JPH05297277A - 反射光学系 - Google Patents
反射光学系Info
- Publication number
- JPH05297277A JPH05297277A JP4100786A JP10078692A JPH05297277A JP H05297277 A JPH05297277 A JP H05297277A JP 4100786 A JP4100786 A JP 4100786A JP 10078692 A JP10078692 A JP 10078692A JP H05297277 A JPH05297277 A JP H05297277A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- mirrors
- spherical
- optical system
- half mirror
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小さい開口数の光学系でも、一方の鏡による
隠蔽率が０で、かつ、球面鏡のみで良好に収差補正がさ
れた反射光学系。 【構成】 物点Ｏからの光は、ハーフミラーＨＭ１を透
過、凸面鏡又は凹面鏡の球面鏡Ｍ１で反射、ハーフミラ
ーＨＭ１で反射、ハーフミラーＨＭ２で反射、凹面鏡又
は凸面鏡の球面鏡Ｍ２で反射、ハーフミラーＨＭ２を透
過し、像面Ｉに結像する。球面鏡Ｍ１、Ｍ２には、軸上
光線が垂直に入射するように配置されている。
隠蔽率が０で、かつ、球面鏡のみで良好に収差補正がさ
れた反射光学系。 【構成】 物点Ｏからの光は、ハーフミラーＨＭ１を透
過、凸面鏡又は凹面鏡の球面鏡Ｍ１で反射、ハーフミラ
ーＨＭ１で反射、ハーフミラーＨＭ２で反射、凹面鏡又
は凸面鏡の球面鏡Ｍ２で反射、ハーフミラーＨＭ２を透
過し、像面Ｉに結像する。球面鏡Ｍ１、Ｍ２には、軸上
光線が垂直に入射するように配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、反射光学系に関し、特
に、開口数の小さな反射対物鏡、あるいは、反射結像鏡
に関するものである。
に、開口数の小さな反射対物鏡、あるいは、反射結像鏡
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】後記する本発明の反射光学系と似た反射
光学系には、一般の反射対物鏡や特開昭６０−１９１２
２０号、特開昭６３−１４１０１３号に記載されたもの
等がある。
光学系には、一般の反射対物鏡や特開昭６０−１９１２
２０号、特開昭６３−１４１０１３号に記載されたもの
等がある。
【０００３】しかしながら、一般の反射対物鏡では、開
口数が小さくなると、小鏡による入射光束の隠蔽率が大
きくなり、対物鏡をほとんど光が通らなくなる。また、
ある程度以上視野数が大きくなると、結像のための光束
が主反射鏡を通過しなければならない範囲が大きくな
り、そのための穴空け部と主反射鏡の有効範囲とが重複
し、実際上、反射対物鏡を構成することができなくなっ
てしまう。
口数が小さくなると、小鏡による入射光束の隠蔽率が大
きくなり、対物鏡をほとんど光が通らなくなる。また、
ある程度以上視野数が大きくなると、結像のための光束
が主反射鏡を通過しなければならない範囲が大きくな
り、そのための穴空け部と主反射鏡の有効範囲とが重複
し、実際上、反射対物鏡を構成することができなくなっ
てしまう。
【０００４】また、特開昭６０−１９１２２０号、特開
昭６３−１４１０１３号に見られるような軸外しの構成
においては、非球面を使わなければ収差補正ができず、
また、組立時の調整が非常に困難なものとなる。
昭６３−１４１０１３号に見られるような軸外しの構成
においては、非球面を使わなければ収差補正ができず、
また、組立時の調整が非常に困難なものとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状
況に鑑みてなされたものであり、その目的は、小さい開
口数の光学系でも、一方の鏡による隠蔽率が０で、か
つ、球面鏡のみで良好に収差補正がされた反射光学系を
提供することである。
況に鑑みてなされたものであり、その目的は、小さい開
口数の光学系でも、一方の鏡による隠蔽率が０で、か
つ、球面鏡のみで良好に収差補正がされた反射光学系を
