JPH0527406U - Single-axis coarse / fine control device - Google Patents
Single-axis coarse / fine control deviceInfo
- Publication number
- JPH0527406U JPH0527406U JP085370U JP8537091U JPH0527406U JP H0527406 U JPH0527406 U JP H0527406U JP 085370 U JP085370 U JP 085370U JP 8537091 U JP8537091 U JP 8537091U JP H0527406 U JPH0527406 U JP H0527406U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- coarse
- friction wheel
- fine movement
- planetary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Friction Gearing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】簡単且つコンパクトな構成であると共に、軽い
付勢力で遊星摩擦車を粗動軸及び軸受の夫々の摩擦面に
確実に接触させることができる一軸式粗微動装置を提供
する。
【構成】微動軸９１と、内部に微動軸９１を回転可能に
嵌合させると共に鏡体あるいは載物台等を移動可能な粗
動軸７５と、粗動軸７５を支承する軸受７３と、微動軸
９１の円錐面９７及び軸受７３の摩擦面１１１に接触可
能な３個の遊星摩擦車１０３と、を具備している。遊星
摩擦車１０３は、夫々、偏心軸で支持されており、これ
ら偏心軸は、夫々、粗動軸７５に固定された摩擦車支持
軸９９と、この摩擦車支持軸９９の外周に回転可能に嵌
合され、遊星摩擦車１０３が回転可能に嵌合された偏心
リング１０１と、を備えている。また、遊星摩擦車１０
３は、皿ばね１０７によって円錐面９７及び摩擦面１１
１に押圧接触している。
(57) [Abstract] [Purpose] A single-axis coarse / fine adjustment device that has a simple and compact structure and is capable of reliably bringing the planetary friction wheel into contact with the friction surfaces of the coarse shaft and the bearing with a light biasing force. provide. A fine movement shaft 91, a coarse movement shaft 75 capable of rotatably fitting the fine movement shaft 91 therein and moving a mirror body or a stage, a bearing 73 supporting the coarse movement shaft 75, and a fine movement shaft. Three planetary friction wheels 103 that can contact the conical surface 97 of the shaft 91 and the friction surface 111 of the bearing 73 are provided. The planetary friction wheels 103 are respectively supported by eccentric shafts, and these eccentric shafts are rotatably supported by the friction wheel supporting shaft 99 fixed to the coarse shaft 75 and the outer circumference of the friction wheel supporting shaft 99, respectively. And an eccentric ring 101 in which a planetary friction wheel 103 is rotatably fitted. In addition, the planetary friction wheel 10
3 is a conical surface 97 and a friction surface 11 due to the disc spring 107.
It is in pressure contact with 1.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、例えば、実体顕微鏡等の精密機械の粗微動焦準装置として用いられ る一軸式粗微動装置に関する。 The present invention relates to a single-axis coarse / fine movement device used as a coarse / fine movement focusing device for a precision machine such as a stereoscopic microscope.
【０００２】[0002]
従来、例えば、実公昭３３−１６４６１号公報（以下、引例１と称する）に記 載されているように、遊星鋼球（ボ―ル）を用いて粗動及び微動を行う装置が知 られている。 Conventionally, as described in, for example, Japanese Utility Model Publication No. 33-16461 (hereinafter referred to as Reference 1), a device for performing coarse and fine movements using a planetary steel ball is known. There is.
【０００３】 以下、この装置について、図７及び図８を参照して説明する。This device will be described below with reference to FIGS. 7 and 8.
【０００４】 図７に示すように、顕微鏡鏡体部（図示しない）が固定されたナカガイド１は 、鋼球３を介して、焦準マウント５に固定されたソトガイド７に沿って、上下動 可能に支持されている。As shown in FIG. 7, a Naka guide 1 to which a microscope body (not shown) is fixed can move up and down along a soto guide 7 fixed to a focusing mount 5 via a steel ball 3. Supported by.
【０００５】 焦準マウント５には、軸受９が固定されており、この軸受９に粗動軸１１が回 転可能に支持されている。この粗動軸１１の中央部には、歯車１３が形成されて おり、この歯車１３は、ナカガイド１に一体的に設けられたラック１５と噛み合 っている。微動軸１７は、粗動軸１１に回転可能に支持されており、両端には、 夫々、微動ハンドル１９，２１が固定されている。また、粗動軸１１の両端には 、夫々、粗動ハンドル２３，２５が固定されている。A bearing 9 is fixed to the focusing mount 5, and a coarse movement shaft 11 is rotatably supported by the bearing 9. A gear 13 is formed in the center of the coarse movement shaft 11, and the gear 13 meshes with a rack 15 which is integrally provided on the Naka guide 1. The fine movement shaft 17 is rotatably supported by the coarse movement shaft 11, and fine movement handles 19 and 21 are fixed to both ends thereof, respectively. Further, coarse movement handles 23 and 25 are fixed to both ends of the coarse movement shaft 11, respectively.
【０００６】 このような構成において、粗動ハンドル２３又は２５を回転することによって 、粗動軸１１を介して歯車１３が回転される。この回転力は、ラック１５を介し てナカガイド１に伝達される。この結果、ナカガイド１が、ソトガイド７に沿っ て上下動される。In such a configuration, by rotating the coarse movement handle 23 or 25, the gear 13 is rotated via the coarse movement shaft 11. This rotational force is transmitted to the Naka guide 1 via the rack 15. As a result, the Naka guide 1 is moved up and down along the Soto guide 7.
【０００７】 また、軸受９の一端には、円錐面２７が形成されており、この円錐面２７には 、第８図に示したように、粗動軸１１の一端に回転自在に保持された３つの鋼球 ２９が接触している。鋼球２９は、軸受９にねじ込まれたナット３１によって押 圧されたばね３３及び円錐リング３５を介して、円錐面２７に押圧接触されると 同時に、微動軸１７にも押圧接触される。Further, a conical surface 27 is formed at one end of the bearing 9, and the conical surface 27 is rotatably held at one end of the coarse movement shaft 11 as shown in FIG. Three steel balls 29 are in contact. The steel ball 29 is pressed against the conical surface 27 via the spring 33 and the conical ring 35 pressed by the nut 31 screwed into the bearing 9, and at the same time, pressed against the fine movement shaft 17.
