コンパクトなＸＹ
テーブルを提供することを目的とするものである。Therefore, in the case where the size of the moving plate is large enough to cover the rotary motor and the feed screw, if the rotary motor and the feed screw are provided below the moving plate, the space is reduced. Although a problem does not occur, the size of the entire XY table is influenced by the driving device of a small moving plate such as a bonding device. For example, in the example shown in Japanese Examined Patent Publication No. 59-52540, a space for disposing a moving base and two rotary motors is required. The present invention is intended to solve the above-mentioned problems of the related art, and is a compact XY in which the space of the driving device is small.
It is intended to serve a table.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ方向駆動装
置によりＸ方向移動する下方移動板の上方にＹ方向駆動
装置によりＹ方向移動する上方移動板を支持して、該上
方移動板をＸＹ移動せしめるＸＹテーブルにおいて、前
記Ｘ方向駆動装置がリニアモータで、下方移動板の下方
に設けられていることを特徴とするＸＹテーブルであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, an upper moving plate which moves in the Y direction by a Y direction driving device is supported above the lower moving plate which moves in the X direction by an X direction driving device, and the upper moving plate is moved. In an XY table for XY movement, the X-direction drive device is a linear motor and is provided below the lower moving plate.
【０００５】[0005]
【作用】回転モータと送りネジとからなる駆動装置とリ
ニアモータを比べると、移動板は、前者では送りネジ上
を往復動し、後者では可動側と一体に往復動するので、
送りネジの長さと、リニアモータの可動側の移動に要す
る長さスペースとは、ほぼ同じだけ必要である。ところ
が、前者では回転モータを送りネジに接続しなければな
らないので回転モータと送りネジを加えた長さとなり長
大化するが、後者ではリニアモータの固定側は可動側に
沿って設けられるのでリニアモータの固定側の長さが送
りネジだけの長さにほぼ等しくなる。本発明のＸＹテー
ブルは下方移動板の駆動装置としてリニアモータを用
い、かつ下方移動板の下方に設けたので、例えば特公昭
５９−５２５４０号公報図示例のものに対して、請求項
１の発明ではモータ１２′のスペースが不要となる。Ｙ
方向駆動装置もリニアモータを用い、前記上方移動板の
下方に下方移動板のリニアモータに隣接して設けた請求
項２の発明ではモータ１２のスペースも不要となる。従
って、コンパクトなＸＹテーブルとすることができる。When comparing the linear motor with the driving device composed of the rotary motor and the feed screw, the moving plate reciprocates on the feed screw in the former case and reciprocates integrally with the movable side in the latter case.
The length of the feed screw and the length space required for moving the linear motor on the movable side need to be substantially the same. However, in the former case, since the rotary motor must be connected to the feed screw, the length is increased by adding the rotary motor and the feed screw, but in the latter case, the fixed side of the linear motor is provided along the movable side, so the linear motor The length of the fixed side of is almost equal to the length of the feed screw. Since the XY table of the present invention uses a linear motor as a drive device for the downward moving plate and is provided below the downward moving plate, the invention of claim 1 is disclosed in contrast to the example shown in Japanese Patent Publication No. 59-52540. Then, the space for the motor 12 'becomes unnecessary. Y
In the invention of claim 2, wherein the direction drive device also uses a linear motor and is provided below the upper moving plate and adjacent to the linear motor of the lower moving plate, the space for the motor 12 is also unnecessary. Therefore, a compact XY table can be obtained.
