JPH05289336A - Composition for forming light shielding thin film - Google Patents

Composition for forming light shielding thin film

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Publication number
JPH05289336A
JPH05289336A JP9317492A JP9317492A JPH05289336A JP H05289336 A JPH05289336 A JP H05289336A JP 9317492 A JP9317492 A JP 9317492A JP 9317492 A JP9317492 A JP 9317492A JP H05289336 A JPH05289336 A JP H05289336A
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JP
Japan
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thin film
light
bismuth sulfide
negative resist
composition
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Withdrawn
Application number
JP9317492A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaru Suzuki
勝 鈴木
Noboru Kinoshita
暢 木下
Masaru Uehara
賢 上原
Tsutomu Watanabe
務 渡辺
Takeshi Tokuda
剛 徳田
Nobuhiko Nishihara
伸彦 西原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Cement Co Ltd
Shinto Paint Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Cement Co Ltd
Shinto Paint Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide a composition for forming thin film having high light shielding property by blending a specific ratio of bismuth sulfide to a negative resist. CONSTITUTION:The objective composition is obtained by blending 70-20 pts.wt. bismuth sulfide to 30-80 pts.wt. negative resist. So-called ultraviolet-curing resist hardened by light of ultraviolet region is preferably used because of its easy application. The negative resist mainly contains various synthetic resins such as acrylic base, urethane base, epoxy base, synthetic rubber base, polyvinyl alcohol and natural rubber or gelatin or the like and is formed singly or by blending each of these material. In this case, the powder of bismuth sulfide is, if necessary, surface treated by a silane coupling agent or a titania based coupling agent to improve the dispersibility of the powder of bismuth sulfide into the negative resist.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、透明基板上や、微細な
遮光性薄膜パターンを有した透明基板の微細な遮光性薄
膜パターンの間隙上に、遮光性薄膜を形成するための遮
光性薄膜形成組成物に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light-shielding thin film for forming a light-shielding thin film on a transparent substrate or on a gap between fine light-shielding thin film patterns of a transparent substrate having a fine light-shielding thin film pattern. Forming composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶ディスプレイのカラー化に使用され
るカラーフィルタにおいては、不要光の遮光やその他の
特性を向上させるため、そのストライプ間隙に遮光性薄
膜が形成されている。このような遮光性薄膜の形成に有
用な方法として、例えば特開昭62−247331号に
開示されているような背面露光法がある。この背面露光
法は、遮光性を有し、かつ機能性(例えばカラーフィル
タとしての機能)を有する薄膜を予め透明基板上に形成
し、この薄膜を利用してその上に被覆した光硬化性組成
物からなる薄膜の、光による反応を阻み、一方、他の部
分すなわち前記薄膜の間隙においては、光による硬化反
応によって遮光性薄膜を形成させるという方法である。
2. Description of the Related Art In a color filter used for colorizing a liquid crystal display, a light-shielding thin film is formed in the stripe gap in order to shield unnecessary light and improve other characteristics. As a method useful for forming such a light-shielding thin film, there is a backside exposure method as disclosed in, for example, JP-A-62-247331. In this back exposure method, a thin film having a light-shielding property and a function (for example, a function as a color filter) is formed on a transparent substrate in advance, and the thin film is used to coat the photocurable composition. This is a method in which the reaction of a thin film made of a substance with light is blocked, while the light-shielding thin film is formed by a curing reaction by light in other portions, that is, in the gaps between the thin films.

【0003】ところで、このような背面露光法で用いら
れる、光硬化性を有する遮光性薄膜形成組成物として
は、チタンブラック、黒色酸化鉄、酸化クロム等の金属
酸化物系黒色顔料や、カーボンブラックあるいは黒色染
料、さらには赤、青、緑の3色の顔料を混色したもの
を、それぞれ単独でまたは混合してネガ型レジストに分
散させたものが知られている。
By the way, examples of the light-curing light-shielding thin film forming composition used in such a backside exposure method include metal oxide black pigments such as titanium black, black iron oxide and chromium oxide, and carbon black. Alternatively, it is known that a black dye and a mixture of three color pigments of red, blue, and green are dispersed alone or in a mixture in a negative resist.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記遮
光性薄膜形成組成物において、カーボンブラック、チタ
ンブラック、黒色酸化鉄等を用いた場合には以下に述べ
る不都合がある。カーボンブラック、チタンブラック、
黒色酸化鉄等は電気抵抗が低く、したがってこれらを使
用した場合には得られる遮光性薄膜の電気抵抗も低くな
るため、例えばこの薄膜上に微細な導電性回路パターン
を形成すると、その微細な導電性回路パターン間でショ
ートが発生するなど好ましくない現象が起こる。
However, when carbon black, titanium black, black iron oxide or the like is used in the light-shielding thin film forming composition, there are the following disadvantages. Carbon black, titanium black,
Black iron oxide and the like have low electric resistance, and therefore, when these are used, the electric resistance of the light-shielding thin film obtained is also low. Therefore, for example, when a fine conductive circuit pattern is formed on this thin film, the fine conductive An unfavorable phenomenon such as a short circuit between the sexual circuit patterns occurs.