【０００８】 このような構成において、微動ハンドル１９又は２１を回転させることによっ て、鋼球２９が微動軸１７の軸心を中心に遊星回転され、同時に、粗動軸１１も 鋼球２９に押されて回転される。この時の微動軸１７と粗動軸１１との回転角度 の比は、鋼球２９と、微動軸１７及び円錐面２７と、の接触点での滑りが発生し ないとした場合、微動軸１７の中心から鋼球２９と微動軸１７の接触点までの距 離をＲ１、微動軸１７の中心から鋼球２９と円錐面２７の接触点までの距離をＲ ２とすると、微動軸１７の回転角θ1 に対し、粗動軸１１の回転角θ2 は、 θ2 ＝θ1 ／｛( Ｒ２／Ｒ１）＋１｝ である。In such a structure, by rotating the fine movement handle 19 or 21, the steel ball 29 is planetarily rotated about the axis of the fine movement shaft 17, and at the same time, the coarse movement shaft 11 is also moved to the steel ball 29. It is pushed and rotated. At this time, the ratio of the rotation angles of the fine movement shaft 17 and the coarse movement shaft 11 is such that if the slippage at the contact point between the steel ball 29 and the fine movement shaft 17 and the conical surface 27 does not occur, the fine movement shaft 17 Let R1 be the distance from the center of the ball to the contact point between the steel ball 29 and the fine movement shaft 17, and R2 be the distance from the center of the fine movement shaft 17 to the contact point between the steel ball 29 and the conical surface 27. relative angle theta 1, the rotation angle theta 2 of Sodojiku 11 is θ 2 = θ 1 / {( R2 / R1) +1}.
【０００９】 従って、微動ハンドル１９又は２１を回転することによって、鋼球２９を介し て粗動軸１１が減速回転される。この減速回転力は、歯車１３及びラック１５を 介してナカガイド１に伝達される。この結果、ナカガイド１が、ソトガイド７に 沿って微動上下動される。Therefore, by rotating the fine movement handle 19 or 21, the coarse movement shaft 11 is decelerated and rotated via the steel ball 29. This decelerated rotational force is transmitted to the Naka guide 1 via the gear 13 and the rack 15. As a result, the Naka guide 1 is finely moved up and down along the soto guide 7.
【００１０】 また、実開平３−４９５１１号公報（以下、引例２と称する）には、上述した 鋼球２２の代わりに、一対の遊星摩擦車を用いた粗微動焦準装置が記載されてい る。In addition, Japanese Utility Model Laid-Open No. 3-49511 (hereinafter referred to as Reference 2) describes a coarse and fine focusing device using a pair of planetary friction wheels instead of the steel balls 22 described above. ..
【００１１】 図９及び図１０に示すように（図９及び図１０には、装置の特徴部分の構成の みを示す）、この装置は、微動軸３７に形成した第１の円錐面３９と、この微動 軸３７に回転可能に嵌合した円錐環４１と、微動軸３７の回転力が減速されて伝 達されるピニオン軸（図示しない）を支持するピニオンケース４３と、このピニ オンケース４３に固定された第１の固定輪４５に形成された第２の円錐面４７と 、第１の固定輪４５に固定された第２の固定輪４９に形成された第３の円錐面５ １と、粗動軸３８に装着された軸５３を中心に回転可能な一対の第１及び第２の 遊星摩擦車５５、５７と、を備えている。第１の遊星摩擦車５５の外周は、第１ の円錐面３９及び第２の円錐面４７に接触し、第２の遊星摩擦車５７の外周は、 円錐環４１及び第３の円錐面５１に接触している。これら第１及び第２の遊星摩 擦車５５、５７は、皿ばね５９によって互いにスラスト方向に押し広げられ、前 述した第１ないし第３の円錐面３９、４７、５１及び円錐環４１に押圧されてい る。なお、符号６１は、粗動ハンドルで、符号６３は、微動ハンドルである。As shown in FIGS. 9 and 10 (only the configuration of the characteristic portion of the device is shown in FIGS. 9 and 10), the device includes a first conical surface 39 formed on the fine movement shaft 37. A pinion case 43 that supports a conical ring 41 that is rotatably fitted to the fine movement shaft 37 and a pinion shaft (not shown) that transmits the rotational force of the fine movement shaft 37 by deceleration, and the pinion case 43. A second conical surface 47 formed on the first fixed ring 45 fixed to the first fixed ring 45, and a third conical surface 51 formed on the second fixed ring 49 fixed to the first fixed ring 45. , A pair of first and second planetary friction wheels 55, 57 rotatable about a shaft 53 mounted on the coarse movement shaft 38. The outer circumference of the first planetary friction wheel 55 contacts the first conical surface 39 and the second conical surface 47, and the outer circumference of the second planetary friction wheel 57 forms the conical ring 41 and the third conical surface 51. Are in contact. These first and second planetary friction wheels 55, 57 are spread out in the thrust direction by a disc spring 59 and pressed against the above-mentioned first to third conical surfaces 39, 47, 51 and the conical ring 41. Has been done. Reference numeral 61 is a coarse movement handle, and reference numeral 63 is a fine movement handle.
【００１２】 このような構成によれば、例えば、微動ハンドル６３を回転することによって 、第１の円錐面３９が回転し、この第１の円錐面３９と接触している第１の遊星 摩擦車５５が、軸５３及び微動軸３７の回りで遊星回転される。なお、第２の遊 星摩擦車５７も、第１の遊星摩擦車５５と同様に、軸５３及び微動軸３７の回り で遊星回転される。According to such a configuration, for example, by rotating the fine movement handle 63, the first conical surface 39 rotates, and the first planetary friction wheel in contact with the first conical surface 39. 55 is planet-rotated about the shaft 53 and the fine shaft 37. The second planetary friction wheel 57, like the first planetary friction wheel 55, is planet-rotated about the shaft 53 and the fine movement shaft 37.