提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の反射光学系は、２枚の球面鏡と２枚のハーフミラー
により構成され、前記２枚の球面鏡の法線は相互に一致
しないように配置され、かつ、各球面鏡に入射する軸上
光線が各球面鏡の法線に一致するように配置されている
ことを特徴とするものである。
明の反射光学系は、２枚の球面鏡と２枚のハーフミラー
により構成され、前記２枚の球面鏡の法線は相互に一致
しないように配置され、かつ、各球面鏡に入射する軸上
光線が各球面鏡の法線に一致するように配置されている
ことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】開口数の小さな反射光学系では、２枚の球面鏡
が同軸上にあると隠蔽率が大きくなりすぎるため、２枚
の球面鏡は同軸上にないことが必須であり、それらの法
線は一致しないように配置されなければなら。しかし、
軸外しになっていると、前述のような欠点を有するの
で、２枚のハーフミラーを用いて、各球面鏡に入射する
軸上光線をその法線と一致させ、実質上２枚の球面鏡を
共軸対称にする。これにより、開口数が小さいことと相
まって、球面のみで良好に収差補正することができる。
が同軸上にあると隠蔽率が大きくなりすぎるため、２枚
の球面鏡は同軸上にないことが必須であり、それらの法
線は一致しないように配置されなければなら。しかし、
軸外しになっていると、前述のような欠点を有するの
で、２枚のハーフミラーを用いて、各球面鏡に入射する
軸上光線をその法線と一致させ、実質上２枚の球面鏡を
共軸対称にする。これにより、開口数が小さいことと相
まって、球面のみで良好に収差補正することができる。
【０００８】反射光学系は原理的に色収差が発生しない
ことが特徴であり、そこに屈折系を挿入することは本来
望ましくないが、ハーフミラーを薄くすれば、実用上問
題のないレベルに色収差に抑えることができる。
ことが特徴であり、そこに屈折系を挿入することは本来
望ましくないが、ハーフミラーを薄くすれば、実用上問
題のないレベルに色収差に抑えることができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照にして本発明の反射光学系
の実施例について説明する。図１は本発明の実施例１の
有限物体距離に対して構成した反射対物鏡の断面図であ
り、物点Ｏからの光は、その進行順に、ハーフミラーＨ
Ｍ１を透過、凸面鏡Ｍ１で反射、ハーフミラーＨＭ１で
反射、ハーフミラーＨＭ２で反射、凹面鏡Ｍ２で反射、
ハーフミラーＨＭ２を透過し、像面Ｉに結像する。ハー
フミラーＨＭ１、ＨＭ２は、簡単のため、厚さ０のハー
フミラーとしてある。凸面鏡Ｍ１、凹面鏡Ｍ２には、軸
上光線が垂直に入射するように配置され、またハーフミ
ラーＨＭ１、ＨＭ２には入射角４５°で入射するように
配置されている。この反射対物鏡の倍率は１×であり、
物体距離９５ｍｍ、像距離２５０ｍｍ、物像間距離３４
５ｍｍである。また、視野数は１８、開口数（ＮＡ）
０．０２５である。
の実施例について説明する。図１は本発明の実施例１の
有限物体距離に対して構成した反射対物鏡の断面図であ
り、物点Ｏからの光は、その進行順に、ハーフミラーＨ
Ｍ１を透過、凸面鏡Ｍ１で反射、ハーフミラーＨＭ１で
反射、ハーフミラーＨＭ２で反射、凹面鏡Ｍ２で反射、
ハーフミラーＨＭ２を透過し、像面Ｉに結像する。ハー
フミラーＨＭ１、ＨＭ２は、簡単のため、厚さ０のハー
フミラーとしてある。凸面鏡Ｍ１、凹面鏡Ｍ２には、軸
上光線が垂直に入射するように配置され、またハーフミ
ラーＨＭ１、ＨＭ２には入射角４５°で入射するように
配置されている。この反射対物鏡の倍率は１×であり、
物体距離９５ｍｍ、像距離２５０ｍｍ、物像間距離３４
５ｍｍである。また、視野数は１８、開口数（ＮＡ）
０．０２５である。
【００１０】以下、ハーフミラーＨＭ１の曲率半径をｒ
1 、ｒ3 、凸面鏡Ｍ１の曲率半径をｒ2 、ハーフミラー
ＨＭ２の曲率半径をｒ4 、ｒ6 、凹面鏡Ｍ２の曲率半径
をｒ5 とし、それの値を絶対値で示し、また、各面間の
間隔をｄ1 〜ｄ5 とし、物体側から像側に光線が進む間
隔を正、像側から物体側に光線が進む間隔を負とする
と、実施例１の反射対物鏡の構成パラメータの値は次の
ようになる。
1 、ｒ3 、凸面鏡Ｍ１の曲率半径をｒ2 、ハーフミラー
ＨＭ２の曲率半径をｒ4 、ｒ6 、凹面鏡Ｍ２の曲率半径