【0005】また、酸化クロム系顔料を用いた場合に
は、有害なクロムイオンが流出することによる環境汚染
を防止するため、高価な処理設備を必要とする。また、
赤、青、緑の顔料を混合して用いる場合には、得られる
遮光性薄膜を真に黒色にするのが非常に困難であり、そ
れぞれの顔料が特定な波長領域しか吸収しないため、ネ
ガレジストに分散する際の顔料濃度を単品の黒色濃度の
場合より濃くしなければならず、その結果組成物の光硬
化性を著しく低下させてしまう。
Further, when a chromium oxide pigment is used, expensive treatment equipment is required in order to prevent environmental pollution due to outflow of harmful chromium ions. Also,
When red, blue, and green pigments are mixed and used, it is very difficult to make the resulting light-shielding thin film truly black, and each pigment absorbs only a specific wavelength range. The concentration of the pigment when dispersed in the composition must be higher than that of the case of a single black component, and as a result, the photocurability of the composition is significantly reduced.

【0006】さらに、黒色染料を使用した場合には、そ
の耐熱性の低さから得られる遮光性薄膜の耐熱性が低下
してしまい、例えば230℃以上の加熱処理を行うとそ
の遮光性が著しく低下する。この発明は前記事情に鑑み
てなされたもので、その目的とするところは、前述した
従来の問題点を解決すべく、高遮光性の薄膜形成組成物
を提供することにある。
Further, when a black dye is used, the heat resistance of the light-shielding thin film obtained due to its low heat resistance is lowered, and when the heat treatment is carried out at, for example, 230 ° C. or higher, its light-shielding property becomes remarkable. descend. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a high light-shielding thin film forming composition in order to solve the above-mentioned conventional problems.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明者は、かかる従来の技術を研究するにあたり、背
面露光法で得られる遮光性薄膜の性質は遮光性顔料によ
り決定されることに着目し、鋭意研究を重ねた結果、硫
化ビスマスがきわめて優れた顔料であることを見いだ
し、本発明を完成させたのである。すなわち、本発明の
遮光性薄膜形成組成物は、ネガ型レジスト30〜80重
量部に対し硫化ビスマスを70〜20重量部配合してな
ることにより前記課題を解決したものであり、さらに詳
しくは、必要に応じ硬化性を付与するため光開始剤、光
増感剤を反応性希釈剤等を適量加え、さらにその他の顔
料を0〜50重量部加えてなるものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the present inventor has researched such conventional techniques that the properties of the light-shielding thin film obtained by the back exposure method are determined by the light-shielding pigment. As a result of extensive research and attention, bismuth sulfide was found to be an extremely excellent pigment, and the present invention was completed. That is, the light-shielding thin film-forming composition of the present invention solves the above problems by blending 70 to 20 parts by weight of bismuth sulfide with 30 to 80 parts by weight of a negative resist, and more specifically, If necessary, a photoinitiator, a photosensitizer, a reactive diluent and the like are added in appropriate amounts to impart curability, and 0 to 50 parts by weight of other pigments are further added.

【0008】以下、本発明の遮光性薄膜形成組成物を詳
しく説明する。本発明に用いられるネガ型レジストとし
ては、UV領域の光源で硬化する、いわゆるUV硬化型
レジストがその使用の容易さから好適とされる。また、
このようなネガ型レジストは、アクリル系、ウレタン
系、エポキシ系、合成ゴム系、ポリビニルアルコール系
などの各種合成樹脂および天然ゴム、またはゼラチンな
どをその主成分とするものであり、これらを単独あるい
は混合して配合され形成されたものである。なお、これ
らの材料は市販されており、容易に入手することができ
るものである。
The light-shielding thin film-forming composition of the present invention will be described in detail below. As the negative resist used in the present invention, a so-called UV curable resist that is cured by a light source in the UV region is preferable because of its ease of use. Also,
Such negative resists are mainly composed of various synthetic resins such as acrylic, urethane, epoxy, synthetic rubber, polyvinyl alcohol, and natural rubber, or gelatin, which may be used alone or It is formed by mixing and mixing. Note that these materials are commercially available and can be easily obtained.