【００１３】[0013]
しかしながら、引例１の装置では、減速比を大きくとろうとすると微動軸心か ら微動軸と鋼球との接触点までの距離Ｒ１を小さくするか，もしくは、微動軸心 から軸受の円錐面と鋼球との接触点までの距離Ｒ２を大きくする必要がある。Ｒ １を小さくするには限度があるのでＲ２を大きくすると、鋼球の直径も大きくす る必要が生じ、粗動ハンドルの外径が大きくなるのみならず、軸方向のスペ―ス も大きくなってしまうという問題がある。 However, in the device of Reference 1, when trying to increase the reduction ratio, the distance R1 from the fine movement axis to the contact point between the fine movement axis and the steel ball is reduced, or from the fine movement axis to the conical surface of the bearing and the steel. It is necessary to increase the distance R2 to the contact point with the sphere. Since there is a limit to how small R 1 can be made, if R 2 is made large, the diameter of the steel ball must also be made large, which not only makes the outer diameter of the coarse motion handle large, but also makes the space in the axial direction large. There is a problem that it will end up.
【００１４】 また、微動ハンドルを回転した場合、鋼球は、自転しながら公転する（遊星運 動）ので、粗動軸との間では自転時の滑り接触をしながら、公転する力によって 粗動軸を回転させる。従って、粗動軸と鋼球との接触点では、滑り摩擦力が鋼球 の自転を止めようとする力として働くので、鋼球と軸受の円錐面及び微動軸との 接触点で滑りが生ぜずに粗動軸を確実に微動回転させるためには、鋼球により強 い押圧力をかける必要がある等の問題がある。Further, when the fine movement handle is rotated, the steel ball revolves while revolving (planetary movement). Therefore, the steel ball makes a sliding contact at the time of rotation with the coarse movement shaft, and the coarse movement is caused by the revolving force. Rotate the shaft. Therefore, at the contact point between the coarse movement shaft and the steel ball, the sliding frictional force acts as a force to stop the rotation of the steel ball, so that slippage occurs at the contact point between the steel ball and the conical surface of the bearing and the fine movement shaft. However, there is a problem in that it is necessary to apply a stronger pressing force to the steel balls in order to surely rotate the coarse motion shaft finely.
【００１５】 また、引例２の装置では、一旦、装置を組み立てた後においては、第１及び第 ２の遊星摩擦車を付勢している皿ばねの力量を調節することが不可能となり、保 守・点検が困難となるという問題がある。また、２つの遊星摩擦車が必要である のみならず、３組の遊星摩擦車間に夫々付勢バネが必要なことから、部品点数が 増加して製造コストが上昇するという問題がある。Further, in the device of Reference 2, once the device is assembled, it becomes impossible to adjust the amount of force of the disc springs biasing the first and second planetary friction wheels, and it is impossible to maintain the device. There is a problem that it is difficult to protect and inspect. Further, not only two planetary friction wheels are required, but also biasing springs are required between each of the three sets of planetary friction wheels, resulting in an increase in the number of parts and an increase in manufacturing cost.
【００１６】 本考案は、このような問題点を解決するためになされ、その目的は、簡単且つ コンパクトな構成であると共に、軽い押圧力で遊星摩擦車を微動軸及び軸受の夫 々の摩擦面に確実に接触させることができる一軸式粗微動装置を提供することに ある。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a simple and compact structure, and to make a planetary friction wheel with a slight pressing force so that the fine friction shafts and the friction surfaces of the bearings are provided. The object is to provide a single-axis type coarse / fine adjustment device that can be reliably brought into contact with.
【００１７】[0017]
このような目的を達成するために、本考案は、微動軸と、この微動軸を支持す ると共に鏡体あるいは載物台等を移動可能な粗動軸と、この粗動軸を支承する軸 受と、前記微動軸及び前記軸受の摩擦面に接触可能な複数の遊星摩擦車と、を具 備して成り、前記微動軸、前記粗動軸及び前記軸受を一軸式に構成すると共に、 また、前記遊星摩擦車を支持しつつ前記粗動軸に支持され、且つ、前記遊星摩擦 車を支持する部分が前記粗動軸に支持された部分に対して偏心した複数の偏心軸 と、前記微動軸及び前記軸受の夫々の摩擦面に前記遊星摩擦車を接触させる押圧 手段と、を備えている。 In order to achieve such an object, the present invention provides a fine movement shaft, a coarse movement shaft that supports the fine movement shaft and can move a mirror body or a stage, and a shaft that supports the coarse movement shaft. And a plurality of planetary friction wheels capable of contacting the friction surfaces of the fine movement shaft and the bearing, wherein the fine movement shaft, the coarse movement shaft and the bearing are configured as a single shaft type, and A plurality of eccentric shafts supported by the coarse movement shaft while supporting the planetary friction wheel, and a portion supporting the planetary friction wheel being eccentric with respect to the portion supported by the coarse movement shaft; Pressing means for bringing the planetary friction wheel into contact with the respective friction surfaces of the shaft and the bearing.
【００１８】[0018]
本考案は、微動軸の回転運動は、押圧手段によって微動軸及び軸受の摩擦面に 押圧接触された遊星摩擦車に伝達される。このとき、遊星摩擦車は、偏心軸を中 心に回転すると共に微動軸の回りを公転する。偏心軸が微動軸の回りを公転する ことによって、粗動軸は、減速回転され、鏡体あるいは載物台を所定の方向に移 動させる。 According to the present invention, the rotational movement of the fine movement shaft is transmitted to the planetary friction wheel that is pressed against the friction surfaces of the fine movement shaft and the bearing by the pressing means. At this time, the planetary friction wheel rotates around the eccentric shaft and revolves around the fine movement shaft. When the eccentric shaft revolves around the fine movement shaft, the coarse movement shaft is decelerated and rotated to move the mirror body or the stage in a predetermined direction.