をｒ5 とし、それの値を絶対値で示し、また、各面間の
間隔をｄ1 〜ｄ5 とし、物体側から像側に光線が進む間
隔を正、像側から物体側に光線が進む間隔を負とする
と、実施例１の反射対物鏡の構成パラメータの値は次の
ようになる。
【００１１】 ｒ1 ＝ ∞ ｒ1 ＝ 20.00000 ｒ2 ＝ 353.84615 ｒ2 ＝-20.00000 ｒ3 ＝ ∞ ｒ3 ＝ 50.00000 ｒ4 ＝ ∞ ｒ4 ＝-30.00000 ｒ5 ＝ 211.32076 ｒ5 ＝ 30.00000 ｒ6 ＝ ∞ 次に、図２、図３は、実施例１の反射対物鏡のミラーの
配置を多少変形したものの断面図であり、本質的には図
１のものと同じである。図２の場合は、ハーフミラーＨ
Ｍ１で反射した光線が、まずハーフミラーＨＭ２を通過
し、凹面鏡Ｍ２で反射後、ハーフミラーＨＭ２で反射す
るようにしたものであり、軸上光線は同様にハーフミラ
ーＨＭ１、ＨＭ２に入射角４５°で入射する。これに対
して、図３の場合は、ミラーの配置は図１と同様である
が、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ２に対する軸上光線の入
射角が３０°となるように、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ
２の法線の光軸に対する傾きを３０°にしてあり、この
配置は、色収差の発生量を小さくできるという特徴を有
している。
配置を多少変形したものの断面図であり、本質的には図
１のものと同じである。図２の場合は、ハーフミラーＨ
Ｍ１で反射した光線が、まずハーフミラーＨＭ２を通過
し、凹面鏡Ｍ２で反射後、ハーフミラーＨＭ２で反射す
るようにしたものであり、軸上光線は同様にハーフミラ
ーＨＭ１、ＨＭ２に入射角４５°で入射する。これに対
して、図３の場合は、ミラーの配置は図１と同様である
が、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ２に対する軸上光線の入
射角が３０°となるように、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ
２の法線の光軸に対する傾きを３０°にしてあり、この
配置は、色収差の発生量を小さくできるという特徴を有
している。
【００１２】この実施例１の性能を波面収差で表すと、
軸上で０．００１、最軸外で０．０２５であり、非常に
良好に収差補正されていることが分る（厚さ０のハーフ
ミラーＨＭ１、ＨＭ２での計算なので、色収差はない。
なお、計算は波長５４６．０７ｎｍで行った。）。
軸上で０．００１、最軸外で０．０２５であり、非常に
良好に収差補正されていることが分る（厚さ０のハーフ
ミラーＨＭ１、ＨＭ２での計算なので、色収差はない。
なお、計算は波長５４６．０７ｎｍで行った。）。
【００１３】次に、図４は、実施例２の結像鏡あるいは
無限遠物点に対する対物鏡の断面図であり、無限遠から
くる平行光Ｌは、その進行順に、ハーフミラーＨＭ１を
透過、凹面鏡Ｍ１′で反射、ハーフミラーＨＭ１で反
射、ハーフミラーＨＭ２で反射、凸面鏡Ｍ２′で反射、
ハーフミラーＨＭ２を透過し、像面Ｉに結像する。ハー
フミラーＨＭ１、ＨＭ２は、簡単のため、厚さ０のハー
フミラーとしてある。凹面鏡Ｍ１′、凸面鏡Ｍ２′に
は、軸上光線が垂直に入射するように配置され、またハ
ーフミラーＨＭ１、ＨＭ２には入射角４５°で入射する
ように配置されている。この反射結像鏡の焦点距離は１
８０ｍｍ、像距離１４５ｍｍ、視野数は１０、入射瞳径
は９である。
無限遠物点に対する対物鏡の断面図であり、無限遠から
くる平行光Ｌは、その進行順に、ハーフミラーＨＭ１を
透過、凹面鏡Ｍ１′で反射、ハーフミラーＨＭ１で反
射、ハーフミラーＨＭ２で反射、凸面鏡Ｍ２′で反射、
ハーフミラーＨＭ２を透過し、像面Ｉに結像する。ハー
フミラーＨＭ１、ＨＭ２は、簡単のため、厚さ０のハー
フミラーとしてある。凹面鏡Ｍ１′、凸面鏡Ｍ２′に
は、軸上光線が垂直に入射するように配置され、またハ
ーフミラーＨＭ１、ＨＭ２には入射角４５°で入射する
ように配置されている。この反射結像鏡の焦点距離は１
８０ｍｍ、像距離１４５ｍｍ、視野数は１０、入射瞳径
は９である。
【００１４】実施例２の反射結像鏡の構成パラメータの
値は、実施例１と同様な記号を用いると、次のようにな
る。
値は、実施例１と同様な記号を用いると、次のようにな
る。