【0009】ネガ型レジストに配合される硫化ビスマス
(Bi2S3)としては、粒径が0.1μm〜1.0μm程
度のものが好適とされる。そして、このような硫化ビス
マスは、黒色で300℃の高温下でも安定であり、かつ
電気抵抗も高く環境汚染性も低いという特徴を有したも
のとなる。このような硫化ビスマスの合成方法として
は、 (1)塩化ビスマスを乾燥硫化水素中で加熱する。 (2)塩化ビスマスの塩酸溶液に硫化水素を通ずる。 (3)硝酸ビスマスの中性溶液をチオ硫酸ナトリウムと
ともに加熱する。 等のいずれの方法をも用いることができるが、(2)、
(3)の方法によれば、微細な粉末を合成することがで
き好ましい。
As the bismuth sulfide (Bi2S3) compounded in the negative resist, those having a particle size of about 0.1 μm to 1.0 μm are suitable. Further, such bismuth sulfide has a characteristic that it is black and stable even at a high temperature of 300 ° C., and has high electric resistance and low environmental pollution. As a method for synthesizing such bismuth sulfide, (1) bismuth chloride is heated in dry hydrogen sulfide. (2) Pass hydrogen sulfide through a hydrochloric acid solution of bismuth chloride. (3) Heat a neutral solution of bismuth nitrate with sodium thiosulfate. Although any of the above methods can be used, (2),
The method (3) is preferable because fine powder can be synthesized.

【0010】また、硫化ビスマスの、ネガ型レジストに
対する配合量は、ネガ型レジスト30〜80重量部に対
し70〜20重量部とされる。これは、硫化ビスマスと
ネガ型レジストとの配合比が、70:30よりも大きく
なると光硬化性が著しく低下してしまい、一方20:8
0よりも小さくなると遮光性薄膜の遮光率が小さくなっ
てしまい、いずれも実用的でないからである。なお、ネ
ガ型レジスト中への硫化ビスマス粉末の分散性を向上さ
せるため、必要に応じて例えばシランカップリング剤や
チタニア系カップリング剤(KR−46B[味の素株式
会社製])により、硫化ビスマス粉末の表面処理を行な
ってもよい。
The compounding amount of bismuth sulfide with respect to the negative resist is 70 to 20 parts by weight with respect to 30 to 80 parts by weight of the negative resist. This is because when the compounding ratio of bismuth sulfide and the negative type resist is larger than 70:30, the photocurability is remarkably deteriorated, while the ratio of 20: 8.
This is because if it is smaller than 0, the light shielding rate of the light shielding thin film becomes small, which is not practical. In order to improve the dispersibility of the bismuth sulfide powder in the negative resist, for example, a silane coupling agent or a titania coupling agent (KR-46B [manufactured by Ajinomoto Co., Inc.]) may be used to improve the dispersibility of the bismuth sulfide powder. The surface treatment may be performed.

【0011】硫化ビスマスと併用できる顔料としては、
従来から用いられているカーボンブラック、チタンブラ
ック、黒色酸化鉄および黒色染料などの黒色顔料はもち
ろん、これら以外にもチタン白、赤色酸化鉄、フタロシ
アニン系顔料、ペリレン系顔料等の無機あるいは有機の
着色顔料、ケイ酸アルミニウム、ケイ酸マグネシウム等
の体質顔料があり、それぞれ単独でまたは混合して硫化
ビスマスとともに使用することができる。
Pigments that can be used in combination with bismuth sulfide include
In addition to black pigments such as carbon black, titanium black, black iron oxide and black dye that have been conventionally used, titanium white, red iron oxide, phthalocyanine pigments, perylene pigments and other inorganic or organic pigments There are pigments, extender pigments such as aluminum silicate and magnesium silicate, which can be used alone or in combination with bismuth sulfide.