【０００６】[0006]
【実施例】本発明の実施例図１〜図１０を用いて説明す
る。先ず、図１〜図２に示した実施例を説明する前にこ
の例に用いたリニアモータにつき図３〜図５を用いて予
め説明する。リニアモータ１のヨークは長方形の平板状
の下ヨーク２と下ヨーク２の短辺よりも短い短辺の上ヨ
ーク３からなっている。上ヨーク３は両短辺部に側ヨー
クを備えた断面コ字型ヨークで、下ヨーク２と上ヨーク
３それぞれの長辺に平行の中心線相互を上下方向で重な
るように一致させて両者を連結している。下ヨーク２と
上ヨーク３の内面部には永久磁石４群が設けられるが、
短辺に平行の中心線５を境にして、同一ヨーク内かつ上
下ヨーク相互間で異極が内側になるように配備されてい
る。例えば図３，図４において上ヨーク３の左側は内側
にＳ極が右側は内側にＮ極が配備され、下ヨーク２の左
側は内側にＮ極が右側は内側にＳ極が配備されている。
リニアモータ１のコイル６は平板状のコイル巻装材７の
まわりに形成されているが、このコイル巻装材７は上ヨ
ーク３の短辺よりも長い長辺と、図４に示されるコイル
部６１を常に中心線５よりも左側領域に、コイル部６２
を常に右側領域に位置させる短辺の長さを備え、コイル
巻装材７の短辺部を図３，図５のように上ヨーク３の長
辺よりも外側の領域に突出させてヨーク内の磁束が作用
している空間に挿入配備されている。そして、今、例え
ばコイル６に、図４において、左側のコイル部６１で手
前に右側のコイル部６２で向うに流れる向きに電流を流
せばコイル６をヨークに対して相対的に左行せしめる推
力が生じ、反対の向きに電流を流せば右行せしめる推力
が生じるようになっている。即ち、コイル６とヨークと
は中心線５に直角の方向に相対的に往復動するようにな
っている。ヨークとコイル６とはどちらを可動側として
もよく、固定部材又は被駆動部材との連結用ビス穴３
１，３２が下ヨーク２とコイル巻装材７の上ヨーク３か
ら突出している部分にそれぞれ設けられている。上述の
如きリニアモータ１が図１〜図２に示したＸＹテーブル
において、Ｘ方向，Ｙ方向それぞれの駆動装置として２
個用いられているが、便宜上、Ｘ方向の駆動装置として
用いたリニアモータをＸ方向リニアモータ１、Ｙ方向の
駆動装置として用いたリニアモータをＹ方向リニアモー
タ１′（対応する部材を図中でダッシュを付して示す）
とする。図１，図２（下方移動板１０は最も手前に移動
しており上方移動板１４は最も左行しているところを示
している）において、Ｘ方向リニアモータ１はコイル６
を可動側としてあり、ヨーク８を固定側としてベースに
固定してある。ヨーク８の上面部には両側をガイドレー
ルとしたＸ方向ガイド部９が設けられている。１０は下
方移動板で、下部にＸ方向ガイド部９のガイドレールに
対のスライダ１１，１１を備え、クロスローラ，Ｘ方向
ガイド部９を介してヨーク８にＸ方向移動自在に支持さ
れている。そしてＸ方向リニアモータ１のコイル６のコ
イル巻装材７に連結プレート１２，１２を介して連結さ
れ、コイル６と一体にＸ方向に往復動するように設けら
れている。下方移動板１０は上面部にＹ方向のガイドレ
ール１３，１３を備えている。Ｙ方向に長い長方形の上
方移動板１４は長辺部の側面部をガイドレール１３，１
３に対のスライダとしてあり、クロスローラ，ガイドレ
ール１３，１３を介して下方移動板１０の上方にＹ方向
移動自在に支持されている。上方移動板１４の本体の短
辺部端部の一方にはローラ挿入孔１５となる凹部がＸ方
向に長く設けられ、さらに端部に連結バー１６が設けら
れている。この上方移動板１４上にボンディング装置の
本体装置などが搭載固定される。上方移動板１４の下方
で、かつＸ方向リニアモータ１に隣接して、Ｘ方向リニ
アモータ１と同じリニアモータを向きを変えて設けたＹ
方向リニアモータ１′では上述の下方移動板１０に代え
てローラ取付板１７が設けられている。ローラ取付板１
７の上面部にはローラ１８，１８がＹ方向の間隔をあけ
て設けられ、ローラ１８，１８間に上方移動板１４の連
結バー１６を挿入して、上方移動板１４にＸ方向移動を
許しながらＹ方向移動を伝達するようにしてある。な
お、ボンディング装置のＸＹテーブルでは上方移動板１
４に搭載される本体装置にＸＹ位置検出装置などが設け
られているが、搭載装置によっては必要に応じて下方移
動板１０，上方移動板１４の位置及び速度を制御するた
めのリニアエンコダ３３，３４を設けることができる。
例えば下方移動板１０のリニアエンコダ３３はベース上
に固定して設けられ、上方移動板１４のリニアエンコダ
３４はガイドレール１３に固定して設けられる。以上の
例はリニアモータ１，１′をそれぞれ下方移動板１０，
上方移動板１４の下方に設けた例であるが、図６〜図１
０例はＸ方向リニアモータ２０は下方移動板１０の下方
に設けているがＹ方向リニアモータ２７は上方移動板１
４の下方から外れた領域に設けた例である。以下上述の
実施例と異なっているところを説明する。下方移動板１
０は側面部をスライダとし、両側に立設したガイドレー
ル１９，１９にＸ方向に移動自在に支持されている。下
方移動板１０の下方に設けられるＸ方向リニアモータ２
０は、鉄心を備え、所定位置に永久磁石２１，２１′を
備えた断面Ｅ型のヨーク２２，２２′を鉄心の先端を対
向させて並べてベースに固定されている。コイル２３，
２３′は筒体のコイル巻装材２４の両端部にそれぞれヨ
ーク２２，２２′に対応して設けられている。コイル巻
装材２４は下方移動板１０に連結プレート２５，２５で
連結され、下方移動板１０をＸ方向に移動せしめるよう
にしてある。上方移動板１４の連結バー１６は端部に下
面部から突出するように設けられている。ローラ取付板
１７はガイドブロック２６にＹ方向に移動自在に支持さ
れ、その一端がＹ方向リニアモータ２７の可動側である
コイル巻装材２８に連結されている。Ｙ方向リニアモー
タ２７のヨーク２９はＸ方向リニアモータ２０のヨーク
２２と同じタイプのものであるが、コイル巻装材２８は
断面コ字型部材で、開放端部にコイル３０を設け、他端
部をローラ取付板１７に連結している。以上、コイルを
可動側として設けたが、ヨークを可動側とすることもで
きる。またボンディング装置以外のＸＹテーブルにも適
用することができる。Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. First, before explaining the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the linear motor used in this example will be described in advance with reference to FIGS. The yoke of the linear motor 1 is composed of a rectangular plate-shaped lower yoke 2 and an upper yoke 3 having a shorter side than the shorter side of the lower yoke 2. The upper yoke 3 is a U-shaped yoke having side yokes on both short sides, and the center lines parallel to the long sides of the lower yoke 2 and the upper yoke 3 are aligned such that they overlap each other in the vertical direction. It is connected. A group of permanent magnets 4 is provided on the inner surfaces of the lower yoke 2 and the upper yoke 3,