【００１５】 ｒ1 ＝ ∞ ｒ1 ＝ 15.0000 ｒ2 ＝ 900.0000 ｒ2 ＝-15.0000 ｒ3 ＝ ∞ ｒ3 ＝ 20.00000 ｒ4 ＝ ∞ ｒ4 ＝-15.00000 ｒ5 ＝ 533.3333 ｒ5 ＝ 15.00000 ｒ6 ＝ ∞ この実施例２の性能を波面収差で表すと、軸上で０．０
００、最軸外で０．００７であり、非常に良好に収差補
正されていることが分る（厚さ０のハーフミラーＨＭ
１、ＨＭ２での計算なので、色収差はない。なお、計算
は波長５４６．０７ｎｍで行った。）。なお、実施例２
の場合も、実施例１と同様、図２、図３のようにミラー
の配置を変更することができる。
００、最軸外で０．００７であり、非常に良好に収差補
正されていることが分る（厚さ０のハーフミラーＨＭ
１、ＨＭ２での計算なので、色収差はない。なお、計算
は波長５４６．０７ｎｍで行った。）。なお、実施例２
の場合も、実施例１と同様、図２、図３のようにミラー
の配置を変更することができる。
【００１６】次に、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ２に厚さ
を持たせたときの性能について説明する。ハーフミラー
ＨＭ１、ＨＭ２の厚さによる色収差発生量は、開口数、
波長、角度等の仕様によって異なり、また、ハーフミラ
ーＨＭ１、ＨＭ２の材質によってもかなり異なる。ここ
では、実施例２で使用波長を５４６．０７ｎｍ、４３
５．８４ｎｍ、３６５．０１ｎｍとしたときの計算値を
示すに止める。
を持たせたときの性能について説明する。ハーフミラー
ＨＭ１、ＨＭ２の厚さによる色収差発生量は、開口数、
波長、角度等の仕様によって異なり、また、ハーフミラ
ーＨＭ１、ＨＭ２の材質によってもかなり異なる。ここ
では、実施例２で使用波長を５４６．０７ｎｍ、４３
５．８４ｎｍ、３６５．０１ｎｍとしたときの計算値を
示すに止める。
【００１７】図５は、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ２を
０．１ｍｍ厚のガラスＢＫ７で構成したときの横収差図
であり、像高０、像高５の波面収差は、０．００６、
０．００７である。また、図６は、ハーフミラーを１ｍ
ｍ厚のガラスＢＫ７で構成したときの横収差図であり、
像高０、像高５の波面収差は、０．０５６、０．０５７
である。さらに、図７は、ハーフミラーを１ｍｍ厚のＣ
ＹＴＯＰ（（株）旭硝子製フッ素樹脂、ｎd ＝１．３
４、アッべ数９０）としたときの横収差図であり、像高
０、像高５の波面収差は、０．０４２、０．０４３であ
る。これらから、仕様にもよるが、ハーフミラーＨＭ
１、ＨＭ２として、１ｍｍ厚以下で、できるだけ屈折率
が小さく、アッベ数の大きな材料を用いれば、実用上色
収差はそれほど問題にならないことが分る。また、前述
のように、実施例２の場合も、ハーフミラーＨＭ１、Ｈ
Ｍ２の法線と光軸のなす角度を小さくすればするほど、
好ましいことは言うまでもない。
０．１ｍｍ厚のガラスＢＫ７で構成したときの横収差図
であり、像高０、像高５の波面収差は、０．００６、
０．００７である。また、図６は、ハーフミラーを１ｍ
ｍ厚のガラスＢＫ７で構成したときの横収差図であり、
像高０、像高５の波面収差は、０．０５６、０．０５７
である。さらに、図７は、ハーフミラーを１ｍｍ厚のＣ
ＹＴＯＰ（（株）旭硝子製フッ素樹脂、ｎd ＝１．３
４、アッべ数９０）としたときの横収差図であり、像高
０、像高５の波面収差は、０．０４２、０．０４３であ
る。これらから、仕様にもよるが、ハーフミラーＨＭ
１、ＨＭ２として、１ｍｍ厚以下で、できるだけ屈折率
が小さく、アッベ数の大きな材料を用いれば、実用上色
収差はそれほど問題にならないことが分る。また、前述
のように、実施例２の場合も、ハーフミラーＨＭ１、Ｈ
Ｍ２の法線と光軸のなす角度を小さくすればするほど、
好ましいことは言うまでもない。
【００１８】以上、本発明の反射光学系を実施例に基づ
いて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定され
ず種々の変形が可能である。
いて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定され
ず種々の変形が可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の反射光学系によると、小さい開口数でも、隠蔽率が０