【0012】これらの顔料は、塗布性の改善や背面露光
法により得られる遮光性薄膜の平滑性の改善、膜厚調整
等を目的として加えられるが、硫化ビスマスの優れた顔
料特性を失わないためには、なるべく少量であることが
望ましい。また、カーボンブラックのようにきわめて電
気抵抗の低い顔料を硫化ビスマスと併用する場合には、
得られる遮光性塗膜の電気抵抗に特に注意する必要があ
る。ネガ型レジストと硫化ビスマスを含む全顔料との重
量比は、前述したネガ型レジストと硫化ビスマスとの配
合比の場合と同様の理由により、ネガ型レジスト:全顔
料=80:20〜30:70の範囲が望ましい。すなわ
ち、30:70よりも顔料の重量比が大きい場合には光
硬化性が著しく低下してしまい、一方80:20よりも
顔料比が小さい場合には得られる遮光性薄膜の遮光率が
小さくなってしまい、いずれも実用的でないからであ
る。
These pigments are added for the purpose of improving the coating property, improving the smoothness of the light-shielding thin film obtained by the back exposure method, adjusting the film thickness, etc., but do not lose the excellent pigment properties of bismuth sulfide. It is desirable that the amount be as small as possible. When using a pigment with extremely low electrical resistance such as carbon black in combination with bismuth sulfide,
It is necessary to pay particular attention to the electric resistance of the resulting light-shielding coating film. The weight ratio of the negative resist to the total pigment containing bismuth sulfide is the same as the case of the compounding ratio of the negative resist to bismuth sulfide described above, and the negative resist: all pigment = 80: 20 to 30:70. The range of is desirable. That is, when the weight ratio of the pigment is larger than 30:70, the photocurability is remarkably lowered, while when the pigment ratio is smaller than 80:20, the light shielding ratio of the light shielding thin film obtained is small. This is because neither is practical.

【0013】本発明の遮光性薄膜形成組成物を得るに
は、まずネガ型レジストと硫化ビスマスと必要に応じ併
用される顔料とを所定比で混合して充分に混練し、その
後光開始剤、光増感剤を適量加えることによって該組成
物を得る。このようにして得られた遮光性薄膜形成組成
物を使用するに際しては、その塗布作業性を良くするた
め粘度調整剤を加えてもよく、また炭化水素、エステ
ル、ケトン等の適当な有機溶剤や水を加え適当な粘度に
希釈して使用してもよい。また、その密着性を向上させ
たい場合には、シランカップリング剤、チタンカップリ
ング剤等を加えるのが有効である。しかし、これらを加
えた場合には、組成物の貯蔵安定性を損なう場合がある
ので注意しなければならない。
In order to obtain the light-shielding thin film forming composition of the present invention, first, a negative resist and bismuth sulfide and a pigment which is optionally used together are mixed in a predetermined ratio and sufficiently kneaded, and then a photoinitiator, The composition is obtained by adding an appropriate amount of a photosensitizer. When the light-shielding thin film-forming composition thus obtained is used, a viscosity modifier may be added to improve its coating workability, and a suitable organic solvent such as hydrocarbon, ester or ketone, or You may use it after adding water and diluting to an appropriate viscosity. Further, when it is desired to improve the adhesion, it is effective to add a silane coupling agent, a titanium coupling agent, or the like. However, it should be noted that the addition of these may impair the storage stability of the composition.

【0014】次に、このような遮光性薄膜形成組成物を
用いた背面露光法による、透明基板への遮光性薄膜の形
成法について説明する。まず、透明基板表面にロールコ
ート、スピンコート、スプレーコート、スクリーン印
刷、オフセット印刷等の方法で前記遮光性薄膜形成組成
物を塗布し、さらに必要に応じてプレベークを行い、厚
さ2μm〜20μmの未硬化の塗膜を形成する。ここ
で、透明基板としては、ガラス、プラスチックの板、プ
ラスチックフィルム等が用いられる。
Next, a method of forming a light-shielding thin film on a transparent substrate by a backside exposure method using such a light-shielding thin film forming composition will be described. First, the transparent substrate surface is coated with the light-shielding thin film-forming composition by a method such as roll coating, spin coating, spray coating, screen printing, or offset printing, and prebaking is performed if necessary to obtain a film having a thickness of 2 μm to 20 μm. Form an uncured coating film. Here, a glass plate, a plastic plate, a plastic film, or the like is used as the transparent substrate.