With the center line 5 parallel to the short side as a boundary, the different poles are arranged inside the same yoke and between the upper and lower yokes. For example, in FIGS. 3 and 4, the left side of the upper yoke 3 has an S pole inside and the right side has an N pole inside, and the left side of the lower yoke 2 has an N pole inside and the right side has an S pole inside. ..
The coil 6 of the linear motor 1 is formed around a plate-shaped coil winding material 7. The coil winding material 7 has a long side longer than the short side of the upper yoke 3, and the coil shown in FIG. The portion 61 is always placed in the area on the left side of the center line 5, and the coil portion 62
Is always located in the right side area, and the short side portion of the coil winding material 7 is projected to an area outside the long side of the upper yoke 3 as shown in FIGS. It is inserted and deployed in the space where the magnetic flux of is acting. Then, for example, if a current is applied to the coil 6 in the direction in which the coil portion 61 on the left side in FIG. 4 flows toward the front side in the coil portion 62 on the right side in FIG. 4, the thrust force that causes the coil 6 to move to the left relative to the yoke. Is generated, and if a current is passed in the opposite direction, thrust that makes it go to the right is generated. That is, the coil 6 and the yoke are configured to reciprocate relatively in the direction perpendicular to the center line 5. Either the yoke or the coil 6 may be the movable side, and the screw hole 3 for connecting to the fixed member or the driven member.
Reference numerals 1 and 32 are respectively provided in the portions projecting from the lower yoke 2 and the upper yoke 3 of the coil winding material 7. In the XY table shown in FIGS. 1 and 2, the linear motor 1 as described above is used as a driving device for each of the X direction and the Y direction.
Although used individually, for convenience, the linear motor used as the X-direction driving device is the X-direction linear motor 1, and the linear motor used as the Y-direction driving device is the Y-direction linear motor 1 ′ (corresponding members are shown in the drawing. Is shown with a dash)
And In FIG. 1 and FIG. 2 (where the lower moving plate 10 is moved to the foremost side and the upper moving plate 14 is moved to the leftmost side), the X-direction linear motor 1 has the coil 6
Is the movable side, and the yoke 8 is the fixed side and is fixed to the base. An X-direction guide portion 9 having guide rails on both sides is provided on the upper surface of the yoke 8. Reference numeral 10 denotes a lower moving plate, which is provided with a pair of sliders 11 and 11 on a guide rail of an X-direction guide portion 9 at a lower portion, and is supported by a yoke 8 via a cross roller and the X-direction guide portion 9 so as to be movable in the X direction. .. It is connected to the coil winding material 7 of the coil 6 of the X-direction linear motor 1 via connecting plates 12 and 12 so as to reciprocate integrally with the coil 6 in the X-direction. The lower moving plate 10 is provided with Y-direction guide rails 13 on the upper surface thereof. The rectangular upward moving plate 14 which is long in the Y direction has the side portions of the long sides arranged on the guide rails 13, 1.