で、かつ、球面鏡のみで良好に収差補正された反射光学
系を得ることができる。
の反射光学系によると、小さい開口数でも、隠蔽率が０
で、かつ、球面鏡のみで良好に収差補正された反射光学
系を得ることができる。
【図１】本発明の実施例１の反射対物鏡の断面図であ
る。
る。
【図２】実施例１の変形の断面図である。
【図３】実施例１の別の変形の断面図である。
【図４】実施例２の反射結像鏡の断面図である
【図５】実施例２のハーフミラーを０．１ｍｍ厚のガラ
スＢＫ７で構成したときの横収差図である。
スＢＫ７で構成したときの横収差図である。
【図６】ハーフミラーを１ｍｍ厚のガラスＢＫ７で構成
したときの横収差図である。
したときの横収差図である。
【図７】ハーフミラーを１ｍｍ厚のフッ素樹脂で構成し
たときの横収差図である。
たときの横収差図である。
Ｏ…物点 Ｉ…像面 Ｌ…平行光 Ｍ１…凸面鏡 Ｍ２…凹面鏡 ＨＭ１、ＨＭ２…ハーフミラー Ｍ１′…凹面鏡 Ｍ２′…凸面鏡
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年５月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状
況に鑑みてなされたものであり、その目的は、小さい開
口数の光学系でも、小鏡による隠蔽率が０で、かつ、球
面鏡のみで良好に収差補正がされた反射光学系を提供す
ることである。
況に鑑みてなされたものであり、その目的は、小さい開
口数の光学系でも、小鏡による隠蔽率が０で、かつ、球
面鏡のみで良好に収差補正がされた反射光学系を提供す
ることである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】以下、ハーフミラーＨＭ１の曲率半径をｒ
1 、ｒ3 、凸面鏡Ｍ１の曲率半径をｒ2 、ハーフミラー
ＨＭ２の曲率半径をｒ4 、ｒ6 、凹面鏡Ｍ２の曲率半径
をｒ5 とし、それの値を絶対値で示し、また、各面間の
間隔をｄ1 〜ｄ5 とし、物体側から像側に向かって、又
は、それに垂直な上方に向かって光線が進む時の間隔を
正に、像側から物体側に向かって、又は、それに垂直な
下方に向かって光線が進む時の間隔を負に、夫々設定す
ると、実施例１の反射対物鏡の構成パラメータの値は次
のようになる。
1 、ｒ3 、凸面鏡Ｍ１の曲率半径をｒ2 、ハーフミラー
ＨＭ２の曲率半径をｒ4 、ｒ6 、凹面鏡Ｍ２の曲率半径
をｒ5 とし、それの値を絶対値で示し、また、各面間の
間隔をｄ1 〜ｄ5 とし、物体側から像側に向かって、又
は、それに垂直な上方に向かって光線が進む時の間隔を
正に、像側から物体側に向かって、又は、それに垂直な
下方に向かって光線が進む時の間隔を負に、夫々設定す
ると、実施例１の反射対物鏡の構成パラメータの値は次
のようになる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】 ｒ1 ＝ ∞ ｄ1 ＝ 20.00000 ｒ2 ＝ 353.84615 ｄ2 ＝-20.00000 ｒ3 ＝ ∞ ｄ3 ＝ 50.00000 ｒ4 ＝ ∞ ｄ4 ＝-30.00000 ｒ5 ＝ 211.32076 ｄ5 ＝ 30.00000 ｒ6 ＝ ∞ 次に、図２、図３は、実施例１の反射対物鏡のミラーの
配置を多少変形したものの断面図であり、本質的には図
１のものと同じである。図２の場合は、ハーフミラーＨ
Ｍ１で反射した光線が、まずハーフミラーＨＭ２を通過
し、凹面鏡Ｍ２で反射後、ハーフミラーＨＭ２で反射す
るようにしたものであり、軸上光線は同様にハーフミラ
ーＨＭ１、ＨＭ２に入射角４５°で入射する。これに対
して、図３の場合は、ミラーの配置は図１と同様である
が、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ２に対する軸上光線の入
射角が３０°となるように、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ
２の法線の光軸に対する傾きを３０°にしてあり、この
配置は、色収差の発生量を小さくできるという特徴を有
している。
配置を多少変形したものの断面図であり、本質的には図
１のものと同じである。図２の場合は、ハーフミラーＨ
Ｍ１で反射した光線が、まずハーフミラーＨＭ２を通過