【0015】次に、超高圧水銀灯やメタルハライドラン
プ等を使用した紫外線照射装置を用い、透明基板の背面
側に照射して0.5〜60秒程度露光させる。すると、
基板上の遮光性薄膜形成組成物は、露光条件に応じて基
板から0.5〜3.0μm程度の厚さまで硬化する。次い
で、この基板を現像液に10秒〜5分程度浸漬またはシ
ャワーがけし、未硬化の部分を除去する。現像液として
は、用いられたネガ型レジストの種類により種々選択さ
れるが、通常はエステル、ケトン、アルコール、芳香族
および脂肪族の炭化水素、塩素化炭化水素等の有機溶剤
あるいは水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、テトラメ
チルアンモニウムハイドロオキサイド等の無機または有
機のアルカリ水溶液が使用される。
Next, the back side of the transparent substrate is irradiated with an ultraviolet irradiation device using an ultra-high pressure mercury lamp or a metal halide lamp to expose it for 0.5 to 60 seconds. Then,
The light-shielding thin film-forming composition on the substrate cures from the substrate to a thickness of about 0.5 to 3.0 μm depending on the exposure conditions. Then, the substrate is immersed in a developing solution for about 10 seconds to 5 minutes or showered to remove the uncured portion. The developer is variously selected depending on the type of the negative resist used, but is usually an organic solvent such as ester, ketone, alcohol, aromatic and aliphatic hydrocarbon, chlorinated hydrocarbon or sodium hydroxide, An inorganic or organic alkaline aqueous solution such as sodium carbonate or tetramethylammonium hydroxide is used.

【0016】なお、このような薄膜形成に際しては、当
然透明基板上に予めカラーフィルタのような、遮光性を
有する微細な薄膜パターンを形成しておけば、そのパタ
ーン上では光による硬化が起こらないため該薄膜が現像
時に溶出され、ブラックマスクとして機能する遮光性薄
膜が前記カラーフィルタのパターンの間隙にのみ形成さ
れるのである。そして、このような透明基板へのカラー
フィルタの形成方法としては、以下に述べる電着法が好
適とされる。
Incidentally, in forming such a thin film, if a fine thin film pattern having a light-shielding property such as a color filter is previously formed on a transparent substrate, curing by light does not occur on the pattern. Therefore, the thin film is eluted at the time of development, and the light-shielding thin film that functions as a black mask is formed only in the gap of the pattern of the color filter. As a method of forming a color filter on such a transparent substrate, the electrodeposition method described below is suitable.

【0017】電着法によりカラーフィルタを形成するに
は、まず電着塗料として、赤の無機顔料(アゾ金属塩赤
顔料)、緑の無機顔料(フタロシアニングリーン)、青
の無機顔料(フタロシアニンブルー)を分散させたアニ
オン性ポリエステル樹脂の水溶液[シントーケミトロン
社製:赤(シントロンF・Red・C(R73))、緑
(シントロンF・Green・C(G34))、青(シ
ントロンF・Blue・C(B18))を用意する。ま
た、これとは別に、厚さ1.1mmのガラス基板上に、
幅90μmのITO(15Ω/cm2)回路を、20μ
mの間隔をおいて(110μmピッチ)平行直線状に形
成し、透明導電性回路パターンを作製しておく。
To form a color filter by the electrodeposition method, first, as an electrodeposition paint, a red inorganic pigment (azo metal salt red pigment), a green inorganic pigment (phthalocyanine green), and a blue inorganic pigment (phthalocyanine blue). An aqueous solution of anionic polyester resin in which is dispersed [manufactured by Shinto Chemitron: red (Syntron F. Red. C (R73)], green (Syntron F. Green. C (G34)), blue (Syntron F. Blue. C (B18)) is prepared. Separately from this, on a glass substrate with a thickness of 1.1 mm,
An ITO (15Ω / cm2) circuit with a width of 90 μm,
Transparent transparent conductive circuit patterns are prepared by forming parallel straight lines at intervals of m (110 μm pitch).

【0018】次に、この透明導電性回路パターンの上
に、さらに赤・緑・青の順に各種に応じて50〜80V
で10〜20秒電着を行い、三原色のカラーフィルタを
透明導電性回路パターン上に形成する。その後、透明基
板をよく水洗い、さらに200℃で30分間焼付けして
それぞれ赤、緑、青の厚さ1.5μmのカラーフィルタ
薄膜を形成する。
Next, on the transparent conductive circuit pattern, 50 to 80 V is further applied in the order of red, green and blue according to various types.
For 10 to 20 seconds to form three primary color filters on the transparent conductive circuit pattern. Then, the transparent substrate is thoroughly washed with water and baked at 200 ° C. for 30 minutes to form a color filter thin film of red, green and blue having a thickness of 1.5 μm.