【００１９】[0019]
以下、本考案の第１の実施例に係る一軸式粗微動装置について、図１及び図２ を参照して説明する。 Hereinafter, a single-axis coarse / fine adjustment device according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
【００２０】 図１及び図２に示すように、本実施例の一軸式粗微動装置は、実体顕微鏡の鏡 体部（図示しない）が固定され、且つ、後述する歯車７７が噛合可能なラック７ ９が形成されたナカガイド６５と、焦準マウント６７に固定されたソトガイド６ ９と、を備えている。ソトガイド６９とナカガイド６５との間には鋼球７１が転 動自在に介挿されており、この鋼球７１を介してナカガイド６５は、ソトガイド ６９に沿って上下動可能に支持されている。また、焦準マウント６７には、軸受 ７３が固定されており、この軸受７３には、筒状の粗動軸７５が回転可能に嵌合 されている。粗動軸７５の中央部には、前述したラック７９と噛合可能な歯車７ ７が形成されている。また、粗動軸７５の一端にはフランジ８１を介して第１の 粗動ハンドル８３が固定されており、他端には第２の粗動ハンドル８５が固定さ れている。また、軸受７３の一端にはテンションリング８７が螺合されており、 このテンションリング８７を回転して、例えば、波形ワッシャ等の皿ばね８９の 押圧力を変化させることによって、粗動軸７５のトルクが調節されるように構成 されている。As shown in FIGS. 1 and 2, the uniaxial coarse / fine movement device of this embodiment has a rack 7 to which a body portion (not shown) of a stereomicroscope is fixed and which can be meshed with a gear 77 described later. 9 is formed, and a soto guide 69 fixed to a focusing mount 67. A steel ball 71 is rotatably inserted between the soto guide 69 and the Naka guide 65, and the Naka guide 65 is supported by the Soto guide 69 so as to be vertically movable via the steel ball 71. A bearing 73 is fixed to the focusing mount 67, and a cylindrical coarse movement shaft 75 is rotatably fitted to the bearing 73. A gear 77 capable of meshing with the rack 79 is formed in the center of the coarse shaft 75. The first coarse movement handle 83 is fixed to one end of the coarse movement shaft 75 via a flange 81, and the second coarse movement handle 85 is fixed to the other end. A tension ring 87 is screwed onto one end of the bearing 73, and the tension ring 87 is rotated to change the pressing force of a disc spring 89 such as a wave washer to change the coarse shaft 75. The torque is adjusted.
【００２１】 また、粗動軸７５内には、微動軸９１が回転可能に嵌合されており、その一端 には第１の微動ハンドル９３が，他端には第２の微動ハンドル９５が固定されて いる。また、微動軸９１の他端側には、後述する３個の遊星摩擦車１０３（図２ 参照）の夫々の一端側周縁部が接触可能な円錐面９７を有するフランジ部が、取 り付けられている。A fine movement shaft 91 is rotatably fitted in the coarse movement shaft 75, and a first fine movement handle 93 is fixed to one end thereof and a second fine movement handle 95 is fixed to the other end thereof. Has been done. Further, on the other end side of the fine movement shaft 91, a flange portion having a conical surface 97 with which the peripheral portions of one end sides of three planetary friction wheels 103 (see FIG. 2) described later can contact is attached. ing.
【００２２】 また、粗動軸７５の他端側には、３本の偏心軸が支持されている。これら偏心 軸は、夫々、粗動軸７５に固定された摩擦車支持軸９９と、この摩擦車支持軸９ ９の外周に回転可能に嵌合され、且つ、遊星摩擦車１０３が回転可能に嵌合され た偏心リング１０１と、を備えている。なお、摩擦車支持軸９９の中心と偏心リ ング１０１に嵌合された遊星摩擦車１０３の中心とは、互いに偏心するように構 成されている。Further, three eccentric shafts are supported on the other end side of the coarse movement shaft 75. These eccentric shafts are rotatably fitted to the friction wheel support shaft 99 fixed to the coarse movement shaft 75 and the outer circumference of the friction wheel support shaft 99, respectively, and the planetary friction wheel 103 is rotatably fitted thereto. And the combined eccentric ring 101. The center of the friction wheel support shaft 99 and the center of the planetary friction wheel 103 fitted to the eccentric ring 101 are configured to be eccentric to each other.
【００２３】 また、微動軸９１には、円錐面９７に対面する側に、３個の遊星摩擦車１０３ の夫々の他端側周縁部を押圧可能な円錐リング１０５がスラスト方向（具体的に は、円錐面９７に接近あるいは離間する方向）に移動可能に遊嵌されている。円 錐リング１０５は、この円錐リング１０５に隣接して配置された皿ばね１０７に よって、円錐面９７方向に押圧可能に構成されている。また、皿ばね１０７は、 微動軸９１に回転自在に螺合されたナット１０９によって、このナット１０９と 円錐リング１０５との間に挟持されている。この結果、ナット１０９を回転して 皿ばね１０７の押圧力を変化させ、微動軸９１に回転可能に嵌合している円錐リ ング１０５介して、遊星摩擦車１０３の他端側周縁部に押圧力を作用させること によって、遊星摩擦車１０３の一端側周縁部は円錐面９７に押圧接触される。従 って、遊星摩擦車１０３は、円錐リング１０５と円錐面９７とからの合力を受け 、偏心リング１６を摩擦車支持軸９９の回りに回転させる。この結果、遊星摩擦 車１０３がラジアル方向に付勢され、遊星摩擦車１０３の外周面が軸受７３の摩 擦面１１１に押圧接触される。このため、遊星摩擦車１０３は、円錐面９７及び 軸受７３の摩擦面１１１に対して最適な状態に押圧接触される。On the side facing the conical surface 97, the fine movement shaft 91 is provided with a conical ring 105 capable of pressing the other end side peripheral edge of each of the three planetary friction wheels 103 in the thrust direction (specifically, in the thrust direction). , Is loosely fitted so as to be movable toward and away from the conical surface 97. The conical ring 105 is configured to be pressed in the direction of the conical surface 97 by a disc spring 107 arranged adjacent to the conical ring 105. Further, the disc spring 107 is held between the nut 109 and the conical ring 105 by a nut 109 that is rotatably screwed into the fine movement shaft 91. As a result, the nut 109 is rotated to change the pressing force of the disc spring 107, and it is pressed to the peripheral edge of the other end of the planetary friction wheel 103 via the conical ring 105 that is rotatably fitted to the fine movement shaft 91. By applying pressure, the peripheral edge of the planetary friction wheel 103 on one end side is pressed against the conical surface 97. Therefore, the planetary friction wheel 103 receives the resultant force from the conical ring 105 and the conical surface 97, and rotates the eccentric ring 16 around the friction wheel support shaft 99. As a result, the planetary friction wheel 103 is biased in the radial direction, and the outer peripheral surface of the planetary friction wheel 103 is pressed against the friction surface 111 of the bearing 73. Therefore, the planetary friction wheel 103 is pressed and brought into an optimum contact with the conical surface 97 and the frictional surface 111 of the bearing 73.