3 is a pair of sliders, and is supported above the lower moving plate 10 so as to be movable in the Y direction via cross rollers and guide rails 13, 13. A recess serving as a roller insertion hole 15 is provided in one of the ends of the short side portion of the main body of the upper moving plate 14 so as to be long in the X direction, and a connecting bar 16 is provided at the end. The main body of the bonding apparatus and the like are mounted and fixed on the upper moving plate 14. Below the upper moving plate 14 and adjacent to the X-direction linear motor 1, the same linear motor as the X-direction linear motor 1 is provided with its direction changed.
In the directional linear motor 1 ', a roller mounting plate 17 is provided in place of the above-mentioned downward moving plate 10. Roller mounting plate 1
Rollers 18, 18 are provided on the upper surface of 7 at intervals in the Y direction. The connecting bar 16 of the upper moving plate 14 is inserted between the rollers 18, 18 to allow the upper moving plate 14 to move in the X direction. Meanwhile, the movement in the Y direction is transmitted. In the XY table of the bonding apparatus, the upper moving plate 1
An XY position detecting device and the like are provided in the main body device mounted in No. 4, but depending on the mounting device, linear encoders 33, 34 for controlling the positions and speeds of the lower moving plate 10 and the upper moving plate 14 as necessary. Can be provided.
For example, the linear encoder 33 of the lower moving plate 10 is fixedly provided on the base, and the linear encoder 34 of the upper moving plate 14 is fixedly provided on the guide rail 13. In the above example, the linear motors 1 and 1'are respectively attached to the downward moving plate 10,
Although it is an example provided below the upper moving plate 14, FIGS.
In the example 0, the X-direction linear motor 20 is provided below the lower moving plate 10, but the Y-direction linear motor 27 is arranged above the lower moving plate 1.
4 is an example provided in a region deviating from the lower side of 4. The differences from the above embodiment will be described below. Downward moving plate 1
Reference numeral 0 denotes a side surface of which is a slider, and is supported by guide rails 19 and 19 standing on both sides so as to be movable in the X direction. The X-direction linear motor 2 provided below the downward moving plate 10.
No. 0 has an iron core, and yokes 22 and 22 'having E-shaped cross sections having permanent magnets 21 and 21' at predetermined positions are arranged side by side with the tips of the iron core facing each other and fixed to the base. Coil 23,
Numerals 23 'are provided at both ends of the coil winding material 24 of the cylindrical body corresponding to the yokes 22 and 22', respectively. The coil winding material 24 is connected to the lower moving plate 10 by connecting plates 25, 25 so that the lower moving plate 10 can be moved in the X direction. The connecting bar 16 of the upper moving plate 14 is provided at the end portion so as to project from the lower surface portion. The roller mounting plate 17 is supported by a guide block 26 so as to be movable in the Y direction, and one end of the roller mounting plate 17 is connected to a coil winding material 28 that is a movable side of a Y direction linear motor 27. The yoke 29 of the Y-direction linear motor 27 is of the same type as the yoke 22 of the X-direction linear motor 20, but the coil winding material 28 is a U-shaped member in cross section, and the coil 30 is provided at the open end and the other end. The part is connected to the roller mounting plate 17. Although the coil is provided on the movable side as described above, the yoke may be provided on the movable side. It can also be applied to an XY table other than the bonding apparatus.
【０００７】[0007]
【発明の効果】本発明のＸＹテーブルは下方移動板の駆
動装置としてリニアモータを用い、かつ下方移動板の下
方に設けたので、駆動装置のスペースを必要最小限に抑
えることができ、従って、コンパクトなＸＹテーブルと
することができる。Since the XY table of the present invention uses the linear motor as the driving device for the lower moving plate and is provided below the lower moving plate, the space for the driving device can be minimized. It can be a compact XY table.
【図１】図１は本発明の実施例の平面図である。FIG. 1 is a plan view of an embodiment of the present invention.
【図２】図１の正面図（リニアエンコダ３４は省略して
ある）である。FIG. 2 is a front view of FIG. 1 (the linear encoder 34 is omitted).
【図３】リニアモータの平面図である。FIG. 3 is a plan view of a linear motor.
【図４】図３の縦断面図である。4 is a vertical cross-sectional view of FIG.