【0019】[0019]

【作用】本発明の遮光性薄膜形成組成物によれば、硫化
ビスマスが黒色で300℃の高温下でも安定であり、か
つ電気抵抗も高く環境汚染性も低いので、これによって
例えばカラーフィルタのパターンの間隙に微細な遮光性
薄膜を形成すれば、得られる薄膜は高遮光性等の優れた
特性を有する黒色薄膜となる。
According to the light-shielding thin film-forming composition of the present invention, bismuth sulfide is black and stable even at a high temperature of 300 ° C., and has high electric resistance and low environmental pollution. If a fine light-shielding thin film is formed in the gap, the obtained thin film becomes a black thin film having excellent characteristics such as high light-shielding property.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明の一実施例である組成物を用い
た、透明基板上への遮光性薄膜の形成法を具体的に説明
する。まず、前述した方法により、透明ガラス基板へ透
明導電性パターンを形成し、さらにその上にカラーフィ
ルタを形成した。
EXAMPLES Hereinafter, a method for forming a light-shielding thin film on a transparent substrate using the composition which is one example of the present invention will be specifically described. First, a transparent conductive pattern was formed on a transparent glass substrate by the method described above, and a color filter was further formed thereon.

【0021】また、これとは別に、アクリル系ネガ型レ
ジスト(日本化薬社品;INCー116N)50重量部
に硫化ビスマス(住友セメント社品)50重量部を加
え、さらに溶剤としてブチルカルビトールアセテート5
重量部を加えてよく混合し、その後ロール分散し、さら
にこれに光開始剤イルガキュアー#907(チバガイギ
ー社品)3重量部を溶解して本発明の組成物を得た。次
に、前記カラーフィルタを形成した透明ガラス基板全体
に、前記組成物をスクリーン印刷にて塗布し、さらに9
0℃で10分間プレベークした。得られた塗膜の厚さを
測ったところ10μmであった。
Separately from this, 50 parts by weight of bismuth sulfide (Sumitomo Cement Co., Ltd.) was added to 50 parts by weight of an acrylic negative resist (Nippon Kayaku Co., INC-116N), and butyl carbitol as a solvent. Acetate 5
Then, 3 parts by weight of a photoinitiator Irgacure # 907 (manufactured by Ciba-Geigy) was dissolved in the resulting mixture to obtain a composition of the present invention. Next, the composition is applied by screen printing to the entire transparent glass substrate on which the color filter is formed, and further 9
Prebaked at 0 ° C for 10 minutes. When the thickness of the obtained coating film was measured, it was 10 μm.

【0022】次いで、この透明ガラス基板の背面側より
80W/cm2のUV光を15cmの距離から4秒間照
射し、露光させた。このときのUV光の主波長は313
nmと365nmである。その後、露光させたガラス基
板をブチルセロソルブに2分間浸漬して未硬化部分の遮
光性薄膜を除去し、さらにイオン交換水で洗滌を行った
後200℃で30分間加熱した。
Next, 80 W / cm 2 of UV light was irradiated from the back side of this transparent glass substrate from a distance of 15 cm for 4 seconds for exposure. The main wavelength of UV light at this time is 313
nm and 365 nm. After that, the exposed glass substrate was immersed in butyl cellosolve for 2 minutes to remove the light-shielding thin film in the uncured portion, further washed with ion-exchanged water, and then heated at 200 ° C. for 30 minutes.

【0023】このようにして得られた基板を観察したと
ころ、赤、緑、青色の薄膜パターン(カラーフィルタ)
の間隙に精度よく遮光性黒色薄膜が形成されているのが
確認された。このような遮光性黒色薄膜の遮光率、体積
固有抵抗、耐熱性を調べ、その結果を表1に示す。な
お、体積固有抵抗は10Vで測定した。
When the substrate thus obtained was observed, red, green and blue thin film patterns (color filters) were observed.
It was confirmed that the light-shielding black thin film was accurately formed in the gap. The light-shielding rate, volume resistivity, and heat resistance of such a light-shielding black thin film were investigated, and the results are shown in Table 1. The volume resistivity was measured at 10V.