【００２４】 このような構成を有する本実施例の一軸式粗微動装置において、第１又は第２ の微動ハンドル９３又は９５を回転させることによって、微動軸９１に取り付け られた円錐面９７が回転される。このため、この円錐面９７に接触している遊星 摩擦車１０３は偏心リング１０１の回りに回転される。ところが、遊星摩擦車１ ０３は、軸受７３の摩擦面１１１にも接触しているため、微動軸９１の回りにも 回転しはじめ、偏心リング１０１及び摩擦車支持軸９９を介して粗動軸７５を回 転させる。この場合、遊星摩擦車１０３と偏心リング１０１との嵌合部には遊星 摩擦車１０３の自転を押し止めようとする摩擦力が発生する。しかし、遊星摩擦 車１０３の回転軸心から摩擦力作用点（即ち、偏心リング１０１と遊星摩擦車１ ０３との嵌合面）までの距離を、従来よりも小さくさせることができ、且つ、遊 星摩擦車１０３と偏心リング１０１との嵌合面を潤滑剤等により潤滑させること もできる。このため、従来と比べて遊星摩擦車１０３の自転を押し止めようと作 用する摩擦力は、はるかに小さくさせることができる。この結果、皿ばね１０７ の押圧力を、それほど大きくしなくても、高精度且つ円滑な遊星運動を得ること ができる。In the uniaxial coarse / fine movement device having the above structure, the conical surface 97 attached to the fine movement shaft 91 is rotated by rotating the first or second fine movement handle 93 or 95. It Therefore, the planetary friction wheel 103 in contact with the conical surface 97 is rotated around the eccentric ring 101. However, since the planetary friction wheel 103 is also in contact with the friction surface 111 of the bearing 73, the planetary friction wheel 103 also starts rotating around the fine movement shaft 91, and the coarse movement shaft 75 via the eccentric ring 101 and the friction wheel support shaft 99. Rotate. In this case, a frictional force is generated in the fitting portion between the planetary friction wheel 103 and the eccentric ring 101 to prevent the rotation of the planetary friction wheel 103. However, the distance from the rotational axis of the planetary friction wheel 103 to the point of frictional force application (that is, the fitting surface between the eccentric ring 101 and the planetary friction wheel 103) can be made smaller than before, and The fitting surface between the star friction wheel 103 and the eccentric ring 101 can be lubricated with a lubricant or the like. For this reason, the frictional force used to stop the rotation of the planetary friction wheel 103 can be made much smaller than in the conventional case. As a result, highly accurate and smooth planetary movement can be obtained without increasing the pressing force of the disc spring 107 so much.
【００２５】 本実施例の一軸式粗微動装置によれば、従来の鋼球を使用した場合と比較して 偏平な摩擦車が使用できるので、装置のコンパクト化が達成される。また、遊星 摩擦車１０３と微動軸９１の円錐面９７及び軸受７３の摩擦面１１１との接触面 と、遊星摩擦車１０３と粗動軸７５との接触面と、が夫々異なるため、遊星摩擦 車１０３と摩擦車支持軸９９との接触部分を潤滑させることで、遊星摩擦車１０ ３の摩擦損失を更に減少させることができる。この結果、遊星摩擦車１０３への 押圧力をそれほど大きくしなくても高精度且つ円滑な遊星運動が得られる。また 、偏心リング１０１を設けるという簡単な構成で遊星摩擦車１０３を確実に押圧 接触させることができるので、製造コストも安価になる。According to the uniaxial coarse / fine movement device of this embodiment, a flat friction wheel can be used as compared with the case of using a conventional steel ball, so that the device can be made compact. Further, since the contact surface between the planetary friction wheel 103 and the conical surface 97 of the fine shaft 91 and the friction surface 111 of the bearing 73 is different from the contact surface between the planetary friction wheel 103 and the coarse shaft 75, respectively. By lubricating the contact portion between 103 and the friction wheel support shaft 99, the friction loss of the planetary friction wheel 103 can be further reduced. As a result, highly accurate and smooth planetary movement can be obtained without increasing the pressing force applied to the planetary friction wheel 103. Further, since the planetary friction wheel 103 can be reliably pressed into contact with the simple structure of providing the eccentric ring 101, the manufacturing cost can be reduced.
【００２６】 次に、本考案の第２の実施例に係る一軸式粗微動装置の特徴部分のみについて 、図３及び図４を参照して説明する。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施 例と同一の構成には同一符号を付して、その説明を省略する。Next, only the characteristic part of the single-axis coarse / fine adjustment device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. In the description of this embodiment, the same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００２７】 図３及び図４に示すように、本実施例の一軸式粗微動装置は、粗動軸７５の他 端側に、３本の偏心軸が支持されている。これら偏心軸は、夫々、粗動軸７５に 回転可能に嵌合された摩擦車支持軸１１３を備えている。これら摩擦車支持軸１ １３の外周面には、夫々、遊星摩擦車として機能するラジアル玉軸受１１５が嵌 合されている。そして、摩擦車支持軸１１３とラジアル玉軸受１１５との嵌合中 心と、摩擦車支持軸１１３と粗動軸７５との嵌合中心と、は互いに偏心するよう に構成されている。また、焦準マウント６７に固定された軸受７３には、スラス ト方向へ移動可能な摩擦リング１１７が嵌合されている。この摩擦リング１１７ の外周面の一部には、突起部１１９が突設されている。この突起部１１９は、軸 受７３に設けられた溝部１２１に嵌合され、摩擦リング１１７がラジアル方向に 回転するのを規制している。As shown in FIGS. 3 and 4, in the uniaxial coarse / fine movement device of this embodiment, three eccentric shafts are supported on the other end side of the coarse movement shaft 75. Each of these eccentric shafts is provided with a friction wheel support shaft 113 rotatably fitted to the coarse movement shaft 75. Radial ball bearings 115 functioning as planetary friction wheels are fitted to the outer peripheral surfaces of the friction wheel support shafts 113, respectively. The center of fitting between the friction wheel support shaft 113 and the radial ball bearing 115 and the center of fitting between the friction wheel support shaft 113 and the coarse movement shaft 75 are configured to be eccentric to each other. Further, a friction ring 117 movable in the thrust direction is fitted to the bearing 73 fixed to the focusing mount 67. A projection 119 is provided on a part of the outer peripheral surface of the friction ring 117. The protrusion 119 is fitted in the groove 121 provided in the bearing 73, and restricts the friction ring 117 from rotating in the radial direction.