し、凹面鏡Ｍ２で反射後、ハーフミラーＨＭ２で反射す
るようにしたものであり、軸上光線は同様にハーフミラ
ーＨＭ１、ＨＭ２に入射角４５°で入射する。これに対
して、図３の場合は、ミラーの配置は図１と同様である
が、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ２に対する軸上光線の入
射角が３０°となるように、ハーフミラーＨＭ１、ＨＭ
２の法線の光軸に対する傾きを３０°にしてあり、この
配置は、色収差の発生量を小さくできるという特徴を有
している。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】 ｒ1 ＝ ∞ ｄ1 ＝ 15.0000 ｒ2 ＝ 900.0000 ｄ2 ＝-15.0000 ｒ3 ＝ ∞ ｄ3 ＝ 20.00000 ｒ4 ＝ ∞ ｄ4 ＝-15.00000 ｒ5 ＝ 533.3333 ｄ5 ＝ 15.00000 ｒ6 ＝ ∞ この実施例２の性能を波面収差で表すと、軸上で０．０
００、最軸外で０．００７であり、非常に良好に収差補
正されていることが分る（厚さ０のハーフミラーＨＭ
１、ＨＭ２での計算なので、色収差はない。なお、計算
は波長５４６．０７ｎｍで行った。）。なお、実施例２
の場合も、実施例１と同様、図２、図３のようにミラー
の配置を変更することができる。
００、最軸外で０．００７であり、非常に良好に収差補
正されていることが分る（厚さ０のハーフミラーＨＭ
１、ＨＭ２での計算なので、色収差はない。なお、計算
は波長５４６．０７ｎｍで行った。）。なお、実施例２
の場合も、実施例１と同様、図２、図３のようにミラー
の配置を変更することができる。
Claims (1)
- 【請求項１】 ２枚の球面鏡と２枚のハーフミラーによ
り構成され、前記２枚の球面鏡の法線は相互に一致しな
いように配置され、かつ、各球面鏡に入射する軸上光線
が各球面鏡の法線に一致するように配置されていること
を特徴とする反射光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4100786A JPH05297277A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 反射光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4100786A JPH05297277A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 反射光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297277A true JPH05297277A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14283142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4100786A Withdrawn JPH05297277A (ja) | 1992-04-21 | 1992-04-21 | 反射光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05297277A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19748503B4 (de) * | 1997-06-02 | 2005-10-06 | Mitsubishi Denki K.K. | Projektionsbelichtungsgerät und Projektionsbelichtungsverfahren |
-
1992
- 1992-04-21 JP JP4100786A patent/JPH05297277A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19748503B4 (de) * | 1997-06-02 | 2005-10-06 | Mitsubishi Denki K.K. | Projektionsbelichtungsgerät und Projektionsbelichtungsverfahren |
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