【0024】[0024]

【表1】 また、比較のため、表2に示す組成物を用いて実施例と
同様に遮光性薄膜を形成し、その特性を調べて表1に併
記する。
[Table 1] For comparison, the composition shown in Table 2 was used to form a light-shielding thin film in the same manner as in Examples, and the characteristics thereof were investigated and are also shown in Table 1.

【表2】 表1に示すように、本発明の実施例である薄膜は、40
0nm〜700nmの波長域で99.9%の高遮光性を
有しているなど、比較例のものに比べ優れた特性を有し
ていることが確認された。
[Table 2] As shown in Table 1, the thin film of the present invention is 40
It was confirmed that it has excellent characteristics as compared with the comparative example, such as having a high light-shielding property of 99.9% in the wavelength range of 0 nm to 700 nm.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明の遮光性薄膜形成組成物は、硫化
ビスマスが黒色で300℃の高温下でも安定であり、か
つ電気抵抗も高く環境汚染性も低いので、これによって
例えばカラーフィルタのパターンの間隙に微細な遮光性
薄膜を形成すれば、得られる薄膜は高遮光性等の優れた
特性を有する黒色薄膜となる。したがって、この遮光性
薄膜形成組成物を液晶ディスプレイに用いられるカラー
フィルタの製造に用いてそのブラックマトリックスを形
成すれば、カラーフィルタとして機能する薄膜の間隙を
埋めて不要光の遮光やその他の特性を向上させるものと
なり、極めて優れた品質のディスプレイを作製すること
ができる。
The light-shielding thin film-forming composition of the present invention has black bismuth sulfide and is stable even at a high temperature of 300 ° C., and has high electric resistance and low environmental pollution. If a fine light-shielding thin film is formed in the gap, the obtained thin film becomes a black thin film having excellent characteristics such as high light-shielding property. Therefore, when the black matrix is formed by using this light-shielding thin film-forming composition in the production of a color filter used for a liquid crystal display, the gap of the thin film functioning as a color filter is filled, and unnecessary light is shielded and other characteristics are obtained. It will be improved and a display of extremely excellent quality can be produced.

フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/004 511 521 (72)発明者 上原 賢 千葉県船橋市豊富町585番地 住友セメン ト株式会社中央研究所内 (72)発明者 渡辺 務 兵庫県尼崎市南塚口町6丁目10番73号 神 東塗料株式会社内 (72)発明者 徳田 剛 兵庫県尼崎市南塚口町6丁目10番73号 神 東塗料株式会社内 (72)発明者 西原 伸彦 兵庫県尼崎市南塚口町6丁目10番73号 神 東塗料株式会社内Continuation of front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Office reference number FI Technical indication location G03F 7/004 511 521 (72) Inventor Ken Ken Uehara Sumitomo Cement Research Co., Ltd. (72) Inventor Tsutomu Watanabe 6-1073 Minamitsukaguchi-cho, Amagasaki-shi, Hyogo Shinto Paint Co., Ltd. (72) Inventor Go Tokuda 6-1073 Minamitsukaguchi-cho, Amagasaki-shi, Hyogo Shinto Paint Incorporated (72) Inventor Nobuhiko Nishihara 6-1073 Minamitsukaguchi-cho, Amagasaki-shi, Hyogo Shinto Paint Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 背面露光法に用いられる遮光性薄膜形成
組成物であって、ネガ型レジスト30〜80重量部に対
し硫化ビスマスを70〜20重量部配合してなることを
特徴とする遮光性薄膜形成組成物。
1. A light-shielding thin film forming composition used in a backside exposure method, comprising 70 to 20 parts by weight of bismuth sulfide mixed with 30 to 80 parts by weight of a negative resist. Thin film forming composition.
JP9317492A 1992-04-13 1992-04-13 Composition for forming light shielding thin film Withdrawn JPH05289336A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09265006A (en) * 1996-03-27 1997-10-07 Toray Ind Inc Resin black matrix, black paste and color filter
RU2660054C1 (en) * 2016-09-05 2018-07-04 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (Университет ИТМО) Immersion composition

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH09265006A (en) * 1996-03-27 1997-10-07 Toray Ind Inc Resin black matrix, black paste and color filter
RU2660054C1 (en) * 2016-09-05 2018-07-04 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (Университет ИТМО) Immersion composition

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