【００２８】 また、摩擦リング１１７の内周面には、遊星摩擦車として機能するラジアル玉 軸受１１５の両周縁部と夫々接触可能な２箇所の円錐面１２３が設けられている 。Further, on the inner peripheral surface of the friction ring 117, there are provided two conical surfaces 123 which are respectively in contact with both peripheral portions of the radial ball bearing 115 functioning as a planetary friction wheel.
【００２９】 このような構成を有する本実施例の一軸式粗微動装置において、微動軸９１に 螺合されたナット１０９を回転し、皿ばね１０７の押圧力を変化させることによ って、円錐リング１０５を介してラジアル玉軸受１１５に押圧力が作用する。こ の押圧力は、ラジアル玉軸受１１５を微動軸９１の円錐面９７に押圧接触させる と同時に、摩擦車支持軸１１３を粗動軸７５との嵌合部分の回りに回転させる。 この結果、ラジアル玉軸受１１５は、ラジアル方向に付勢され、ラジアル玉軸受 １１５の両周縁部が摩擦リング１１７の円錐面１２３に押圧接触させる。この場 合、摩擦リング１１７はスラスト方向に移動可能に構成されているため、ラジア ル玉軸受１１５は、摩擦リング１１７に形成された２箇所の円錐面１２３に高精 度に押圧接触される。この結果、ラジアル玉軸受１１５は、微動軸９１の円錐面 ９７及び摩擦リング１１７の円錐面１２３に対して最適な状態に押圧接触される 。In the uniaxial coarse / fine movement device having the above-described configuration, the nut 109 screwed to the fine movement shaft 91 is rotated to change the pressing force of the disc spring 107, thereby forming a cone. A pressing force acts on the radial ball bearing 115 via the ring 105. This pressing force brings the radial ball bearing 115 into pressure contact with the conical surface 97 of the fine movement shaft 91, and at the same time rotates the friction wheel support shaft 113 around the fitting portion with the coarse movement shaft 75. As a result, the radial ball bearing 115 is biased in the radial direction, and both peripheral edge portions of the radial ball bearing 115 are brought into pressure contact with the conical surface 123 of the friction ring 117. In this case, since the friction ring 117 is configured to be movable in the thrust direction, the radial ball bearing 115 is pressed against the two conical surfaces 123 formed on the friction ring 117 with high accuracy. As a result, the radial ball bearing 115 is pressed and brought into an optimum contact with the conical surface 97 of the fine movement shaft 91 and the conical surface 123 of the friction ring 117.
【００３０】 本実施例の一軸式粗微動装置によれば、遊星摩擦車として機能するラジアル玉 軸受１１５が、摩擦リング１１７の２箇所の円錐面１２３に押圧接触されるため 、大きな摩擦力が得られ、押圧力をそれほど大きくしなくても高精度な遊星運動 が得られる。また、遊星摩擦車としてラジアル玉軸受１１５を使用しているため 、遊星摩擦車の自転を止めようとする摩擦力は発生しない。このため、押圧力を 更に小さくできる。なお、他の効果は、上述した第１の実施例と同様の効果を奏 するため、その説明は省略する。According to the uniaxial coarse / fine movement device of this embodiment, the radial ball bearing 115 functioning as a planetary friction wheel is pressed against the two conical surfaces 123 of the friction ring 117, so that a large friction force can be obtained. Therefore, highly precise planetary motion can be obtained without increasing the pressing force so much. Further, since the radial ball bearing 115 is used as the planetary friction wheel, the frictional force that tries to stop the rotation of the planetary friction wheel does not occur. Therefore, the pressing force can be further reduced. Note that other effects have the same effects as those of the above-described first embodiment, and therefore description thereof will be omitted.
【００３１】 次に、本考案の第３の実施例に係る一軸式粗微動装置の特徴部分のみについて 、図５及び図６を参照して説明する。なお、本実施例の説明に際し、第１及び第 ２の実施例と同一の構成には同一符号を付して、その説明を省略する。Next, only the characteristic portion of the single-axis coarse / fine movement device according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. In the description of this embodiment, the same components as those in the first and second embodiments will be designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００３２】 図５及び図６に示すように、本実施例の一軸式粗微動装置は、粗動軸７５の他 端側に、３本の偏心軸が支持されている。これら偏心軸は、夫々、粗動軸７５に 回転可能に嵌合された摩擦車支持軸１１３を備えている。これら摩擦車支持軸１ １３には、遊星摩擦車１２５が回転可能に嵌合されている。なお、摩擦車支持軸 １１３と遊星摩擦車１２５との嵌合中心と、摩擦車支持軸１１３と粗動軸７５と の嵌合中心と、は互いに偏心するように構成されている。また、遊星摩擦車１２ ５の外周面の中央部には、後述する第２の歯車１２９が噛合可能な第１の歯車１ ２７が形成されている。また、微動軸９１には、前記第１の歯車１２７と噛合可 能な第２の歯車１２９が一体的に形成されている。また、軸受７３には、その内 面に、ナット１０９が螺合されており、このナット１０９を回転することによっ て、皿ばね１０７の押圧力は、円錐リング１０５を介して遊星摩擦車１２５に作 用して、遊星摩擦車１２５を軸受７３に形成された円錐面１３１に押圧接触させ る。また、この押圧力は、摩擦車支持軸１１３を粗動軸７５との嵌合中心の回り に回転させて、遊星摩擦車１２５に形成された第１の歯車１２７を微動軸９１に 形成された第２の歯車１２９に押圧噛合させる。なお、本実施例の場合、その組 み立て方法として、ナット１０９を回転させて皿ばね１０７の押圧力を変化させ 、遊星摩擦車１２５に形された第１の歯車１２７を微動軸９１に形成された第２ の歯車１２９に軽く押付けて、第１及び第２の歯車１２７、１２９相互の噛合ガ タを除去した後に、摩擦車支持軸１１３を粗動軸７５へ一体に固定しても良い。As shown in FIGS. 5 and 6, in the uniaxial coarse / fine movement device of this embodiment, three eccentric shafts are supported on the other end side of the coarse movement shaft 75. Each of these eccentric shafts is provided with a friction wheel support shaft 113 rotatably fitted to the coarse movement shaft 75. A planetary friction wheel 125 is rotatably fitted to these friction wheel support shafts 113. The fitting center of the friction wheel support shaft 113 and the planetary friction wheel 125 and the fitting center of the friction wheel support shaft 113 and the coarse movement shaft 75 are configured to be eccentric to each other. A first gear 127 is formed at the center of the outer peripheral surface of the planetary friction wheel 125 so that a second gear 129, which will be described later, can mesh with the first gear 127. A second gear 129 capable of meshing with the first gear 127 is integrally formed on the fine movement shaft 91. A nut 109 is screwed onto the inner surface of the bearing 73. By rotating the nut 109, the pressing