【図５】図３の側面図である。FIG. 5 is a side view of FIG.
【図６】図６は別の実施例の平面図である。FIG. 6 is a plan view of another embodiment.
【図７】図６のＩ−Ｉ線における断面正面図である。7 is a sectional front view taken along the line I-I of FIG.
【図８】図６のＩＩ−ＩＩ線における断面側面図であ
る。8 is a sectional side view taken along the line II-II in FIG.
【図９】図６のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面側面図で
ある。9 is a sectional side view taken along the line III-III in FIG.
【図１０】図６のＩＶ−ＩＶ線における断面側面図であ
る。10 is a sectional side view taken along the line IV-IV of FIG.
１ リニアモータ（Ｘ方向リニアモータ） １′Ｙ方向リニアモータ ２ 下ヨーク ３ 上ヨーク ４ 永久磁石 ４′永久磁石 ５ 中心線 ６ コイル ６′コイル ６1 コイル部 ６2 コイル部 ７ コイル巻装材 ８ ヨーク ８′ヨーク ９ Ｘ方向ガイド部 ９′Ｘ方向ガイド部 １０ 下方移動板 １１ スライダ １２ 連結プレート １２′連結プレート １３ ガイドレール １４ 上方移動板 １５ ローラ挿入孔 １６ 連結バー １７ ローラ取付板 １８ ローラ １９ ガイドレール ２０ Ｘ方向リニアモータ ２１ 永久磁石 ２１′永久磁石 ２２ ヨーク ２２′ヨーク ２３ コイル ２３′コイル ２４ コイル巻装材 ２５ 連結プレート ２６ ガイドブロック ２７ Ｙ方向リニアモータ ２８ コイル巻装材 ２９ ヨーク ３０ コイル ３１ 連結用ビス穴 ３２ 連結用ビス穴 ３３ リニアエンコダ ３４ リニアエンコダ1 linear motor (X direction linear motor) 1'Y direction linear motor 2 lower yoke 3 upper yoke 4 permanent magnet 4'permanent magnet 5 center line 6 coil 6'coil 6 1 coil part 6 2 coil part 7 coil winding material 8 Yoke 8'Yoke 9 X-direction guide portion 9'X-direction guide portion 10 Lower moving plate 11 Slider 12 Connecting plate 12 'Connecting plate 13 Guide rail 14 Upper moving plate 15 Roller insertion hole 16 Connecting bar 17 Roller mounting plate 18 Roller 19 Guide Rail 20 X-direction linear motor 21 Permanent magnet 21 'Permanent magnet 22 Yoke 22' Yoke 23 Coil 23 'Coil 24 Coil winding material 25 Connection plate 26 Guide block 27 Y-direction linear motor 28 Coil winding material 29 Yoke 30 Coil 31 Connection Screw hole for connection 32 Screw hole for connection 33 Linear Enkoda 34 Riniaenkoda
Claims (2)
方移動板の上方にＹ方向駆動装置によりＹ方向移動する
上方移動板を支持して、該上方移動板をＸＹ移動せしめ
るＸＹテーブルにおいて、前記Ｘ方向駆動装置がリニア
モータで、下方移動板の下方に設けられていることを特
徴とするＸＹテーブル。1. An XY table that supports an upper moving plate that moves in the Y direction by a Y direction driving device above a lower moving plate that moves in the X direction by the X direction driving device, and moves the upper moving plate in the XY direction. An XY table in which the X-direction driving device is a linear motor and is provided below the lower moving plate.
前記上方移動板の下方に前記下方移動板のリニアモータ
に隣接して設けられている請求項１記載のＸＹテーブ
ル。2. The Y-direction driving device is also a linear motor,
The XY table according to claim 1, which is provided below the upper moving plate and adjacent to the linear motor of the lower moving plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222267A JP2789543B2 (en) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | XY table |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4222267A JP2789543B2 (en) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | XY table |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299464A true JPH05299464A (en) | 1993-11-12 |
| JP2789543B2 JP2789543B2 (en) | 1998-08-20 |
Family
ID=16779712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4222267A Expired - Fee Related JP2789543B2 (en) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | XY table |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2789543B2 (en) |
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| JPS58223576A (en) * | 1982-06-16 | 1983-12-26 | ニチデン機械株式会社 | Xy table drive apparatus |
| JPS61198639A (en) * | 1985-02-27 | 1986-09-03 | Toshiba Corp | Bonder |
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1992
- 1992-07-30 JP JP4222267A patent/JP2789543B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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|---|---|
| JP2789543B2 (en) | 1998-08-20 |
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