force of the disc spring 107 is transmitted via the conical ring 105 to the planetary friction wheel 125. The planetary friction wheel 125 is pressed into contact with the conical surface 131 formed on the bearing 73. Further, this pressing force causes the friction wheel support shaft 113 to rotate about the center of engagement with the coarse movement shaft 75, and the first gear 127 formed on the planetary friction wheel 125 is formed on the fine movement shaft 91. The second gear 129 is press-engaged. In the case of this embodiment, as the assembling method, the nut 109 is rotated to change the pressing force of the disc spring 107, and the first gear 127 formed on the planetary friction wheel 125 is formed on the fine movement shaft 91. The friction wheel support shaft 113 may be integrally fixed to the coarse motion shaft 75 after lightly pressing the second gear 129 that has been removed to remove the meshing play between the first and second gears 127 and 129. ..
【００３３】 このような構成を有する本実施例一軸式粗微動装置において、遊星摩擦車１２ ５と微動軸９１との接触部分では、第１及び第２の歯車１２７、１２９が互いに 噛合されているため、この部分に押圧力をかける必要がなくなる。従って、円錐 リング１０５及び軸受７３の円錐面１３１の円錐角を大きく構成することができ る。この結果、円錐リング１０５及び円錐面１３１と遊星摩擦車１２５との間に 働く摩擦力を大きくさせることができるため、必要摩擦力に対して押圧力を小さ くすることができる。なお、他の効果は、上述した第１の実施例と同様の効果を 奏するため、その説明は省略する。In the uniaxial coarse / fine movement device of the present embodiment having such a configuration, the first and second gears 127 and 129 are meshed with each other at the contact portion between the planetary friction wheel 125 and the fine movement shaft 91. Therefore, it is not necessary to apply a pressing force to this portion. Therefore, the cone angle of the conical ring 105 and the conical surface 131 of the bearing 73 can be made large. As a result, since the frictional force acting between the conical ring 105 and the conical surface 131 and the planetary friction wheel 125 can be increased, the pressing force can be made smaller than the required frictional force. Note that other effects have the same effects as those of the above-described first embodiment, and therefore description thereof will be omitted.
【００３４】[0034]
本考案は、従来鋼球を使用した場合と比較して、そのトルク半径を小さくさせ ることができるため、遊星摩擦車の自転を止めようとする摩擦力が低減される。 且つ、遊星摩擦車と微動軸及び軸受との接触面と、遊星摩擦車と粗動軸との接触 面は夫々異なっているため、摩擦損失が低減される。この結果、軽い押圧力で遊 星摩擦車を微動軸及び軸受の夫々の摩擦面に確実に接触させることができると共 に円滑な遊星運動を得ることができ、且つ、遊星摩擦車のスラスト方向の厚さを 増すことなく減速比を大きくさせることができる。 In the present invention, the torque radius can be made smaller than that in the case of using a conventional steel ball, so that the frictional force to stop the rotation of the planetary friction wheel is reduced. Moreover, the contact surface between the planetary friction wheel and the fine shaft and the bearing is different from the contact surface between the planetary friction wheel and the coarse shaft, so that friction loss is reduced. As a result, the planetary friction wheel can be reliably brought into contact with the friction surfaces of the fine shaft and the bearing with a light pressing force, and a smooth planetary movement can be obtained, and the thrust direction of the planetary friction wheel can be obtained. The reduction ratio can be increased without increasing the thickness of the.
【００３５】 また、偏心軸で遊星摩擦車を支持するという簡単な構成で、遊星摩擦車を微動 軸及び軸受の夫々の摩擦面に確実に押圧接触させることができるため、安価且つ コンパクトな装置を提供することができる。Further, since the planetary friction wheel can be surely pressed into contact with the friction surfaces of the fine movement shaft and the bearing with a simple structure in which the planetary friction wheel is supported by the eccentric shaft, an inexpensive and compact device can be provided. Can be provided.
【００３６】 更に、従来よりも押圧力を小さくすることができるので、構成材料の選択の幅 も広がり、安価な装置が得られる。また、押圧力が従来と同じ条件であれば、よ り重い鏡体等を上下動させることができる。Further, since the pressing force can be made smaller than in the conventional case, the range of selection of constituent materials is widened, and an inexpensive device can be obtained. Further, if the pressing force is the same as the conventional one, a heavier mirror body or the like can be moved up and down.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本考案の第１の実施例に係る一軸式粗微動装置
の全体の構成を概略的に示す断面図。FIG. 1 is a sectional view schematically showing the overall configuration of a single-axis coarse / fine adjustment device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【図３】本考案の第２の実施例に係る一軸式粗微動装置
のうち、その特徴部分の構成のみを示す断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view showing only the configuration of the characteristic part of the uniaxial coarse / fine movement device according to the second embodiment of the present invention.
【図４】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面図。FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB of FIG.
【図５】本考案の第３の実施例に係る一軸式粗微動装置
のうち、その特徴部分の構成のみを示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing only the configuration of the characteristic part of the uniaxial coarse / fine movement device according to the third embodiment of the present invention.
【図６】図５のＣ−Ｃ線に沿う断面図。6 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
【図７】従来の粗微動焦準装置の全体の構成を概略的に
示す断面図。FIG. 7 is a sectional view schematically showing the overall configuration of a conventional coarse / fine movement focusing device.
【図８】図７のＤ−Ｄ線に沿う断面図。8 is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG.
【図９】従来の他の粗微動焦準装置のうち、その特徴部
分の構成のみを概略的に示す断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view schematically showing only the configuration of a characteristic part of another conventional coarse / fine movement focusing device.
【図１０】図９のＥ−Ｅ線に沿う断面図。10 is a cross-sectional view taken along the line EE of FIG.
７３…軸受、７５…粗動軸、９１…微動軸、９７…円錐
面、９９…摩擦車支持軸、１０１…偏心リング、１０３
…遊星摩擦車、１０５…円錐リング、１０７…皿ばね、
１０９…ナット、１１１…摩擦面。73 ... Bearing, 75 ... Coarse movement shaft, 91 ... Fine movement shaft, 97 ... Conical surface, 99 ... Friction wheel support shaft, 101 ... Eccentric ring, 103
... planetary friction wheel, 105 ... conical ring, 107 ... disc spring,
109 ... Nut, 111 ... Friction surface.
Claims (3)
鏡体あるいは載物台等を移動可能な粗動軸と、この粗動
軸を支承する軸受と、前記微動軸及び前記軸受の摩擦面
に接触可能な複数の遊星摩擦車と、を具備して成り、前
記微動軸、前記粗動軸及び前記軸受を一軸式に構成する
と共に、また、前記遊星摩擦車を支持しつつ前記粗動軸
に支持され、且つ、前記遊星摩擦車を支持する部分が前
記粗動軸に支持された部分に対して偏心した複数の偏心
軸と、前記微動軸及び前記軸受の夫々の摩擦面に前記遊
星摩擦車を接触させる押圧手段と、を備えていることを
特徴とする一軸式粗微動装置。1. A fine movement shaft, a coarse movement shaft that supports the fine movement shaft and is capable of moving a mirror body or a stage, a bearing that supports the coarse movement shaft, and a friction between the fine movement shaft and the bearing. A plurality of planetary friction wheels capable of contacting a surface, the fine movement shaft, the coarse movement shaft, and the bearing being configured as a single shaft, and the coarse movement while supporting the planetary friction wheel. A plurality of eccentric shafts that are supported by shafts and that support the planetary friction wheel are eccentric with respect to the part supported by the coarse motion shaft; and the planets on the friction surfaces of the fine motion shaft and the bearing. A uniaxial coarse / fine movement device, comprising: a pressing unit for contacting a friction wheel.
受であることを特徴とする請求項１に記載の一軸式粗微
動装置。2. The uniaxial coarse / fine movement device according to claim 1, wherein the planetary friction wheel is a radial rolling bearing.
記微動軸に形成された第２の歯車と噛合可能な第１の歯
車が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の
一軸式粗微動装置。3. A first gear that is meshable with a second gear formed on the fine movement shaft is provided on a part of an outer peripheral surface of the planetary friction wheel. The uniaxial coarse / fine movement device described in.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP085370U JPH0527406U (en) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | Single-axis coarse / fine control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP085370U JPH0527406U (en) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | Single-axis coarse / fine control device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0527406U true JPH0527406U (en) | 1993-04-09 |
Family
ID=13856832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP085370U Pending JPH0527406U (en) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | Single-axis coarse / fine control device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0527406U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017530418A (en) * | 2014-10-06 | 2017-10-12 | ライカ インストゥルメンツ （シンガポール） プライヴェット リミテッドＬｅｉｃａ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ （Ｓｉｎｇａｐｏｒｅ） Ｐｔｅ． Ｌｔｄ． | A microscope with a manually or electrically movable stage |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5899549A (en) * | 1981-12-10 | 1983-06-13 | Fujitsu Ltd | Differential planet rotary type reduction gear |
| JPH0226357A (en) * | 1988-07-13 | 1990-01-29 | Kitazawa Hirokazu | Speed increase and decrease device |
-
1991
- 1991-09-25 JP JP085370U patent/JPH0527406U/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5899549A (en) * | 1981-12-10 | 1983-06-13 | Fujitsu Ltd | Differential planet rotary type reduction gear |
| JPH0226357A (en) * | 1988-07-13 | 1990-01-29 | Kitazawa Hirokazu | Speed increase and decrease device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017530418A (en) * | 2014-10-06 | 2017-10-12 | ライカ インストゥルメンツ （シンガポール） プライヴェット リミテッドＬｅｉｃａ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ （Ｓｉｎｇａｐｏｒｅ） Ｐｔｅ． Ｌｔｄ． | A microscope with a manually or electrically movable stage |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5201272B2 (en) | Continuously variable transmission | |
| US5893813A (en) | Speed reducer | |
| JP2578448Y2 (en) | Loading cam device | |
| JPH0132380B2 (en) | ||
| JPH0527406U (en) | Single-axis coarse / fine control device | |
| JP7416349B2 (en) | Reducer and motorized reducer | |
| JP2567473Y2 (en) | Single axis coarse / fine movement device | |
| US4713977A (en) | Friction-disk transmission comprising a tiltable disk | |
| JPH06272745A (en) | Frictional epicyclic roller-type reduction gear | |
| JPH08184360A (en) | Frictional forward and backward movement drive device | |
| JP4484045B2 (en) | Assembly method for one-way clutch | |
| JPH044347A (en) | Planetary roller type speed reducer | |
| JPH0735212A (en) | Deceleration device | |
| JP4847427B2 (en) | Electric brake device | |
| JP2010112451A (en) | Continuously variable transmission | |
| JPH01199017A (en) | Support structure for rotary shaft and thrust bearing | |
| JPH09189349A (en) | Traction drive transmission | |
| JPH063251B2 (en) | Decelerator | |
| JP2002039225A (en) | Clutch device | |
| JP4658854B2 (en) | Traction drive transmission and vehicle steering system | |
| JPH02125145A (en) | Reduction gear | |
| JPH0225164B2 (en) | ||
| JP4267102B2 (en) | bearing | |
| JP2604078Y2 (en) | Planetary roller type power transmission | |
| JPH0617894A (en) | Epicyclic friction type speed change gear |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980602 |